技术总结
本发明属于原子力显微镜领域，并公开了一种原子力显微镜探针模态形状优化设计方法，包括以下步骤：(1)将原子力显微镜探针简化成为长度、宽度和厚度分别为L、w、h且带有集中质量点的悬臂梁；(2)根据悬臂梁探针结构进行有限元建模，定义设计变量；(3)定义目标模态向量φ0；(4)定义目标函数J；(5)求解步骤(2)的有限元模型，获得目标函数J关于设计变量的敏度，梯度下降法更新设计变量；(6)使目标函数J收敛。本发明可以使一阶振动模态下探针悬臂在光束反射处提供更大的倾斜度，提高了检测灵敏度，同时目标函数中特征值的部分可以使一阶振动频率尽量不受影响。
技术研发人员：夏奇;李振华;史铁林
受保护的技术使用者：华中科技大学
文档号码：201611174551
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.06.09