专利名称：保护气体自动控制装置的制作方法
技术领域：
保护气体自动控制装置
技术领域：
本实用新型涉及半导体器件测试领域，特别是涉及一种保护气体自动控制装置。背景技术：
在集成电路圆片测试(Wafer Chip Prober,简称CP)过程中,某些特殊的产品对测试环境有要求，需要用氮气保护。传统的做法是将氮气通过调节阀调节后，通过蛇形管引至测试针卡(Prober Card)上方接近探针的位置，再通过喷嘴喷出，使被测产品处于氮气氛围之下。图I是一种传统的氮气控制装置的结构示意图。但是这种传统的方案，氮气一直处于开通的状态，在测试换片过程中及测试暂停时，就会造成氮气浪费。·
实用新型内容基于此，有必要提供一种能够减少保护气体的浪费的保护气体自动控制装置。一种保护气体自动控制装置，包括通过气管顺序连接形成气路的电磁阀、调节阀以及喷嘴，还包括电连接所述电磁阀的控制模块；所述控制模块用于电连接探针台以检测探针台的工作状态，根据所述工作状态控制电磁阀的打开与关闭。优选的,还包括设于所述气路上的流量计。优选的，所述流量计设于所述调节阀与喷嘴之间。优选的，所述流量计与喷嘴之间的一段气管为蛇形管。优选的，所述控制模块电连接所述流量计和调节阀，所述控制模块获取流量计采集到的实时流量信息，并根据所述实时流量信息对调节阀进行控制，调节气体流量。优选的，所述控制模块包括嵌入式控制器、状态传感器以及流量传感器；所述状态传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述工作状态转化为嵌入式控制器能够识别的信号；所述流量传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述实时流量信息转化为嵌入式控制器能够识别的信号。优选的，所述控制模块包括显示装置。上述气体自动控制装置，控制模块根据探针台的工作状态，自动控制电磁阀的打开与关闭。即只在探针台处于测试状态时开通保护气体，避免了保护气体的浪费，能够降低生产成本、节能环保。
图I是一种传统的氮气控制装置的结构示意图；图2是一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图；图3是另一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图；图4是一实施例中控制模块的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。图2是一实施例中保护气体自动控制装置的结构示意图，保护气体自动控制装置100包括通过气管顺序连接形成气路的 电磁阀110、调节阀120、喷嘴130，以及电连接电磁阀110的控制模块140。控制模块140用于电连接探针台200以检测探针台200的工作状态，根据工作状态控制电磁阀120的打开与关闭。保护气体自动控制装置100工作时，保护气体(在优选的实施例中为氮气)通过供气口通入，经由气管先后流经电磁阀110、调节阀120、喷嘴130，最后由喷嘴130喷向被测产品，为被测产品提供保护气体氛围。控制模块140在探针台200处于待机或故障时，自动关闭电磁阀110，停止保护气体的供给。即只在探针台200处于测试状态时开通保护气体，避免了保护气体的浪费，能够降低生产成本、节能环保。在优选的实施例中,还可以在气路上安装一个流量计150,如图3所示。流量计150可以设于调节阀120与喷嘴130之间，即通过气管连接调节阀120与喷嘴130。在优选的实施例中，流量计150与喷嘴130之间的一段气管采用蛇形管。在其它实施例中，流量计150也可以设于电磁阀110与调节阀120之间。通过设置流量计150，就可以实时掌握气路中保护气体的流量，以便对流量进行精确的控制，既保证被测产品能获得足够浓度的保护气体氛围，又不至于造成气体浪费。在图3所示实施例中，控制模块140电连接流量计150和调节阀120，控制模块140获取流量计150采集到的实时流量信息，并根据实时流量信息对调节阀120进行控制，调节气路中保护气体的气体流量。在保护气体的实时流量大于预设的流量上限阈值时关小调节阀120，在保护气体的实时流量小于预设的流量下限阈值时开大调节阀120，实现对气路中保护气体流量的自动检测和控制。图4是一实施例中控制模块140的结构示意图，控制模块140包括嵌入式控制器142、状态传感器144以及流量传感器146。由于嵌入式控制器142可能无法直接识别探针台200的工作状态信号和流量计150的实时流量信息，故设置连接嵌入式控制器142的状态传感器144，用于将工作状态转化为嵌入式控制器142能够识别的信号；流量传感器146连接嵌入式控制器142，用于将实时流量信息转化为嵌入式控制器142能够识别的信号。控制模块140还包括用于给控制模块140提供工作电源的电源供应模块149。在图4所示的实施例中，控制模块140还包括连接嵌入式控制器142的显示装置148，可以用于显示当前气路中保护气体的气体流量，流量上、下限阈值，电磁阀状态等信肩、O以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种保护气体自动控制装置，包括通过气管顺序连接形成气路的电磁阀、调节阀以及喷嘴，其特征在于，还包括电连接所述电磁阀的控制模块； 所述控制模块用于电连接探针台以检测探针台的工作状态，根据所述工作状态控制电磁阀的打开与关闭。
2.根据权利要求I所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，还包括设于所述气路上的流量计。
3.根据权利要求2所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，所述流量计设于所述调节阀与喷嘴之间。
4.根据权利要求3所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，所述流量计与喷嘴之间的一段气管为蛇形管。
5.根据权利要求2所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，所述控制模块电连接所述流量计和调节阀，所述控制模块获取流量计采集到的实时流量信息，并根据所述实时流量信息对调节阀进行控制，调节气体流量。
6.根据权利要求5所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，所述控制模块包括嵌入式控制器、状态传感器以及流量传感器；所述状态传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述工作状态转化为嵌入式控制器能够识别的信号；所述流量传感器连接所述嵌入式控制器，用于将所述实时流量信息转化为嵌入式控制器能够识别的信号。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的保护气体自动控制装置，其特征在于，所述控制模块包括显示装置。
专利摘要本实用新型涉及一种保护气体自动控制装置，包括通过气管顺序连接形成气路的电磁阀、调节阀以及喷嘴，还包括电连接所述电磁阀的控制模块；所述控制模块用于电连接探针台以检测探针台的工作状态，根据所述工作状态控制电磁阀的打开与关闭。本实用新型的控制模块在探针台处于待机或故障时，自动关闭电磁阀，停止保护气体的供给。即只在探针台处于测试状态时开通保护气体，避免了保护气体的浪费，能够降低生产成本、节能环保。
文档编号G05D7/06GK202494934SQ20122004045
公开日2012年10月17日 申请日期2012年2月8日 优先权日2012年2月8日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司