专利名称：多层记录媒体形成方法和装置,以及多层记录媒体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种多层记录媒体形成方法和装置以及一种多层记录媒体，尤其是涉及一种用于通过树脂层将压模接合/贴合在盘片上或将压模从盘片上剥离/移除并在该树脂层的表面上形成凹坑和/或凹槽结构的多层记录媒体形成方法和装置，以及一种利用该装置制造的多层记录媒体。
背景技术：
目前，人们提出了各种类型的多层结构盘片作为下一代记录媒体。
图33是示出一种再生产专用型两层盘片的结构的示意性剖面图。如图33中所示，一再生产专用型两层盘片200构成为包含一厚度为1.1mm的基片202，并在该基片202的任一表面上形成一厚度为0.1mm的光透射层204。
图34是图33中的基片和光透射层之间的边界部分的放大视图。如图34所示，在基片202和光透射层204上分别形成一围绕一中心孔206(参照图33)的螺旋形信息凹坑208。此外，通过溅射或汽相淀积等在这些信息凹坑208的表面上形成一反射层(未示出)，并且在相对的信息凹坑208之间形成一树脂层210以便填补由于该信息凹坑208造成的不规则。
如此构成的两层盘片利用来自光透射层204上部的激光束进行读取(操作)。
在上述多层盘片的树脂层210的表面上形成信息凹坑208或一凹槽结构时，可使用多种制造方法。
图35和36示出通过使用旋涂法形成信息凹坑的工艺步骤。为了使用旋涂法形成信息凹坑，首先如图35所示，将基片202和一光透射压模212相互接合，以便将所涂敷的放射线固化树脂保持在基片202的内缘侧，并使基片202和压模212如箭头214所示围绕中心孔206旋转。
通过一并旋转基片202和压模212，该放射线固化树脂由于离心力而朝盘片的外周向扩散，并且基片202和压模212之间的间隙被该放射线固化树脂充满。在该间隙充满放射线固化树脂后，从压模212的上部用放射线进行照射以便通过固化该放射线固化树脂而形成一树脂层216。
然后，在形成树脂层216后，如图36所示向上抬起压模212以便从树脂层216上剥离压模212。因此，当从树脂层216上剥离压模212时，从压模212转印的信息凹坑208暴露在树脂层216的表面上。此后，通过溅射或汽相淀积在树脂层216的表面上形成一反射层，然后通过一种方法例如旋涂形成一光透射层。
在上述常规示例中，说明了用于在树脂层216的表面上形成信息凹坑208的工艺。该使用压模的方法不限于形成信息凹坑208。当然，该方法可用于形成凹槽结构如盘片的螺旋线(go-around)，或其中凹槽结构与一信息凹坑相结合的构造。
在将一压模接合在一基片上时，该压模与该基片的间隙必须设置成均匀地在几十微米和几百微米之间。但是，当将一压模接合在一基片上时，该要接合的压模会靠近该基片。在此情况下，由于该压模的重量或者预先涂敷在基片的内缘侧的放射线固化树脂(称为树脂层)的粘滞阻力，该压模可能会倾斜或翘曲。
因此，当压模倾斜或翘曲时，将在盘片和压模之间固化的放射线固化树脂(称为树脂层)的厚度会不相同，结果会出现上部记录层的位置在厚度方向上变得不恒定的问题。
在从该基片上剥离压模时，会出现以下问题。
即，当从树脂层210上同时剥离压模212的整个面时需要大的张力。而且，当将压模212从树脂层210上剥离下来时，该张力突然释放。因此，压模212从一保持部上脱离并落在该树脂层210上，并且该信息凹坑或凹槽结构208可能被损坏。
此外，由于如上所述从树脂层210上同时剥离压模212，所以难以调节从树脂层210上剥离压模212的速度，且难以设定一最优的剥离速度以便显露出凹槽结构208。
此外，为了形成上述多层记录媒体，常规上一般沿一条直线设置一用于提供盘片和压模的部分，一用于将放射线固化树脂涂敷在该盘片的内缘侧的部分，一用于将压模接合在盘片上的部分，一用于固化放射线固化树脂的部分，一用于从盘片上剥离压模的部分，和一用于排出盘片和压模的部分。
但是，当使用上述方法时存在制造装置在纵向上延长并且该制造装置的尺寸增加的问题。此外，为了增加一个新的步骤(例如清洁盘片的步骤)该制造装置要根据该步骤所增加的部件而进行延长。因此，确保放置该制造装置的空间成为一个问题，并且，由于用于将压模接合在盘片上的部分或用于控制固化该放射线固化树脂的部分的温度的区域增加，所以空调装置的工作量可能增加以便抑制盘片的尺寸变化。
发明内容
本发明旨在解决以上常规的问题，并且本发明的第一个目的是提供一种多层记录媒体形成方法和装置，以及一种由该装置制造的多层记录媒体，该多层记录媒体形成方法和装置具有一用于实现压模接合的压模接合功能，该功能可以消除要被接合的压模的倾斜或翘曲，并可以均匀的间隙将压模接合在盘片上，可任意调节从一树脂层上剥离压模的速度并设定一最优的分离速度。
此外，本发明的第二个目的是提供一种可减小装置的尺寸并节约能量的多层记录媒体形成装置，以及一种由该装置制造的多层记录媒体。
即，本发明的多层记录媒体形成方法至少包括通过一树脂层将一压模接合在一盘片的表面的压模接合步骤，在旋转该盘片和该压模的同时用放射线照射以形成该树脂层的步骤，和从该树脂层剥离该压模的压模剥离步骤。此外，该压模的外径设为大于盘片的外径，或者该放射线可透过该压模。
此外，本发明的多层记录媒体形成方法是一种依次执行以下步骤的多层记录媒体形成方法通过树脂将一压模接合在一盘片的表面上的压模接合步骤，通过旋转该盘片和该压模以根据树脂的扩展填充该间隙、固化该树脂并形成该树脂层的树脂层形成步骤，和从该树脂层上剥离该压模的压模剥离步骤。该方法还使用以下步骤在该压模接合步骤中，将该盘片固定在一旋涂器工作台上同时将(盘片的)中心孔安装在一从该旋涂器工作台凸出的定心部件上，以便将树脂涂敷在该盘片的内缘侧，然后将该定心部件安装在该压模的中心孔上，通过树脂将压模放置在盘片上并根据一接合头的压力使该压模下降到该盘片侧，在通过安装在该定心部件上而对该压模定中心之后用该接合头吸住该压模，设定在该接合头下降时该压模与盘片的间隙，并通过该定心部件保持该间隙，并且在该压模剥离步骤中固定该盘片，然后对从该盘片的外缘凸出的压模的任意位置施加沿该压模的剥离方向起作用的压力，在利用该压力开始从树脂层上剥离该压模之后沿该压模的圆周连续施加压力，并沿该盘片的圆周方向从该树脂层上剥离该压模。
此外，本发明的多层记录媒体形成装置是具有以下部分的一种多层记录媒体形成装置，即一用于通过树脂将一压模接合在盘片的表面上的压模接合部，一用于通过旋转该盘片和压模并利用树脂的扩展来填充间隙以及固化该树脂来形成树脂层的树脂层形成部，和一用于从该树脂层上剥离该压模的压模剥离部，其中该压模接合部包括一具有盘片吸引装置并能够完全吸住盘片的任一侧的旋涂器工作台，一从该旋涂器工作台凸出以使该盘片和压模定中心并将该盘片和压模保持在凸出方向的定心部件，一具有往复运动装置并能够向盘片的内缘侧提供树脂的分配器，一具有压模吸引装置并能够完全吸住压模的任一侧的接合头，该接合头可相对于该旋涂器工作台垂直移动，和第一控制装置，该装置用于在接合头降低时使压模接近该旋涂器工作台，并在将其中心孔安装在该定心部件上以使压模定中心之后启动压模吸引装置时使压模与该接合头紧密接触，并且设定该压模与该盘片的间隙，以及该压模剥离部具有第二控制装置，在该第二控制装置中包括用于保持盘片的固定装置，并设置有多个加压销以便沿盘片的圆周方向使这些加压销推压该压模，该加压销能够沿从该盘片的外缘凸出的压模的圆周部分在压模剥离方向上垂直移动，并且该加压销的垂直移动速度可被调节。
此外，本发明的另一种多层记录媒体形成装置是这样一种多层记录媒体形成装置，它用于通过一树脂层将一压模接合在一盘片上和从该盘片上剥离该压模——该盘片具有至少一个位于一具有一信息记录面的支承基材上的记录层，以及用于在该树脂层的表面上形成一凹坑和/或凹槽结构，其中，设有多个传送臂，该传送臂分别将该盘片和该压模保持在各臂部的前端，并沿利用各臂的近端作为旋转中心而旋转的圆周运送该盘片和该压模，在该传送臂的圆周上依次设置有一用于提供盘片和压模的盘片-压模供给部，一用于将该压模接合在该盘片上的压模接合部，一用于在该盘片和该压模之间形成一树脂层的放射线照射部，一用于从该盘片上剥离该压模的压模剥离部，和一用于排出该盘片和压模的盘片排出部，并且由该传送臂运送跨置在这些部之上的盘片和压模。此外，优选地该传送臂具有多个臂部以便可同时运送盘片和压模。
此外，优选地该压模剥离部具有一用于沿盘片和压模的圆周方向容纳该盘片和压模的可旋转的运送工作台部，通过设置以下部分而沿该运送工作台部的圆周方向进行压模剥离操作一用于接收盘片和压模的接收部，一用于从盘片上剥离压模的压模剥离部，一用于在剥离压模后处理盘片的端面的端面处理部，和一用于将盘片从该运送工作台部传送到该盘片排出部的排出部，以便沿该运送工作台部的圆周方向进行压模剥离操作，或者优选地该压模接合部具有一用于沿盘片和压模的圆周方向容纳该盘片和压模的可旋转的接合工作台，并且沿该接合工作台的圆周方向设有一暂时固化放射线照射部以暂时固化由该盘片和压模保持的树脂。此外，优选地划分出一个包括该压模接合部和该暂时固化放射线照射部的区域，利用该区域作为一温度调节区域，并将该温度调节区域的温度设为恒定。
图1是在应用本实施例的多层记录媒体形成装置的形成装置形成凹槽时的一凹槽形成装置的示意性俯视图；图2是图1的压模接合部的放大视图；图3是图2的B-B向剖面图；图4是图3中的主要部分的放大视图；图5是图1中的压模剥离部的放大视图；图6是沿图5中的线A-A的剖面图；图7是示出一剥离工位(removing station)的结构的侧视图；图8是示出一切割器的切割刃到达一盘片和一压模之间的边界的状态的主要部分的放大视图；图9是示出一压模剥离部的结构的局部侧视图；图10是示出紧接一剥离销接触一压模之后的状态的图9中的主要部分的放大视图；图11是示出一端面处理部件的结构的侧视图；图12是图11中的主要部分的放大视图；图13是示出一盘片-压模供给部的主要部分的放大视图；图14是示出一压模排出斜槽的结构的说明图；图15是示出一压模排出斜槽的结构的说明图；图16是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图17是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；
图18是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图19是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图20是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图21是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图22是示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态的说明图；图23是示出一接合头下降的距离与时间之间的关系的曲线图。
图24是示出一定心部件的另一实施例的剖面图；图25是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图26是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图27是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图28是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图29是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图30是示出一盘片和一压模通过一压模剥离部的状态的说明图；图31是示出一种压模剥离状态的说明图；图32是示出压模剥离部所采用的一个示例的主要部分的放大视图；图33是示出一种只读两层盘片的结构的示意性剖面图；图34是在图33中的基片和光透射层之间的边界部分的放大视图；图35是示出使用旋涂法形成信息凹坑的工艺步骤的说明图；以及图36是示出使用旋涂法形成信息凹坑的工艺步骤的说明图。
具体实施例方式
下面，参照附图详细说明本发明的一种多层记录媒体形成方法和装置以及一种多层记录媒体的优选的特定实施例。
图1是在应用本发明的多层记录媒体形成装置形成凹槽时的一凹槽形成装置的示意性俯视图。在此实施例中，一凹槽形成装置用作一形成多层媒体的装置。但是，该装置不限于形成凹槽结构。也可以使用该装置形成除凹槽结构外的信息凹坑如盘片的螺旋线，或通过使两者结合而形成凹槽结构和信息凹坑。
应用本实施例的压模接合装置作为压模接合部的一凹槽形成装置230在一提供多层记录媒体的可重写两层盘片的上层记录侧形成一凹槽结构。此外，如图1所示，该凹槽形成装置230包括一用于供给盘片和压模的盘片-压模供给部232，一用于清洁盘片表面的清洁器部234，用于将压模接合在上述盘片上的压模接合部236，一用于固化在该盘片和该压模之间的放射线固化树脂以形成一树脂层的放射线照射部238，一用于从该盘片上剥离该压模的压模剥离部240，和一用于排出该盘片和压模的盘片排出部242。此外，在这些部之间设置有一供给臂244，第一传送臂246，第二传送臂248和排出臂250，以便根据这些臂的转动将盘片和压模传输到后面的(处理)阶段。
图2是图1的压模接合部的放大视图，图3是图2中的B-B向剖面图，且图4是图3中的主要部分的放大视图。
如这些图中所示，压模接合部236具有一可用一未示出的凸轮组件旋转180°的圆盘形的接合工作台350。此外，该接合工作台350具有一对围绕该旋转中心的旋涂器工作台352。每个旋涂器工作台352都由类似于该接合工作台的圆盘形结构组成，并且在该旋涂器工作台352下方设置有一旋转伺服电动机354。此外，该旋转伺服电动机354的转轴连接在该旋涂器工作台352的中心部分，并且通过启动该旋转伺服电动机354可使该旋涂器工作台352旋转。
此外，一接合头356和第一UV辐照器358设置在接合工作台350之上以便与一对旋涂器工作台352的位置相对应，该辐照器358是一暂时固化的放射线照射部件。通过分别使该接合头356和该第一UV辐照器358与该旋涂器工作台352相结合，可形成用作本实施例的压模接合装置的压模接合部236和一暂时固化UV辐照器360。
下面对构成压模接合部236的旋涂器工作台352进行说明。
该圆盘形旋涂器工作台352的外径设定为一稍小于要被接合的一盘片278的外径的尺寸。此外，在旋涂器工作台352的一侧上形成朝向该旋涂器工作台352的中心部的孔364。在该孔364附近在该旋涂器工作台352的表面上形成与该孔364相通的多个吸引端口361。通过使一未示出的盘片吸引装置(称为真空泵或类似物)与该孔364的端部开口相连接，孔364的内部形成一负压空间并且从该吸引端口361进行吸引，从而盘片278能够被该盘片旋涂器工作台352吸住。在旋涂器工作台352背面上的孔364之间形成一凹部(未示出)以便减小该旋涂器工作台352的重量。
此外，在该旋涂器工作台352中，构成一定心部件的一圆筒形空心橡胶部件370设置成从该工作台352的中心部分凸出，并且在该空心橡胶部件370中设有一扩径部件372。该扩径部件372沿该空心橡胶部件370的内壁设置，并且(该扩径部件)设有一在该空心橡胶部件的径向方向上可移动的加压壁374和一在该加压壁374中沿该空心橡胶部件370的轴心向上凸出的中心销376。通过用具有一L形勾爪的第一传送臂246降低该中心销376，可使该加压壁374的直径增加，该空心橡胶部件370压靠在该盘片278的中心孔的侧壁上，并且盘片278通过该空心橡胶部件370而定中心。
一导向板378设置在旋涂器工作台352的外部以便环绕该旋涂器工作台352。此外，当导向板378环绕该旋涂器工作台352时，可以防止灰尘从该压模接合部236的外部进入并沉积在被该旋涂器工作台352吸住的盘片278的表面上。
下面说明形成压模接合部236的接合头356的构成。
该接合头356由一具有一凸缘部分382的圆板(disk)构成，并且在该接合头356的朝向该旋涂器工作台352的小直径的一侧上形成一通过吸引而紧密接触该压模280的压模安装面384。该压模安装面384形成为其外径稍大于压模280的外径，从而该压模280的整个表面可被该接合头236施加压力。
在朝向一接合板388的一侧上形成凹部390——该接合板388(与该接合头)结合以便在与该接合头356上的压模安装面384相对的一侧垂直移动该接合头356，以便通过将该接合头356放置在该接合板388上而形成一与设置在接合板388上的压模吸引装置(称为真空泵或类似物，未示出)相连的空气吸引通道。多个凹部390分别具有从与该接合板388的接触侧到该压模安装面384的较小的直径。因此，可通过吸引压模280来提高压模280与压模安装面384的紧密接触程度，该压模280通过多个小直径的孔与该压模安装面384相接触，并且可防止该压模280由于这些孔而发生变形。在上述接合头356中，凹部390具有复杂的形状。因此，不仅可通过对该接合头356进行机加工的方法，而且也可通过烧结的方法形成该接合头356。
在如此构成的接合头356的一侧垂直设置有一滚珠螺杆和一单轴组件394，该滚珠螺杆与一垂直移动的伺服电动机391相连接，该单轴组件由一能够根据该滚珠螺杆的旋转而往复移动的垂直移动台架(stage)392构成。此外，在该垂直移动台架392和该接合板388之间设置有一连接臂396，以使该接合板388与该垂直移动台架392一起垂直移动。
一分配器398设在该旋涂器工作台352周围一个不与该单轴组件394干涉的位置上，该分配器在其前端具有一排出喷嘴397。在此情况下，一滚珠螺杆机构400设置在该分配器398上，该机构400用作通过伺服电动机的驱动而往复移动的装置。通过启动该滚珠螺杆机构400使该分配器398前进，以便可通过排出喷嘴397将形成树脂的放射线固化树脂涂敷在盘片278的内缘上。
上述接合工作台350、旋转伺服电动机354、垂直移动伺服电动机391，盘片和压模吸引装置以及分配器398的旋转运动都与未示出的第一控制装置相连，并且根据来自该控制装置的启动信号进行旋转和垂直运动或类似运动。
图5是图1的压模剥离部的放大视图，且图6是沿图5中的线A-A的剖面图。
如这些图所示，该压模剥离部240由剥离工位252和运送工作台部254构成。此外，首先将接合在一起的一盘片和压模运送到该剥离工位252，在这里，对该盘片和压模之间的接合部分进行切割。然后，将盘片和压模运送到运送工作台部254，在这里将压模从该盘片上剥离，并对被剥离的盘片的端面进行抛光。从剥离工位252到运送工作台部254的运送是根据上述第二传送臂248的旋转和垂直移动而进行的。
图7是示出一剥离工位的结构的侧视图。
如图7所示，在该剥离工位252中，在该工位的最上部设有能够进行真空吸引且尺寸设置成基本等于盘片外径的工作台256。此外，要安装在一盘片和一压模的中心孔中的定位销260从该工作台256的中心凸出。通过将盘片和压模装在该定位销260上，可将盘片定位在工作台256上，并通过真空吸引使该盘片的背面与该工作台256的表面紧密接触而将该盘片或类似物固定在该工作台一侧上。
此外，在该工作台256中，在定位销260的相对侧经过该转轴262设有一盘片旋转电动机264。因此，通过旋转该盘片旋转电动机264，由该盘片旋转电动机264产生的转矩经由转轴262传递给工作台256，以使通过真空吸引而固定的盘片可以与该工作台256一起围绕该定位销260旋转。此外，一用于检测该盘片旋转电动机264的旋转运动的光学传感器266(或者可使用其它类型的传感器)设置在该转轴262的中部，并且一切割器根据来自该光学传感器266的值前进或后退，稍后将对该切割器进行说明。
此外，在工作台256的一侧设有一角度调节部268。在该角度调节部268上设有一弯曲成圆弧状的导轨270以及一可沿该导轨270移动的台架272。设定该导轨270的弯曲形状，以便当该导轨270固定在该台架272上以使切割器前进时该切割器的切割刃可以任何角度到达一盘片和一压模之间的边界，稍后将对该切割器进行说明。
在台架272上设有一用作往复运动部的圆筒274，并且在该圆筒274上设有一切割器276。因此，当拉伸圆筒274时，该切割器276与该圆筒274一起前进，并且该切割器276的切割刃到达固定在工作台256上的盘片和压模之间的边界。图8是示出一切割器的切割刃到达一盘片和一压模之间的边界的状态的主要部分的放大视图。如图8所示，在通过使用旋涂法而接合在一起的盘片278和压模280中，一用于形成树脂层的部件/部分向该盘片278的外缘凸出并固化以作为一额外部282。因此，该额外部282的位置被确定以便填充该盘片278和压模280之间的边界。当从盘片278上剥离该压模280但不剥离该额外部282时，需要一个分开该额外部282的力。但是，如图8中所示，使切割器276插入该额外部282以使切割器276的切割刃到达该边界，驱动该盘片旋转电动机264，并通过使盘片及其类似物与工作台256一起旋转至少一圈或更多圈用切割器276刮削该额外部282的部分区域以暴露该边界。因此，通过用切割器276在额外部282上形成切口来分开该额外部282。因此，当剥离压模280时，可防止该额外部282影响剥离强度。
当在额外部282上形成一切口时，优选地设置切割器276的姿势以使该切割器276与压模280相交形成的角284最大。因此，通过增加角度284，可以确定地将额外部282的剩余部分留在压模280上，并且易于在随后的步骤中将该剩余部分与压模280一起剥离。此外，在切割器276附近设置有一未示出的除静电喷嘴(diselectrifying nozzle)。当切割器276工作时，通过向该切割器276的切割刃吹气可消除在切口处生成的静电。
如图5中所示，运送工作台部254具有一用于接收盘片278和压模280的接收部286，一用于从该盘片278上剥离该压模280的压模剥离部288，一用于处理该被剥离的盘片的端面的端面处理部290，一用于测量形成在该盘片278的表面上的一树脂层的膜厚度的膜厚度检测部292，和一用于将该盘片278从该运送工作台部254传送到一盘片排出部242的排出部294。
此外，可根据一运送工作台296的旋转和垂直运动将一盘片及其类似物从该接收部286运送到该盘片排出部294，并且可通过第二传送臂248将一盘片及其类似物从剥离工位252运送到该运送工作台部254并从盘片上剥离压模280。
在该运送工作台部254的接收部286的中心部分设有一用于定位该盘片278和压模280的定位销。此外，通过启动第二传送臂248可将当前在剥离工位252的盘片278及其类似物移动到该接收部286，以利用该定位销将该盘片278及其类似物保持在该接收部286内。
图9是示出一压模剥离部的结构的局部侧视图。如图9中所示，与在剥离工位252中类似，在该压模剥离部288的顶部设有一能够进行真空吸引的工作台298，该工作台298的尺寸稍小于盘片的外径。此外，一可安装在一盘片和一压模的中心孔中的定位销300从该工作台298的中心凸出。通过将盘片278和压模280安装在该定位销300上，可将该盘片定位在工作台298上，并通过真空吸引使该盘片的背面与工作台298的表面紧密接触而将盘片及其类似物固定在该工作台上。此外，在工作台298的外部在等于或大于盘片278的外径和等于或小于压模280的外径之间的范围内，以120°的间隔设置有三个剥离销302。这些剥离销302与一设在该工作台298下方的伺服电动机304相连接。通过启动该伺服电动机304，可以使该剥离销302的前端在工作台298的高度的两侧垂直移动。单个伺服电动机304可使设置在盘片278的外周边上的三个位置处的剥离销302垂直移动，但是该销302的前端设置成其高度不同。此外，用作未示出的第二控制装置的控制装置与伺服电动机304相连接。因此，通过该装置可调节伺服电动机304的速度，并且可最优地调节该剥离销302推压压模280的速度。
此外，当根据一来自控制装置的信号启动该伺服电动机304并抬高这些剥离销302时，第一剥离销302a首先与压模280的表面相接触。
图10是图9中的主要部分的放大视图，其示出紧接在一剥离销与一压模接触后的状态。如图10中所示，当第一剥离销302a与压模280接触然后推压该压模280时，该压模280被从树脂层306上剥离，并且开始暴露该树脂层306的表面。然后，剥离销302a上升，且当压模280和树脂层306之间分离到一定程度或更大时，第二剥离销302b(参照图31)开始与压模280的表面相接触，并推压一个与该第一剥离销302a隔开的位置。此外，在该第二剥离销302b的位置处，压模280和树脂层306之间分离到一定程度或更大(时)，第三剥离销302c(参照图31)开始接触压模280的表面，并与该第一和第二剥离销一起移动该压模280。
因此，由于剥离销沿压模280的外缘与该压模连续接触，故该压模280沿树脂层306的圆周方向发生剥离。因此，由于是对应于一形成在树脂层306的表面上的凹槽结构进行压模280的剥离，故可限制压模280的不规则(形状)与该树脂层的凹槽结构相干涉，并在树脂层上形成一均匀的凹槽结构。
图11是一端面处理部的结构的侧视图，且图12是图11的主要部分的放大视图。
如这些图中所示，与在压模剥离部288和剥离工位252中类似，在端面处理部290的顶部设有一工作台308，该工作台可进行真空吸引且尺寸稍小于盘片的外径。此外，一可与盘片和压模的中心孔配合安装的定位销310从该工作台308的中心凸出。通过将该被剥离的盘片278安装在定位销310上，可将该盘片278定位在工作台308上，并且通过真空吸引使盘片278的背面与工作台308的表面紧密接触而将该盘片固定在工作台一侧上。此外，一盘片旋转电动机312设置在工作台308的下方一侧，并且该盘片旋转电动机312和该工作台308通过一动力传递机构相互连接。因此，通过启动该盘片旋转电动机312，可旋转驱动盘片278被吸引于其上的工作台308。
此外，在工作台308的一侧设有一用作往复移动部的切割器前-后移动圆筒314和一用作安装在该切割器前-后移动圆筒314上的斜切部的切割器316。然后，通过往复移动该切割器前-后移动圆筒314，可将该切割器316压靠在盘片278的外缘上的树脂层306上。因此，通过在盘片278的外缘处斜切树脂层306可对该树脂层306的端面进行处理，并且可刮削残存在该盘片278的外缘端面上的额外部282。
在盘片278之上设有除静电喷嘴317，并且在该盘片278的相对侧上设有一未示出的排气管道。因此，当用切割器316对盘片278进行端面处理时，从该除静电喷嘴317向盘片278吹气以吹走刮下的粉末并消除静电。因此，通过吹气可以防止刮下的粉末附着在盘片278的表面(即树脂层306的表面)。可以通过该排气道将由空气吹走的刮下的粉末排出到该装置之外。
在设在一压模接合部236和该压模剥离部240之间的一放射线照射部238中，设有一用于支承接合在一起的盘片278和压模280的移动工作台，该工作台可在图1中箭头422所示的方向上移动。此外，一第二UV辐照器424设在该移动工作台之上。通过从该第二UV辐照器424穿过压模280对树脂层210进行照射，可永久地固化该树脂层210。一伺服电动机用于为该移动工作台提供动力以任意调节安装在该移动工作台上的盘片278和压模280的速度。因此，可根据树脂层210的类型任意调节该移动工作台的速度并且确保固化该树脂层210。
图13是示出一盘片-压模供给部的主要部分的放大视图。
如图13中所示，该盘片-压模供给部232具有一用于沿层叠方向保持多个盘片278的盘片供给部426，和一用于沿层叠方向保持多个压模280的压模供给部428。此外，这些供给部随着用一供给臂244取出盘片278和压模280而抬高下部盘片278和压模280，以便该盘片278和压模280可以一直由该供给臂244取出。
在该盘片供给部426和压模供给部428中，使用具有相同内径的环状隔板，以便当沿层叠方向保持盘片278和压模280时确保在盘片之间和在压模之间存在间隔。因此，上述供给臂244不仅可取出盘片278和压模280而且还可取出隔板，并且由该供给臂244取出的隔板被送至与该盘片供给部426相邻的一隔板容纳部430。
上述盘片供给部426、压模供给部428和隔板容纳部430设置在一卡盘部(chuck portion)的旋转轨道上，该卡盘部设在该供给臂244的前端。因此，可以围绕该供给臂244设置组件以便减小该盘片-压模供给部232的尺寸。一判定传感器432设在该供给臂244的前端，从而可确定盘片278和隔板。例如，即使在盘片供给部426中有两个隔板进入盘片278之间的部分，该判定传感器432也可检测到这两个隔板并可将它们送至该隔板容纳部430。此外，由于该供给臂244由一DD(直接驱动)型伺服电动机驱动，所以即使设置多个盘片供给部426或压模供给部428或设置另一个部件供给部，也可以容易地添加其位置。
如图1中所示，在该盘片-压模供给部232的相对侧上设有一清洁器部234，该清洁器部234用作由供给臂244保持的盘片278或压模280的运送目的地。该清洁器部234具有一圆盘形转盘434和一设在该转盘434之上的除静电喷嘴436。当向安装在转盘434上的盘片278或压模280的表面吹送除静电的空气时，可清除附着在该表面上的灰尘。转盘434的旋转方向在图1中用箭头438示出。
在上述清洁器部234和压模接合部236之间设有一压模换向卡盘404。该压模换向卡盘404是当将盘片278或隔板280从该清洁器部234运送到该压模接合部236时，用于暂时由该第一传送臂246保持盘片和隔板的场所。此外，该压模换向卡盘404具有一表面-背面换向机构。当将压模280安装在该压模换向卡盘404上时，该表面-背面换向机构保持该压模280，翻转该机构的表面和背面，并使压模侧朝向该盘片278。可使用电或空气作为该表面-背面换向机构的动力。
在压模剥离部240的后一级设有用于排出盘片278和压模280的盘片排出部242。该盘片排出部242具有一用于容纳无缺陷盘片278的无缺陷产品容纳部442，一用于容纳有缺陷的盘片278的有缺陷产品容纳部444和一用于向该无缺陷产品容纳部442提供隔板的隔板供给部446。另外，一排出臂250根据该膜厚度检测部292所获得的结果将盘片278分类到这些容纳部中。该隔板供给部446可沿图1中的箭头448的方向摆动以通过与排出臂250的运送操作联动而向该无缺陷产品容纳部442提供隔板。不仅该压模剥离部240，而且该无缺陷产品容纳部442和有缺陷产品容纳部444均设置在设在该排出臂250的前端的卡盘部的旋转轨道上。因此，可与在以上供给臂244中类似将组件围绕该(排出)臂设置，以便减小该盘片排出部242的尺寸。
另外，在该运送工作台部254的外部靠近该压模剥离部288处设有用于排出被剥离的压模的压模排出斜槽450。图14是示出一压模排出斜槽的结构的正视图，且图15是示出该压模排出斜槽的结构的侧视图。如这些图中所示，压模排出斜槽450具有一带有一位于第二传送臂248的臂部下方的开口的压模导向件452，和一与该压模导向件452相连接的斜槽部454，并且在该压模导向件452下方设有一用于容纳被剥离的压模280的压模收集箱456。当该第二传送臂248的臂部位于压模280的排出位置时，压模导向件452的开口的位置设为与压模280的外径重叠。因此，当第二传送臂248从该臂部卸下被剥离的压模280时，该压模280与压模排出斜槽450的开口的边缘接触并且如图14中所示该压模的姿态改变90°，该压模280在斜槽部454的斜面上滑动，然后被容纳在设在该斜槽部454下方的压模收集箱456中。
因此，通过改变压模280的姿态并使该压模280滚动着通过斜槽部454，可以防止该压模280阻塞在该斜槽部454中，且使压模280散布在压模收集箱456中，并防止压模280被不平衡地容纳在该压模收集箱456中。
如图1中所示，在本实施例的凹槽形成装置230中划分出一区域，该区域包括清洁器部234、压模换向卡盘404和压模接合部236的一部分，并且该区域的内部用作一温度调节区域458以保持该区域内的温度恒定。通过设置该温度调节区域458，可保持盘片278、压模280和一放射线固化树脂(层)的温度恒定。因此，当将压模280接合在盘片278上时，可防止由于温度波动而发生尺寸变化，并防止盘片278和压模280之间的间隙尺寸发生波动。
在该凹槽形成装置230中，在盘片-压模供给部232和盘片排出部242之间进行将压模280接合在盘片278上以及从盘片278上剥离压模280的操作。但是，进行上述操作的步骤没有如图1所示设置在一条直线上，而是设置在供给臂244、第一传送臂246、第二传送臂248和排出臂250的旋转轨道上。因此，可将组件围绕这些臂设置并且与采用成直线设置的步骤相比可减小该形成装置的尺寸。此外，如上所述，由于将温度调节区域458设在第一传送臂246周围，所以可使该温度调节区域458缩小并随着该面积的减小而实现节能。
下面说明使用如此构成的该凹槽形成装置230将压模280接合在盘片278上以及从盘片278上剥离压模280的过程。
首先，旋转供给臂244，并从盘片供给部426和压模供给部428中交替地取出盘片278和压模280，以将该盘片278和压模280移送到清洁器部234的转盘434上。然后，通过除静电空气从盘片278和压模280的表面除去灰尘，接着用第一传送臂246将盘片278和压模280经由压模换向卡盘404传送给压模接合部236。
图16到22示出一盘片和一压模通过一压模接合部的状态。
首先，如图16中所示，通过使用第一传送臂246从清洁器部234将盘片278传送给一压模换向卡盘404。然后，如图17中所示，通过再次旋转第一传送臂246将由压模换向卡盘404保持的盘片278传送给旋涂器工作台352，并且将安装在该清洁器部234上的压模280传送给该压模换向卡盘404。该第一传送臂246可以随着其旋转而垂直运动(沿图17的纸张厚度方向)。因此，当第一传送臂246降低时该第一传送臂246的臂部推压从旋涂器工作台352凸出的中心销376，并且当该中心销376降低时该加压壁374沿直径方向扩展以通过该空心橡胶部件370推压盘片278的中心孔的内壁。因此，盘片278被定中心以便与旋涂器工作台352的旋转中心重合，并且盘片吸引装置通过负压使盘片278与该旋涂器工作台352的表面紧密接触。控制装置根据第一传送臂246的旋转确定盘片278安装在旋涂器工作台352上，然后启动该盘片吸引装置并吸住该盘片278。
因此，在用旋涂器工作台352吸住盘片278之后，控制装置启动该滚珠螺杆机构400并使分配器398前进。此外，当设在该分配器398前端的排出喷嘴397到达该盘片278的内缘侧时，控制装置停止该滚珠螺杆机构400，通过启动旋转伺服电动机354使盘片278旋转，从该排出喷嘴397的前端排出放射线固化树脂，并将该放射线固化树脂涂敷在盘片278的内缘侧。然后，在涂敷预定量的放射线固化树脂后，仅需通过再次启动该滚珠螺杆机构400将分配器398从该盘片278向后移至其初始位置即可。
因此，在将放射线固化树脂涂敷在盘片278的内缘侧之后，通过再次旋转第一传送臂246从压模换向卡盘404将压模280放置在盘片278上。因此，当从该第一传送臂246释放压模280时，该压模280的中心孔与空心橡胶部件370的外表面相接触，该部件370的外径被加压壁374扩展，并且该压模280由该空心橡胶部件370保持，同时与盘片278保持足够的间距。图18示出盘片278与压模280重叠的状态。与旋涂器工作台352一起构成压模接合部236的接合头356停留在上方以便与该旋涂器工作台352具有足够的间距。因此，即使第一传送臂246朝旋涂器工作台352的上部移动，该臂246在高度方向上的位置也会在该接合头356的下侧，因此可防止这两者互相干涉。
当将压模280保持在盘片278之上时，控制装置启动垂直运动的伺服电动机391，并将接合头356连同该垂直运动的台架392、连接臂396和接合板388一起朝压模280降低。
图23是示出接合头降低的距离与时间之间的关系的曲线图。当第一传送臂246进入旋涂器工作台352的上部时，接合头356距离压模接合位置的高度设为200mm，如图23中的点A所示。此外，接合头356在2秒内从点A的位置下降到点B所示的自动操作等待位置(100mm)，然后在2秒内从点B的位置下降到点C所示的与压模280接触的位置(5mm)。因此，在该接合头356与压模280接触后，下降速度降低以便以恒定的速度将该头部356下降到点E所示的压模接合高度。在此情况下，当位于空心橡胶部件370中央的压模280与该接合头356一起下降时，与在盘片278中类似，在点D的高度(1mm)处该压模280通过该空心橡胶部件370定中心。可根据压模280的规格或其它原因任意设定点D的高度，并且仅需根据设在该空心橡胶部件370内的扩径部件372的扩展程度自由设定该高度。此外，通过预先在控制装置中存储压模280被定中心的高度(在本实施例中为1mm)，当接合头356到达点D时，该控制装置启动压模吸引装置并将压模280吸在压模安装面384上。接合头356从点C到达点D的时间设定为4秒。
因此，当接合头356到达点D时，如上所述压模280通过空心橡胶部件370定中心。因此，仅需将压模280吸在压模安装面384上，并使压模280下降到由图23中的点E所示的预先设定的接合高度，同时保持压模280的定中心位置(同时保持沿半径方向的位置)。压模280到盘片278的接合高度(称为间隙)可任意设定为在几十微米和几百微米之间的一个值。
此外，在接合头356到达点E并且设定压模280到盘片278的接合高度之后，接合头356从点F升高到点G。在升高接合头356时，控制装置使压模吸引装置停止操作以便该接合头356可以容易地与压模280分离。在接合头356升高到点G之后，如图19中所示，接合工作台350旋转180°，并且接合在一起的盘片278和压模280与该旋涂器工作台350一起移动到该暂时UV照射部360。然后，接合在一起的盘片278和压模280由该暂时UV照射部360驱动旋转，它们的旋转(所产生)的离心力使放射线固化树脂的直径从盘片的内缘侧向外增加，并且盘片278和压模280之间的间隙被该放射线固化树脂充满。然后，第一UV辐照器358与旋涂处理操作一起被启动，放射线穿过压模280照射到该放射线固化树脂上以将该放射线固化树脂固化到一个厚度不会波动的程度(称为暂时固化步骤)。
然后，在完成暂时固化步骤后，如图21中所示，仅需将接合工作台350再次旋转180°，并将接合在一起的盘片278和压模280与该旋涂器工作台350一起移动到压模接合部236，此后利用第一传送臂246保持盘片278和压模280，使该放射线照射部238运送盘片278和压模280，并且利用该放射线照射部238永久地固化该放射线固化树脂。
在上述说明中，说明了一个盘片278(和压模280)通过一压模接合部的状态。但是应理解，在实际操作的情况下，设在第一传送臂246上的三个臂部同时进行操作，并且多个盘片278(和压模280)通过该压模接合部。
在此实施例中，加压壁374和中心销376设在空心橡胶部件370中以增大该空心橡胶部件370的直径。但是，也可使用另一种构造。
图24示出一定心部件的另一种构造的剖面图。由于除该定心部件之外的其它部件与上述旋涂器工作台352的那些部件相同，所以共用的部件采用相同的标号且该共用的部件已经进行说明。
如图24中所示，一袋状空心橡胶部件406设在旋涂器工作台352上以便从该工作台352的中心部分凸出。此外，在该空心橡胶部件406下方设有一对要与该空心橡胶部件406相连接的通气管408。该通气管408的另一端与一未示出的压力供给装置相连。因此，当通过该通气管连接该压力供给装置与该袋状空心橡胶部件406时，通过将空气引入该空心橡胶部件406可使该空心橡胶部件406的直径增大，通过从该空心橡胶部件406中排出空气可使该空心橡胶部件406的外径减小，从而可以容易地对盘片278定中心或取出盘片278。由于硅橡胶具有耐磨性好并且即使温度改变硬度变化也很小的特性，所以本发明人使用硅橡胶作为该空心橡胶部件的材料。但是，也可根据目的或操作环境选择任意的橡胶。
该放射线照射部238使该放射线固化树脂永久固化，然后通过使用第二传送臂248剥离压模280。
图25到30示出一盘片和压模通过一压模剥离部的状态。
首先，如图25中所示，通过旋转该第二传送臂248并使用一第二传送臂(部)320将通过该放射线照射部238的盘片和压模318从该放射线照射部238运送到剥离工位252。然后，通过如上所述在该剥离工位252将切割器276压在盘片和压模318上，可削下该额外部282并暴露出该盘片和压模之间的边界。
因此，在该剥离工位252上削下该额外部282并暴露出盘片和压模之间的边界后，通过旋转第二传送臂248并使用该第二传送臂248的第二传送臂(部)322将该盘片和压模318从该剥离工位252运送到该运送工作台部254的接收部286。图26示出被运送到接收部286的盘片和压模318的状态。
在将盘片和压模318运送到接收部286之后，运送工作台296随着该运送工作台296的上升而抬高盘片和压模318，然后该盘片和压模318随着运送工作台296的旋转而移动到压模剥离部288。因此，当盘片和压模318移动到该压模剥离部288时，根据如上所述剥离销302施加在压模280上的压力将压模280从盘片278上剥离。然后，在剥离销302支承被从盘片278上剥离的压模280的同时，如图27所示第二传送臂248的压模排出臂(部)324从上方下降以便仅保持该压模280。
在由该压模排出臂(部)324保持该被剥离的压模280之后，如图28所示，仅需将该被剥离的压模280移动到一设在运送工作台296外部的压模废弃部326上并将该压模280传送到压模排出斜槽450中。
如图29所示，随着运送工作台296的上升和旋转，从其上剥离压模280的盘片278被运送到位于后一级的端面处理部290。然后，在该端面处理部290中，仅需要将切割器316压靠在盘片278的端面上并去除残留在盘片278的端面上的额外部282。
在通过端面处理部290去除残留在盘片278的端面上的额外部282之后，如图30所示，通过升高和旋转运送工作台296将盘片278运送到膜厚度检测部292。然后，膜厚度检测部292检测树脂层306的膜厚度以确定在该盘片278上形成的树脂层306的膜厚度是否保持在一设定的范围内。然后，将结果存储在未示出的记录装置中并将盘片278运送到下一级的排出部294。然后，在将盘片278运送到排出部294之后，仅需要用排出臂250从压模剥离部240取出盘片278，并且根据从膜厚度检测部292获得的结果用盘片排出部242将盘片278分成无缺陷盘片278和有缺陷盘片278。
在上述说明中，示出一个盘片278(和压模280)通过压模剥离部的状态。但是在实际操作的情况下，应当理解，设在该第二传送臂248上的三个臂(部)是同时被启动的，并且多个盘片278(和压模280)通过该压模剥离部。
图31示出一压模被剥离的状态。如图31中所示，为了剥离压模280，剥离销302a首先与压模280接触，然后剥离销302b和剥离销302c依次与该压模280接触。然后，根据如图31中的箭头328所示的剥离销的接触顺序从盘片278上剥离压模280。通过沿箭头328剥离压模280，可防止相邻凹槽(和槽脊)受剥离压模280的影响，这是因为该剥离(操作)沿在树脂层306(和压模280)上形成的凹槽结构的延伸方向进行。
图32是示出一压模剥离部的应用示例的主要部分的放大视图。
如图32所示，在与压模280接触的剥离销302外部形成一凸出部330。通过在剥离销302的前端形成该凸出部330，即使在从盘片278上剥离压模280时如图32中的波状线所示由于释放弹性变形而抬高压模280，凸出部330仍可保持该被抬高的压模280。因此，可防止压模280由于抬高而扰乱其姿势以及与盘片278冲突的问题。因此，通过使用同一方法和同一装置可在一被剥离的多层记录媒体上可靠地形成一凹槽结构，并可提高可靠性。
在此实施例中，通过使用三个剥离销从一盘片上剥离压模。但是，也可以通过进一步增加销的数量或配备与剥离销数量相等的垂直运动的伺服电动机来精密地控制压模280的剥离速度。
此外，在此实施例中，由于通过使用上述压模接合部236和压模剥离部240构成该凹槽形成装置230，因此可以在一均匀的树脂层的表面上可靠地形成一信息凹坑和/或一凹槽结构。因此，可提高用该装置形成的多层记录媒体的可靠性。
如上所述，根据本发明，由于将盘片-压模供给部、压模接合部、放射线照射部、压模剥离部和盘片排出部依次布置在多个臂的圆周上并用臂运送跨置在该臂上的盘片和压模，所以可减小该装置的尺寸。
为了进行压模接合，将一压模叠放在一盘片上，接着根据一接合头的压力将压模降低到盘片侧。然后，该压模通过装在一定心部件上而定中心并被该接合头吸住。因此，通过根据接合头的下降而设定压模与盘片的间隙，可以对盘片和压模定中心并进行接合以便在该盘片和压模之间不会发生倾斜或翘曲。
此外，在压模剥离部中，沿一压模的圆周连续施加压力以便沿一盘片的圆周方向将压模从树脂层上剥离。因此，由于第一加压销/剥离销所引起的剥离(程度)缓慢增加，所以从第二加压销往下的加压销可以使用较小的压力。另外，由于沿盘片的圆周方向，即沿形成在一树脂层的表面上的同心圆或螺旋形信息凹坑或凹槽进行压模的剥离，所以剥离方向几乎与信息凹坑的排列方向和凹槽结构的切线方向一致。因此，当在压模侧的一信息凹坑和一凹槽结构被剥离时，可防止在树脂层侧的信息凹坑和凹槽结构与和在压模侧的信息凹坑和凹槽结构凹凸配合的树脂层侧的信息凹坑和凹槽结构相干涉，并在树脂层上形成均匀的信息凹坑和凹槽结构。
权利要求
1.一种多层记录媒体形成方法，该方法至少包括将一压模通过一树脂层接合在一盘片的表面上的压模接合步骤，通过在旋转该盘片和该压模的同时用放射线照射而形成该树脂层的步骤，从该树脂层上剥离该压模的压模剥离步骤。
2.根据权利要求1的多层记录媒体形成方法，其特征在于，该压模的外径大于该盘片的外径。
3.根据权利要求1或2的多层记录媒体形成方法，其特征在于，该放射线可穿过该压模。
4.一种多层记录媒体形成方法，该方法依次执行以下步骤通过树脂将一压模接合在一盘片的表面的压模接合步骤，通过旋转该盘片和压模以根据该树脂的扩展来填充间隙并通过固化该树脂形成树脂层的树脂层形成步骤，和从该树脂层上剥离该压模的压模剥离步骤，其特征在于，在该压模接合步骤中，将该盘片固定在一旋涂器工作台上，同时将该压模的中心孔安装在从该旋涂器工作台凸出的一定心部件上，将树脂涂敷在该盘片的内缘侧，然后将该定心部件安装在该中心孔上，将该压模通过该树脂重叠在该盘片上并根据接合头的压力使该压模下降到该盘片侧，该压模通过安装在该定心部件上而被定中心，然后用该接合头吸住该压模，根据该接合头的下降设定该压模与该盘片的间隙，并由该定心部件保持该间隙，并且在该压模剥离步骤中，固定该盘片，然后对从该盘片的外缘凸出的该压模的任意位置施加沿该压模的剥离方向起作用的压力，在利用该压力开始从该树脂层上剥离该压模之后，沿该压模的圆周连续施加压力，并沿该盘片的圆周方向从该树脂层上剥离该压模。
5.一种多层记录媒体形成装置，包括一用于通过树脂将一压模接合在一盘片的表面上的压模接合部；一用于通过旋转该盘片和该压模、根据树脂的扩展来填充该间隙并固化该树脂来形成一树脂层的树脂层形成部；和一用于从该树脂层上剥离该压模的压模剥离部，其特征在于，该压模接合部包括一具有盘片吸引装置并能够完全吸住该盘片的整个任一侧的旋涂器工作台，一从该旋涂器工作台凸出以便对该盘片和该压模定中心并保持该凸出方向的定心部件，一具有往复运动装置并能够向该盘片的内缘侧提供树脂的分配器，一具有压模吸引装置并可以完全吸住该压模的任一侧的接合头，该接合头可在该旋涂器工作台上垂直移动，以及第一控制装置，该第一控制装置用于通过根据该接合头的降低使该压模接近该旋涂器工作台来设定该压模与该盘片的间隙，并在将该中心孔安装在该定心部件上以对该压模定中心之后，通过启动该压模吸引装置而使该压模与该接合头紧密接触，并且该压模剥离部具有第二控制装置，其中使用保持该盘片的固定装置，并沿从该盘片的外缘凸出的该压模的圆周设置有多个能够沿该压模的剥离方向垂直移动的加压销，该加压销沿该盘片的圆周方向推压该压模，并且该加压销的垂直移动速度可被调节。
6.一种多层记录媒体形成装置，该装置用于通过一树脂层将一压模接合在一盘片上和从该盘片上剥离该压模——该盘片在具有一信息记录面的一支承基材上具有至少一个记录层，并且该装置用于在该树脂层的表面上形成一凹坑和/或凹槽结构，其特征在于，设有多个传送臂，该传送臂通过将该盘片和该压模保持在该臂部的前端并利用该臂部的近端作为旋转中心而使该盘片和该压模沿该旋转运动的圆周旋转，在该传送臂的圆周上依次设置有一用于供应该盘片和该压模的盘片-压模供给部，一用于将该压模接合在该盘片上的压模接合部，一用于在该盘片和该压模之间形成一树脂层的放射线照射部，一用于从该盘片上剥离该压模的压模剥离部，和一用于排出该盘片和该压模的盘片排出部，并且跨置在该传送臂上的该盘片和该压模由该传送臂运送。
7.根据权利要求6的多层记录媒体形成装置，其特征在于，一传送臂具有多个臂部以便可以同时传送该盘片和该压模。
8.根据权利要求6或7的多层记录媒体形成装置，其特征在于，该压模剥离部具有一用于沿其圆周方向容纳该盘片和该压模的可旋转的运送工作台部，沿该压模剥离部的圆周方向依次设置有一用于接收该盘片和该压模的接收部，一用于从该盘片上剥离该压模的压模剥离部，一用于处理被剥离的盘片的端面的端面处理部，以及一用于将该盘片从该运送工作台部传送到该盘片排出部的排出部，并且沿该运送工作台部的圆周方向剥离该压模。
9.根据权利要求6或7的多层记录媒体形成装置，其特征在于，该压模接合部具有一用于沿其圆周方向容纳该盘片和该压模的可旋转的接合工作台，并通过沿该接合工作台的圆周方向设置一暂时固化放射线照射部来暂时固化由该盘片和该压模保持的树脂。
10.根据权利要求8的多层记录媒体形成装置，其特征在于，该压模接合部具有一用于沿其圆周方向容纳该盘片和该压模的可旋转的接合工作台，并通过沿该接合工作台的圆周方向设置一暂时固化放射线照射部来暂时固化由该盘片和该压模保持的树脂。
11.根据权利要求9的多层记录媒体形成装置，其特征在于，至少该压模接合部和该放射线照射部被控制成使它们的温度保持基本恒定。
12.根据权利要求10的多层记录媒体形成装置，其特征在于，至少该压模接合部和该放射线照射部被控制成使它们的温度保持基本恒定。
13.一种由权利要求5或6的多层记录媒体形成装置制造的多层记录媒体。
全文摘要
本发明公开了一种多层记录媒体形成装置和方法。在多个臂的圆周上依次设置有盘片－压模供给部、压模接合部、放射线照射部、压模剥离部和盘片排出部。而且，在该压模接合部中，将一压模放置在一盘片上，然后根据一接合头的压力将压模降低到盘片上。此外，在该压模剥离部中，沿一压模的圆周连续施加压力，并沿一盘片的圆周方向将该压模从一树脂层上剥离。
文档编号G11B7/26GK1659647SQ0381334
公开日2005年8月24日 申请日期2003年5月9日 优先权日2002年5月9日
发明者金子幸生, 村上义昭, 山口晴彦, 巽纯幸, 宇佐美守, 小卷壮 申请人:Tdk株式会社