专利名称：运送器搬运控制方法及其系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及在半导体及平面板等设备生产工场内被加工工件的搬运控制方法。
背景技术：
在半导体及平面显示面板(例如液晶表示屏及等离子设备显示面板等)等设备生产工场中，空气中的细微粉尘等会极大影响产品质量与性能。因此，为清除作业人员身上所附着的粉尘，将被加工工件装入盒等运送器，并采用在顶板、地面或地下沟槽中移动的无人自动搬运车在各装置间自动搬运运送器的系统。
现参照图5说明该自动搬运系统中运送器的搬运控制方法。
如图5所示，半导体及平面表示面板的设备生产工场例如由8个汇集同类装置的区(bay)A-H构成。各装置区A-H分别设有使被加工工件一次待机的存放仓库1A-1H，并分成装置区间搬运通道23与装置区内搬运通道22进行搬运管理。
搬运指令装置接受各装置区A-H或各装置区内各装置间搬运请求后立即将搬运指令分解成最小的搬运单位并生成多个搬运单元。搬运控制装置对无人搬运车24依次发出信号，对各个搬运单元进行搬运控制。
在各装置处理后送出时，将被加工工件放入与送入装置时所放置的运送器不同的运送器的多个装置构成的制造系统时，需对供给或回收空运送器进行搬运控制。
此时，在接到各装置提供空运送器请求时，搬运指令装置下达从请求装置所属装置区的存放仓库运至请求装置的空运送器的搬运指令。
从各装置接收到回收空运送器请求时，下达从请求装置向请装置所属存入仓库搬运空运送器的指令。
通常，存放仓库1A-1H为可不受空气中粉尘影响构造的清洁储料器，工场内加工工序中的被加工工件及其所放置的运送器被控制成在存放仓库1A-1H中等待。
近年来，在半导体及平面显示面板等设备工场中增加了连结多个加工装置构成生产线的例子。
随着构成生产线的装置的增加，搬运起始地或搬运目的地的装置群数量有所减少。因此，与图5所示现有装置区方式构成的工场不同，主要采用图6所示通过一个搬运通道26连接全部加工装置21与存放仓库25的所谓大房间方式的工场。(2000年10月27日在日本神奈川县横滨市举办的2000年LCD/PDP国际展览会上召开的“2000PDP研讨会”上分发的“主题演讲/市场展望”资料中三宅原夫的文章中记载了这种形态的工场。)在这种大房间式形态存在的问题是，由于存放仓库25的数量减少，也减少了可在存放仓库25中待机的运送器数。
另一方面，为降低清洁房间的运行成本，目前正积极开发被称为FOUP(Front Open Unified Pod)及SMIF(Standard Mechanical Interface，标准机械接口)的密封运送器内部、且保持运送器清洁的小环境。
这种小环境中无需使工场内进行加工的被加工工件及所放置的运送器在作为清洁环境的存放仓库内待机。但在存放仓库中控制为待机时仍存在装置间搬运时间产生损失的问题。
本
发明内容
本发明的目的是提供一种可在大房间式工场内将装置间被加工工件的搬运时间以及空运送器供给与回收时间减至最少的搬运控制方法。
日本专利特开平10-340939以及特开2001-255924中记载了关于缩短被加工工件物流自动化工场内搬运时间的运送器搬运控制方法的发明。这些发明旨在不降低搬运起始地装置开动率的情况下缩短存放被加工工件的运送器的搬运时间。
本发明的特征在于，当无法在不降低搬运起始地装置开动率的情况下送入搬运起始地装置时，通过在搬运起始地装置中待机，缩短存放被加工工件的运送器的搬运时间以及用于回收开始加工工件后产生的空运送器以及供给存放已加工工件的空运送器的搬运时间。
本发明的运送器的搬运控制方法的特征在于，在实现被加工工件物流自动化即将被加工工件放入运送器，利用在顶板、地面或地下沟槽中移动的无人搬运车，在设有运送器运入、运出口的多个加工装置以及/或检查装置的工序间和作为途中暂时存放装置的存放仓库间搬运的工场中，在计算机中输入上述各装置中运入口与运出口的上述运送器的运入与运出的要求状态与负荷状态的数据；上述计算机通过预置软件对搬运至搬运起始地装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库进行选择、控制，即使不是运入状态，但搬运起始地的运入口存在一定空间时，使被加工工件待机至运入目的地入口为可运入状态而削减至作为途中暂时存放装置的存放仓库的搬运，并使无人搬运车的搬运距离为最小。
所谓无人搬运车是指，将被加工工件置于搬运用容器-运送器，并将吊设或铺设在顶板、地面、地下沟槽下的轨道以及导向带作为轨道进行移动的工具。
采用此种构成的搬运控制方法，如果在某个装置中，需要将存放已加工处理工件的运送器搬运至下一道工序时，该装置将发出运出该运送器的请求信号。搬运控制装置根据这一搬运请求信号确认下一道工序装置的所有口是否处于可运入该运送器的状态。如果确认可运入，则立即发出将运送器搬运至下一道工序搬运起始地的指令。这样可使搬运车将运出运送器搬运至下一道工序的移动距离为最小。
但是，要进行如下运出入口占有率管理，以在搬运起始地装置的所有运出入口被可运出的运送器占有且搬运工件至搬运起始地装置的加工处理不会停止。首先对预设占有率与此时运出入口的占有率进行比较。如果此时运出入口的占有率超过预设值，则发出从搬运起始地装置搬运至非搬运起始地装置的存放仓库等其他存放点的指令。
本发明另一种搬运控制方法的特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将上述被加工工件放入与运入上述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，在计算机中输入并存放上述各装置的运入口所产生的空运送器的上述运入口的负荷状态与需要空运送器的其他装置的状态数据；上述计算机根据预置软件对搬运至其他装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库待机进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求回收空运送器装置的运出入口有一定空间时待机至要求供给空运送器的其他装置产生而削减搬运至保管空运送器的存放仓库，并使无人搬运车的搬运距离为最小。
采用此种构成的搬运控制方法，在某装置中，有装置请求回收空运送器时，该装置将输出请求搬运空运送器的信号。搬运控制装置根据运出请求信号确认该装置可否运入搬运状态。如果确认结果为可运入，则立即发出将运送器搬运至要求空运送器的搬运对象指令。如果没有要求搬运空运送器的装置或搬运目的地不可运入，则发出在搬运起始地装置中待机指令。
但是，要进行下述运出入口占有率管理，以在搬运起始地装置的所有运出入口被可运出的运送器占有且搬运工件至搬运起始地装置的加工处理不会停止。首先，对预设占有率与此时运出入口的占有率进行比较。如果此时运出入口的占有率超过预设值，则发出从搬运起始地装置搬运至不是搬运起始地装置的存放仓库等其他存放点的指令。其结果可使搬运空运送器的搬运车的移动距离为最小。
本发明另一种搬运控制方法的特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将上述被加工工件放入与运入上述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，在计算机中输入并存放上述各装置的运出入口所需空运送器的上述运出入口的负荷状态以及存放空运送器的其他装置的状态数据，以存放处理后的被加工工件；通过计算机对从其他装置的搬运、从存放仓库的供给、不供给上述运出口处工作的空运送器的使用进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求供给空运送器装置的运入口有一定空间时待机至要求回收空运送器的其他装置而削减从保管空运送器的存放仓库中运出，并使上述无人搬运车的搬运距离为最小。
采用此种构成的搬运控制方法，在有装置请求供给空运送器时对有无请求回收空运送器的装置进行确认，如果有请求回收的装置，则立即下达从该装置搬运出运送器的指令。如果没有请求回收的装置，则决定在有装置请求回收前待机或由存放仓库等其他存放点供给。
但是，要对预设的占有率与当前运出入口的占有率进行比较，以便在需要运入搬运起始地装置的所有运出入口时，搬运工件至搬运起始地装置的加工处理不会停止。如果此时运出入口的占有率超过预设值，则发出从存放仓库等其他存放点搬运的指令。其结果可使搬运空运送器的搬运车的移动距离为最小。
本发明另一种运送器搬运控制方法的特征在于，在上述2种运出或供给空运送器的搬运控制方法中，为缩短无人搬运车的搬运时间，根据空运送器的搬运目的地与搬运起始地的预设优先顺序及以入口占有率为根据的可否搬运，从多个请求回收多个空运送器的装置和多个请求供给运送器的装置中选择搬运起始地与搬运目的地的装置。
采用此种运送器控制方法，可预先按装置对空运送器的搬运目的地、搬运起始地的优先顺序与可否搬运进行定义。这样，在有装置请求供给空运送器时，在存在多个空运送器的情况下，根据预设的优先顺序，从请求回收的装置中选择搬运起始地装置。如果与请求回收的装置间的搬运距离过大，则通过预先将优先顺序定义为不可搬运，不可搬运装置便不会被选择为搬运起始地。由此可使搬运空运送器的搬运车的移动距离为最小。
附图简单说明图1为表示本发明实施例搬运控制方法的搬运指令装置与搬运控制系统构成的框图。
图2为表示存放点决定部的搬运对象确定流程的流程图。
图3为表示空运送器回收对象决定部的搬运对象决定流程的流程图。
图4为表示空拆运送器供给起始地决定部的搬运对象决定流程的流程图。
图5为表示现有装置区方式工场构成的框图。
图6为表示大房间式工场构成的框图。
具体实施形态下面参照
本发明搬运控制方法的最佳实施形态。
图1为表示利用本发明实施例1的搬运方法的搬运指令装置与搬运控制系统构成的框图。
图1中，搬运指令装置1由计算机构成。该搬运指令装置1从加工装置2及检查装置3经装置控制器4输出。设有接受各种搬运请求数据5、6、7、8的信号接收部11；决定搬运装置以及存放仓库等搬运对象的各种决定部12-14；通过搬运机器控制器17对多个存放仓库18和多个无人搬运车19发出搬运指令16的搬运指令部15。
作为搬运请求数据包括请求将处理后工件运至下一工序的工件运出请求5；允许从上道工序工件运入的运入许可6；请求回收工件投放结束而变空的运送器的空运送器回收请求7；请求供给存放加工处理后工件用空运送器的空运送器供给请求8。
信号接收部11接收到上述请求5-8时，对管理各装置状态的装置状态管理D/B(数据库)9的内容进行更新。
决定搬运对象的各决定部12-14根据从装置状态管理D/B9以及工序流程管理D/B中调出的数据决定搬运对象。
也就是说，在接收到运出工件请求5时，存放点决定部11决定是否运至下一装置、是否在本装置中待机、是否运至其他存放仓库等存放点。
接收到回收空运送器请求7时，回收目的地装置决定部13决定是否将空运送器运至其他装置、是否在本装置中待机、是否运至其他存放仓库等存放点。
接收到供给空运送器8时，供给起始地装置决定部14决定是否将空运送器运至其他装置、是否从其他存放仓库等存放点中运出、是否待机至有请求回收空运送器装置。
下面，参照图2-图3具体说明各决定部12-14的搬运对象决定过程。
图2为表示计算机搬运指令装置1的存放点决定部12的搬运对象决定过程中程序的流程图。
存放点决定部12在接到搬运被加工工件请求时(即图2中的步骤2-1)，参照装置状态管理D/B9的数据确认下一工序装置可否运入(步骤2-2)。此时如果下一工序装置为可运入状态，则发出将工件运至下一工序装置的搬运指令(步骤2-3)。如果下一工序装置不是可运入状态，则根据本装置入口处放置有工件的运送器数计算运出入口占有率(步骤2-4)。如果入口占有率小于预设的占有率N，则发出指令在本装置中待机，待下一工序装置可运入时立即运入(以下称待机指令)(步骤2-5)。如果入口占有率大于N，将发出指令立即搬运至其他存放点待机，空出本装置运出入口，接受下一个工件的运入(步骤2-6)。这样便可做出使搬运车移动距离最小的适当判断。
图3为表示空运送器回收目的地装置决定部13的搬运对象决定程序的流程图。
空运送器回收目的地装置决定部13一旦接收到回收空运送器请求(步骤3-1)，即参照装置状态管理D/B9对请求供给空运送器的装置进行检索(步骤3-2)。
如果存在请求供给空运送器的装置，则根据工序流程管理D/B10中预设的优先装置数据决定优先装置(步骤3-3)。如果是优先装置，则决定将空运送器运至最优先装置(步骤3-6)，并发出运至该装置的指令(步骤3-7)。
这一优先顺序根据搬运距离或时间设定，故可使搬运时间最小化。
并且，在不存在请求供给空运送器的装置或请求供给空运送器的装置不是优先装置时，则根据本装置运出入口中运送器数计算运出入口占有率(步骤3-4)。如果入口占有率小于预设的占有率N，则发出待机指令，在本装置中待机，待其他优先装置请求供给空运送器时立即运入。如果大于预设的占有率N，则在其他存放点中待机，待本装置运入口空闲时，接受下一个工件的运入(步骤3-5)。这样，便可作出使搬运车移动距离最小化的适当判断。
图4为表示空运送器供给起始地决定部14的搬运对象决定程序的流程图。
如果空运送器供给起始地决定部14接收到供给空运送器请求(步骤4-1)，则参照装置状态管理D/B9对请求回收空运送器的装置进行检索(步骤4-2)。
如果存在请求回收的装置，则根据工序流程管理D/B10中预设的优先装置数据决定优先装置(步骤4-3)。如果其为优先装置，则决定从最优先装置中运出空运送器(步骤4-7)，并发出运至请求装置的指令(步骤4-8)。
这一优先顺序系根据搬运距离或时间设定，所以可使搬运距离最小化。
如果不存在请求供给空运送器的装置或请求供给空运送器的装置不是优先装置时，则根据本装置运出入口中运送器数计算运出入口占有率(步骤4-4)。
如果入口占有率小于预设的占有率N，则不供给空运送器，在其他优先装置请求供给空运送器时立即运入。如果大于预设的占有率N，则将在其他存放点中待机的空运送器运至本装置的运入口(步骤4-6)。这样，便可作出使搬运车移动距离最小化的适当判断。
如上所述，利用本发明的搬运控制方法及系统，可使至搬运起始地及搬运起始地以外存放仓库等存放点的搬运时间为最小，故可使搬运距离、时间以及次数最小化。
采用本发明，即使搬运起始地与搬运目的地所要求时间有偏差，但由于是在搬运起始地中待机，所以不会产生影响。并且，由于是根据运送器占有率对搬运起始地的运出入口进行抑制，所以可防止装置中工件处理停止、开动率下降而导致的生产率下降。
即使是空运送器的搬运，由于至要求回收的装置与要求供给的装置以外的存放仓库等存放点的搬运时间为最小，所以可使搬运距离、时间及次数为最小。
权利要求
1.一种运送器搬运控制方法，其特征在于，在实现被加工工件物流自动化即将被加工工件放入运送器，利用在顶板、地面或地下沟槽中移动的无人搬运车，在设有运送器运入、运出口的多个加工装置以及/或检查装置的工序间和作为途中暂时存放装置的存放仓库间搬运的工场中，在计算机中输入上述各装置中运入口与运出口的上述运送器的运入与运出的要求状态与负荷状态的数据；上述计算机通过预置软件对搬运至搬运起始地装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库进行选择、控制，即使不是运入状态，但搬运起始地的运入口存在一定空间时，使被加工工件待机至运入目的地入口为可运入状态而削减至作为途中暂时存放装置的存放仓库搬运，并使所述无人搬运车的搬运距离为最小。
2.一种运送器的搬运控制方法，其特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将上述被加工工件放入与运入上述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，在计算机中输入并存放上述各装置的运入口所产生的空运送器的上述运入口的负荷状态与需要空运送器的其他装置的状态数据；上述计算机根据预置软件对搬运至其他装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库待机进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求回收空运送器装置的运出入口有一定空间时待机至要求供给空运送器的其他装置产生而削减搬运至保管空运送器的存放仓库，并使所述无人搬运车的搬运距离为最小。
3.一种运送器的搬运控制方法，其特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将上述被加工工件放入与运入上述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，在计算机中输入并存放上述各装置的运出入口所需空运送器的上述运出入口的负荷状态以及存放空运送器的其他装置的状态数据，以存放处理后的被加工工件；通过计算机对从其他装置的搬运、从存放仓库的供给、不供给上述运出口处工作的空运送器的使用进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求供给空运送器装置的运入口有一定空间时待机至要求回收空运送器的其他装置而削减从保管空运送器的存放仓库中运出，并使所述无人搬运车的搬运距离为最小。
4.如权利要求2或3所述的运送器的搬运控制方法，其特征在于，为缩短无人搬运车的搬运时间，根据空运送器的搬运目的地与搬运起始地的预设优先顺序及以入口占有率为根据的可否搬运基准，从多个请求回收多个空运送器的装置和多个请求供给运送器的装置中选择搬运起始地与搬运目的地的装置。
5.一种运送器搬运控制系统，其特征在于，在实现被加工工件物流自动化即将被加工工件放入运送器，利用在顶板、地面或地下沟槽中移动的无人搬运车，在设有运送器运入、运出口的多个加工装置以及/或检查装置的工序间和作为途中暂时存放装置的存放仓库间搬运的工场中，具有输入并存放所述各装置的运入口与运出口的所述运送器的运入与运出的要求状态与负荷状态的数据的计算机；所述计算机预置软件，所述软件根据所述存放的数据对搬运搬运起始地装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库进行选择、控制，即使搬运目的地的入口不是可运入状态，但搬运起始地的运入口存在一定空间时，使被加工工件待机至运目的地入口为可运入状态而削减向作为途中暂时存放装置的存放仓库的运送，并使无人搬运车的搬运距离为最小。
6.一种运送器搬运控制系统，其特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将所述被加工工件放入与运入所述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，具有输入并存放所述各装置的运入口所产生的空运送器的所述运入口的负荷状态与需要空运送器的其他装置的状态数据的计算机；所述计算机具有软件，所述软件被根据所述存放的数据对搬运至其他装置、在搬运起始地装置中待机、或搬运至存放仓库待机进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求回收空运送器装置的入口有一定空间时待机至要求供给空运送器的其他装置产生而削减向保管空运送器的存放仓库的运送，并使所述无人搬运车的搬运距离为最小。
7.一种运送器的搬运控制系统。其特征在于，在运出加工装置或检查装置处理后的被加工工件时将所述被加工工件放入与运入所述加工装置及检查装置时所用运送器不同的运送器中运出的、设有多个装置与保管空搬运装置的存放仓库的工场中，具有输入并存放所述各装置的运出入口所需空运送器的所述运出入口的负荷状态以及存放空运送器的其他装置的状态数据以存放处理后的被加工工件的计算机；所述计算机具有软件，所述软件根据所述存放的数据对从其他装置的搬运、从存放仓库的供给、不供给所述运出口处工作的空运送器的使用进行选择、控制，即使不存在要求提供空的运送器的其他装置，也可在请求供给空运送器装置的入口有一定空间时待机至要求回收空运送器的其他装置的产生而削减从保管空运送器的存放仓库的运送，并使所述无人搬运车的搬运距离为最小。
8.如权利要求6或7所述的运送器搬运控制系统，其特征在于，所述软件为缩短无人搬运车的搬运时间，根据空运送器的搬运目的地与搬运起始地的预设优先顺序及以入口占有率为根据的可否搬运基准，从多个请求回收多个空运送器的装置和多个请求供给运送器的装置中选择搬运目的地与搬运起始地的装置。
全文摘要
一种可在由多个装置与存放仓库构成的工场中缩短运送器从各装置间搬运工件至供给和回收工件的搬运时间的搬运控制方法。在各装置请求搬运运送器时,根据搬运起始地及搬运目的地的运出入口状态选择向搬运目的地的运送、搬运起始地处的待机、向存放仓库的运送,并控制搬运车的搬运,从而将搬运时间缩至最短。
文档编号G06Q50/04GK1370726SQ0210514
公开日2002年9月25日 申请日期2002年2月19日 优先权日2001年2月15日
发明者山村聪, 下田贵之 申请人:松下电器产业株式会社