内置压力传感器的静电容式触摸面板的制作方法

本发明涉及内置有压力传感器的静电容式触摸面板。

背景技术：

作为现有技术已知有内置有压力传感器的静电容式触摸面板(专利文献1)。专利文献1中记载的传感器具备：电极图案，其由氧化铟锡(ito)构成；静电容测量装置，其经由接触点与电极图案连接，构成为对电极图案与周围环境之间的静电容进行测量；以及电阻测量装置，其构成为对该电极图案的一对点之间的电阻进行测量。

若手指等导电体接近电极图案，则静电容测量装置基于静电容变化检测上述导电体的位置。之后，电阻测量装置根据电极图案的电阻值基于导电体对电极图案的压力施加而产生的变化，检测由上述导电体施加的压力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公报“专利第5406944号说明书(2013年11月08日登录)”

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题

然而，如上所述的现有技术在对导电体的位置的检测和对由上述导电体施加的压力的检测中使用相同的电极图案，因此用于检测位置的静电容测量装置和用于检测压力的电阻测量装置需要分时动作。故而，存在无法同时检测导电体的位置和由上述导电体施加的压力这一问题。

本发明鉴于所述问题点而产生，其目的在于实现能够同时检测导电体的位置和由上述导电体施加的压力的内置压力传感器的静电容式触摸面板。

解决问题的方法

为了解决上述课题，本发明的一个方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板的特征在于，具备：多个触摸检测电极，所述多个触摸检测电极为了基于静电容检测触摸位置而沿第一方向延伸；和压力检测电极，其在所述多个触摸检测电极之间，以比所述触摸检测电极小的宽度沿所述第一方向延伸，电阻值根据压力的施加而变化。

发明效果

采用本发明的一个方式，发挥能够实现能同时检测导电体的位置和由上述导电体施加的压力的内置压力传感器的静电容式触摸面板的效果。

附图说明

图1中，(a)是示意性地示出第一实施方式的触摸面板的结构的俯视图，(b)是其剖视图。

图2中，(a)是示意性地示出形成于比较例的触摸面板上的传感层的结构的俯视图，(b)是(a)中示出的a部的放大图。

图3中，(a)是示意性地示出形成于第一实施方式的触摸面板上的传感层的结构的俯视图，(b)是(a)中示出的b部的放大图。

图4是用于说明对配置于上述传感层上的压力检测电极的电阻进行测量的方法的图。

图5是示出上述压力检测电极的电阻的测量结果的图表。

图6中，(a)是用于模拟对上述压力检测电极施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。

图7中，(a)是示意性地示出形成于第二实施方式的触摸面板上的传感层的结构的俯视图，(b)是示出(a)中示出的c部的结构的放大图，(c)是示出上述c部的其他结构的放大图。

图8中，(a)是示出在向形成于上述传感层上的压力检测电极施加应力时的压力检测电极的变形状态的示意图，(b)是用于说明比较例的压力检测电极的电阻值变化量的图，(c)是用于说明第二实施方式的压力检测电极的电阻值变化量的图。

图9中，(a)是用于模拟向上述压力检测电极施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。

图10中，(a)是示意性地示出形成于第三实施方式的触摸面板上的传感层的结构的俯视图，(b)是示出(a)中示出的d部的结构的放大图，(c)是示出上述d部的其他结构的放大图。

图11是示意性地示出形成于第四实施方式的触摸面板上的传感层的结构的俯视图。

图12是示出设置于上述触摸面板上的惠斯通电桥电路的结构的电路图。

图13中，(a)是用于模拟向设置于上述触摸面板上的压力检测电极施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。

图14是示意性地示出形成于第五实施方式的触摸面板上的传感层的结构的俯视图。

图15是示出向设置于上述触摸面板上的压力检测电极施加了压力时的电阻值变化的模拟结果的图表。

图16是示出第六实施方式的显示面板的结构的剖视图。

图17是示出设置于上述显示面板上的触摸面板的结构的剖视图。

具体实施方式

以下，详细说明本发明的实施方式。

〔第一实施方式〕

图1(a)是示意性地示出第一实施方式的触摸面板1(内置压力传感器的静电容式触摸面板)的结构的俯视图，(b)是其剖视图。触摸面板1设置于显示面板10。以覆盖触摸面板1的方式设置盖板玻璃14。

触摸面板1具备驱动层7和传感层6。沿x方向相互平行延伸的多个驱动电极3形成于驱动层7。而且，沿y方向相互平行延伸的多个传感电极2(触摸检测电极)形成于传感层6。在多个驱动电极3与多个传感电极2之间成矩阵状形成多个电容器。

若检测对象物触摸到盖板玻璃14上，则触摸面板上的与触摸位置对应的电容器的静电容变化。因此，若通过向驱动电极3施加驱动电压而从传感电极2读出基于储存于电容器中的电荷的信号，则能够检测出检测对象物的触摸位置。

图2(a)是示意性地示出形成于比较例的触摸面板上的传感层6的结构的俯视图，(b)是(a)中示出的a部的放大图。形成于用于检测触摸位置的传感层6上的电极一般包括：传感电极2，其经由可挠性印刷电路基板15(flexibleprintedcircuit，fpc)与由ic(integratedcircuit：集成电路)构成的触摸面板控制器连接；和虚拟电极95，其为了提高外观效果而配置于传感电极2之间，与触摸面板控制器不连接。

图3(a)是示意性地示出形成于第一实施方式的触摸面板1上的传感层6的结构的俯视图，(b)是(a)中示出的b部的放大图。在本实施方式中，虚拟电极的一部分作为压力检测电极4与控制器相连，该控制器与同传感电极2连接的控制器为同一个控制器。具体而言，在相邻的传感电极2之间配置压力检测电极4。而且，在相邻的传感电极2中的一个与压力检测电极4之间以及相邻的传感电极2中的另一个与压力检测电极4之间配置虚拟电极5。压力检测电极4的宽度比传感电极2的宽度小。虚拟电极5的宽度与压力检测电极4的宽度相同。虚拟电极5、压力检测电极4以及传感电极2都由相同的材料亦即氧化铟锡(ito)构成。优选为，压力检测电极4的材料是因应力而产生的电阻值变化(灵敏系数)较大的材料。例如，ito等半导体已知灵敏系数较大，因此适合作为压力检测电极4的材料。有关半导体的灵敏系数，多晶的灵敏系数比非晶的灵敏系数高，单晶的灵敏系数比多晶的灵敏系数高。

传感电极2的一端经由可挠性印刷电路基板15与触摸面板控制器19连接。各压力检测电极4的两端与驱动配线16连接，并经由可挠性印刷电路基板15，与触摸面板控制器19连接。各虚拟电极5与触摸面板控制器19不连接。

优选为，设置于触摸面板控制器19上的放大器是对一对输入的差分进行放大的差分方式的放大器。由此，能够更加显著地检测应力施加时的各压力检测电极4间的电阻值变化。

配置于传感层6上的位置检测用电极由与触摸面板控制器19连接的传感电极2和与触摸面板控制器19不连接的虚拟电极5构成。位置检测用电极一般而言为了提高检测精度而配置多个单向延伸的电极而成。而且，在相邻的虚拟电极5之间设置压力检测电极4。若对与触摸面板控制器19连接的压力检测电极4施加压力，则压力检测电极4的电阻值变化。因此，在由触摸面板控制器19实施传感检测时，从压力检测电极4读出的信号与没有施加压力时相比发生变化。由此，能够检测对触摸面板施加的压力。

另外，用于检测位置的传感电极2和用于检测压力的压力检测电极4与同一触摸面板驱动用ic(触摸面板控制器19)连接。触摸位置基于传感电极2与驱动电极3之间的互电容的变化进行检测。压力基于因对压力检测电极4施加压力而产生的压力检测电极4的电阻值的变化进行检测。

采用本实施方式，在与供位置检测用的传感电极2配置的传感层6相同的层，使用相同的材料设置压力检测电极4。因此，无需用于设置压力检测电极4的额外的工序、成本、机构上的制约。

另外，位置检测用的传感电极2与压力检测电极4都与相同的触摸面板控制器19连接。因此，无需如专利文献1所示，将电阻测量装置作为与静电容测量装置不同的ic而单独设置。而且，由于将压力检测电极4相对于位置检测用的传感电极2单独设置，因此能够同时驱动两个电极，从而能够同时检测位置和压力。

图4是用于说明对配置于传感层6上的压力检测电极4的电阻进行测量的方法的图。图5是示出压力检测电极4的电阻的测量结果的图表。将搭载有触摸面板1和厚度t＝0.55mm的盖板玻璃14的显示面板10固定于固定部件18之上，利用压力施加部件17对盖板玻璃14施加压力，测量出设置于触摸面板1上的压力检测电极4的电阻值。

如图5所示，所施加的压力和压力检测电极4的电阻值变化量成正比。因此，通过测量压力检测电极4的电阻值，能够测量施加于触摸面板1的压力。

图6(a)是用于模拟向压力检测电极4施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。示出将在线电阻为1kω、输入电压为3.3v时对压力检测电极4施加了300g的压力时的压力检测电极4的电阻值变化输入到设置于触摸面板控制器19上的差分方式的放大器时的模拟结果。可见能够根据在向显示面板10上的触摸面板1施加了300g的压力时的实测的电阻值变化进行输出检测。

此外，示出了将压力检测电极4配置于与传感电极2相同的传感层6的例子，但本发明并不局限于此。压力检测电极4也可以配置于与驱动电极3相同的驱动层7。后述的实施方式也相同。

〔第二实施方式〕

若基于图7～图9说明本发明的其他实施方式，则如下所示。此外，为了便于说明，对与前述实施方式中说明了的部件具有相同功能的部件标注相同的附图标记，省略其说明。

图7(a)是示意性地示出形成于第二实施方式的触摸面板1a上的传感层6的结构的俯视图，(b)是示出(a)中示出的c部的结构的放大图，(c)是示出上述c部的其他结构的放大图。

在第二实施方式中，为了使压力施加时的电阻值变化更加显著，而将折回图案部8插入到压力检测电极4a中。图7(b)所示，为了降低电阻，压力检测电极4a捆束三根而构成。压力检测电极4a的折回图案部8在向-y方向延伸了折回长度l后，向-x方向延伸长度w。进而，在向y方向延伸了折回长度l之后，向-x方向延伸长度w。接下来，向-y方向延伸折回长度l。这样，压力检测电极4a的折回图案部8为了增加与压力的施加相对应的电阻值的变化率，而交替向-y方向和y方向延伸。由此，压力检测电极4a的长边方向上的距离增加，因此能够增大与压力的施加相对应的压力检测电极4a的电阻值的变化率。

在图7(a)所示的例子中，示出了在全部压力检测电极4a的长边方向上的中央附近配置有折回图案部8的例子，但是本发明并不局限于此。通过将该折回图案部8的位置在每根线错开，由此在使用差分方式的放大器的情况下，能够更加显著地捕捉电阻值变化。

示出了折回图案部8呈直线状延伸的例子，但是本发明并不局限于此。为了提高可视性，可以如图7(c)所示，将折回图案部8构成为呈不规则的形状延伸。

图8(a)是示出对形成于传感层6上的压力检测电极施加应力时的压力检测电极4的变形状态的示意图，(b)是用于说明比较例的压力检测电极的电阻值变化量的图，(c)是用于说明第二实施方式的压力检测电极的电阻值变化量的图。

通过插入折回图案部8，压力检测电极的长边方向上的距离增加，针对应力，电阻变化率增加。另外，通过将组装入折回图案部8的前后的电极线并联，由此能够降低压力检测电极整体的电阻值，进而能够提高变化率。

有关折回图案部8的折回数，在图7和图8中示出了三次的例子，但本发明并不局限于此。折回数取决于实际的图案，能够进行变更。

若折回长度l较长，则电阻值变化增加，电阻值本身也增加。因此，压力检测电极4a的折回长度l与压力检测电极4a的电阻值处于折衷的关系。

图9(a)是用于模拟对压力检测电极4a施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。示出将在线电阻为1kω、输入电压为3.3v时对压力检测电极4a施加了300g的压力时的电阻值变化输入到差分方式的放大器时的模拟结果。压力检测电极4a的折回图案使用图7和图8所示的三次折回的图案。这里简单地设定为电阻值为1/3且电阻值变化量为三倍进行模拟。

〔第三实施方式〕

图10(a)是示意性地示出形成于第三实施方式的触摸面板上的传感层6的结构的俯视图，(b)是示出(a)所述的d部的结构的放大图，(c)是示出上述d部的其他结构的放大图。此外，为了便于说明，对与在前述实施方式中说明的部件具有相同功能的部件标注相同的附图标记，省略其说明。

为了使向压力检测电极施加压力时的电阻值变化比第二实施方式更加显著，在第三实施方式中，不仅是压力检测电极，还使用其两侧的虚拟电极的一部分作为折回图案。因此，也能够使折回数比第二实施方式增大。

由于压力检测电极的电阻值变化依赖于折回数而变大，因此因应力而产生的电阻值变化量增加。

通过将该折回图案的位置在每根线错开，在使用差分方式的放大器的情况下，能够更加显著地捕捉电阻值变化。

压力检测电极4b配置于传感电极2之间。是实际上配置于虚拟电极5b之间的图案。

如图10(b)所示，在压力检测电极4b与传感电极2之间，配置三条虚拟电极5b。压力检测电极4b具有折回图案部8b。这样，可以将压力检测电极4b的一部分变更为折回图案部8b。折回图案部8b的折回次数取决于压力检测电极4b的根数。例如，如图10(b)所示，若压力检测电极4b并联三条电极线而构成，则折回图案部8b的折回次数限制为三次。

如图10(c)所示，折回图案部8b的一部分可以变更虚拟电极5b的一部分而形成。这样，可以将虚拟电极5b的一部分与压力检测电极4b变更为折回图案部8b。折回图案部8b的折回次数不取决于压力检测电极4b的根数。例如，如图10(c)所示，即使压力检测电极4b并联三条电极线而构成，折回图案部8b的折回次数也不局限于三次，也可以是四次以上。图10(c)示出五次的例子。

〔第四实施方式〕

图11是示意性地示出形成于第四实施方式的触摸面板1c上的传感层6的结构的俯视图。图12是示出设置于触摸面板1c上的惠斯通电桥电路9的结构的电路图。此外，为了便于说明，对与在前述实施方式中说明了的部件具有相同的功能的部件标注相同的附图标记，省略其说明。

在第四实施方式中，在第一实施方式、第二实施方式或者第三实施方式的结构的基础上，在与触摸面板控制器19连接之前，设置惠斯通电桥电路9，在使电阻值变化变得显著之后，向触摸面板控制器19输入信号，从而能够更加容易地检测压力。

惠斯通电桥电路9具备：电阻rg1(第二电阻)，其经由端子c与端子q连接，经由端子d与端子p连接；电阻rg2(第三电阻)，其与端子p和端子s连接；电阻rg3(第四电阻)，其与端子r和端子s连接；以及电阻rg4(第一电阻)，其经由端子a与端子q连接，经由端子b与端子r连接。

借助触摸面板控制器19向端子q和端子s施加输入电压e，由触摸面板控制器19从端子p和端子r读出输出e0。

这里示出将应力施加的影响较大的中央部的压力检测电极4作为有源应变计(电阻rg1)，经由驱动配线21与端子c、端子d连接，将应力施加的影响较小的边缘部的虚拟电极5作为伪应变计(电阻rg4)，经由驱动配线20与端子a、端子b连接的例子。

作为应变应变计的原理，在对象物产生了应变ε时，应变ε与电阻值r之间的关系使用下式表示。

k×ε＝δr/r

这里，k是灵敏系数，是材料固有的值。

在图12所示的惠斯通电桥电路9中，在电阻rg1～电阻rg4的全部电阻值都相等的情况下，根据下式输出亦即e0为0[v]。

e＝((rg1×rg3)-(rg2×rg4))/(rg1+rg2)/(rg3+rg4)×e

但是可知，若因应力施加致使电阻rg1变化，则e≠0[v]，因此电流流动。

通过将端子m、端子n分别与触摸面板控制器19连接，能够检测上述电流值变化，由此能够进行压力的检测。

在使用设置有差动方式的放大器的触摸面板控制器19的情况下，如图12所示，通过将电容cs设置于触摸面板控制器19的输入的前段，能够进一步放大信号。

这样，在使用特定的压力检测电极4、虚拟电极5以及惠斯通电桥电路9的情况下，对电阻值变化极端小的情况有效。特别是在ito的电阻值较高的情况下，电阻值的变化率变小，但通过加入惠斯通电桥电路9，能够进行压力检测。

另外，通过对惠斯通电桥电路9的四个电阻中的两个使用触摸面板内的压力检测电极4和虚拟电极5，还能够获得对温度变化的补偿。

还可以取代配置于应力施加的影响较小的边缘部的虚拟电极5，将配置于上述边缘部的压力检测电极4作为伪应变计(电阻rg4)与端子a、端子b连接。另外，只要是利用与传感电极2相同的材料形成于相同的传感层6上的相同电阻的电极图案，作为伪应变计(电阻rg4)与端子a、端子b连接的电极所配置的位置就不受传感器区域内外限制。可以将配置于传感器区域之外的应力施加的影响较小的电极图案作为伪应变计(电阻rg4)，与端子a、端子b连接。另外，在不实施温度补偿的情况下，无需使用与传感电极2相同的材料在相同的传感层6形成上述电极图案。但是，既然是惠斯通电桥，上述电极图案就必须是与电阻rg2、rg3相同的电阻。

图13(a)是用于模仿对设置于触摸面板1c上的压力检测电极4施加了压力时的电阻值变化的电路图，(b)是示出其模拟结果的图表。示出将在线电阻为1kω、输入电压为3.3v时向压力检测电极4施加了300g的压力时的电阻值变化输入到差分方式的放大器时的模拟结果。折回图案使用三次折回。这里简单地将电阻值变化量设为三倍进行模拟。

在使用了惠斯通电桥电路9的情况下，利用图12所示的电容cs和设置于触摸面板控制器19的内部的积分电容决定输出的放大率。这里设为两倍，但该放大率因线电阻、ic制约而不同。

〔第五实施方式〕

图14是示意性地示出形成于第五实施方式的触摸面板1d上的传感层6的结构的俯视图。此外，为了便于说明，对与在前述实施方式中说明的部件具有相同的功能的部件标注相同的附图标记，省略其说明。

在第五实施方式中，示出将触摸面板1d的整面的压力检测电极4经由驱动配线22与惠斯通电桥电路9(图12)连接、在触摸面板1d的全域中对任何地方施加压力都能以差分进行检测的图案。另外，通过将全部压力检测电极4进行捆束，能够降低惠斯通电桥电路9的应变计(电阻rg1)的电阻值本身。

示出使用影响较小的边缘部的虚拟电极5作为伪应变计、将惠斯通电桥电路9的除此以外的电阻rg2、rg3在面板之外连接起来的例子。

在使用具备了差动方式的放大器的触摸面板控制器19的情况下，通过如图12所示，将电容cs设置于触摸面板控制器19的输入的前段，从而能够进一步放大信号。

如图12所示，在形成惠斯通电桥电路9的情况下，由于是针对存在于触摸面板1d的全域的压力检测电极4，观察其与面板边缘部的压力的影响较小的虚拟电极5的电阻值变化，因此具有对在触摸面板1d的全域中的任何位置施加压力都能确认差分的优点。通过对存在于触摸面板1d的全域的压力检测电极4进行捆束，电阻值减少，但由于电阻值变化率也减少，因此优选设置电容cs进行放大。

另外，还存在与ic(触摸面板控制器19)连接的沟道较少的优点。

图15是示出对设置于触摸面板1d上的压力检测电极4施加了压力时的电阻值变化的模拟结果的图表。

示出将在线电阻为1kω、输入电压为3.3v时向压力检测电极4施加了300g的压力时的电阻值变化输入到差分方式的放大器时的模拟结果。折回图案使用三次折回。这里，有关电阻值变化量，简单地将折回数设为三倍，将线数设为1/6进行模拟。在使用了惠斯通电桥电路9的情况下，由电容cs和触摸面板控制器19的内部的积分电容cint决定输出的放大率。这里设为30倍，但该放大率因线电阻、ic制约而异。

〔第六实施方式〕

图16是示出第六实施方式的显示面板10的结构的剖视图。图17是示出设置于显示面板10上的触摸面板1的结构的剖视图。

作为一般性的液晶面板的结构，tft(thinfilmtransistor，薄膜晶体管)基板11、cf(colorfilter，滤色器)基板12如图16所示构成，在从目视确认面观察时，依次配置cf基板12、tft基板11。

在cf基板12与tft基板11之间形成液晶层13。在tft基板11之上配置tft23。在cf基板12的靠液晶层13侧配置cf24和黑色矩阵25。

若将图16所示的结构称为lc(liquidcrystal，液晶)模块，则作为配置触摸面板1的位置，能够大致分为lc模块之上(外)、cf基板12之上、lc模块之中这三类。

这里，在拟检测因压力施加而产生的压力检测电极4的电阻值变化的情况下，在容易受到触摸的影响、即接近目视确认面一侧配置压力检测电极4更加有利。因此，优选将压力检测电极4配置于比cf基板12靠视认面侧。

作为一例，在图17中，示出在lc模块之上(外)配置电极的外挂(out-cell)式触摸面板1的例子。在本例中，示出互电容型触摸面板的例子，因此如图17所示，触摸面板电极层存在配置于薄膜基板层26的两个面的驱动层7和传感层6这两层。在本实施方式中，使用相同的材料在与传感电极2同一层的传感层6形成压力检测电极4。在该情况下，由于在紧邻触摸面亦即盖板玻璃14的下方配置压力检测电极4，因此更加容易受到应力的影响，容易检测电阻值变化。

〔总结〕

本发明的第一方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1、1a、1b、1c、1d)具备：多个触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)，所述多个触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)为了基于静电容检测触摸位置而沿第一方向延伸；和压力检测电极4、4a、4b，其在所述多个触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)之间，以比所述触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)小的宽度，沿所述第一方向延伸，并且电阻值根据压力的施加而变化。

采用上述结构，基于多个触摸检测电极检测触摸位置，基于多个触摸检测电极之间的压力检测电极，检测所施加的压力。因此，能够同时检测导电体的位置和利用上述导电体所施加的压力。另外，由于在多个触摸检测电极之间配置的压力检测电极的宽度比触摸检测电极的宽度小，因此能够维持触摸检测电极实施触摸位置检测的分辨率，并且同时检测所施加的压力和触摸位置。

本发明的第二方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1、1a、1b、1c、1d)可以是，基于上述第一方式，所述触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)是传感电极2，所述传感电极2和所述压力检测电极4、4a、4b形成于传感层6，沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个驱动电极3形成于驱动层7。

采用上述结构，能够利用配置于形成有传感电极的传感层上的压力检测电极检测压力。

本发明的第三方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1、1a、1b、1c、1d)可以是，基于上述第一方式或者第二方式，在所述压力检测电极4、4a、4b与所述触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)之间形成沿所述第一方向延伸的虚拟电极5、5b，使用相同的材料构成所述虚拟电极5、5b、所述压力检测电极4、4a、4b以及所述触摸检测电极(传感电极2、驱动电极3)。

采用上述结构，在与位置检测用的触摸检测电极、虚拟电极相同的层，使用相同的材料设置压力检测用的压力检测电极。因此，无需额外的工序、成本、机构上的制约。

本发明的第四方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1a、1b、1c、1d)可以是，基于上述第一方式至第三方式中的任一方式，所述压力检测电极4a、4b为了增大与所述压力的施加相对应的电阻值的变化率而具有交替地沿所述第一方向、与所述第一方向相反的第三方向延伸的折回图案部8、8b。

采用上述结构，通过在压力检测电极设置折回图案部，由此压力检测电极的长边方向上的长度增大。因此，能够增大与对压力检测电极的压力的施加相对应的电阻值的变化率。

本发明的第五方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1b、1c、1d)可以是，基于上述第三方式，所述压力检测电极4b为了增大与所述压力的施加相对应的电阻值的变化率，而具有交替沿所述第一方向、与所述第一方向相反的第三方向延伸的折回图案部8b，所述折回图案部8b的一部分对所述虚拟电极5b的一部分进行变更而形成。

采用上述结构，由于能够增大折回图案部的折回次数，因此能够使压力施加时的电阻值变化进一步显著。

本发明的第六方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1c，1d)可以是，基于上述第三方式，进一步具备具有第一电阻(电阻rg4)、第二电阻(电阻rg1)、第三电阻(电阻rg2)以及第四电阻(电阻rg3)的惠斯通电桥电路9，所述第一电阻(电阻rg4)与所述虚拟电极5连接，所述第二电阻(电阻rg1)与所述压力检测电极4连接。

采用上述结构，在利用惠斯通电桥电路使电阻值变化显著化之后，将其输入到触摸面板控制器，由此能够更加容易地检测压力。

本发明的第七方式的内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1、1a、1b、1c、1d)可以是，基于从上述第二方式到第六方式中的任一方式，所述内置压力传感器的静电容式触摸面板(触摸面板1、1a、1b、1c、1d)设置于显示面板10，所述显示面板10包括tft基板11、cf基板12以及配置于所述tft基板11与所述cf基板12之间的液晶层13，所述驱动层7配置于所述cf基板12的与所述液晶层13相反一侧，所述传感层6配置于所述驱动层7的与所述液晶层13相反一侧。

采用上述结构，能够在紧邻成为触摸面的盖板玻璃的下方配置压力检测电极，因此压力检测电极更加容易受到应力的影响，更加容易检测电阻值变化。

本发明并不局限于上述各实施方式，能够在权利要求示出的范围进行各种变更，将不同的实施方式中分别公开的技术手段适当组合而得到的实施方式也包含于本发明的技术范围中。并且，通过将各实施方式中分别公开的技术手段进行组合，由此能够形成新的技术特征。

符号说明

1触摸面板(内置压力传感器的静电容式触摸面板)

2传感电极(触摸检测电极)

3驱动电极

4压力检测电极

5虚拟电极

6传感层

7驱动层

8折回图案部

9惠斯通电桥电路

10显示面板

11tft基板

12cf基板

13液晶层

rg1电阻(第二电阻)

rg2电阻(第三电阻)

rg3电阻(第四电阻)

rg4电阻(第一电阻)