药液的浓度管理装置、再生装置及费用的计算系统的制作方法

本实用新型涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中反复使用的各种药液的浓度进行管理的药液的浓度管理装置、及使用浓度管理装置来管理所提供的药液的浓度的服务中的药液的浓度管理费用计算系统。本实用新型涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中使用的各种药液进行再生的药液再生装置、及使用药液再生装置而使所提供的药液再生的服务中的药液的再生处理费用计算系统。

背景技术：

在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中，例如，使用有显影液、蚀刻液、剥离液、防带电剂、清洗液等各种药液(以下，在无需具体区别这些药液的情况下将这些药液统一称作“药液”。)。药液被维持管理为根据需要的规定的浓度而使用，以便使其性能最大限度地发挥作用。另外，有时使用后的药液被再生处理为能够再利用而使用。

以往，使用药液的人(以下有时称作“药液使用者”)为了维持管理药液的浓度而购入并使用药液的浓度管理装置。另外，药液使用者为了将使用后的药液再生处理为能够再利用而购入并使用药液的再生处理装置。

例如，作为药液的浓度管理装置而公开有以下的专利文献。在专利文献1中，公开有对显影液的碱浓度和溶解树脂浓度进行管理的显影液浓度管理装置。另外，在专利文献2中，公开有对酸浓度和溶解铟浓度进行管理的蚀刻液管理装置。作为药液的再生处理装置，专利文献3公开有通过精密过滤而使显影废液再生的显影废液的再生处理装置。

在先技术文献

专利文献1：日本专利第2561578号公报

专利文献2：日本专利第2747647号公报

专利文献3：日本特开2005-175118号公报

然而，在像以往那样购入并使用浓度管理装置、药液再生装置的方式中，药液使用者需要购入浓度管理装置、药液再生装置，使这些装置运转并进行维持管理。另外，在以往的方式中，对于制造销售浓度管理装置、药液再生装置的人(以下有时称作“装置销售者”)而言，也只有在装置销售时点才有获得这些装置的回报的机会。

因此，药液使用者必须承担用于购入浓度管理装置、药液再生装置的暂时的巨额费用负担和购入后的运转及维持管理所涉及的各种精力、负担。另外，还存在如下问题：装置销售者若不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的药液使用者并销售出装置，则难以赚取足够的利益。

技术实现要素：

实用新型要解决的课题

本实用新型是鉴于上述的各课题而完成的。发明者提出了提供使用浓度管理装置而管理药液的浓度的服务及使用药液再生装置而对使用后的药液进行再生处理的服务的技术方案。即，本实用新型的目的在于提供一种能够不使药液使用者承担上述那样的负担而使用药液、并且能够使装置销售者持续赚取收益的、在上述提出的新商业模式中使用的药液的浓度管理装置及药液再生装置、以及对药液的浓度管理或再生处理所涉及的服务的提供费用进行计算的费用计算系统。

为了达成所述目的，本实用新型的药液的浓度管理装置利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由配管向在设备中使用的药液供给补充液来管理药液的浓度，其中，在配管中配备有累计流量计。

为了达成所述目的，本实用新型的药液再生装置将使用完的药液再生为能够再利用，并向使用再生后的再生药液的设备供给该再生药液，其中，在向设备供给再生药液的配管中配备有累计流量计。

根据本实用新型的浓度管理装置或者药液再生装置，由于在供给补充液的配管或者供给再生药液的配管中配备有累计流量计，因此能够按照规定期间(例如一周或者一个月)而把握向药液使用者的设备供给的补充液或者再生药液的量。因此，例如，能够将对供给费用加上基于其他各项经费等的基本费用后的金额计算为药液的浓度管理的费用或者药液的再生处理的费用，该供给费用是将该规定期间内的补充液或者再生药液的供给量乘以它们的每单位量的费用而得到的。然后，能够将所算出的费用向药液使用者请求。

为了达成所述目的，本实用新型的药液的浓度管理装置或者药液再生装置中的累计流量计具备通信功能。

根据本实用新型的药液的浓度管理装置或者药液再生装置，在各药液使用者的工厂中使用的药液的浓度管理装置或者药液再生装置的累计流量计由于具备通信功能，因此能够与网络连接。因此，能够利用与该网络连接的服务器系统远程地监视累计流量计所测定的补充液、再生药液的累计流量等的各种测定数据。无需为了对累计流量计的计量表进行查表而来到药液使用者的工厂。

为了达成所述目的，药液的浓度管理费用计算系统具备：累计流量计，其配备于向在使用药液的设备中反复使用的药液供给补充液的浓度管理装置的用于供给补充液的配管，且具有通信功能；以及服务器系统，其经由网络而与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络而接收累计流量计所计测出的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计而存储由接收部接收到的累计流量的历史信息；以及计算部，其基于由存储部存储的历史信息，按照每个设备而计算规定期间内的药液的浓度管理的费用。

为了达成所述目的，药液的再生处理费用计算系统具备：累计流量计，其配备于向使用药液的设备供给再生药液的配管，且具有通信功能，该再生药液是由将使用完的药液再生为能够再利用的药液再生装置再生后的药液；以及服务器系统，其经由网络而与累计流量计连接，服务器系统具备：接收部，其经由网络而接收累计流量计所计测出的累计流量；存储部，其按照每个累计流量计而存储由接收部接收到的累计流量的历史信息；以及计算部，其基于由存储部存储的历史信息，按照每个设备而计算规定期间内的药液的再生处理的费用。

根据本实用新型的药液的浓度管理费用计算系统或药液的再生处理费用计算系统，提供药液的浓度管理或再生处理的服务的人(以下，有时称作“服务提供者”)能够利用与网络连接的服务器系统远程地统一监视在各药液使用者的工厂中使用的累计流量计。无需为了对累计流量计的计量表进行查表而来到药液使用者的工厂。能够计算与供给至药液使用者的设备的补充液或者再生药液的规定期间内的累计流量相应的、管理药液浓度的服务或者进行药液的再生处理的服务的合理的提供费用，能够向药液使用者请求该费用。

实用新型效果

根据本实用新型，能够实现提供利用具备累计流量计的药液的浓度管理装置来管理药液的浓度的服务这样的该业界迄今为止没有的新商业方法。根据本实用新型，能够实现提供利用具备累计流量计的药液再生装置来进行药液的再生处理的服务这样的该业界迄今为止没有的新商业方法。因此，根据本实用新型，服务提供者与以往的销售装置的情况相比，即便不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的人，也能够持续地确保稳定的收益。

根据本实用新型，药液使用者不承担购入药液的浓度管理装置、或者使药液的浓度管理装置运转、或者维持管理药液的浓度管理装置的负担，而仅支付基于为了药液的浓度管理而补给的补充液的累计流量所花费的用于提供药液的浓度管理的服务的费用，就能够使用始终管理为规定的浓度的药液。根据本实用新型，药液使用者不承担购入药液再生装置、或者使药液再生装置运转、或者维持管理药液再生装置的负担，而仅支付基于接受到供给的再生药液的累计流量所花费的用于提供药液的再生处理的服务的费用，就能够得到再生药液而使用。

根据本实用新型，服务提供者还能够远程地统一监视在多个药液使用者的工厂(场地)使用的各浓度管理装置、各药液再生装置的累计流量计。

附图说明

图1是药液浓度管理装置的示意图。

图2是药液再生装置的示意图。

图3是药液的浓度管理费用的计算方法的流程图。

图4是药液的再生处理费用的计算方法的流程图。

图5是示出药液的浓度管理费用计算系统或者再生处理费用计算系统的结构的示意图。

附图标记说明：

1…浓度管理装置；2…药液再生装置；10…测定部；11、12…测定机构；14…取样泵；15…取样配管；16…返回配管；17、18…测定数据用信号线；20…运算部；21…运算模块；22…信号线；30、35…控制部；31、36…控制模块；32、33、34、37、38…控制用信号线；41、42、43、46、47、48…控制阀；44、45…阀门；51、52、53、54、221、222、223、224、225…累计流量计；61、62、63…过滤器；70…输送泵；81、82、83…补充液供给配管；84…合流配管；85…氮气用配管；86…废液回收配管；87…再生药液供给配管；91、92…贮存容器；93…再生药液贮存容器；100…显影工序设备(药液使用设备)；161…显影液贮存槽；162…溢流槽；163…液面计；164…显影室护罩；165…辊式输送机；166…基板；167…显影液喷淋嘴；171…废液泵；172、174…循环泵；173、175…过滤器；180…显影液管路；185…循环管路；200…计算系统；201…网络；202…服务器系统；203…接收部；204…存储部；205…计算部；206…显示器；211、212、213、214、215…工厂；S1…浓度计测步骤；S2…补充液补给要否判断步骤；S3…补充液供给步骤；S4…累计流量计测步骤；S5…规定期间经过判断步骤；S6…浓度管理费用计算步骤；S11…药液再生步骤；S12…再生药液供给步骤；S13…累计流量计测步骤；S14…规定期间经过判断步骤；S15…再生处理费用计算步骤。

具体实施方式

以下，适当地参照附图对本实用新型优选的实施方式详细进行说明。其中，只要没有特别明确的记载，这些实施方式所记载的装置等的形状、大小、尺寸比、其相对配置等就不仅仅限定于本实用新型的范围所图示的示例。这些示例仅仅是作为说明例而示意性地进行图示而已。

另外，在以下的说明中，作为在半导体或者液晶显示器的制造工序中使用的药液的具体例，适当使用在显影工序中主要用作显影液的2.38wt％(以下，将wt％仅记载为％)的四甲基氢氧化铵水溶液(以下，将四甲基氢氧化铵称作TMAH)而进行说明。

其中，本实用新型应用的药液并不局限于此。作为本实用新型能够应用的其他药液的例子，除了显影液以外，能够举出蚀刻液、剥离液、防带电剂或者清洗液等。

这些药液分别存在有更为多样的种类或组成的药液。例如，作为显影液，还能够举出氢氧化钾、氢氧化钠、磷酸钠、硅酸钠等无机化合物的水溶液、或者三甲基单乙醇基氢氧化铵(胆碱)等有机化合物的水溶液等。例如，作为蚀刻液，能够举出草酸水溶液、硫酸和过氧化氢的混合水溶液、硫酸铜溶液、磷酸、醋酸以及硝酸的混合水溶液、热磷酸、硝酸铈铵水溶液、氯化铁溶液等。例如，作为剥离液，能够举出二甲基亚砜系原液和纯水的溶液、N-甲基吡咯烷酮系原液和纯水的溶液、烷醇胺、甘醇醚以及纯水的溶液等水系抗蚀剂剥离液、单乙醇胺、丁基二甘醇以及添加剂的混合溶液等非水系抗蚀剂剥离液等。

以往，上述的各种药液的药液使用者从制造销售浓度管理装置或药液再生装置的企业等购入装置，并将这些装置与显影设备或蚀刻设备等的使用药液的设备连接，使这些装置运转而进行药液的浓度管理或再生处理。因此，药液使用者必须承担购入浓度管理装置或药液再生装置时的暂时的巨额费用负担、装置的运转时的补充液或需要材料的调配的负担、与装置的运转或维持管理相关的其他各种精力、负担。

另外，从装置销售者方面来说，在以往的销售装置的商业中，只有在装置销售时点才有获得装置的回报的机会，若不能屡次找寻希望购入装置的人而卖出装置，则难以获取足够的利益。

本发明者鉴于这些点而提出了新商业方法。即，该商业提供如下服务：使用药液的浓度管理装置而将药液使用者的反复使用的药液的浓度管理为规定的浓度。并且使用药液再生装置而将药液使用者的使用过的药液再生处理为能够再利用。对该新商业方法进行说明。

首先，对提供管理药液的浓度的服务的商业进行说明。

浓度管理的服务提供者使用浓度管理装置而将药液使用者反复使用的药液管理为药液使用者所期望的规定的浓度或者规定的浓度范围。浓度管理通过向反复使用的药液补给补充液来进行。浓度管理装置反复测定并始终监视反复使用的药液的浓度，并对在以补给需要量的适当的补充液的方式补给补充液的配管中配备的控制阀进行控制。一边由在补给补充液的配管中配备的累计流量计对累计流量进行计测一边补给补充液。服务提供者通过监视所补给的补充液的累计流量，基于按照规定期间(例如，按照一周或者按照一个月)的累计流量，算出浓度管理的服务提供所涉及的费用，并按照该规定期间向药液使用者请求该费用。这是提供管理药液的浓度的服务的商业概要。

管理药液浓度的服务所使用的浓度管理装置作为服务提供者的所有物件而由服务提供者进行运转及维持管理并用于浓度管理。因此，药液使用者无需购入浓度管理装置，也无需进行该浓度管理装置的运转、维持管理。仅仅从服务提供者得到管理药液的浓度而已。

服务提供者将自己具有的浓度管理装置放置于药液使用者的工厂，并与药液使用者所运用的使用药液的设备(以下称作“药液使用设备”)连接。在此，使用药液的设备是指，药液为显影液的话为显影装置，药液为蚀刻液的话为蚀刻装置，药液为剥离液的话为剥离装置等。

浓度管理通过药液的浓度测定和基于所测定的药液的浓度而进行的补充液的补给来实现。但是，并不局限于此。例如，也可以组合使用后的药液的再生处理等来进行浓度管理。

例如，在将显影处理工序中较多使用的TMAH水溶液管理为2.38％的浓度的情况下，如专利文献1那样，进行如下的浓度管理。即，显影液管理装置反复测定并始终监视碱成分浓度和溶解树脂浓度，以使碱成分浓度成为大约2.38％的浓度、且使溶解树脂浓度不超过规定的设定浓度的方式补给补充液而进行浓度管理。

在该情况下，作为补充液而补给显影液的原液、显影液的新液、纯水等。显影液的原液是指浓度浓的显影液，例如、20％～25％左右的TMAH水溶液。显影液的新液是指未使用的显影液，换句话说不含有溶解树脂等不需要物质的新鲜的显影液。例如，未使用的2.38％TMAH水溶液。也可以将从使用后的显影液中去除溶解树脂等不需要物质而得到的显影液的再生液用作补充液。

在浓度测定中，对在显影设备中反复使用的显影液进行取样，并由浓度管理装置的测定部来进行。碱成分浓度通过对显影液的导电率进行测定来进行，另外，溶解树脂浓度通过对显影液的特定波长下的吸光度进行测定来进行。在这些成分浓度与对应的显影液的物性值之间，已知存在良好的相关关系(参照专利文献1)。若使用这样的相关关系，则能够从测定出的导电率值导出碱成分浓度，从测定出的吸光度值导出溶解树脂浓度。

在浓度测定的结果为碱成分浓度低于2.38％时，浓度管理装置补给显影液的原液作为补充液。反之，在碱成分浓度高于2.38％时，浓度管理装置补给纯水或者显影液的新液作为补充液。同样，在溶解树脂浓度超过规定的设定浓度时，浓度管理装置补给显影液的新液作为补充液。

经由配管而从贮存补充液的贮存容器或供给补充液的设备向药液使用者的药液使用设备输送补充液。在补给补充液的配管设置有由浓度管理装置控制的控制阀和累计流量计。若按照每个控制阀而预先设定了在控制阀打开时每单位时间流通的流量，则浓度管理装置通过将设置在应补给的补充液所流通的配管中的控制阀打开规定时间，而能够补给适量的补充液。在补给补充液时，累计流量计对补充液的累计流量进行测定。这是向药液使用设备供给的补充液的供给量。

服务提供者按照例如一个月等的规定期间，基于由累计流量计测定出的补充液的累计流量(供给量)而计算药液的浓度管理费用。服务提供者向药液使用者请求所算出的浓度管理费用作为提供管理药液浓度的服务的回报。

药液使用者通过按照规定期间支付药液的浓度管理费用，不进行浓度管理装置的购入、运转及维持管理就能够持续使用浓度管理后的药液。另一方面，与销售装置时相比，服务提供者能够持续赚取稳定的收益。

在此，作为药液的浓度管理费用，能够采用各种方式。以下，例示出几个药液的浓度管理费用的具体例。但是，药液的浓度管理费用的计算方法并不局限于这些。本实用新型的药液的浓度管理费用的计算方法包括基于补充液的累计流量(供给量)而计算的各种费用计算方法。

第一，作为药液的浓度管理费用，有时以在规定期间内供给的补充液的供给费用为基准而计算费用。这是基于销售补充液这样的思考方法而得出的。

例如，将规定期间设为一个月。由于利用累计流量计来计测补充液的累计流量，因此通过从本月查表时点的累计流量减去前月查表时点的累计流量来求出本月补给的补充液的供给量。将本月补给的补充液的供给量设为Q(L/月)。将补充液的供给单价设为A(元/L)。于是，本月的补充液的供给费用被求出为Q×A(元/月)。在补充液为多种的情况下，分别针对多种补充液而将供给量设为Q1、Q2、Q3、···(L/月)，将供给单价设为A1、A2、A3、···(元/L)，补充液的供给费用被求出为∑Qi×Ai(i＝1、2、3，···)(元/L)。将其作为本月的药液的浓度管理费用而向药液使用者请求。

作为其变形例，有时将对如上述那样算出的补充液的供给费用加上各种费用而得出的费用作为每月的药液的浓度管理费用。作为要相加的各种费用的代表性费用，具有基本费用。在签订浓度管理的服务提供所涉及的合同时，确定每月的基本费用，无论是否供给补充液，都将该基本费用包含在药液的浓度管理费用内而进行请求。当然，也可以无关乎基本费用这样的名目，而将设备维持管理费或装置操作员的人工费、原料调配费、其他各种经费等包含在要相加的费用内。若将相加的费用(例如基本费用)设为Z(元/月)，则每月的药液的浓度管理费用为Q×A+Z(元/月)。在补充液为多种且相加的费用为各种费用之和Z＝∑Zj时，每月的药液的浓度管理费用为∑Qi×Ai+∑Zj(i、j＝1、2、3、···)(元/月)。

另外，作为其他的变形例，有时也将补充液的供给费用乘以补贴率B而得到的金额设为每月的药液的浓度管理费用。例如，补充液的原料的调配所涉及的各项经费、装置的维持管理费等被认为与补充液的供给量(这与装置的运转时间也有关系)有关联是合理的。在这样的情况下，将补贴率B乘以补充液的供给费用Q×A(元/月)，每月的药液的浓度管理费用被求出为Q×A×B(元/月)。也可以将补贴率B包含于补充液的供给单价A(元/L)。此外，在加上基本费用等的情况下，每月的药液的浓度管理费用成为Q×A×B+Z(元/月)。更通常来讲，每月的药液的浓度管理费用被求出为(∑Qi×Ai)×B+∑Zj(i、j＝1、2、3、···)(元/月)。

第二，作为药液的浓度管理费用，向药液使用者请求将因在规定期间内提供的药液的浓度管理的服务而给药液使用者带来的经济利益乘以规定的比例而得到的金额。这基于将因浓度管理的服务提供而使药液使用者产生的经济利益分给药液使用者和服务提供者这样的思考方式。这优选适用于例如向没有实施药液的浓度管理的药液使用者提供药液的浓度管理的服务的情况等。

在不进行药液的浓度管理的情况下，药液使用者在将药液使用了规定次数之后全部废弃而更换为新药液。因此，药液的液体性能在每次液体的更换时都发生较大变动。另一方面，在实施药液的浓度管理时，药液使用者能够享受到如下那样的各种效果。即，药液的使用量被大幅削减。药液的废液量也被大幅削减。另外，由于药液的液体性能始终恒定，因此半导体、液晶基板的制造品质稳定，制造成品率提高。无需因液体更换而停止制造装置，制造装置的运转率提高，半导体、液晶基板的制造量增加。

作为这样的情况下的药液的浓度管理费用的计算的具体例，能够举出将因药液使用量的削减带来的药液成本的减少金额的数成作为规定期间的药液的浓度管理费用的情况。

例如，将规定期间设为一个月。将在药液使用者接受本实用新型所涉及的药液的浓度管理的服务提供之前、即在不实施药液的浓度管理时药液使用者购入的每一个月的药液的购入量设为R(L/月)，并将其购入单价设为C(元/L)。在药液购入量R的变动大的情况下，将过去的适当的期间内的药液购入量的平均值设为R。

根据由累计流量计测定出的累计流量，将因本实用新型所涉及的药液的浓度管理的服务提供而供给的补充液的供给量求出为Q(L/月)。乘以补充液的供给单价A(元/L)，每月的补充液的供给费用被求出为Q×A(元/月)。

于是，药液使用者通过接受本实用新型所涉及的药液的浓度管理的服务提供而能够得到的药液成本的减少金额成为R×C-Q×A(元/月)。以D为比例，每月的药液的浓度管理费用被求出为(R×C-Q×A)×D(元/月)。当然，也可以再加上基本费用等。作为比例D，例如为一成(0.1)、两成(0.2)、三成(0.3)等。

作为变形例，也可以将因药液的废液量的削减带来的废液处理成本的减少金额的数成设为规定期间的药液的浓度管理费用。

在将浓度管理实施前的药液的每月的废液处理费用设为S(元/月)、将浓度管理实施后的每月的废液处理费用设为T(元/月)(其中，S＞T)时，因浓度管理而削减的废液处理费用的减少金额为S-T(元/月)。药液使用者因浓度管理而支付每月Q×A(元/月)的补充液的供给费用，因此药液使用者的废液量削减所牵涉的经济利益的金额成为(S-T)-Q×A(元/月)。每月的药液的浓度管理费用在此基础上乘以比例D而被求出为((S-T)-Q×A)×D(元/月)。也可以再加上基本费用等。

作为其他变形例，对于药液使用者的经济利益的金额而言，也可以代替药液成本的减少金额、废液处理费用的减少金额，而使用因成品率提高、产品品质的提高、装置运转率的提高等而带来的药液使用者侧的收益增加金额等。另外，也可以将从药液成本的减少金额、废液处理费用的减少金额、药液使用者的收益增加额等的总计金额减去补充液的供给费用Q×A(元/月)后的金额视作药液使用者的因浓度管理带来的总计经济利益的金额，来计算每月的浓度管理费用。在该情况下，若将收益增加金额等相加而得到的金额设为U(元/月)，则浓度管理费用成为(U-Q×A)×D(元/月)。也可以再加上基本费用等。

作为另一变形例，通过向已经实施药液的浓度管理的药液使用者提供本实用新型所涉及的药液的浓度管理的服务，能够使药液使用者产生各种经济利益。同样将这些经济利益计算为每月的药液的浓度管理费用而向药液使用者请求。

即便在已经实施药液的浓度管理的情况下，大多药液使用者依然购入浓度管理装置并自己运转、维持管理，从而进行药液的浓度管理。因此，药液使用者在药液的浓度管理中承担原料或资材的调配的各项经费、装置操作员的人工费等费用。另外，尚在使用旧的浓度管理装置、或者使用基于针对各药液都没有充分最优化的浓度测定原理而进行管理的浓度管理装置的情况也较多。

在这样的情况下，通过将以往的浓度管理置换为本实用新型所涉及的药液的浓度管理的服务，能够给药液使用者带来与药液成本或废液成本的削减、成品率提高、产品品质的提高和稳定、设备运转率的提高、产品制造数量的提高等相伴的经济利益。在这样的情况下，也与上述相同地，能够将基于补充液的累计流量而得到的经济利益的金额的数成计算为药液的浓度管理费用，并向药液使用者请求。

接下来，对提供将使用后的药液再生处理为能够再利用的服务的商业进行说明。

药液的再生处理的服务提供者使用药液再生装置而去除在由药液使用设备使用后的药液中蓄积的不需要成分，调整为药液使用者所期望的规定的浓度或者规定的浓度范围，从而再生为能够再利用。再生处理通过使用过滤、电析、晶析、膜分离等技术而去除所蓄积的不需要成分来进行(再生处理的方式并不局限于这些。根据成为对象的药液或应去除的成分而适当地选择并应用合适的技术)。药液再生装置通过打开在供给再生后的药液的配管中配备的控制阀，将再生药液向药液使用设备供给。一边利用在供给再生药液的配管中配备的累计流量计来计测累计流量一边供给再生药液。服务提供者通过监视所供给的再生药液的累计流量，基于按照规定期间(例如，一周或者一个月)的累计流量而计算药液的再生处理的服务提供所涉及的费用，并按照该规定期间向药液使用者请求该费用。这是提供对使用后的药液进行再生处理的服务的商业概要。

在对使用后的药液进行再生处理的服务中使用的药液再生装置作为服务提供者的所有物件而由服务提供者进行运转及维持管理并用于药液的再生处理。因此，药液使用者无需购入药液再生装置，也无需进行该药液再生装置的运转、维持管理。仅仅由服务提供者来进行药液的再生处理而已。

服务提供者将自己具有的药液再生装置放置于药液使用者的工厂，并与药液使用者所运用的药液使用设备连接。在此，药液使用设备是指，药液为显影液的话为显影装置，药液为蚀刻液的话为蚀刻装置，药液为剥离液的话为剥离装置等。

通过使用过滤、电析、晶析、膜分离等分离除去技术从药液中去除因药液的使用而在药液中蓄积的不需要物质，来实现再生处理。也可以通过适当地补给补充液等而调节药液的各成分。但是，再生处理所使用的分离技术并不局限于这些。在药液中蓄积的不需要物质是指，例如在显影液的情况下，因显影处理而从基板溶出的抗蚀剂成分等。

再生后的药液经由配管向药液使用者的药液使用设备输送。在补给再生药液的配管设置有控制阀和累计流量计。若预先设定了在控制阀打开时每单位时间流通的流量，则通过将该控制阀打开规定时间，能够供给适量的再生药液。在供给再生药液时，累计流量计对再生药液的累计流量进行测定。这是向药液使用设备供给的再生药液的供给量。

服务提供者按照例如一个月等规定期间，基于由累计流量计测定出的再生药液的累计流量(供给量)而计算药液的再生处理费用。服务提供者向药液使用者请求所算出的药液的再生处理费用作为提供进行药液的再生处理的服务的回报。

药液使用者通过按照规定期间支付药液的再生处理费用，不进行药液再生装置的购入、运转及维持管理就能够得到并使用再生处理后的药液。另一方面，与销售装置时相比，服务提供者能够持续赚取稳定的收益。

在此，作为药液的再生处理费用，能够采用各种方式。以下，例示出几个药液的再生处理费用的具体例。但是，药液的再生处理费用的计算方法并不局限于这些。本实用新型的药液的再生处理费用的计算方法包括基于再生药液的累计流量(供给量)而计算的各种费用计算方法。

第一，作为药液的再生处理费用，有时以在规定期间内供给的再生药液的供给费用为基准而计算费用。这是基于销售再生药液的思考方法而得出的。

例如，将规定期间设为一个月。由于利用累计流量计来计测再生药液的累计流量，因此通过从本月查表时点的累计流量减去前月查表时点的累计流量来求出本月供给的再生药液的供给量。将本月供给的再生药液的供给量设为K(L/月)。将再生药液的供给单价设为E(元/L)。于是，本月的再生药液的供给费用被求出为K×E(元/月)。将其作为本月的药液的再生处理费用向药液使用者请求。

作为其变形例，有时将对如上述那样算出的再生药液的供给费用加上各种费用而得出的费用作为每月的药液的再生处理费用。作为要相加的各种费用的代表性费用，具有基本费用。在签订药液的再生处理的服务提供所涉及的合同时，确定每月的基本费用，无论是否进行再生药液的供给，都将该基本费用包含在药液的再生处理费用内而进行请求。当然，也可以无关乎基本费用这样的名目，而将设备维持管理费或装置操作员的人工费、原料调配费、其他各种经费等包含在要相加的费用内。若将相加的费用(例如基本费用)设为Z(元/月)，则每月的药液的再生处理费用成为K×E+Z(元/月)。在相加的费用为各种费用之和Z＝∑Zj时，每月的药液的再生处理费用成为K×E+∑Zj(j＝1、2、3、···)(元/月)。

另外，作为其他的变形例，有时也将再生药液的供给费用乘以补贴率F而得到的金额设为每月的药液的再生处理费用。例如，再生药液的资材或原料的调配所涉及的各项经费、装置的维持管理费等被认为与再生药液的供给量(这与装置的运转时间也有关系)有关联是合理的。在这样的情况下，将补贴率F乘以再生药液的供给费用K×E(元/月)，每月的药液的再生处理费用被求出为K×E×F(元/月)。也可以将补贴率F包含于再生药液的供给单价E(元/L)。此外，在加上基本费用等的情况下，每月的药液的再生处理费用成为K×E×F+Z(元/月)。更通常来讲，每月的药液的药液处理费用被求出为(K×E)×F+∑Zj(j＝1、2、3、···)(元/月)。

第二，作为药液的再生处理费用，向药液使用者请求将因在规定期间内提供的药液的再生处理的服务而给药液使用者带来的经济利益乘以规定的比例而得到的金额。这基于将因药液的再生处理的服务提供而使药液使用者产生的经济利益分给药液使用者和服务提供者这样的思考方式。这优选适用于例如向没有实施药液的再生处理的药液使用者提供药液的再生处理的服务的情况等。

在不进行药液的再生处理的情况下，药液使用者在将药液使用了规定次数之后全部废弃而更换为新药液。因此，药液的废液量非常多，新药液也必须被大量地调配。另一方面，在对药液进行再生处理而使其再利用时，药液使用者能够享受到如下那样的各种效果。即，新药液的使用量被大幅削减。药液的废液量也被大幅削减。

作为这样的情况下的药液的再生处理费用的计算的具体例，能够举出将因药液使用量的削减带来的药液成本的减少金额的数成作为规定期间的药液的再生处理费用的情况。

例如，将规定期间设为一个月。将在药液使用者接受本实用新型所涉及的药液的再生处理的服务提供之前、即在不实施药液的再生处理时药液使用者购入的每一个月的药液的购入量设为M(L/月)，并将其购入单价设为G(元/L)。在药液购入量M的变动大的情况下，将过去的适当的期间内的药液购入量的平均值设为M。

根据由累计流量计测定出的累计流量，将因本实用新型所涉及的药液的再生处理的服务提供而供给的再生药液的供给量求出为K(L/月)。乘以补充液的供给单价E(元/L)，每月的再生药液的供给费用被求出为K×E(元/月)。

于是，药液使用者通过接受本实用新型所涉及的药液的再生处理的服务提供而能够得到的药液成本的减少金额成为M×G-K×E(元/月)。以F为比例，每月的药液的再生处理费用被求出为(M×G-K×E)×F(元/月)。当然，也可以再加上基本费用等。作为比例F，例如为一成(0.1)、两成(0.2)、三成(0.3)等。

作为变形例，也可以将因药液的废液量的削减带来的废液处理成本的减少金额的数成设为规定期间的药液的再生处理费用。

在将再生处理实施前的药液的每月的废液处理费用设为N(元/月)、将再生处理实施后的每月的废液处理费用设为P(元/月)(其中，N＞P)时，因药液的再生处理而削减的废液处理费用的减少金额为N-P(元/月)。药液使用者因药液的再生处理而支付每月K×E(元/月)的再生药液的供给费用，因此药液使用者的废液量削减所牵涉的经济利益的金额成为(N-P)-K×E(元/月)。每月的药液的再生处理费用在此基础上乘以比例F而被求出为((N-P)-K×E)×F(元/月)。也可以再加上基本费用等。

作为其他变形例，药液使用者的经济利益的金额也可以使用药液成本的减少金额和废液处理费用的减少金额等的总计金额。也可以将从药液成本的减少金额和废液处理费用的减少金额等的总计金额减去补充液的供给费用K×E(元/月)后的金额视作药液使用者的因药液的再生处理带来的总计经济利益的金额，来计算每月的药液处理费用。在该情况下，若将药液成本的减少金额和废液处理费用的减少金额等的总计金额设为V(元/月)，则药液的再生处理费用成为(V-K×E)×F(元/月)。也可以再加上基本费用等。

作为另一变形例，通过向已经实施药液的再生处理的药液使用者提供本实用新型所涉及的药液的再生处理的服务，能够使药液使用者产生各种经济利益。同样将这些经济利益计算为每月的药液的再生处理费用而向药液使用者请求。

即便在已经实施药液的再生处理的情况下，大多的药液使用者依然购入药液再生装置并自己运转、维持管理，从而进行药液的再生处理。因此，药液使用者在药液的再生处理中承担原料或资材的调配的各项经费、装置操作员的人工费等费用。另外，尚在使用旧的再生处理装置的情况也较多。

在这样的情况下，通过将以往的再生处理置换为本实用新型所涉及的药液的再生处理的服务，能够给药液使用者带来与药液成本、废液成本的削减等相伴的经济利益。在这样的情况下，也与上述相同地，能够将基于补充液的累计流量而得到的经济利益的金额的数成计算为药液的再生处理费用，并向药液使用者请求。

接下来，对本实用新型所涉及的药液的浓度管理装置进行说明。对于实现提供本实用新型的药液的浓度管理的服务的商业而言，能够测定浓度管理所需要的补充液的供给量的、在补充液的供给配管配备有累计流量计的浓度管理装置是不可或缺的。以下，参照附图对具备这种累计流量计的浓度管理装置进行说明。

〔药液的浓度管理装置〕

图1是用于说明本实施方式的药液的浓度管理装置的示意图。在本实施方式的说明中，对如下的浓度管理装置进行说明：以作为药液的2.38％浓度的TMAH水溶液(显影液)为例，对其补给作为补充液的20％TMAH水溶液(显影液的原液)、未使用的2.38％TMAH水溶液(显影液的新液)以及纯水来进行浓度管理。

在图1中，为了便于说明，显影液(药液)的浓度管理装置1以与显影工序设备(药液使用设备)100连接的方式图示。此外，显影液(药液)的浓度管理装置1也与补充液的贮存容器91、92等连接。

首先，简单说明显影工序设备(药液使用设备)100。其中，图1的显影工序设备(药液使用设备)100为显影工序设备(药液使用设备)的例示，但并不局限于此。本实用新型的显影液(药液)的浓度管理装置所连接的显影工序设备(药液使用设备)能够包括与图1不同的各种方式的情况。

显影工序设备100主要由显影液贮存槽161、溢流槽162、显影室护罩164、辊式输送机165、显影液喷淋嘴167等构成。显影液贮存槽161贮存有在显影处理中反复使用的显影液(药液)。显影液贮存槽161具备液面计163和溢流槽162，对因补给补充液而导致的液量的增加进行管理。显影液贮存槽161和显影液喷淋嘴167由显影液管路180连接。贮存于显影液贮存槽161内的显影液借助设于显影液管路180的循环泵172并经由过滤器173而被输送至显影液喷淋嘴167。辊式输送机165配备于显影液贮存槽161的上方，用于搬运制作有光致抗蚀剂膜的基板166。显影液从显影液喷淋嘴167滴下。由辊式输送机165搬运的基板166在被滴下的显影液之中通过而浸渍于显影液中。然后，显影液被显影液贮存槽161回收而被再次贮存。贮存于显影液贮存槽161的显影液被循环泵174取出并经由具备过滤器175的循环管路185而再次返回至显影液贮存槽161。通过显影液的经由循环管路185的循环，显影液贮存槽161内的显影液始终被搅拌。需要说明的是，通过使废液泵171工作而将劣化了的显影液废弃(排出)。

接下来，对本实施方式的浓度管理装置1进行说明。

本实施方式的浓度管理装置1主要具备测定部10、运算部20、控制部30及配备于补充液供给配管81、82、83的控制阀41、42、43和累计流量计51、52、53。

测定部10通过取样配管15及返回配管16而与显影液贮存槽161连接。测定部10通过测定数据用信号线17、18而与运算部20连接。测定部10具备取样泵14和测定机构11及12。测定机构11及12例如为用于测定显影液的碱成分的浓度的导电率仪、或者用于测定显影液的溶解树脂浓度的吸光光度计等。测定机构11、12在取样泵14之后串联连接。取样配管15与取样泵14连接，返回配管16与测定机构末端的配管连接。

测定部10优选还具备使所取样的显影液稳定为规定的温度的温度调节机构(未图示)，以提高测定精度。此时，温度调节机构优选设置在测定机构的紧前面。

运算部20包括用于根据由测定部10测定出的测定数据而计算显影液的成分浓度(例如碱成分浓度或溶解树脂浓度等)的运算模块21。在运算模块21中，根据由测定部10测定出的测定数据来计算显影液的成分浓度。

运算部20通过信号线22而与控制部30连接。运算部和控制部也可以借助例如计算机等而构成为一体。

控制部30包括控制模块31。控制部30通过控制用信号线32、33、34而与设置在补充液供给配管81、82、83上的控制阀41、42、43连接。控制模块31根据由运算部20算出的显影液的浓度而决定补充哪种补充液到何种程度，并对设置在输送补充液的配管上的控制阀进行开闭控制。

在补充液供给配管81、82、83还分别配备有计测所供给的补充液的累计流量的累计流量计51、52、53。有时在纯水的补充液供给配管83不设置累计流量计。

显影液(药液)的浓度管理装置1的动作如下所述。

首先，利用取样泵14对在显影工序设备100中反复使用的显影液进行取样，在适当调整温度调节等测定条件之后，利用测定机构11及12来测定例如其导电率和吸光度。测定出的显影液的导电率值和吸光度值经由测定数据用信号线17、18而被送至运算部20。

运算部20基于由测定部10的测定机构11及12测定出的显影液的导电率、吸光度等特性值而计算对应的显影液的成分浓度。算出的显影液的成分浓度经由信号线22被送至控制部30。

控制部30对由运算部20算出的显影液的成分浓度和预先存储的成分浓度的管理目标值进行比较。控制部30进行为了将成分浓度维持为管理目标值而需要补给的补充液的选择、补充液的供给量的计算或者应将设置在输送补充液的配管上的控制阀打开的时间的计算。控制部30经由控制用信号线32、33、34而向设置在补充液供给配管81、82、83上的控制阀41、42、43的任一适当的控制阀发送开闭控制的信号。

接收到控制信号的控制阀基于该控制信号将流路打开规定时间。控制阀预先设定有打开时的流量。因此，通过将流路打开规定时间来供给规定量的补充液。

例如，将TMAH水溶液(显影液)的碱成分浓度管理为2.38％的控制如下所述。需要说明的是，在此，以在贮存容器91贮存有显影液的原液(20％TMAH水溶液)、在贮存容器92贮存有显影液的新液(未使用的2.38％TMAH水溶液)的例子进行说明。在由测定部10和运算部20测定并算出的碱成分的浓度低于2.38％时，将设置在补充液供给配管(显影液原液供给配管)81上的控制阀41打开规定时间，补给在贮存容器(显影液原液贮存容器)91中预先准备好的显影液的原液(20％TMAH水溶液)。在碱成分的浓度高于2.38％时，将设置在补充液供给配管(纯水供给配管)83上的控制阀43打开规定时间并补给纯水。

同样，将溶解树脂浓度管理为规定的管理浓度以下的控制如下所述。在由测定部10和运算部20测定并算出的溶解树脂的浓度高于规定的管理值时，将设置在补充液供给配管(显影液新液供给配管)82上的控制阀42打开规定时间，补给在贮存容器(显影液新液贮存容器)92中预先准备好的显影液的新液(未使用的2.38％TMAH水溶液)。

贮存容器91及贮存容器92被经由氮气用配管85而导入的氮气加压。通过打开控制阀41、42而对贮存容器91及92内的补充液进行压力输送。在向贮存容器91导入氮气的氮气用配管85配备有控制阀47，在向贮存容器92导入氮气的氮气用配管85配备有控制阀46。控制阀46、47根据各贮存容器91及92内的液体的减少情况而被适当地开闭控制，从而维持各贮存容器91及92的内压。在补充液供给配管81的贮存容器91侧及补充液供给配管82的贮存容器92侧具备阀门44及45。阀门44、45通常始终打开，但在贮存容器91及92内变空时，将阀门44、45关闭，并更换为充满补充液的新的贮存容器91、92。

这样一来，TMAH水溶液的碱成分浓度被浓度管理为2.38％，溶解树脂浓度被浓度管理为规定的管理值以下。浓度管理例如通过PID控制(Proportional-Integral-Differential Control)等而进行。

在补充液供给配管81、82、83设有累计流量计51、52、53。累计流量计51、52、53对经由补充液供给配管81、82、83而供给的补充液的累计流量进行测定。从浓度管理装置1供给的补充液在通过了累计流量计51、52、53之后，在合流管路84合流，并经由循环管路185而向显影液贮存槽161补给。累计流量计51、52、53优选具备通信功能。若具备通信功能，则能够将累计流量计与网络连接。能够经由网络来把握所测定出的累计流量的测定值。

累计流量计51、52、53并不局限于直接与网络连接的情况，也可以间接地与网络连接。例如，累计流量计51、52、53也可以在浓度管理装置1内与担负浓度管理装置1的运算、控制的功能的计算机连接，且以浓度管理装置1与网络连接的方式间接地与网络连接。

另外，供累计流量计连接的网络可以是工厂内的局域网，也可以是因特网等广域网。

如以上那样，根据本实用新型的药液的浓度管理装置，能够实现药液的浓度管理，并计测所供给的补充液的累计流量。

图1所示的本实施方式的浓度管理装置1只不过是示例。本实用新型的药液的浓度管理装置并不局限于该方式。在图1的浓度管理装置1中，描绘出各构成要素构成为一体的装置，但测定部10、补充液供给配管81、82、83等也可以分体形成。测定部10的内部结构等也不局限于图1，能够根据药液的种类等而采用各种方式。

总之，本实用新型的药液的浓度管理装置的特征在于，在能够向反复使用的药液补给补充液而管理该药液的浓度的浓度管理装置的用于补给补充液的配管中配备有累计流量计。此外，其特征在于，该累计流量计具备通信功能。

作为具备通信功能的累计流量计，例如，已知有KEYENCE公司的科里奥利式数字流量传感器FD-S系列等。通过安装通信单元，能够将测定出的累计流量数据等各种数据与个人计算机等进行通信。因此，能够远程地监视累计流量。

〔药液再生装置〕

图2是用于说明本实施方式的药液再生装置的示意图。在本实施方式的说明中，说明通过利用过滤器去除蓄积于显影液中的抗蚀剂成分来对显影液进行再生处理的药液再生装置。但是，药液再生装置的结构并不局限于此。作为药液再生装置，除过滤器去除以外，也可以是根据药液的种类、药液中的不需要成分的性质等而通过例如电析、晶析、膜分离等技术去除不需要成分等的各种方式。

在图2中，为了便于说明，药液再生装置(显影液再生装置)2以与显影工序设备(药液使用设备)100连接的方式图示。显影工序设备(药液使用设备)100与图1相同，故省略其说明。

本实施方式的药液再生装置(显影液再生装置)2主要具备过滤器61、62、63、再生药液贮存容器(再生显影液贮存容器)93、输送泵70、累计流量计54、控制部35等。

从显影工序设备100废弃(排出)了的使用后的显影液经由废液回收配管86而导入药液再生装置2的过滤器61、62、63。在过滤器61、62、63中，过滤并去除使用后的显影液中的抗蚀剂成分等。药液再生装置2的过滤器优选如图2那样并联地连接配备有多个。这是为了提高显影液的再生处理能力且使过滤器堵塞时的维护性优异。

由过滤器61、62、63去除不需要物质而再生的再生显影液被贮存于再生药液贮存容器93。贮存于再生药液贮存容器93的再生显影液借助输送泵70且经由再生药液供给配管(再生显影液供给配管)87而返回至显影工序设备100。

在再生药液供给配管87除具备输送泵70以外还具备控制阀48及累计流量计54。控制阀48和输送泵70均经由控制用信号线37、38而与控制部35所包含的控制模块36连接。控制模块36对输送泵70及控制阀48进行动作控制，以将再生显影液输送至显影工序设备100。通过控制模块36的控制信号而驱动输送泵70且打开控制阀48，由此输送再生显影液。

在输送再生显影液时，利用配备于再生药液供给配管87的累计流量计54，对经由再生药液供给配管87而供给的再生显影液的累计流量进行测定。

累计流量计54优选具备通信功能。若具备通信功能，则能够将累计流量计与网络连接。能够经由网络而把握所测定出的累计流量的测定值。

累计流量计54并不局限于直接与网络连接的情况，也可以间接地与网络连接。例如，也可以通过使显影液(药液)再生装置2与网络连接而间接地使累计流量计54与网络连接。

另外，供累计流量计连接的网络可以是工厂内的局域网，也可以是因特网等广域网。

如以上那样，根据本实用新型的药液再生装置，能够实现药液的再生处理，并计测所供给的再生药液的累计流量。

图2所示的本实施方式的药液再生装置2只不过是示例。本实用新型的药液再生装置并不局限于该方式。在图2的药液再生装置2中，描绘出各构成要素构成为一体的装置，但控制部35、再生药液贮存容器93、过滤器61、62、63等也可以分体构成。另外，在再生药液作为药液的浓度管理中的补充液之一而补给的情况下，药液再生装置无需具备控制部35，也可以利用浓度管理装置1来对控制阀48、输送泵70进行控制。

总之，本实用新型的药液的药液再生装置的特征在于，在能够将使用后的药液再生处理为能够再利用的药液再生装置的用于供给再生药液的配管中配备有累计流量计。此外，其特征在于，该累计流量计具备通信功能。

作为具备通信功能的累计流量计，例如已知有KEYENCE公司的科里奥利式数字流量传感器FD-S系列等。通过安装通信单元，能够将测定出的累计流量数据等各种数据与个人计算机等进行通信。因此，能够远程地监视累计流量。

〔药液的浓度管理费用的计算方法〕

接下来，对本实施方式的药液的浓度管理费用的计算方法进行说明。图3是用于说明本实施方式的药液的浓度管理费用的计算方法的流程图。

在说明本实施方式的药液的浓度管理费用的计算方法时，浓度管理装置如图1所示那样与药液使用设备连接。即，浓度管理装置通过取样配管与药液使用设备的药液贮存槽连接，以便能够利用浓度管理装置来计测药液使用设备的药液贮存槽所贮存的药液的浓度，同时，浓度管理装置通过具备累计流量计的配管而与药液使用设备连接，以便能够向药液使用设备的药液贮存槽补给补充液。

如图3所示，本实施方式的药液的浓度管理费用的计算方法包括：对在药液使用设备中反复使用的药液的浓度进行测定的浓度计测步骤S1；基于在浓度计测步骤S1中测定出的浓度而判断是否要补给补充液的补充液补给要否判断步骤S2；向药液使用设备供给补充液而管理药液浓度的补充液供给步骤S3；对所补给的补充液的累计流量进行计测的累计流量计测步骤S4；对进行了浓度管理的期间是否经过了规定期间进行判断的规定期间经过判断步骤S5；以及根据在累计流量计测步骤S4中计测出的累计流量来计算药液的浓度管理费用的浓度管理费用计算步骤S6。

其中，浓度计测步骤S1、补充液补给要否判断步骤S2、补充液供给步骤S3在大多数情况下是药液的浓度管理方法通常具有的步骤。本实用新型的药液的浓度管理费用的计算方法的特征在于，具有累计流量计测步骤S4、规定期间经过判断步骤S5以及浓度管理费用计算步骤S6。

以下，具体说明S1～S6的各步骤。

浓度计测步骤S1是浓度管理装置对在药液使用设备中反复使用的药液的浓度进行计测的步骤。浓度管理装置从药液贮存槽对药液进行取样并测定其成分浓度。所测定的成分浓度是成为浓度管理的对象的药液的成分浓度。

浓度管理装置基于计测出的药液的浓度来判断是否需要向药液补给补充液。在需要补给补充液的情况下，浓度管理装置也针对应将哪种补充液补给多少量来作出判断。这是补充液补给要否判断步骤S2。

浓度计测步骤S1和补充液补给要否判断步骤S2始终形成重复的循环。换句话说，反复进行计测浓度并判断是否需要补给补充液这样的循环。根据该循环，始终监视药液的浓度。

在补充液补给要否判断步骤S2中，在判断为需要补给补充液时，适量补给适当的补充液。这是补充液供给步骤S3。在补充液补给要否判断步骤S2中判断为不需要补给补充液时，不补给补充液。通过适量补给适当的补充液，药液的浓度被管理为所希望的浓度。

例如，在将作为显影液的TMAH水溶液浓度管理为2.38％的情况下，若在浓度计测步骤S1中计测出的浓度低于2.38％，则作为补充液而补给显影液的原液，反之，若高于2.38％，则作为补充液而补给纯水(或者显影液的新液)。这样一来，显影液被始终维持并管理为2.38％。

在补充液供给步骤S3中向药液补给补充液时，利用配备在用于输送补充液的配管中的累计流量计来计测所供给的补充液的累计流量。这是累计流量计测步骤S4。补充液供给步骤S3和累计流量计测步骤S4通常同时执行。换句话说，一边供给补充液、一边进行该累计流量的计测。

在规定期间经过判断步骤S5中，对是否经过了规定期间进行判断。在没有经过规定期间的情况下，通过反复进行步骤S1～步骤S4，进行在药液使用设备中反复使用的药液的浓度的管理，并且进行补充液的累计流量的计测。在经过了规定期间的情况下，进入接下来的浓度管理费用计算步骤S6。

在浓度管理费用计算步骤S6中，基于在累计流量计测步骤S4中计测出的补充液的累计流量而进行规定期间内的药液的浓度管理费用的计算。若取得本次查表时的累计流量与前次查表时的累计流量的差分，则求出本期的补充液的供给量。将这样算出的规定期间的补充液的累计流量乘以补充液的供给单价等，来计算药液的浓度管理费用。药液的浓度管理费用的具体计算式能够采用各种方式。几个计算例如前所述，故在此省略其具体说明。需要说明的是，在没有特别指示的情况下，在进行了本次的药液的浓度管理费用的计算之后，为了进行下一规定期间内的药液的浓度管理费用的计算，开始浓度计测步骤S1。

〔药液的再生费用的计算方法〕

接下来，对本实施方式的药液的再生处理费用的计算方法进行说明。图4是用于说明本实施方式的药液的再生处理费用的计算方法的流程图。

在说明本实施方式的药液的再生处理费用的计算方法时，药液再生装置如图2所示那样与药液使用设备连接。即，药液再生装置与药液使用设备的药液贮存槽的排液配管连接，以便能够利用药液再生装置来进行药液使用设备的药液贮存槽所贮存的药液的再生处理，同时，药液再生装置通过具备累计流量计的配管而与药液使用设备连接，以便能够向药液使用设备的药液贮存槽补给再生药液。

本实施方式的药液的再生处理费用的计算方法包括：将在药液使用设备中使用的药液再生为能够再利用的药液再生步骤S11；向药液使用设备供给再生药液的再生药液供给步骤S12；对所供给的再生药液的累计流量进行计测的累计流量计测步骤S13；判断进行了药液的再生及再生药液的供给的期间是否经过了规定期间的规定期间经过判断步骤S14；根据在累计流量计测步骤S13中计测出的累计流量来计算药液的再生处理费用的再生处理费用计算步骤S15。

其中，药液再生步骤S11、再生药液供给步骤S12在大多数情况下是药液的再生处理方法通常具有的步骤。本实用新型的药液的再生处理费用的计算方法的特征在于，具有累计流量计测步骤S13、规定期间经过判断步骤S14以及再生处理费用计算步骤S15。

以下，具体说明S11～S15的各步骤。

药液再生步骤S11是药液再生装置将在药液使用设备中使用后的药液再生为能够再利用的步骤。药液再生装置接纳从药液贮存槽废弃的使用完的药液，并分离去除其中所包含的不需要成分，由此将使用完的药液再生为能够再利用。例如，是利用过滤器从使用完的显影液精密过滤抗蚀剂成分的工序等。

再生处理后的药液作为再生药液而被供给至药液使用设备。这是再生药液供给步骤S12。再生药液的输送经由具备累计流量计的配管而进行。

在向药液使用设备供给再生药液的同时，配备于配管的累计流量计对该供给所涉及的累计流量进行计测。换句话说，一边供给再生药液一边进行该累计流量的计测。这是累计流量计测步骤S13。由此，把握再生药液的供给量。

在规定期间经过判断步骤S14中，判断是否经过了规定期间。在本实施方式中，在没有经过规定期间的情况下，通过重复药液再生步骤S11、再生药液供给步骤S12、累计流量计测步骤S13，进行药液使用设备的药液贮存槽所贮存的药液的再生。另外，进行再生后的再生药液向药液贮存槽的供给。在经过了规定期间的情况下，进入接下来的再生处理费用计算步骤S15。

在再生处理费用计算步骤S15中，基于在累计流量计测步骤S13中计测出的再生药液的累计流量而进行规定期间内的药液的再生处理费用的计算。若取得本次查表时的累计流量与前次查表时的累计流量的差分，则求出本期的再生药液的供给量。将这样算出的规定期间的再生药液的累计流量乘以再生药液的供给单价等，由此计算药液的再生处理费用。药液的再生处理费用的具体计算式能够采用各种方式。几个计算例如前所述，故在此省略。需要说明的是，在没有特别指示的情况下，在进行了本次的药液的再生处理费用的计算之后，为了进行下一规定期间内的药液的再生处理费用的计算，开始药液再生步骤S11。

再生药液的供给存在几个变形例。例如，有时仅在从药液使用设备发出再生药液的供给请求时供给再生药液。例如，浓度管理装置和药液再生装置被一同使用，有时供给再生药液作为浓度管理用的补充液之一。

在任一变形例中，本实用新型的药液的再生处理费用的计算方法的特征均在于，利用配备在用于供给再生药液的配管上的累计流量计，一边计测所供给的再生药液的累计流量、一边供给再生药液，基于计测出的规定期间的累计流量而计算药液的再生处理的费用。

〔利用网络的药液的浓度管理费用的计算方法及计算系统〕

接下来，对利用了将具备通信功能的累计流量计与计算机连接的网络的药液的浓度管理费用的计算方法、及药液的浓度管理费用计算系统进行说明。图5是具备药液使用者的工厂的累计流量计和经由网络而连接的药液的浓度管理的服务提供者的服务器系统的药液的浓度管理费用计算系统的示意图。

图5所示的本实施方式的药液的浓度管理费用的计算系统200具备：管理药液浓度的服务的服务提供者具有的1台服务器系统202；经由网络201连接且分别设置于药液使用者的工厂211、212、213、214、215的具有通信功能的累计流量计221、222、223、224、225(即分别设置于5所工厂的5台累计流量计)。

构成药液的浓度管理费用的计算系统200的累计流量计及服务器系统的数量并非局限于图5所记载的数量。本实用新型的药液的浓度管理系统至少具备经由网络而连接的1台累计流量计、以及1台服务器系统即可。

在图5中虽未详细图示，但在各工厂中，在药液使用设备连接有药液的浓度管理装置。利用该浓度管理装置，向在药液使用设备中反复使用的药液供给补充液而管理药液的浓度。在用于由浓度管理装置向药液使用设备供给补充液的配管上设置有具有通信功能的累计流量计221、222、223、224、225。累计流量计221、222、223、224、225将向药液使用设备供给的补充液的供给量计测为累计流量。

作为具有通信功能的累计流量计，能够使用KEYENCE公司的科里奥利式数字流量传感器FD-S系列等。能够经由因特网等网络远程地取得累计流量等的计测数据。

服务器系统202具备接收部203、存储部204及计算部205。另外，服务器系统202具备显示器206。服务器系统202分别向与网络201连接的累计流量计221、222、223、224、225依次发出测定数据的发送请求信号，以使这些累计流量计221、222、223、224、225发送累计流量的测定数据。累计流量计221、222、223、224、225根据发送请求信号而将累计流量的测定数据发送至服务器系统202。

这样一来，服务器系统202的接收部203从各累计流量计221、222、223、224、225取得累计流量的测定数据。此时，与累计流量的测定数据配合地，预先取得累计流量计的个体识别编号(所谓的装置ID)和测定日时(即测定出的日期和时间)。也可以不是测定日时而是通信日时。

服务器系统202基于各累计流量计221、222、223、224、225的个体识别编号，按照每个累计流量计221、222、223、224、225将所取得的累计流量的计测值和测定日时追加到由存储器、硬盘等构成的存储部204，由此进行存储。

以规定的时间间隔(例如间隔一分钟或者间隔一小时)连续地重复从累计流量计取得测定数据的步骤，由此存储补充液的供给量的推移(即累计流量的历史信息)。

在服务器系统202的存储部204存储有各累计流量计221、222、223、224、225的累计流量的历史信息，因此能够把握各规定期间(例如一周或者一个月)内的补充液的供给量。例如在按照一个月来把握补充液的供给量的情况下，通过从本月的查表日时的累计流量减去前月的查表日时的累计流量，能够求出本月的补充液的供给量。

服务器系统202还根据规定期间内的补充液的供给量来计算该规定期间的药液的浓度管理费用。例如，在需要按照一个月来计算药液的浓度管理费用的情况下，将如前所述求出的累计流量乘以例如补充液的每单位液量的费用(单价)等，从而计算药液的浓度管理费用。将浓度管理费用的计算式和计算所需要的常量等预先编程于服务器系统202的计算部205即可。

这样一来，浓度管理的服务提供者能够按照规定期间向药液使用者请求基于补充液的累计流量而合理地算出的药液的浓度管理费用。若服务器系统202与作为药液的浓度管理费用的支付方的药液使用者的计算机通过网络连接，则药液的浓度管理费用的请求也可以由服务器系统202自动地以电子的方式进行。在该情况下，服务器系统202被编程为以电子的方式自动制作出请求所算出的药液的浓度管理费用的账单，并按照规定期间向药液使用者自动地电子发送该账单即可。

药液使用者通过支付药液的浓度管理费用，完成了按照规定期间的管理药液浓度这样的服务提供。这样一来，实现了利用网络远程地统一监视各处的药液的浓度管理所需要的补充液的供给量、且计算药液的浓度管理所涉及的浓度管理费用这样的药液的浓度管理费用的计算方法。能够提供经由网络远程地统一监视在各处为了管理药液浓度而供给的补充液的累计流量并管理药液浓度这样的服务。

本实施方式的网络201并不局限于由设置于各个工厂的累计流量计构成。例如，在规模大的工厂具有多个制造生产线，也可以是将设置于该各个制造生产线的累计流量计连接后的规模比较小的局域网。也可以是将分别设置于世界各个国家/地区的工厂的累计流量计连接后的世界规模的网络(例如因特网等)，例如，某一累计流量计设置于中国大陆的工厂，某一累计流量计设置于中国台湾的工厂，某一累计流量计设置于韩国的工厂，另外，某一累计流量计设置于日本的工厂。

〔利用网络的药液的再生处理费用的计算方法及计算系统〕

接下来，对利用了将具备通信功能的累计流量计与计算机连接的网络的药液的再生处理费用的计算方法、及药液的再生处理费用计算系统进行说明。作为用于说明的示意图，与图5基本相同，因此使用图5对本实施方式的药液的再生处理费用计算系统进行说明。在本实施方式中，图5是具备药液使用者的工厂的累计流量计和经由网络而连接的药液的再生处理的服务提供者的服务器系统的药液的再生处理费用计算系统的示意图。

图5所示的本实施方式的药液的再生处理费用的计算系统200具备：对药液进行再生处理的服务的服务提供者具有的1台服务器系统202；经由网络201而连接且分别设置于药液使用者的工厂211、212、213、214、215的具有通信功能的累计流量计221、222、223、224、225(即分别设置于5所工厂的5台累计流量计)。

构成药液的再生处理费用的计算系统200的累计流量计及服务器系统的数量并非局限于图5所记载的数量。本实用新型的药液的再生处理费用计算系统至少具备经由网络而连接的1台累计流量计、以及1台服务器系统即可。

在图5中虽未详细图示，但在各工厂中，在药液使用设备连接有药液再生装置。利用该药液再生装置，将在药液使用设备中使用的药液再生为能够再利用，并向药液使用设备供给再生药液。在用于由药液再生装置向药液使用设备供给再生药液的配管上设置有具有通信功能的累计流量计221、222、223、224、225。累计流量计221、222、223、224、225将向药液使用设备供给的再生药液的供给量计测为累计流量。

作为具有通信功能的累计流量计，能够使用KEYENCE公司的科里奥利式数字流量传感器FD-S系列等。能够经由因特网等网络远程地取得累计流量等的计测数据。

服务器系统202具备接收部203、存储部204及计算部205。另外，服务器系统202具备显示器206。服务器系统202分别向与网络201连接的累计流量计221、222、223、224、225依次发出测定数据的发送请求信号，以使这些累计流量计221、222、223、224、225发送累计流量的测定数据。累计流量计221、222、223、224、225根据发送请求信号而将累计流量的测定数据发送至服务器系统202。

这样一来，服务器系统202的接收部203从各累计流量计221、222、223、224、225取得累计流量的测定数据。此时，与累计流量的测定数据配合地，预先取得累计流量计的个体识别编号(所谓的装置ID)和测定日时(即测定出的日期和时间)。也可以不是测定日时而是通信日时。

服务器系统202基于各累计流量计221、222、223、224、225的个体识别编号，按照每个累计流量计221、222、223、224、225将所取得的累计流量的计测值和测定日时追加到由存储器、硬盘等构成的存储部204，由此进行存储。

以规定的时间间隔(例如间隔一分钟或者间隔一小时)连续地重复从累计流量计取得测定数据的步骤，由此存储再生药液的供给量的推移(即累计流量的历史信息)。

在服务器系统202的存储部204存储有各累计流量计221、222、223、224、225的累计流量的历史信息，因此能够把握各规定期间(例如一周或者一个月)内的再生药液的供给量。例如在按照一个月来把握再生药液的供给量的情况下，通过从本月的查表日时的累计流量减去前月的查表日时的累计流量，能够求出本月的再生药液的供给量。

服务器系统202还根据规定期间内的再生药液的供给量来计算该规定期间的药液的再生处理费用。例如，在需要按照一个月来计算药液的再生处理费用的情况下，将如前所述求出的累计流量乘以例如再生药液的每单位供给量的费用(单价)等，从而计算药液的再生处理费用。将再生处理费用的计算式和计算所需要的常量等预先编程于服务器系统202的计算部205即可。

这样一来，药液的再生处理的服务提供者能够按照规定期间向药液使用者请求基于再生药液的累计流量而合理地算出的药液的再生处理费用。若服务器系统202与作为药液的再生处理费用的支付方的药液使用者的计算机通过网络连接，则药液的再生处理费用的请求也可以由服务器系统202自动地以电子的方式进行。在该情况下，服务器系统202被编程为以电子的方式自动制作出请求所算出的药液的再生处理费用的账单，并按照规定期间向药液使用者自动地电子发送该账单即可。

药液使用者通过支付药液的再生处理费用，完成了按照规定期间的药液的再生处理这样的服务提供。这样一来，实现了利用网络远程地统一监视各处的基于药液的再生处理的再生药液的供给量、且计算药液的再生处理所涉及的再生处理费用这样的药液的再生处理费用的计算方法。能够提供经由网络远程地统一监视在各处通过药液的再生处理而再生为能够再利用的再生药液的累计流量并对使用后的药液进行再生这样的服务。

本实施方式的网络201并不局限于由设置于各个工厂的累计流量计构成。例如，在规模大的工厂具有多个制造生产线，也可以是将设置于该各个制造生产线的累计流量计连接后的规模比较小的局域网。也可以是将分别设置于世界各个国家/地区的工厂的累计流量计连接后的世界规模的网络(例如因特网等)，例如，某一累计流量计设置于中国大陆的工厂，某一累计流量计设置于中国台湾的工厂，某一累计流量计设置于韩国的工厂，另外，某一累计流量计设置于日本的工厂。

以上，参照附图对各实施方式说明过的内容也能够同样实施于在半导体、液晶显示器基板的制造工序中使用的各种药液。

根据本实用新型，药液使用者无需承担购入浓度管理装置或药液再生装置、或者使它们运转或对它们进行维持管理的负担，仅通过支付浓度管理费用、再生处理费用，就能够使用被管理为所希望的浓度的药液，能够得到再生药液而进行使用。因此，药液使用者能够享受与装置的购入或维持管理所涉及的成本的削减、药液调配或废液处理所涉及的成本的削减、生产线的运转率或成品率的提高、所制造的基板的品质的提高等相伴的多种经济优点。

根据本实用新型，服务提供者通过能够由本实用新型实现的商业方法，与销售装置的情况相比能够获得持续且稳定的收益。另外，根据本实用新型，能够提供对于该新的商业方法的实现来说不可或缺的药液的浓度管理装置、药液再生装置。根据本实用新型，还能够通过与网络连接的服务器系统远程地统一监视在各使用者的工厂中使用的累计流量计。