专利名称：悬浮臂用基板、其制备方法、磁头悬浮臂和硬盘驱动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及在硬盘驱动器(HDD)等中使用的悬浮臂用基板，具体来说，涉及即使在低刚性化的情况下翘曲也少的悬浮臂用基板。
背景技术：
近年来，由于互联网的普及等，要求个人电脑的信息处理量增大或信息处理速度加快。与此相伴，个人电脑中的硬盘驱动器(以下有时简称为HDD)也需要加大容量或提高信息传递速度。该HDD中使用的支撑磁头的、被称为磁头悬浮臂的部件，也由原来的将金丝等信号线连接的形式转变为在不锈钢弹簧上直接形成铜布线等信号线的、所谓无线悬浮布线一体型(Flexer)。最近，对以便携用途为代表的各种小型仪器上搭载的HDD的需求日益增多。与此相伴，用于记录信息的硬盘尺寸变小，同时记录密度提高。为了在该直径变小的硬盘的轨道上进行数据的读取和写入，必须使硬盘缓慢旋转，硬盘与磁头的相对速度(周速)为低速。 因此，悬浮臂用基板必须以较弱的力接近硬盘，需要将悬浮臂用基板低刚性化。作为悬浮臂用基板，通常使用将形成为图案状的金属基板、绝缘层、布线层和覆盖层等依次层合而成的基板。作为将这种悬浮臂用基板低刚性化的方法，对降低刚性较高的材料——金属基板的残留比例的方法进行了研究。然而，如果将刚性高的金属基板的残留比例降低，则上述悬浮臂用基板发生翘曲。以往认为发生翘曲的原因是上述金属基板与上述绝缘层的热膨胀系数的差异，专利文献1中公开了通过使用与金属基板的热膨胀系数同等的绝缘层用树脂，来降低悬浮臂用基板的翘曲的方法。但是，在如上所述通过降低金属基板的残留比例而低刚性化的悬浮臂用基板中， 如果只减小上述金属基板与上述绝缘层用树脂的热膨胀系数之差，是难以充分抑制翘曲的。专利文献1 日本特开2006-248142号公报
发明内容
本发明鉴于上述实际情况而设，其主要目的是提供即使在低刚性化的情况下翘曲也少的悬浮臂用基板。
本发明的目的还在于以良好的产量获得低刚性的悬浮臂用基材。本发明人为解决上述课题进行了深入的研究，结果发现通过减小层合在上述金属基板上的上述绝缘层和覆盖层的吸湿膨胀系数、减小上述绝缘层和覆盖层的吸湿膨胀系数之差，即使在低刚性化的情况下，也可以得到翘曲小的基板，从而完成了本发明。即，本发明是具有如下特征的悬浮臂用基板该基板具备金属基板；在上述金属基板上形成的、由绝缘层形成材料构成的绝缘层；在上述绝缘层上形成的布线层；以及在上述绝缘层上形成的、至少覆盖上述布线层的一部分、由覆盖层形成材料构成的覆盖层；上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的吸湿膨胀系数在0/% RH 30X 10_6/% RH的范围内，并且两者的上述吸湿膨胀系数之差在0 5X10-6/% RH的范围内。本发明还是具有如下特征的悬浮臂用基板该基板具备金属基板；在上述金属基板上形成的、由绝缘层形成材料构成的绝缘层；在上述绝缘层上形成的布线层；以及在上述绝缘层上形成的、至少覆盖上述布线层的一部分、由覆盖层形成材料构成的覆盖层；上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料由不同的材料构成，两者的吸湿膨胀系数在0/% RH 30X10-7% RH的范围内，并且两者的上述吸湿膨胀系数之差在5X10-6/% RH以下的范围内。根据本发明，通过使上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的吸湿膨胀系数、两者的上述吸湿膨胀系数之差在上述范围内，即使在将本发明的悬浮臂用基板低刚性化的情况下，也可以使吸湿引起的翘曲较小。另外，通过使上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料为不同的材料，例如在形成覆盖层时，可以容易地使上述绝缘层为不溶解的材料。本发明是具有如下特征的悬浮臂用基板上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的热膨胀系数在15X10_6/°C 30X10_6/°C的范围内，且上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的热膨胀系数之差在10X10_6/°C以下的范围内。通过使上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的热膨胀系数、两者的热膨胀系数之差在上述范围内，即使在低刚性化的情况下，也可以使温度变化导致的翘曲较小。本发明是具有如下特征的悬浮臂用基板上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料两者或任一者由非感光性材料构成。通过使上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料为非感光性材料，无需添加赋予感光性的成分，因此可以容易地调节上述吸湿膨胀系数或热膨胀系数等物性值。这种情况下，非感光性材料是指仅凭该材料本身无法通过光的作用形成图案的材料，是指需要通过下述方式等形成图案的材料经由通过用金属或抗蚀剂形成的掩膜设置的开口部分，用液体或气体、等离子体除去不需要的部分；或者通过喷墨或丝网印刷等方法预先涂布成图案的形状。更普遍来说，是指在不含感光性成分的状态下形成图案的材料。使用非感光性材料虽然使图案的形成工序变得复杂，但是可以应用不含感光性成分的更纯的材料，由此具有可在大范围内选择材料的优点。因此，可以使用兼具本发明所必须的低吸湿膨胀、低线性热膨胀等特性的材料。本发明是具有如下特征的悬浮臂用基板该基板具备金属基板；在上述金属基板上形成的、由绝缘层形成材料构成的绝缘层；在上述绝缘层上形成的布线层；以及在上述绝缘层上形成的、至少覆盖上述布线层的一部分、由覆盖层形成材料构成的覆盖层；上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料由同一非感光性材料构成，两者的吸湿膨胀系数在0/% RH 30Χ1(Γ6/% RH的范围内。 根据本发明，上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料是同一非感光性材料，且两者的吸湿膨胀系数在上述范围内，由此可以容易地调节上述吸湿膨胀系数或热膨胀系数等物性值，并且，即使在将本发明的悬浮臂用基板低刚性化时，也可以使吸湿导致的翘曲较本发明是具有如下特征的悬浮臂用基板上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的热膨胀系数在15 X 10-6/oC 30 XIO-V0C的范围内。通过使上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料的热膨胀系数在上述范围内，即使在将本发明的悬浮臂用基板低刚性化时，也可以使温度变化导致的翘曲较小。本发明中，从防止悬浮臂翘曲的角度考虑，优选上述绝缘层形成材料和覆盖层形成材料含有下述通式的重复单元。
权利要求
1.悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于该方法具备以下步骤准备按顺序配置了金属基板、绝缘层和金属镀层的层合体的层合体准备步骤；在上述金属基板的表面和上述金属镀层的表面形成图案状的抗蚀层，进行蚀刻，在上述金属基板上形成夹具孔，在上述金属镀层上形成布线图案层的第一金属蚀刻步骤。
2.权利要求1所述的悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于该方法进一步具备以下步骤覆盖层形成步骤，使用覆盖材料在上述布线图案层上形成具有布线图案层露出开口部分的覆盖层，将上述布线图案层的一部分表面露出；在形成上述覆盖层之后，进行上述绝缘层的蚀刻的绝缘层蚀刻步骤；在从上述布线图案层露出开口部分露出的布线图案层的表面形成保护镀层部分的保护镀层部分形成步骤；在上述绝缘层蚀刻步骤和上述保护镀层部分形成步骤之后，进行上述金属基板的外形加工的第二金属蚀刻步骤。
3.权利要求1所述的悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于上述金属镀层的最大膜厚部分和最小膜厚部分之差为2 μ m以下。
4.权利要求2所述的悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于上述覆盖层的布线图案层上的最大膜厚部分和最小膜厚部分的膜厚之差为1 μ m以下。
5.权利要求2所述的悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于在覆盖层形成步骤中，使用液状覆盖材料形成覆盖层。
全文摘要
悬浮臂用基板(10)具备金属基板(1)、在金属基板(1)上形成的绝缘层(2)、在绝缘层(2)上形成的布线层(3)、和覆盖布线层(3)的覆盖层(4)。绝缘层(2)的材料和覆盖层(4)的材料由不同材料构成，两者的吸湿膨胀系数在3×10-6/％RH～30×10-6/％RH的范围内，两者的吸湿膨胀系数之差在5×10-6/％RH以下的范围内。
文档编号G11B5/60GK102290054SQ201110164600
公开日2011年12月21日 申请日期2008年4月14日 优先权日2007年4月18日
发明者三浦阳一, 久门慎儿, 人见阳一, 坂寄胜哉, 山崎刚, 百濑辉寿, 高地清弘 申请人:大日本印刷株式会社