[0029] 图1是根据一示例性实施方式的触摸屏面板的布局图。
[0030] 图2是图1的触摸屏面板的沿线II'-11'和II" -II"截取的截面图。
[0031] 图3、5、7和9是顺序地示出根据一示例性实施方式的制造触摸屏面板的方法的布 局图。
[0032] 图4是图3的触摸屏面板的沿线IV' -IV'和IV" -IV"截取的截面图。
[0033] 图6是图5的触摸屏面板的沿线VI' _VI'和VI" -VI"截取的截面图。
[0034] 图8是图7的触摸屏面板的沿线VIII'-VIII'和VIII" -VIII"截取的截面图。
[0035] 图10是图9的触摸屏面板的沿线X' -X'和X" -X"截取的截面图。
[0036] 图11是根据另一示例性实施方式的触摸屏面板的布局图。
[0037] 图12是图11的触摸屏面板的沿线XII'-XII'和XII" -XII"截取的截面图。
[0038] 图13、15、17、19、21和23是顺序地示出根据另一示例性实施方式的制造触摸屏面 板的方法的布局图。
[0039] 图14是图13的触摸屏面板的沿线XIV' -XIV'和XIV" -XIV"截取的截面图。
[0040] 图16是图15的触摸屏面板的沿线XVI' -XVI'和XVI"-XVI"截取的截面图。
[0041] 图18是图17的触摸屏面板的沿线XVIII'-XVIII'和XVIII" -XVIII"截取的截 面图。
[0042] 图20是图19的触摸屏面板的沿线XX' -XX'和XX" -XX"截取的截面图。
[0043] 图22是图21的触摸屏面板的沿线XXII'-XXII'和XXII" -XXII"截取的截面图。
[0044] 图24是图23的触摸屏面板的沿线XXIV'-XXIV'和XXIV" -XXIV"截取的截面图。
【具体实施方式】
[0045] 典型的电容触摸屏面板包括通过连接线在坚直方向上连接的多个接收器（Rx)电 极图案和通过连接线在水平方向上连接的多个发送器（Tx)电极图案。银纳米线（AgNW)，其 具有高透射率和低电阻，正在被开发以用于这些Tx和Rx电极图案。在由银纳米线形成时， Tx和Rx电极图案能够通过湿法蚀刻或者干法蚀刻被图案化和形成。
[0046] 然而，因为连接相邻的Tx电极图案的连接线一般由透明导电氧化物（TC0)形成， 所以用于蚀刻该透明导电层的氧化剂可能还蚀刻形成Tx和Rx电极图案的银纳米线。因此， 难以唯一地蚀刻连接线而不损坏Tx和Rx电极图案。
[0047] 此外，在驱动电路线与Tx和Rx电极图案类似地是由银纳米线（AgNW)形成时，其 中该驱动电路线将Tx和Rx电极图案连接到外部驱动电路，难以实现用于驱动电路线的足 够导电性。
[0048] 以下将参考附图更全面地描述本公开，在附图中显示出示例性实施方式。如同本 领域的技术人员将认识到，所描述的实施方式可以以各种不同的方式修改，所有修改都不 脱离本公开的精神或范围。
[0049] 为了阐明本公开，不与描述相关的部分将被省略，相同的附图标记在整个说明书 中表示相同的元件。此外，在图中示出的每种结构的尺寸和厚度可以被夸大以更好地理解 描述和使描述容易，但是本公开不限于此。
[0050] 在图中，为了清晰起见，可以夸大一些层和区域的厚度。将理解，当元件诸如层、 膜、区域或基板被称为在另一元件"上"时，它能直接在所述另一元件上，或者也可以存在居 间元件。在本公开中使用时，术语"实质上"能够在一些应用中并且根据本领域技术人员的 理解而包括完全地、几乎完全地或者达到任何有效程度的含义。
[0051] 现在将参考图1和图2详细描述根据一示例性实施方式的触摸屏面板。
[0052] 图1是触摸屏面板的布局图，图2是图1的触摸屏面板的沿线n'-ir和 II" -II"截取的截面图。
[0053] 如图1和图2所示，触摸屏面板包括具有触摸区域TA和围绕触摸区域TA的外围 区域PA的基板10。触摸屏面板还包括第一触摸电极图案21，第一触摸电极图案21形成在 触摸区域TA中，在第一方向上延伸，并且传送第一触摸信号。多个第二触摸电极图案22也 形成在触摸区域TA中，在与第一方向交叉的第二方向上延伸，并且传送第二触摸信号。触 摸屏面板还包括第一驱动电路布线23和第二驱动电路布线24,第一驱动电路布线23形成 在外围区域PA中并且电连接到第一触摸电极图案21，第二驱动电路布线24形成在外围区 域PA并电连接到第二触摸电极图案22。
[0054] 基板10可以是由玻璃、石英、陶瓷或者塑料形成的绝缘基板。当附接到显示装置 的顶表面时，基板10可以由具有优良的透射率的材料形成。
[0055] 触摸区域TA指的是感测使用者的触摸并将其转换成电信号的区域，外围区域PA 指的是不包括第一和第二触摸电极图案21和22的区域。
[0056] 在一些实施方式中，第一触摸电极图案21是其中菱形的电极图案在第一方向（例 如坚直方向）上互连并且用于感测x轴坐标值的第一触摸信号通过其被传送的接收器（Rx) 电极图案。这些第一触摸电极图案21具有互连菱形的电极图案的第一触摸重叠部分或者 第一连接部分25。
[0057] 在一些实施方式中，第二触摸电极图案22彼此间隔开，每个第二触摸电极图案22 具有菱形的电极图案。连接线51形成为互连相邻的第二触摸电极图案22。在一些实施方 式中，第二触摸电极图案22形成用于感测y轴坐标值的第二触摸信号通过其被传送的发送 器（Tx)电极图案。
[0058] 第一和第二触摸电极图案21和22感测使用者的触摸的坐标值并且通过第一和第 二驱动电路布线23和24将坐标值分别传送到外部驱动电路，由此产生作为电信号的坐标 值。
[0059] 第一触摸电极图案21包括透明导电布线层21p，第二触摸电极图案22包括透明 导电布线层22p，第一驱动电路布线23包括顺序地层叠的透明导电布线层23p和低阻布线 层23q。透明导电布线层21P、22P和23P可以包含银纳米线（AgNW)，低阻布线层23q可以 包含从铜和银选出的一种材料。
[0060] 第一驱动电路布线23形成在外围区域中，并且可以由具有低透射率的低阻布线 层23q诸如铜或银形成。如上所述，第一驱动电路布线23的导电性能够通过在外围区域PA 中将第一驱动电路布线23形成为包括低阻布线层23q而提高。虽然未示出，但是第二驱动 电路布线24可以与第一驱动电路布线23具有相同的结构，且可以由相同的材料形成。形 成在外围区域PA中的第一驱动电路布线23被绝缘层30覆盖，触摸绝缘构件31形成于在 触摸区域TA中形成的第一触摸电极图案21的第一触摸重叠部分25上。
[0061] 触摸绝缘构件31形成在第一触摸电极图案21与连接线51之间以使第一触摸电 极图案21与第二触摸电极图案22绝缘。连接线51形成在触摸绝缘构件31上并且接触第 二触摸电极图案22,使得其互连分离的第二触摸电极图案22。连接线51可以包含透明导 电氧化物诸如铟锡氧化物（IT0)、铟锌氧化物（IZ0)、锌氧化物（ZnO)或者铟氧化物（ln203)。 [0062] 现在将参考附图描述根据一示例性实施方式的制造触摸屏面板的方法。
[0063]图3、5、7和9是顺序地示出根据一示例性实施方式的制造触摸屏面板的方法的布 局图。图4、6、8和10是图3、5、7和9的触摸屏面板的相应截面图。
[0064]首先，如图3和图4所示，透明导电层20p、低阻层20q和光敏膜（PR1和PR2)顺序 地形成在具有触摸区域TA和外围区域PA的基板10上。透明导电层20p可以包含银纳米 线（AgNW)，低阻层20q可以包含从铜和银选出的一种材料。
[0065] 接下来，通过图案化光敏膜（PR1和PR2)，触摸光敏膜图案PR2形成在触摸区域TA 中，而外围光敏膜图案PR1形成在外围区域PA中。通过利用狭缝掩模1000,触摸光敏膜图 案PR2的厚度d2形成为小于外围光敏膜图案PR1的厚度dl。为此，狭缝掩模1000的光阻 挡区域1000a位于外围区域PA上方，而狭缝掩模1000的狭缝区域1000b位于触摸区域TA 上方。
[0066] 接下来，如图5和图6所不，第一触摸电极图案21、第二触摸电极图案22以及第一 驱动电路布线23通过利用触摸光敏膜图案PR2和外围光敏膜图案PR1作为蚀刻掩模而形 成。
[0067] 然后，如图7和图8所不，执行灰化工艺以减小外围光敏|旲图案PR1的厚度从而形 成外围光敏膜图案PR1'并且去除触摸光敏膜图案PR2。
[0068] 因此，外围光敏膜图案PR1'的厚度dl'小于图5和图6中的外围光敏膜图案PR1 的厚度dl，形成在触摸区域TA中的第一和第二触摸电极图案21和22被暴露。接下来，第 一和第二触摸电极图案21和22的低阻布线层21q和22q