一种xy精密控制平台、控制系统及控制方法

专利名称：一种xy精密控制平台、控制系统及控制方法
技术领域：
本发明涉及机械控制领域，更具体地说，涉及一种XY精密控制平台、控制系统及控制方法。
背景技术：
随着数控技术的发展，工业中对设备控制的精度越来越高，控制技术趋于数字化、 智能化。作为工业的代表性技术之一的XY精密控制平台，它是数控和电子加工设备的基本部件，它已成功实现了自动化，利用计算机控制XY平台。现有技术中，XY精密控制平台包括一 XY平台和一主控制箱，XY平台包括电机。当 XY精密控制平台开始工作时，用户输入的数据传输给主控制箱，主控制箱产生控制信号，电机在控制信号下运动，同时带动XY平台在二维空间上运动。该技术方案中XY精密控制平台无监测设备来监测电机或XY平台是否到达指定的位置，当电机出状况或者XY平台运行出问题时，都会使得XY平台的运动位置不是目标运动位置，结果导致XY精密控制平台运动不精确。另一种现有技术中，XY精密控制平台的运动为开环控制，其包括计算机，XY平台和主控制箱。其中，XY平台上带有电机。当计算机接收到参数后，将参数传给主控制箱， 主控制箱将运动命令发给XY平台，XY平台的电机将输入的脉冲转换成电机转轴的输出步距角，电机的输出步数和输入命令的脉冲数相等(电机转轴输出一个步距角，电机转动一步)。每个脉冲使转轴移动一个步距角，并依靠电磁力矩将转轴准确地锁定在相应的步距位置上。电机根据期望的速度按一定的输入脉冲频率换相，但是开环控制方式不易保证最佳的换相时刻。高速运行时，电动机易丢失输入脉冲，即所谓“失步”，低速时电动机的转速响应有较大的波动，运行不平稳。上述的开环控制无法保证XY平台运动的精度。因此需要一种运行精度高的XY精密控制平台、控制系统及控制方法。

发明内容
本发明的目的在于提供一种XY精密控制平台、控制系统及控制方法，旨在解决现有技术XY平台运行精度低的问题。为了实现发明目的，所述的控制平台包括XY平台和主控制箱。该XY平台包括: 光栅尺和编码器。所述光栅尺，用于监测XY平台的运行情况，并将XY平台的运行结果数据反馈给主控制箱；所述编码器，用于监测电机的运行情况，并电机的运行结果数据反馈给主控制箱；所述主控制箱，用于接收、存储、分析和传输XY平台运行的数据。其中，XY平台包括电机，所述主控制箱传输XY平台运行的数据即是电机运行的数据，所述主控制箱传输XY 平台运行的数据是控制电机运行的控制信号。电机根据控制信号运动，并带动XY平台在二维空间上沿着X方向和Y方向运动。其中,所述XY平台还包括Χ轴运动平台、Y轴运动平台。所述X轴运动平台，用于提供XY平台在水平方向上运动的动力；所述Y轴运动平台，用于提供XY平台在垂直方向上运动的动力。其中，所述X轴运行平台与Y轴运动平台的位置关系不限，优选的，Y轴运动平台位于X轴运动平台上。Y轴运动平台与X轴运动平台大小任意，优选的，Y轴运动平台小于 X轴运动平台。其中，XY精密控制平台还包括驱动器，所述驱动器，用于根据主控制箱传输的数据，驱动电机的运行。所述电机带动XY平台在二维空间的X方向和Y方向运动。其中，所述的X轴运动平台和Y轴运动平台均包括联轴器和丝杆；所述联轴器， 用于连接电机与丝杆；所述丝杆，用于将电机的回转运动转化为直线运动。进一步的，X轴运动平台和Y轴运动平台分别有一电机，电机与联轴器连接，联轴器将电机的运动传递给丝杆，丝杆将电机的回转运动转化为直线运动，最终使得XY平台在 X方向和/或Y方向运动。其中，XY精密控制平台还包括计算机，与一个或多个主控制箱连接，用于提供数据输入的入口，并传输接收的数据。其中，一个计算机可以与一个或多个主控制箱连接。每个主控制箱与一个XY平台连接，用于控制XY平台的运动。主控制箱为任意能控制设备运行，并能获取设备状况的计算装置，优选为PLC (可编程控制器)、芯片和单片机。其中，所述计算机包括输入装置、传输装置；所述输入装置，用于接收输入的数据；所述传输装置，用于传输数据。该计算机还可包括数据处理装置，用于对输入的数据进行处理，转换成指令进行传输；该计算机可以是微型机，比如PC机，也可以大型机。一种XY精密控制平台的控制系统，包括总控模块、电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块。其中，所述总控模块，用于处理主控制箱接收的数据，并产生控制信号，以控制电机运行；所述电机闭环控制模块，用于将编码器监测的电机运动情况的结果数据反馈给总控模块；所述光栅尺闭环控制模块，用于将光栅尺检测的XY平台运动情况的结果数据反馈给总控模块。其中，所述电机闭环控制模块，包括电机监控模块和电机反馈模块；所述电机监控模块，用于通过编码器监测电机的运动情况；所述电机反馈模块，用于将电机的运动情况的结果数据反馈给总控模块。其中，所述光栅尺闭环控制模块，包括XY平台监控模块和XY平台反馈模块；所述 XY平台监控模块，用于通过光栅尺监测XY平台的运动情况；所述XY平台反馈模块，用于将 XY平台的运动情况的结果数据反馈给总控模块。其中，所述总控模块包括数据处理模块、信号转换模块和信号传输模块；所述数据处理模块，用于接收数据，并对数据进行解析，得X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离及方向；所述信号转换模块，用于将移动的距离转为脉冲控制信号，移动的方向转为电平控制信号；所述信号传输模块，用于传输信号转换模块中的控制信号。 其中，所述XY精密控制平台的控制系统还包括计算机控制模块。所述计算机控制模块，用于接收输入的数据，并将接收的数据传输给总控模块。其中，所述计算机控制模块包括数据输入模块和数据传输模块。所述数据输入模块，用于接收输入的数据；所述数据传输模块，用于将数据传输给总控模块。其中，总控模块接收的数据包括计算机控制模块通过人机交互得到的数据、电机闭环控制模块监测的电机运动情况的结果数据和光栅尺闭环控制模块监测的XY平台运动情况的结果数据。进一步，该计算机控制模块与总控模块之间的数据传输的通讯协议包括但不限于串口通讯接口、网口、并口、USB 口协议。优选为串口通讯接口协议。一种XY精密控制平台的控制方法，包括:A.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机运行；B.电机闭环控制模块监测电机的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块；C.光栅尺闭环控制模块监测XY平台的运动情况，并将监测结果数据反馈总控模块；D.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指定位置；到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤A ;所述B和C无先后顺序。其中，总控模块接收的数据包括电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块反馈的
结果数据。其中，所述步骤A中，电机在总控模块产生的控制信号下运行，电机运行时带动XY 平台运动。其中，当从步骤D中返回步骤A后，总控模块对其所接收的反馈的结果数据进行处理，产生控制信号，以控制电机运行。其中，所述步骤A包括A1.总控模块接收数据；A2.总控模块解析数据，得到XY 平台的移动的距离和方向；A3.总控模块根据移动的距离和方向，产生控制信号，以控制电机运行；A4.总控模块发送该控制信号给驱动器。该驱动器，用于根据主控制箱传输来的数据，驱动电机的运行。其中，所述步骤A包括:Al’.总控模块接收数据；A2’.总控模块解析数据，得到X 轴运动平台的移动的距离和方向与Y轴运动平台的移动的距离和方向；A3’.总控模块根据移动的距离和方向，产生控制信号，以控制电机运行；A4’ .总控模块的控制信号分别传递给X轴运动平台中驱动电机运动的驱动器和Y轴运动平台中驱动电机运行的驱动器。其中，所述总控模块接收的数据还包括计算机控制模块传输的数据。其中，所述步骤Al’中，当主控制箱中存储有计算机控制模块传输的数据时，则在执行步骤Al’时，总控模块接收计算机控制模块传输的新数据，并覆盖计算机控制模块在先传输的旧数据，存储新数据。其中，所述的步骤A之后还包括B’.电机运动控制模块根据总控模块控制信号控制电机运动。其中，所述电机运动控制模块控制电机的方式不限。优选的，电机运动控制模块通过DSP信号处理的方式控制电机。其中，所述步骤D中，总控模块对电机的运动情况和XY平台的运动情况做加权，判断XY平台是否到达指定位置。其中，所述步骤A之前还包括:A’ .计算机控制模块接收数据，并将数据传输给总控丰吴块。其中，所述步骤A’包括A’ I.数据输入模块接收输入的数据；A’2.数据传输模块将数据传输给总控模块。其中，计算机控制模块包括数据输入模块和数据传输模块。其中，该计算机控制模块与总控模块之间的数据传输的通讯协议包括但不限于串口通讯接口、网口、并口、USB 口协议。优选为串口通讯接口协议。其中，总控模块接收的数据包括通过计算机控制模块传输的数据、电机闭环控制模块反馈的数据和光栅尺闭环控制模块反馈的数据。由上可知，本发明的XY精密控制平台通过光栅尺和编码器来监测XY平台的运动情况，使得控制平台运行精度更高。本发明的XY精密控制平台的控制系统和控制方法，采用双闭环的控制系统实时反馈调节XY精密控制平台的运行，大大提高了控制的精度。


图I是本发明一个实施例中XY精密控制平台的结构示意图；图2是本发明一个实施例中XY平台的结构示意图；图3是本发明另一个实施例中XY平台的结构示意图；图4是本发明另一个实施例中XY精密控制平台的结构示意图；图5是本发明一个实施例中X、Y轴运动平台的结构示意图；图6是本发明一个实施例中X、Y轴运动平台的结构示意图；图7是本发明另一个实施例中XY精密控制平台的信号流向图；图8是本发明另一个实施例中XY精密控制平台的信号流向图；图9是本发明一个实施例中XY精密控制平台的控制系统的结构示意图；图10是本发明另一个实施例中XY精密控制平台的控制系统的结构示意图；图11是本发明一个实施例中计算机控制模块的结构示意图；图12是本发明另一个实施例中计算机控制模块的结构示意图；图13是本发明一个实施例中XY精密控制平台的控制方法的流程图；图14是本发明一个实施例中XY精密控制平台的控制方法的流程图。
具体实施例方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。本发明的XY精密控制平台通过对XY平台的运动反馈调节，使得XY平台的运动更精密。针对XY精密控制平台，本发明提出一实施例，如图I所示。XY精密控制平台包括 XY平台3和主控制箱2。其中，XY平台3包括光栅尺301和编码器302。(I)主控制箱2，用于根据接收、存储、分析和传输XY平台运行的数据。所述住控制箱2无具体限制，优选为可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller, PLC)或芯片或单片机及外围电路组成。(2)光栅尺301，用于监测XY平台3的运行情况，并将XY平台3的运行结果数据反馈给主控制箱2。 所述光栅尺无具体限制，市场上销售的光栅尺都适用于本发明中。本实施例中的XY精密控制平台通过光栅尺矫正，从而提高了平台的运行精度。(3)编码器302，用于监测电机的运行情况，并电机的运行结果数据反馈给主控制箱2。
所述编码器将信号(如比特流)或数据进行编制、转换为可用以通讯、传输和存储的信号形式的设备，对其无具体限制。优选为高精度编码器，其至少可达16000个脉冲/圈， 直线行程分辨率为O. 15 μ m。本实施例中的编码器可采用高精度的编码器，从而大大提高了 XY精密控制平台的精度。本实施例中，电机为XY平台的一部分，电机运行带动XY平台运行，主控制箱2传输XY平台运行的数据即传输电机运行的数据。其中，主控制箱2传输的数据为控制信号。 主控制箱2传输XY平台运行的数据，电机在主控制箱2传输的控制信号下运行，带动XY平台在二维空间上沿着X方向和Y方向运动。本实施例的技术方案，光栅尺和编码器反馈电机和XY平台的运行情况，进而主控制箱2根据反馈的运行情况来调节电机的运行，从而实现对XY平台位置的调节。其中，光栅尺和编码器可实现多次反馈，每反馈一次，主控制箱2调节一次电机的运行，直到电机的运行到达目标数据为止。本方案使得XY精密控制平台运行更精确。针对XY平台，本发明提出一实施例，如图2所示。该XY平台包括X轴运动平台和Y轴运动平台。其中(I)X轴运动平台31，用于提供XY平台在水平方向上运动的动力。所述X轴运动平台包括电机、联轴器、丝杆等部件，从而实现X轴运动平台在水平方向上平稳运行。(2)Y轴运动平台32，用于提供XY平台在垂直方向上运动的动力。所述Y轴运动平台包括电机、联轴器、丝杆等部件，从而实现Y轴运动平台在垂直方向上平稳运行。本实施例中，X轴运动平台31和Y轴运动平台32的位置关系无具体限制，优选的， Y轴运动平台位于X轴运动平台31上。其中，X轴运动平台和Y轴运动平台的大小任意。 优选的，Y轴运动平台32比X轴运动平台31小。本实施例中，Y轴运动平台位于X轴运动平台之上，避免了 Y轴运动平台因承载了 X轴运动平台和自身的重力，使得Y轴运动平台在重力的作用下向下运动，从而导致XY平台的精度低的现象；本技术方案有效提高了 XY精密控制平台的精度。针对XY平台，本发明提出另一实施例，如图3所示，XY平台包括(I)X轴运动平台31，用于提供XY平台在水平方向上运动的动力；(2)Υ轴运动平台32，用于提供XY平台在垂直方向上运动的动力。本实施例中，X轴运动平台31位于Y轴运动平台32—侧，当X轴运动平台31水平运动时，带动整个XY平台在水平方向上运动；当Y轴运动平台32运动时，带动整个XY平台在垂直方向上运动。本实施例的技术方案，XY平台的结构简单，减少了 X轴运动平台和Y轴运动平台运动时的负荷。图4示出了本发明一实施例中XY精密控制平台的结构示意图。该XY精密控制平台可以包含一个或多个XY平台，该控制平台包括(I)计算机1，用于提供输入数据的入口，并传输接收的数据；所述计算机I可以是任意可输入、处理和输出数据的智能电子设备，例如微型计
8算机、小型计算机等。该计算机包括输入装置、数据处理装置和输出装置。其中数据处理装置用于接收输入装置输入的数据，并处理接收的数据，将数据转化为指令。(2)主控制箱2，用于根据接收、存储、分析和传输XY平台运行数据的设备；所述主控制箱2包括但不限于单片机、单板机、PLC和芯片及外围电路和控制程序集成的。(3)XY平台3，用于在X、Y方向上运行。所述XY平台3在主控制箱2的传输的控制信号下在二维空间的X方向和Y方向上运行。本实施例中，计算机I作为人机交互接口，用于接收数据，并将接收的数据发给相应的主控制箱2，一台计算机I可与一个或多个主控制箱2连接；主控制箱2接收到数据后， 存储、分析和传输XY平台运行的数据。XY平台包括电机，所述主控制箱传输XY平台运行的数据即是电机运行的数据，所述主控制箱传输XY平台运行的数据是控制电机运行的控制信号。主控制箱2将控制信号发给XY平台3 ；ΧΥ平台3接收到控制信号后，电机在该控制信号下运行，电机带动XY平台3在X、Y空间上运行。该XY平台3优选为图I对应的实施例中的XY平台。本实施例中一台计算机可控制一个或多个XY平台，大大节约了成本，也使得具有多个XY平台的XY精密控制平台体积更小。针对XY精密控制平台，本发明提出一实施例。XY精密控制平台包括XY平台、主控制箱。其中，XY平台包括电机驱动装置和光栅尺。该电机驱动装置包括驱动器和编码器。该电机驱动装置中的驱动器用于根据主控制箱传输来的数据，驱动电机的运行；同时， 该电机驱动装置中的编码器用于监测电机的运行情况，并将电机的运行情况的结果数据发给主控制箱。该光栅尺用于监测XY平台的运行情况，并将XY平台的运行结果数据反馈给主控制箱。主控制箱，用于根据接收、存储、分析和传输XY平台运行数据产生控制信号的设备以调节电机的运行来调节XY平台的位置。本实施例中的驱动器可根据主控制箱的指令要求，快速自动实现XY平台运动位移的补偿。并且本实施例中的驱动器可采用DSP采用(digital signal processing,数字信号处理)、向量控制和滤波(从一个信号中去除某些频率分量的处理)，达到光滑和无波动的控制。本实施例的技术方案中，主控制箱可根据电机驱动装置反馈的电机的运行情况， 光栅尺反馈的XY平台的运行情况，产生控制信号来控制电机的运行，从而调节XY平台的位置。本实施例的结构简单，通过反馈调节，使得XY精密控制平台的运行精度更高。针对X、Y轴运动平台,本发明提出一实施例,如图5所示，X、Y轴运动平台包括(I)电机303，用于提供运动的动力。本实施例中市场上销售的电机均适合本实施例中的电机，优选为将电脉冲信号转变为角位移或线位移的开环控制元步进电机件。(2)联轴器304，用于连接电机303与丝杆305。本实施例中市场上销售的联轴器均适合本实施例中的联轴器。(3)丝杆305，用于将电机303的回转运动转化为直线运动。本实施例中市场上销售的丝杆均适合本实施例中的丝杆。
本实施例中，电机303与联轴器304 —端连接，联轴器304的另一端与丝杆305连接，当电机303回旋运动时，联轴器304用于将电机303的运动传递给丝杆305，丝杆305将丝杆的回旋运动转化为直线运动，从而实现XY平台3的运动。本实施例中的电机不限，可以为任意电磁感应定律实现电能转换或传递的一种电磁装置，例如伺服电机、步进电机等； 本实施例的联轴器和丝杆也不限。本实施例中的X或Y轴运动平台结构极其简单。图6示出了本发明X、Y轴运动平台的结构示意图，该运动平台包括(I)电机303，用于提供运动的动力。(2)联轴器304，用于连接电机303与丝杆305。(3)丝杆305，用于将电机303的回转运动转化为直线运动。(4)导轨306，用于提供XY平台运动的平面。本实施例中，电机303与联轴器304—端连接，联轴器304另一端与丝杆305连接， 当电机运动时，联轴器304将电机303的运动传递给丝杆305，丝杆305将丝杆的回旋运动转化为直线运动，此时，丝杆305带动XY平台3沿着导轨306运动，实现了 XY平台在某个方向上运动。XY平台的方向的改变通过电机的反转来实现。针对XY精密控制平台的结构，本发明提出另一实施例，如图7所示，XY精密控制平台包括计算机、主控制箱、XY平台。所述计算机，与一个或多个主控制箱连接，用于提供数据输入的入口，并传输接收的数据；所述主控制箱，用于根据接收、存储、分析和传输XY平台运行数据的设备；所述XY平台包括驱动器、编码器、光栅尺和电机。所述驱动器，用于根据主控制箱传输来的数据，驱动电机的运行；所述光栅尺，用于监测XY平台的运行情况，并将XY平台的运行结果数据反馈给主控制箱；所述编码器，用于监测电机的运行情况，并将电机的运行结果数据反馈给主控制箱；所述电机带动XY平台在二维空间的X方向和Y方向运行。当计算机接收到输入的数据后，计算机将数据传输给主控制箱，主控制箱对数据进行分析，并将分析结果数据传输给X轴运动平台和Y轴运动平台，X轴运动平台和Y轴运动平台中驱动电机运动的驱动器在接收到数据后，驱动电机运行，电机运动带动XY平台运动，编码器监测电机的运行情况，光栅尺监测XY平台的运行情况，光栅尺和编码器分别将运行情况的结果数据反馈给主控制箱，主控制箱接收编码器和光栅尺反馈的结果数据，并存储、分析和传输数据。直到编码器反馈的信息与主控制箱接收到的计算机发送的数据相对应时，也即运动到达指定位置，电机停止运动。本实施例的技术方案中，XY精密控制平台采用了反馈调节装置来反馈该XY精密控制平台的运动情况，从而大大提高了 XY精密控制平台的精度。针对XY精密控制平台的结构，本发明提出另一实施例，如图8所示，XY平台包括电机驱动装置。该电机驱动装置用于根据控制信号控制电机的运行和反馈电机运行的结果数据反馈给主控制箱。其中，该电机驱动装置集成了编码器和驱动器的功能，所述编码器， 用于监测电机的运行情况，并将电机的运行结果数据反馈给主控制箱；所述驱动器，用于根据主控制箱传输来的数据，驱动电机的运行。所述电机带动XY平台在二维空间的X方向和 Y方向运行。当计算机接收到输入的数据后，计算机将数据传输给主控制箱，主控制箱对数据进行分析，并将分析结果数据发传输给X轴运动平台和Y轴运动平台，X轴运动平台和Y轴运动平台中驱动电机运动的驱动器在接收到数据后，驱动装置驱动电机运行，并将电机的运行结果反馈给主控制箱，主控制箱接收驱动装置反馈的结果数据，存储、分析数据，将分析的数据传输数据给电机驱动装置以调节电机的运行。直到电机驱动装置反馈的信息与主控制箱接收到计算机发送的数据相对应时，也即运动到达指定位置，电机停止运动。本实施例中，电机驱动装置集成了驱动器和编码器的功能，该电机驱动装置既可用来根据控制信号来控制电机的运行，也可用来反馈电机的运行的结果数据。本实施例的技术方案XY精密控制平台采用了反馈调节装置来反馈该XY精密控制平台的运动情况，从而大大提高了 XY精密控制平台的精度，同时，采用集成化的驱动装置， 既包括驱动器的功能也包括编码器的功能，使得XY精密控制平台的结构更简单。针对计算机本发明提出一实施例，计算机包括(I)输入装置，用于接收输入的数据；该输入装置为用于操作设备运行的一种指令和数据输入装置。对其无具体限制。 优选为，键盘、鼠标、触摸输入屏及其相应的程序等组成。(2)传输装置，用于传输数据。对该传输装置无具体限制。优选的，该传输装置可通过RS232或USB接口进行数据传输。本实施例中，外界通过输入装置输入数据，输入装置接收到输入的数据后，将数据发给传输装置，传输装置将数据传输给与其相连的装置，本发明中，与传输装置相连的设备为主控制箱，传输装置与主控制箱根据传输协议来传输数据。图9示出了本发明一实施例中，XY精密控制平台的控制系统的结构示意图，所示控制系统包括(I)总控模块100，用于处理主控制箱接收的数据，并产生控制信号，以控制电机运行；所述住控制箱用于根据接收、存储、分析和传输XY平台运行的数据。对其无具体限制，优选为可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller, PLC)或芯片或单片机及外围电路组成。(2)电机闭环控制模块200，用于将编码器监测的电机运动情况的结果数据反馈给总控模块100 ；所述编码器用于监测电机的运行情况，并电机的运行结果数据反馈给主控制箱。 该编码器是将信号(如比特流)或数据进行编制、转换为可用以通讯、传输和存储的信号形式的设备，对其无具体限制。优选为高精度编码器，其至少可达16000个脉冲/圈，直线行程分辨率为O. 15 μ m。(3)光栅尺闭环控制模块300，用于将光栅尺监测的XY平台运动情况的结果数据反馈给总控模块100。所述光栅尺用于监测XY平台3的运行情况，并将XY平台3的运行结果数据反馈给主控制箱2。对该光栅尺无具体限制，市场上销售的光栅尺都适用于本发明中。本实施例中，总控模块100接收到数据后，对数据进行解析处理，产生X轴运动平台和Y轴平台运动的方向、距离等控制信号(比如脉冲信号、电平信号等)，以控制电机的运动，电机闭环控制模块200通过编码器对电机的运动情况进行监测，将电机的运动情况发给总控模块，光栅尺闭环控制模块300通过光栅尺定位XY平台的运动情况，将XY平台的运动情况反馈给总控模块，总控模块100根据电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块反馈情况进行处理，产生新的控制信号控制电机运动；然后，电机闭环控制模块200和光栅尺闭环控制模块300继续对电机和XY平台的运动情况进行监控；最终通过总控模块100、电机闭环控制模块200和光栅尺闭环控制模块300的相互作用，实现XY平台的精确定位。本实施例中，XY精密控制平台的控制系统采用双闭环反馈调节机制，克服了传统的开环控制无法对系统进行监测和调节以及单闭环反馈调节由于XY平台运动产生的误差的问题，使得控制系统控制的精度更高。本技术方案XY平台运行更可靠，控制精度更高。图10示出了本发明另一实施例中XY精密控制平台的控制系统的结构示意图，所示控制系统包括(I)计算机控制模块000，用于接收输入的数据，并传输接收的数据(2)总控模块100，用于处理主控制箱接收的数据，并产生控制信号，以控制电机运行；(3)电机闭环控制模块200，用于将编码器监测的电机运动情况的结果数据反馈给总控模块100 ；(4)光栅尺闭环控制模块300，用于将光栅尺监测的XY平台运动情况的结果数据反馈给总控模块100。本实施例中，计算机控制模块000在接收到外界输入的数据后，根据数据传输协议将数据传输给总控模块100，总控模块100接收到数据后，对数据进行解析处理，产生X轴运动平台和Y轴平台运动的方向、距离等控制信号以控制电机的运动，电机带动X轴运动平台和Y轴运动平台运动，此时，电机闭环控制模块200通过编码器对电机的运动情况进行定位，将电机的运动情况发给总控模块，光栅尺闭环控制模块300通过光栅尺定位XY平台的运动情况，将XY平台的运动情况反馈给总控模块100，总控模块100根据电机闭环控制模块 200和光栅尺闭环控制模块300反馈的情况进行处理，产生新的控制信号以控制电机运行； 然后，电机闭环控制模块200与光栅尺闭环控制模块300继续对电机和XY平台的运动情况进行监控；最终通过总控模块100、电机闭环控制模块200和光栅尺闭环控制模块300的相互作用，实现XY平台的精确定位。本实施例，通过计算机控制模块实现了人机交互控制XY精密控制平台，该控制系统采用双闭环反馈调节机制，克服了传统的开环控制无法对系统监测调节以及单闭环反馈调节由于XY平台运动产生的误差的问题，使得控制系统控制的精度更高。本实施例的技术方案使得XY平台运行精度更高。本控制系统还包括一电机运动控制模块，用于根据控制信号控制电机的运动；针对电机运动控制模块，本发明提出一实施例，电机运动控制模块，利用驱动器驱动电机运动。其中，驱动器根据脉冲信号和电平信号驱动、控制电机运行，电机带动XY平台运行。其中，所述的脉冲信号和电平信号是主控制箱2传输的控制信号。电机运动控制模块可采用任意的信号处理方式来控制电机。本实施例中，信号处理方式优选为DSP(digital signal processing,数字信号处理)，使得对电机的控制达到光滑、无波动的控制，使得控制系统更稳定，从而使得控制的精度更高。针对电机闭环控制模块，本发明提出一实施例，电机闭环控制模块，用于将电机的运动情况通过编码器反馈给总控模块。然后，总控模块再对反馈的电机的运动情况进行处理。该编码器不限，包括但不限于增量式编码器和绝对式编码器。该编码器可以实时定位电机的运动情况，并将电机的运动情况反馈给总控模块，总控模块控制控制电机，使得控制系统每隔10 50 μ s刷新一次电流，从而使得系统的控制精度闻。针对电机闭环控制模块，本发明提出另一实施例，电机闭环控制模块，用于将电机的运动情况通过电机驱动装置反馈给总控模块。该电机驱动装置可对电机的运动情况实时监控，并将电机的运动情况反馈给总控模块。然后，总控模块再对反馈的电机的运动情况进行处理。其中，该电机驱动装置包括编码器和驱动器，所述驱动器，用于根据主控制箱传输来的数据，驱动电机的运行；所述编码器，用于监测反馈电机的运动结果，并将电机的运行结果数据反馈给主控制箱。本实施例的电机闭环控制模块结构结构简单，使得控制系统模块化程度更高。针对电机闭环控制模块，本发明提出另一实施例，该电机闭环控制模块包括电机监控模块和电机反馈模块。其中(I)电机监控模块，用于通过编码器监测电机的运动情况。所述编码器，用于监测电机的运行情况，并电机的运行结果数据反馈给主控制箱。 所述编码器将信号(如比特流)或数据进行编制、转换为可用以通讯、传输和存储的信号形式的设备，对其无具体限制。优选为高精度编码器，其至少可达16000个脉冲/圈，直线行程分辨率为O. 15 μ m。(2)电机反馈模块，用于将电机的运动情况的结果数据反馈给总控模块。所述电机为市场上销售的任意的电机。本实施例中，电机的运动情况通过监控和反馈，准确的将电机的运动情况反馈给总控模块，以便总控模块根据反馈情况调节XY平台的位置。针对光栅尺闭环控制模块，本发明提出一实施例，该光栅尺闭环控制模块，包括XY 平台监控模块和XY平台反馈模块；(I)XY平台监控模块，用于通过光栅尺监测XY平台的运动情况。(2)XY平台反馈模块，用于将XY平台的运动情况的结果数据反馈给总控模块。本实施例中，XY平台的运行通过XY平台监控模块进行监测，并通过XY平台反馈模块反馈给总控模块，总控模块根据反馈结果调节电机的运行，从而达到精确控制的目的。针对计算机控制模块，本发明提出一实施例，如图11所示，计算机控制模块包括(I)数据输入模块010，用于接收输入的数据。(2)数据传输模块020，用于传输接收的数据。本实施例中，数据输入模块010接收到输入的数据后，由数据传输模块020根据串口协议将数据传输给总控模块。该数据输入模块010接收的数据包括但不限于XY平台移动的距离和方向，XY平台包括X轴运动平台和Y轴运动平台。本实施例的技术方案中，计算机控制模块结构简单,能够对输入的数据迅速响应， 传输到总控模块中，提高了传输效率。针对计算机控制模块，本发明提出另一实施例，如图12所示，计算机控制模块包括(I)数据输入模块010，用于接收输入的数据。
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(2)数据存储模块030，用于存储接收到的数据。(3)连接检测模块040，用于检测计算机控制模块与主控模块的连接是否正常。(4)数据传输模块020，用于传输存储的数据。本实施例中，数据输入模块010接收到输入的数据后，将数据存储在数据存储模块030 ;连接检测模块040检测计算机控制模块与主控模块连接是否正常，如果连接正常， 数据传输模块020将数据传输给主控模块；如果连接不正常，给出连接不正常的提示，并且连接检测模块040实时检测，直到连接正常后，数据传输模块020再将数据传输给主控模块。本实施例中，数据传输模块020可以采用串口通信，也可采用并口通信；可使用单工传输数据，也可使用全双工传输数据。当需要信息反馈给计算机控制模块时，采用全双工传输数据。本实施例中的技术方案能够检测设备的连接状况，给出连接状态提示，当连接不正常时，实时检测，使得故障检测自动化，连接正常后立即传输数据，不会出现数据丢失，保证了数据传输的可靠性，也即为XY平台运动控制精度提供了保障。针对总控模块，本发明提出一实施例，所示总控模块包括(I)数据处理模块，用于接收数据，并对数据进行解析，得X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离及方向。(2)信号转换模块，用于将距离转为脉冲信号，方向转为电平信号。(3)信号传输模块，用于传输信号转换模块中的控制信号。本实施例中，数据处理模块与信号转换模块连接，信号转换模块与信号传输模块连接。数据处理模块接收到数据后，对数据进行解析，得到X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离及方向，然后由信号转换模块将X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离转为脉冲信号，方向转为电平信号，信号传输模块将这些信号发给电机运动控制模块。其中，X轴运动平台和Y轴运动平台的运动方向由电平信号的高低来决定；x轴运动平台和Y轴运动平台的运动速度和运动距离等由脉冲信号决定。本实施例给出一具体的实施方式如果计算机控制界面上接受到输入的1000 μ m的距离，将该距离传输给总控模块，总控模块对该距离进行解析，得到8000个脉冲信号，信号传输模块通过I/O接口将该脉冲信号传输给电机运动控制模块。图13示出了本发明一实施例中XY精密控制平台的控制方法的流程图，该控制方法包括SI.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机运行。S2.电机闭环控制模块监测电机的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块。S3.光栅尺闭环控制模块监控XY平台的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块。S4.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指
定位置。到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤SI ;其中步骤S2和S3无先后顺序。本实施例中的步骤SI中，电机在总控模块产生的控制信号下运动，电机运动时带动XY平台一起运动。此时，XY平台实现了在X方向和Y方向移动。其中，总控模块接收的数据包括电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块监测的结果数据。本实施例基于图I到图6所示的实施例。本实施例的XY精密控制平台的控制方法，采用双闭环反馈对电机的运行和XY平台进行反馈调节，当运动出现偏差时，经过双闭环反馈，可弥补运动出现的偏差，本技术方案使得XY精密控制平台的控制更加精确。针对本XY精密控制平台的控制方法，发明提出另一实施例中，该控制方法包括S0.计算机控制模块接收数据，并将数据传输给总控模块。SI.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机的运行。S2.电机闭环控制模块监测电机的运动情况，并将监测结果发给总控模块；S3.光栅尺闭环控制模块监控XY平台的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块。S4.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指
定位置。到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤SI，其中， 步骤S2和S3无先后顺序。本实施例基于图I到图6所示的实施例。本实施例中，总控模块接收的数据包括电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块监测的结果数据，和计算机控制模块传输的数据。本实施例的XY精密控制平台的控制方法，能够实现人机控制模式。同时采用双闭环反馈对电机的运行和XY平台进行反馈调节， 当运动出现偏差时，经过双闭环反馈，可弥补运动出现的偏差，本技术方案使得XY精密控制平台的控制更加精确。图14示出了本发明另一实施例中XY精密控制平台的控制方法的流程图，该控制方法包括S0.计算机控制模块接收数据，并将数据传输给总控模块；SI.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机的运行。S2’.电机运动控制模块根据控制信号控制电机运动。S2.电机闭环控制模块监测电机的运动情况，并将监测结果发给总控模块。S3.光栅尺闭环控制模块监控XY平台的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块。S4.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指
定位置。到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤SI ;其中， 步骤S2和步骤S3无先后顺序。本实施例基于图I到图6所示的实施例。本实施例中，总控模块接收的数据包括电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块监测的结果数据，和计算机控制模块传输的数据。本实施例的XY精密控制平台的控制方法，能够实现人机控制模式。电机运动模块控制电机的运动，同时采用双闭环反馈对电机的运行和XY平台进行反馈调节，当运动出现偏差时，经过双闭环反馈，可弥补运动出现的偏差，本技术方案使得XY精密控制平台的控制更加精确。针对总控模块接收到反馈的运动情况后的处理方式，本发明提出一实施例，总控模块收到电机闭环控制模块反馈的电机的运动情况和光栅尺闭环控制模块反馈的XY平台的运动情况后，取两者运动的均值，如果均值与输入的位移相等时，则总控模块发出电机停止运行的控制信号；如果均值与输入的位移不相等时，则总控模块根据上述的均值，发出新控制信号，以控制电机继续运行；该控制信号包括但不限于电机继续运行的位移的距离和位移的方向。本实施例的技术方案采用两个反馈值的均值作为总控模块反馈调节的比较值，根据均值原理可知，该均值可代表整体的运行情况，从而避免了单个反馈调节出现较大误差的可能性，有效的提高了整个XY精密控制平台的控制精度。针对总控模块接收到反馈的运动情况后的处理方式，本发明提出另一实施例，总控模块收到电机闭环控制模块反馈的电机的运动情况和光栅尺闭环控制模块反馈的XY平台的运动情况后，取两者运动位移较大的值作为比较值，如果比较值与输入的位移相等时， 则总控模块发出电机停止运行的控制信号；如果比较值与输入的位移不相等时，则总控模块根据上述的比较值，发出新的控制信号，以控制电机继续运行；该控制信号包括但不限于电机继续运行的位移的距离和位移的方向。本实施例的技术方案采用两个反馈值中较大的一个作为总控模块反馈调节的比较值，防止某个反馈模块出现问题而影响整体的反馈调节，有效的提高了整个XY精密控制平台的控制精度。针对步骤S0，本发明提出一实施例。步骤SO包括步骤SOI.数据输入模块接收输入的数据。步骤S02.数据传输模块将数据通过串行通信接口传输给总控模块。本实施例中，计算机控制模块包括数据输入模块和数据传输模块。外界通过外围设备输入数据，计算机控制模块接收数据，并将数据通过串口通信接口传输给总控模块。外围设备包括但不限于鼠标、键盘。该数据传输可以采用单工数据传输模式，也可采用全双工数据传输模式。当需要总控模块将XY平台的运动情况反馈给计算机时，可采用全双工数据传输模式；当只需要计算机控制模块将数据传输给总控模块时，可采用单工数据传输模式。针对步骤S0，本发明提出另一实施例。步骤SO包括步骤SOI’ .计算机控制模块接收输入的数据。步骤S02’ .计算机控制模块存储接收到的数据。步骤S03’ .计算机控制模块检测计算机控制模块与主控模块的连接是否正常；如果连接不正常，则提示连接异常；如果连接正常，则进入步骤S04’。步骤S04’ .计算机控制模块用于传输存储的数据。本实施例中，外界通过外围设备输入数据，计算机控制模块接收数据，将数据存储在计算机中，此时计算机控制模块检测计算机控制模块与主控模块的连接是否正常；如果连接不正常，则提示连接异常，等待连接正常；如果连接正常，计算机控制模块用于传输存储的数据。外围设备包括但不限于鼠标、键盘。本实施例的技术方案通过将数据先存储，然后检测连接是否正常，可以避免连接不正常，而导致数据丢失，从而导致总控模块处理的误差。同时，可以实现断电后数据的保持，当一切恢复正常时，数据重新传输给总控模块，提高了 XY精密控制平台控制的可靠性。针对上述步骤SI，本发明提出一实施例，所述步骤SI包括步骤Sll.总控模块接收数据。
步骤S12.总控模块解析数据，得到XY平台的移动的距离和方向。步骤S13.总控模块根据XY平台的移动的距离和方向，产生控制信号，以控制电机运行。步骤S14.总控模块发送该控制信号给驱动器。本实施例中，总控模块接收的数据包括电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块反馈的结果数据，和计算机控制模块传输的数据。总控模块将控制信号发送给驱动器，驱动器驱动电机运行，电机带动XY平台运动。总控模块接收的数据可以是电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块反馈的运动情况的数据，也可以是计算机控制模块发来的数据。总控模块接到数据后，开始对数据分析解析，得到XY平台运动的移动的距离和方向，然后将距离和方向转换成控制信号，最后将这些控制信号发给驱动器以控制电机的运动。针对步骤SI本发明提出另一实施例，所述步骤SI包括步骤SlT .总控模块接收数据。步骤S12’ .总控模块解析数据，得到X轴运动平台的位移的距离和方向与Y轴运动平台的位移的距离和方向。步骤S13’ .总控模块根据移动的距离和方向，产生控制信号，以控制电机运行。步骤S14’.总控模块的控制信号分别传递给X轴运动平台中驱动电机运动的驱动器和Y轴运动平台中驱动电机运动的驱动器。本实施例中，总控模块接收的数据包括计算机控制模块传输的数据和电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块反馈的结果数据。总控模块接收到计算机控制模块传输来的新的数据后，覆盖原有的旧数据，存储新的数据，对数据进行分析解析，得到X轴运动平台的位移的距离和方向与Y轴运动平台的位移的距离和方向，然后，根据移动的距离和方向， 产生控制信号，并将控制信号分别传递给X轴运动平台的驱动器和Y轴运动平台的驱动器， 而后电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块分别将监测的结果数据反馈给总控模块。本实施例中，距离的控制信号转换为脉冲的个数，方向的控制信号转换为电平的高低。本实施例中，当主控制箱中存储有计算机控制模块发送的数据时，则在执行步骤 sir时，总控模块接收计算机控制模块传输的新数据，并覆盖计算机控制模块在先传输的旧数据，存储新数据。本技术方案使得XY精密控制平台能够自动清理数据，同时，具备记忆的功能，也即断电或故障时，数据不会丢失，当控制平台恢复正常时，继续执行断电或故障前的操作。另外，总控模块对X轴运动平台和Y轴运动平台分别独立进行控制，根据反馈的信息分别独立进行调节，使得两个平台的运行互不干扰，提高了模块的独立性，从而也可避免模块内信号传递的干扰而产生的误差，进而提高了 XY精密控制平台的控制精度。针对步骤S2’本发明提出一实施例，步骤S2’.电机运动控制模块根据控制信号控制电机运动。当电机运动控制模块接收到控制信号后，驱动器便驱动电机按照控制信号来运动。当总控模块解析得XY平台移动的距离为零时，产生的控制信号为电机停止运动的控制信号。当总控模块解析得到XY平台移动的距离为非零时，产生的控制信号通过驱动器控制电机在二维空间的X方向和Y方向运动。电机运动时，带动XY平台运动。本实施例中,驱动器控制电机优选为采用DSP (Digital Signal Processing,数字信号处理)信号处理的方式控制电机，使得控制信号和电机的运动几乎同步，从而提高了 XY精密控制平台控制的效率，也即完成相同的工作量，使用的时间更短。针对步骤S4，本发明提出一实施例，总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指定位置；到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号， 结束；否则，返回步骤SI。本实施例中，总控模块接收到电机的运动情况m和XY平台的运动情况η的数据后，对接收的数据做加权，分析得到的位置为Ζ，其中Z = kl*m+k2*n，kl和 k2均为常数。本实施例中，根据电机和丝杆的运行精度及其编码器和光栅尺的精度来设定不同的kl和k2，对反馈的位置数据做加权，从而能够保证整体控制上的精确性。针对步骤S4，本发明提出另一实施例，总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指定位置；到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤SI。本实施例中，总控模块接收到电机的运动情况m和XY平台的运动情况η的数据后，将接收的数据中最大的作为总控模块反馈调节的位置，也即XY平台的位置，例如电机的运动情况ml和XY平台的运动情况nl，总控模块分析得到的XY平台的位置Zl为
权利要求
1. 一种XY精密控制平台，包括XY平台和主控制箱，其特征在于，所述XY平台包括光栅尺和编码器；所述光栅尺，用于监测XY平台的运行情况，并将XY平台的运行结果数据反馈给主控制所述编码器，用于监测电机的运行情况，并将电机的运行结果数据反馈给主控制箱； 所述主控制箱，用于接收、存储、分析和传输XY平台运行的数据。
2.根据权利要求I所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述XY平台还包括x轴运动平台、Y轴运动平台；所述X轴运动平台，用于提供XY平台在水平方向上运动的动力；所述Y轴运动平台，用于提供XY平台在垂直方向上运动的动力；所述Y轴运动平台位于X轴运动平台上。
3.根据权利要求I或2所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述控制平台还包括驱动器；所述驱动器，用于根据主控制箱传输的数据，驱动电机的运行；所述电机带动XY平台在二维空间的X方向和Y方向运行。
4.根据权利要求2所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述X轴运动平台和Y轴运动平台均包括联轴器和丝杆；所述联轴器，用于连接电机与丝杆；所述丝杆，用于将电机的回转运动转化为直线运动。
5.根据权利要求I或2或4所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述控制平台还包括计算机，与一个或多个主控制箱连接，用于提供数据输入的入口，并传输接收的数据。
6.一种基于权利要求I所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括总控模块、电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块；所述总控模块，用于处理主控制箱接收的数据，并产生控制信号，以控制电机运行；所述电机闭环控制模块，用于将编码器监测的电机运动情况的结果数据反馈给总控模块；所述光栅尺闭环控制模块，用于将光栅尺监测的XY平台运动情况的结果数据反馈给总控模块。
7.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述电机闭环控制模块，包括电机监控模块和电机反馈模块；所述电机监控模块，用于通过编码器监测电机的运动情况；所述电机反馈模块，用于将电机的运动情况的结果数据反馈给总控模块。
8.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述光栅尺闭环控制模块，包括XY平台监控模块和XY平台反馈模块；所述XY平台监控模块，用于通过光栅尺监测XY平台的运动情况；所述XY平台反馈模块，用于将XY平台的运动情况的结果数据反馈给总控模块。
9.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述总控模块包括数据处理模块、信号转换模块和信号传输模块；所述数据处理模块，用于接收数据，并对数据进行解析，得X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离及方向；所述信号转换模块，用于将移动的距离转为脉冲控制信号，移动的方向转为电平控制信号;所述信号传输模块，用于传输信号转换模块中的控制信号。
10.根据权利要求6至9任一项所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括计算机控制模块，该模块用于接收输入的数据，并将接收的数据传输给总控丰吴块。
11.根据权利要求10所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述计算机控制模块包括数据输入模块和数据传输模块；所述数据输入模块，用于接收输入的数据；所述数据传输模块，用于将数据传输给总控模块。
12.一种基于权利要求6所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述方法包括A.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机运动；B.电机闭环控制模块监测电机的运动情况，并将监测结果数据反馈给总控模块；C.光栅尺闭环控制模块监测XY平台的运动情况，并将监测结果数据反馈总控模块；D.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指定位置；到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤A ;所述B和C无先后顺序。
13.根据权利要求12所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述步骤A包括Al.总控模块接收数据；A2.总控模块解析数据，得到XY平台的移动的距离和方向；A3.总控模块根据XY平台的移动的距离和方向，产生控制信号，以控制电机运行；A4.总控模块发送该控制信号给驱动器。
14.根据权利要求12所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述的步骤A 之后还包括B’ .电机运动控制模块根据总控模块控制信号控制电机运动。
15.根据权利要求14所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述电机运动控制模块通过DSP信号处理的方式控制电机。
16.根据权利要求12所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述步骤D中， 总控模块对电机的运动情况和XY平台的运动情况做加权，判断XY平台是否到达指定位置。
17.根据权利要求12至16任一项所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述步骤A之前还包括A’ .计算机控制模块接收数据，并将数据传输给总控模块。
18.根据权利要求17所述的XY精密控制平台的控制方法，其特征在于，所述步骤A’包括A’ I.计算机控制模块接收输入的数据；A’ 2.计算机控制模块将数据传输给总控模块。
全文摘要
本发明涉及机械控制领域，提供了一种XY精密控制平台、控制系统及控制方法。所述控制平台包括XY平台和主控制箱。所述控制系统包括总控模块、电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块。所述控制方法包括A.总控模块接收数据，并对数据进行处理，产生控制信号，以控制电机运动；B.电机闭环控制模块监测反馈电机的运动情况；C.光栅尺闭环控制模块监测反馈XY平台的运动情况；D.总控模块根据电机的运动情况和XY平台的运动情况，判断XY平台是否到达指定位置；到达，则总控模块产生电机停止运动的控制信号，结束；否则，返回步骤A；所述B和C无先后顺序。本发明的技术方案使得XY精密控制平台的运行精度高。
文档编号G05B19/19GK102591254SQ20121007116
公开日2012年7月18日 申请日期2012年3月16日 优先权日2012年3月16日
发明者盛司潼 申请人:盛司潼