技术总结
本发明公开了一种SEM环境下建立全景立体微区图的方法。该方法首先将SEM作大视场快速扫描获取的各部位形貌图进行拼接融合，生成研究对象的二维全景形貌图；然后自动识别研究对象中的不同的被操作与表征目标区域，按照顺序对其依次进行编号；利用微纳操作机器人对目标区域进行操纵与表征，再利用AFM模块对其进行准确操作与表征，生成局部三维形貌图和力测试数据；最后利用大数据技术和人机交互技术建立研究对象的全景立体微区图和表征数据库。该方法能根据研究对象的二维全景形貌图、局部三维形貌图与立体化操控技术，建立全景立体微区图和表征数据库。
技术研发人员：曹宁;谢少荣;罗均;李恒宇;龚振邦
受保护的技术使用者：上海大学
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2019.08.06