用于化学品输送系统的升温装置的制作方法

文档序号:15479000发布日期:2018-09-18 22:10阅读:461来源:国知局

本实用新型为涉及一种用于化学品输送系统的升温装置,尤指一种利用热气体来维持化学品在输送系统中的温度的升温装置。



背景技术:

在半导体制造、化工、制药或工程等产业中,往往需要通过复杂的管路来运送气体或液体的化学品,以满足工艺上的需求。

如中国台湾新型专利公告第M499512号的流体输送装置,其包含一第一分流件、一第二分流件以及多个隔离阀,该第一分流件具有相连通的一第一入口与多个第一出口,该第二分流件具有相连通的多个第二入口与一第二出口,且该第二分流件与该第一分流件位在同一参考轴在线,该些隔离阀以该参考轴线为中心分布在该参考轴线的外围,各该隔离阀具有一第一端口、一第二端口与一第三端口,该第一端口连通该第一分流件的一该第一出口,该第二端口连通该第二分流件的一该第二入口,各该隔离阀受操控而使该第一端口与该第三端口连通或使该第二端口与该第三端口连通。

然而,各种化学品所需的保存温度并不相同,温度太低可能导致化学品冻结或失去活性,尤其是在传输时,还容易因为化学品离开原本储藏的环境或受到外界较低温度的影响,而发生上述问题,导致工艺无法顺利进行,因此,如何防止因温度太低而导致化学品冻结、失去活性或变质,实为相关业者的重要课题。



技术实现要素:

本实用新型的目的,在于解决化学品输送系统中,因环境温度降低而导致化学品冻结、失去活性或变质的问题。

为达上述目的,本实用新型提供一种用于化学品输送系统的升温装置,该用于化学品输送系统的升温装置是设置在一柜体,该用于化学品输送系统的升温装置包含有一环境温度感测单元、一控制系统以及一加热系统,该控制系统电性连接该环境温度感测单元,该加热系统电性连接该控制系统,且该加热系统包括一将一气体由该柜体的外部导入该加热系统的第一输送管路、一将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体的气体加压模块、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度升高且形成一热气体的旋转管路以及一将该热气体输送至该柜体的内部的第二输送管路。

上述的用于化学品输送系统的升温装置,其中,该加热系统还包含有一连接在该气体加压模块与该第二输送管路的调压阀。

上述的用于化学品输送系统的升温装置,其中,该加热系统还包含有一连接在该调压阀与该第二输送管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的升温装置,其中,该加热系统还包含有一连接在该气体加压模块与该第二输送管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的升温装置,其中,该环境温度感测单元为一温度量测器。

综上所述,本实用新型通过该加热系统提供热气体,以确保该柜体的温度,使位在该柜体的化学品或在该柜体内传输的化学品可以保持其原有的特性,不致被柜体内的温度影响而有剧烈改变。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的立体结构示意图。

图2为本实用新型第一实施例的功能方块示意图。

图3为本实用新型第二实施例的立体结构示意图。

图4为本实用新型旋转管路的示意图。

具体实施方式

涉及本实用新型的详细说明及技术内容,现就配合图式说明如下:

请搭配参阅图1及图2所示,本实用新型为一种用于化学品输送系统的升温装置,该用于化学品输送系统的升温装置是设置在一柜体1内,该升温装置包含有一环境温度感测单元10、一控制系统20、以及一加热系统30,该控制系统20电性连接该环境温度感测单元10,该加热系统30电性连接该控制系统20,且该加热系统30包含有一第一输送管路31、一气体加压模块32、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度升高的旋转管路33以及一第二输送管路34,该第一输送管路31将一气体由该柜体1的外部导入,再通过该气体加压模块32将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体,进入该旋转管路33。在本实用新型的一实施例中,该旋转管路33为一涡流管,当该压缩气体以高速通过时,将基于涡动理论而被加热,且除了产生一热气体之外,将同时产生一冷气体。上述的涡动理论,请参考图4,是指将该压缩空气以音速由该压缩气体入口331注入该涡流管中,此时该压缩空气将在一涡流产生室330中,以每分钟至少一百万转的旋转转速产生涡流。此时,部份气流将被迫向内旋转,通过管中央的气孔,流向管中有一气阀332调控的较长部份(如实线指示)。而该气阀332则会将流向该气阀332的涡流,反转向其自身内部旋转(如虚线指示)。在内部流动的涡流(如虚线指示)就会将本身的热量,向在外部流动的涡流(如实线指示)释放,并通过有该气阀332的较长端,将热气体333散发出去。而释放热量后变冷的冷气体334,则会被引导至另一端散发出来。

而在本实施例中,该气体为一空气,而该环境温度感测单元10为一温度量测器,但不以此为限。

藉此,该环境温度感测单元10可以检测该柜体1内的温度是否符合所需,并通过该控制系统20控制该加热系统30的加热效率,举例来说,当该柜体1内的温度低于设定温度时,该控制系统20就会使该加热系统30的加热效率提升,以输入更多的热气体进入该柜体1内,若当该柜体1内的温度接近或等于该设定温度时,该控制系统20就会使该加热系统30的加热效率降低或持平,以确保该柜体1的温度,使位在该柜体1的化学品或在该柜体1内传输的化学品可以保持其原有的特性。

续搭配参阅图3所示,为本实用新型的第二实施例,在此实施例中,该加热系统30还包含有一调压阀35以及一流量器36,该调压阀35连接在该气体加压模块32与该流量器36之间,该流量器36连接在该调压阀35与该第二输送管路34之间,该调压阀35用以控制该气体加压模块32所传输进入该柜体1中的该空气的压力,而该流量器35则用以调整进入该柜体1的气体流量,以增进升温的效能。

在本实施例中,该调压阀35与该流量器36皆有设置,但亦可以配合工艺的需求而仅设置该调压阀35或该流量器36的任一,若为单独设置,该调压阀35连接在该气体加压模块32与该第二输送管路34,而该流量器36连接在该气体加压模块32与该第二输送管路34。

而本实用新型的操作步骤为:当环境温度感测单元10感测到柜体1内的一环境温度低于一设定温度值时,传送一信号给该控制系统20,该控制系统20使该加热系统30的加热效率提升,该加热系统30,请搭配参考图4,先通过该第一输送管路31将该气体导入,该气体进入该气体加压模块32压缩后形成一压缩气体,该压缩气体经由一压缩气体入口331进入并高速通过该涡流产生室330后被加热,再将经加热的该气体传输至该调压阀35,并通过该调压阀35调整该气体的压力,而后,该气体传输至该流量器36中调整进入该柜体1的气体流量,最后,该气体传输进该柜体1内,使该环境温度提升到该设定温度值以维持该柜体1的温度。

综上所述,本实用新型具有以下特点:

一、该环境温度感测单元可以检测该柜体内的温度是否符合所需,并通过该控制系统控制该加热系统的加热效率,以确保该柜体的温度维持所需,使位在该柜体的化学品或在该柜体内输送的化学品可以保持其原有的特性,不致被柜体内的温度影响而有剧烈改变。

二、通过该调压阀的设置,可调整该气体的压力。

三、通过该流量器的设置,可调整进入该柜体的气体流量,以增进升温的效能。

以上已将本实用新型做一详细说明,惟以上所述者,仅为本实用新型的一较佳实施例而已,当不能限定本实用新型实施的范围。即凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与修饰等,皆应仍属本实用新型所附权利要求的保护范围内。

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