基板承载装置及基板传送设备的制作方法

本实用新型涉及显示器件制造领域，特别是指一种基板承载装置及基板传送设备。

背景技术：

在显示基板制造过程中，需要通过基板承载装置将显示基板运送到各个工序的对应设备端口处，然后通过机械手从基板承载装置中取出显示基板送至设备，或者从设备取出显示基板送回基板承载装置中。在生产过程中，要经过很多设备的传送、作业，经过很多次机械手的取送以及物流过程的搬运。因此，显示基板在这些过程中很容易发生破损，比如，当在设备中发生破损未被发现时，破损的显示基板就会直接进入到下一工序，导致设备故障或者在搬运过程中进一步发生破损影响到其他显示基板；机械手在将显示基板送回基板承载装置的过程中，有时也会由于位置偏差导致显示基板直接撞到基板承载装置上，从而导致显示基板发生破损但未被发现；另外，由于显示基板存放在基板承载装置中，在搬运过程，由于搬运车搬运速度快，会有一定的震动，加上受气流、风速等影响，也容易发生显示基板破碎。同时，在生产过程中，还会由于设备故障或者人为失误，导致显示基板所进行的工艺异常，造成损失。如：在进行沉积工艺时，部分显示基板没有进行沉积工艺，部分显示基板却重复进行了两遍沉积工艺，直到最后出厂检测时才能发现问题，但已造成严重损失。

综上所述，当在基板承载装置中发生显示基板破损或者显示基板工艺异常时，很难发现显示基板出现异常，这样当显示基板出现异常时，既会影响生产设备又影响其他显示基板，并且在分析显示基板出现异常的原因时，由于没有监控数据，很难发现问题所在，导致无法及时采取措施解决。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基板承载装置及基板传送设备，能够在基板传送过程中监控显示基板是否出现异常。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种基板承载装置，包括：

承载框架；

位于所述承载框架上、层叠设置的至少两个基板承载单元；

设置在所述基板承载单元上的检测单元，用于检测所述基板承载单元上所承载的显示基板的重量数据；

处理单元，用于获取所述重量数据并根据所述重量数据判断承载在所述基板承载单元上的显示基板是否出现异常。

进一步地，所述基板承载单元包括：

至少两组转轴，每组转轴包括分别固定在所述承载框架的相对两侧上的两个转轴，所述两个转轴相互平行且位于同一水平面上；

与所述转轴一一对应的支撑杆，所述支撑杆与对应的转轴可活动连接且能够以对应的转轴为旋转轴进行转动，所述支撑杆的延伸方向与所述转轴的延伸方向垂直，所述支撑杆包括用于支撑显示基板的第一端和与所述第一端相反的第二端，同一组转轴对应的两个支撑杆的第一端之间相距预设距离，同一基板承载单元的所有支撑杆组成一承载面；

与所述支撑杆的第二端固定连接的升降杆，在所述支撑杆以对应的转轴为旋转轴进行转动时能够带动所述升降杆沿所述承载框架侧面上的预设轨道升降。

进一步地，所述检测单元包括设置在所述支撑杆第二端的压力传感器。

进一步地，所述支撑杆的第一端的端面上设置有接地的导电图形。

进一步地，所述处理单元中存储有标准数据，所述处理单元具体用于将所述检测单元检测到的重量数据与所述标准数据进行比对，在所述检测单元检测到的重量数据不符合所述标准数据时，判断承载在所述基板承载单元上的显示基板出现异常；或

所述处理单元具体用于将检测到的至少两个显示基板的重量数据进行比对，根据比对结果判定出现异常的显示基板。

进一步地，还包括：

与所述检测单元连接的信号传输单元，用于将所述检测单元检测到的重量数据发送至所述处理单元。

进一步地，还包括：

显示单元，用于显示所述显示基板是否出现异常的信息；和/或

显示所述检测单元检测到的重量数据。

进一步地，还包括：

报警单元，用于在所述处理单元判断所述显示基板出现异常时，进行报警。

进一步地，还包括：

供电单元，用于为所述检测单元和所述处理单元进行供电。

进一步地，还包括：

充电单元，用于为所述供电单元进行充电。

本实用新型实施例还提供了一种基板传送设备，包括如上所述的基板承载装置。

本实用新型的实施例具有以下有益效果：

上述方案中，在基板承载单元上设置有检测单元，检测单元能够检测基板承载单元上所承载的显示基板的重量数据，根据检测到的重量数据，处理单元能够判断出承载在基板承载单元上的显示基板是否出现异常。这样，在基板传送过程中，能够及时发现显示基板是否出现异常，可以在工艺未进行或重复进行时在下一工序前提前进行报警，提示相关人员及时处理，避免造成损失；另外，还可以判断显示基板在基板承载装置内是否发生破损；再者还可以采集显示基板在传送过程中的相关数据，便于后续进行数据分析，有利于对显示基板生产过程进行管理。

附图说明

图1为现有基板承载装置的结构框图；

图2为现有基板承载装置承载显示基板的示意图；

图3为本实用新型实施例基板承载装置的结构框图；

图4为本实用新型实施例基板承载单元的结构示意图；

图5为本实用新型实施例基板承载单元承载显示基板的示意图；

图6为正常显示基板的示意图；

图7为破损显示基板的示意图；

图8A为未进行沉积工艺的显示基板的平面示意图；

图8B为未进行沉积工艺的显示基板的截面示意图；

图9A为正常进行沉积工艺的显示基板的平面示意图；

图9B为正常进行沉积工艺的显示基板的截面示意图；

图10A为重复进行沉积工艺的显示基板的平面示意图；

图10B为重复进行沉积工艺的显示基板的截面示意图；

图11为本实用新型实施例支撑杆的结构示意图。

附图标记

1 承载框架

2、7 支撑杆

3 显示基板

4 信号传输单元

5 供电单元

6 充电单元

8 转轴

9 升降杆

10 衬底基板

11 膜层图形

12 导线

13 金属片

具体实施方式

为使本实用新型的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

图1为现有基板承载装置的结构框图，图2为现有基板承载装置承载显示基板的示意图，如图1和图2所示，现有基板承载装置包括承载框架1和设置在承载框架1上的多个支撑杆2，多个支撑杆2相互配合支撑显示基板3。现有基板承载装置只具备承载显示基板的功能，并不能检测分析显示基板是否出现异常，在基板承载装置中发生显示基板破损或者显示基板工艺异常时，很难发现显示基板出现异常，这样当显示基板出现异常时，既会影响生产设备又影响其他显示基板，并且在分析显示基板出现异常的原因时，由于没有监控数据，很难发现问题所在，导致无法及时采取措施解决。

本实用新型的实施例针对上述问题，提供一种基板承载装置及基板传送设备，能够在基板传送过程中监控显示基板是否出现异常。

本实用新型实施例提供了一种基板承载装置，如图3所示，包括：

承载框架1；

位于所述承载框架1上、层叠设置的至少两个基板承载单元；

设置在所述基板承载单元上的检测单元(未图示)，用于检测所述基板承载单元上所承载的显示基板的重量数据；

处理单元(未图示)，用于获取所述重量数据并根据所述重量数据判断承载在所述基板承载单元上的显示基板是否出现异常。

本实施例中，在基板承载单元上设置有检测单元，检测单元能够检测基板承载单元上所承载的显示基板的重量数据，根据检测到的重量数据，处理单元能够判断出承载在基板承载单元上的显示基板是否出现异常。这样，在基板传送过程中，能够及时发现显示基板是否出现异常，可以在工艺未进行或重复进行时在下一工序前提前进行报警，提示相关人员及时处理，避免造成损失；另外，还可以判断显示基板在基板承载装置内是否发生破损；再者还可以采集显示基板在传送过程中的相关数据，便于后续进行数据分析，有利于对显示基板生产过程进行管理。

进一步地，如图4所示，所述基板承载单元包括：

至少两组转轴8，每组转轴8包括分别固定在所述承载框架的相对两侧上的两个转轴8，所述两个转轴8相互平行且位于同一水平面上；

与所述转轴8一一对应的支撑杆7，所述支撑杆7与对应的转轴8可活动连接且能够以对应的转轴8为旋转轴8进行转动，所述支撑杆7的延伸方向与所述转轴8的延伸方向垂直，所述支撑杆7包括用于支撑显示基板的第一端和与所述第一端相反的第二端，同一组转轴8对应的两个支撑杆7的第一端之间相距预设距离，同一基板承载单元的所有支撑杆7组成一承载面；

与所述支撑杆7的第二端固定连接的升降杆9，在所述支撑杆7以对应的转轴8为旋转轴8进行转动时能够带动所述升降杆9沿所述承载框架侧面上的预设轨道升降。

其中，支撑杆7可以设计为圆柱形，为增加显示基板与支撑杆7的接触面，可在支撑杆7与显示基板的接触位置设计一平面结构或者在支撑杆7的两侧增加蝶翼设计。

具体地，支撑杆7的材质使用绝缘材质，以防止在显示基板与支撑杆7摩擦时产生的静电对基板承载装置造成不利影响(如静电导致基板承载装置损坏)。同时，静电积累到一定程度时可能还会对显示基板上的电路有影响，因此，还可以在支撑杆7的第一端的端面即与显示基板接触的端面上设计接地的导电图形，如图11所示，具体地，可以在支撑杆7的第一端的端面上设计一带有尖角形状的金属片13，金属片13的尖角不超出支撑杆7的端面，避免与显示基板接触划伤显示基板，金属片13通过导线12与接地点相连，导线12可以放置在支撑杆7中并与转轴8接触，通过转轴8与承载框架1相连，实现接地释放静电，由于金属片13设计带有尖端，当静电积累到一定程度时，根据尖端放电原理可优先诱导静电进行释放。

进一步地，所述检测单元包括设置在所述支撑杆7第二端的压力传感器，当然，检测单元还可以包括设置在支撑杆7第二端的其他类型的检测元件，只要能够检测出支撑杆7第二端所受到的力度即可，根据检测支撑杆7第二端所受到的力度，检测单元可以计算出支撑杆7所承载的显示基板的重量数据。

具体地，检测原理如图4和图5所示，在未承载显示基板时，支撑杆7是呈水平状态，当承载显示基板时，由于显示基板具有一定的重量，在放置显示基板的过程中，又有一定的加速度，而承载面的中间是空的，如图5所示，显示基板便会有中间向下弯曲变形的形状，支撑杆7的受力点主要集中在第一端，此时，根据杠杆原理，支撑杆7的第二端可承受的力要远远大于显示基板一端的力，承载框架侧面的升降杆9便会上升，直到与承载显示基板第一端的力保持平衡。这样，最后调整的结果为支撑杆7呈向下倾斜的状态，这样还增加了支撑杆7与显示基板的接触面，增加了阻力，可以更好的防止显示基板下滑。进一步地地，在搬运显示基板过程中，也会发生显示基板破损。由于搬运运动会产生相应的震动，加上气流、风速等影响，显示基板会受到相应的影响，本实施例设计的支撑杆7是根据力或重量进行平衡调节的，具有一定的减震效果。

如图6和图7所示，支撑杆7的位置优选设置在显示基板的四角位置，另外在除显示基板的四角位置的其他位置也可以设置支撑杆7。由于支撑杆7位置是分布在显示基板的四周(包括四个角)，这样每个支撑杆7都会受到一定的力，如图7所示，当显示基板发生部分破损时，破损部分所对应的支撑杆7所承受的力便会减少，相应的压力传感器或其他类型检测元件所受的力也减少，由于杠杆原理对力的放大作用，处理单元根据检测单元检测到的重量数据可以很好的判断出异常。

由于显示基板的生产过程中，是通过沉积、镀膜、涂胶等方式在显示基板上附着材料、沉积膜层图形，因此显示基板的重量是不断发生变化的，因此可以通过检测显示基板的重量数据判断显示基板的工艺是否出现异常。比如，在沉积工艺中，在沉积前显示基板重量为a，经过沉积后显示基板的重量为b，b大于a，当由于设备故障或人为失误等原因导致某一显示基板未进行沉积，那么b可能等于a，如果某一基板重复进行沉积，那么其对应的b可能比其他显示基板的重量要重。那么通过处理单元的对比分析，就可以判断出异常。

图8A为未进行沉积工艺的显示基板的平面示意图，图8B为未进行沉积工艺的显示基板的截面示意图，图9A为正常进行沉积工艺的显示基板的平面示意图，图9B为正常进行沉积工艺的显示基板的截面示意图，图10A为重复进行沉积工艺的显示基板的平面示意图，图10B为重复进行沉积工艺的显示基板的截面示意图。可以看出，未进行沉积工艺的显示基板上未在衬底基板10上形成有膜层图形11，正常进行沉积工艺的显示基板在衬底基板上形成有一层膜层图形11，重复进行沉积工艺的显示基板在衬底基板上形成有两层膜层图形11，显而易见，重复进行沉积工艺的显示基板的重量大于正常进行沉积工艺的显示基板的重量，正常进行沉积工艺的显示基板的重量大于未进行沉积工艺的显示基板的重量，这样通过比对显示基板的重量，可以很容易判断出未进行沉积工艺的显示基板和重复进行沉积工艺的显示基板。

进一步地，如图3所示，基板承载装置还包括：

与所述检测单元连接的信号传输单元4，用于将所述检测单元检测到的重量数据发送至所述处理单元。

信号传输单元4可以通过有线方式与检测单元连接，可以通过有线或者无线的方式与处理单元连接，在信号传输单元4通过无线的方式与处理单元连接时，可以通过蓝牙或者移动通信网络将检测单元检测到的重量数据发送给处理单元，由处理单元接收、存储重量数据，并对重量数据进行分析。

当信号传输单元4通过无线的方式与处理单元连接时，处理单元的设置位置不局限于设置在承载框架上，还可以设置在其他位置。

进一步地，基板承载装置还可以包括：显示单元，用于显示所述显示基板是否出现异常的信息；和/或显示所述检测单元检测到的重量数据。显示单元可以采用液晶显示屏或者OLED显示屏，显示单元可以与处理单元和/或者检测单元连接，或者显示单元可以与信号传输单元和/或处理单元连接，显示单元可以设置在承载框架上，也可以设置在方便操作人员观看的位置，使得操作人员直观地获知每个显示基板的情况。

进一步地，基板承载装置还包括：

报警单元，用于在所述处理单元判断所述显示基板出现异常时，进行报警，这样可以提示操作人员进行相关处理，比如控制基板承载装置不被搬送到进行下一工艺的设备，并取出出现异常的显示基板，可以及时减少损失，保证产品良率。

进一步地，如图3所示，基板承载装置还包括：

供电单元5，用于为所述检测单元和所述处理单元进行供电，为检测单元和处理单元提供工作电压，保证检测单元和处理单元正常工作，进一步地，供电单元5还可以为显示单元、信号传输单元4、报警单元等提供工作电压，保证各单元正常工作。

进一步地，如图3所示，基板承载装置还包括：

充电单元6，用于为所述供电单元5进行充电。

具休地，充电单元6可以为充电接口，为了方便对供电单元5进行充电，可以将充电接口设计在承载框架1的底部，这样在地面设计有电源时，将基板承载装置放置在地面上，充电接口即可自动与电源连接，对供电单元5进行充电。

一具体实施例中，所述处理单元中存储有标准数据，标准数据即显示基板正常进行工艺时显示基板的重量数据，该标准数据可以是由相关人员根据实验数值或经验值输入到处理单元中。所述处理单元具体用于将所述检测单元检测到的重量数据与所述标准数据进行比对，在所述检测单元检测到的重量数据不符合所述标准数据时，可以判断承载在所述基板承载单元上的显示基板未正常进行工艺，即承载在所述基板承载单元上的显示基板出现异常。比如，当比对结果表明所述检测单元检测到的显示基板的重量小于显示基板正常进行工艺时显示基板的重量时，可以判断检测的显示基板出现破损，或检测的显示基板遗漏一些工艺。当比对结果表明所述检测单元检测到的显示基板的重量大于显示基板正常进行工艺时显示基板的重量时，可以判断检测的显示基板重复进行一些工艺。

另一具体实施例中，所述处理单元具体用于将检测到的至少两个显示基板的重量数据进行比对，根据比对结果判定出现异常的显示基板。比如在基板承载装置中承载有N张显示基板时，N为大于3的整数，比对结果表明其中N-1张显示基板的重量相同，只有一张显示基板的重量小于其他显示基板的重量，则可以判断该显示基板出现破损，或该显示基板遗漏一些工艺；如果比对结果表明其中N-1张显示基板的重量相同，只有一张显示基板的重量大于其他显示基板的重量，则可以判断该显示基板重复进行一些工艺；或者计算得到N张显示基板的平均重量，判断重量小于该平均重量的显示基板出现破损，或遗漏一些工艺，判断重量大于该平均重量的显示基板重复进行一些工艺。

另外，本实施例中由于是对显示基板进行实时检测，并且还可以很好的保存搬运过程的数据，或通过信号传输单元实时传输到相应的处理单元，因此可以实时收集分析搬运过程中显示基板的状态。当显示基板发生异常时，通过数据波动的变化，就能很好的判断出搬运路径中显示基板出现异常的具体位置及时间点，能够及时发现问题所在以便采取措施解决。

本实用新型实施例还提供了一种基板传送设备，包括如上所述的基板承载装置。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。