专利名称：磁头的研磨方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用来对具有多个磁头排列在其上的一个待研磨的物件进行研磨的方法和设备。
在一种用来生产计算机的硬盘驱动装置中使用的薄膜磁头的常规的成批生产过程中，对一个待研磨物件，其上具有许多在一个陶瓷杆(它在被切成许多单件时将成为浮动块(sliders))上排列成一个单排的包括磁性薄膜的转换部分，进行研磨，使得该转换部分的间隙的喉部高度可以被调整到对于读出和写入数据信号的最佳值。
在研磨过程中磁头的喉部高度被调整到适当数值的情况下，将出现一个陶瓷杆(它就是待研磨物件)发生变形并且具有不希望有的弯曲的问题。也就是说，如果陶瓷杆发生了变形和弯曲，该陶瓷杆就不可能被研磨设备的研磨盘进行均匀的研磨。所以，有这样的一个可能，即使在例如陶瓷杆的中间部分的薄膜磁头的喉部高度处于正常值的情况下，在陶瓷杆的两端部分上的薄膜磁头的喉部高度将变成太大或太小，从而使在两端的磁头不合格。
为了解决这个问题，设计出了一种在美国专利5620356中公开的磁头研磨设备，该设备在测量随着排列在陶瓷杆上的多个薄膜磁头的喉部高度而变化的电阻值的同时，通过校正陶瓷杆的弯曲再对该杆进行研磨。结果，形成在陶瓷杆上的相应的薄膜磁头的喉部高度可以被调整到正常值。
此外，常规的研磨设备(例如美国专利5620356中提出的设备)结构成使得一个其上具有许多在一个陶瓷杆上排列成一个单排的包括磁性薄膜的转换部分的待研磨物件连接在一个水平板状长型夹具的底表面上，而该水平长型夹具又安装在设置在该设备侧面的后板上。但是，这种常规的研磨设备将出现一个其上安装有水平长型夹具的后板的体位不能以研磨盘的研磨表面作为基准进行调整的问题。例如，在后板最初设定为竖向并假定研磨盘的研磨表面是水平的情况下，研磨表面如果不是水平将影响研磨该物件的精度(即降低了研磨表面的平直度并且增加了喉部高度的变化等)。
本发明是考虑了上述情况后作出的。因此，本发明的目的是提供一种磁头研磨方法和一种磁头研磨设备，该设备能参考研磨盘的研磨表面来控制待研磨物件的体位，从而可使待研磨物件的平直度得到改进并且可使在物件上形成的许多磁头的喉部高度的变化降低。
为了实现上述目的，根据本发明的一种磁头研磨方法，把一个其上固定有一个待研磨物件(它具有排列在其上的多个磁头)的夹具安装在一个研磨头上；以及在使该物件与已被驱动旋转的研磨盘的一个研磨表面相接触的同时，移动研磨头来对该物件进行研磨；使用一个与研磨盘的研磨表面处于面接触状态的调整环来控制研磨头的体位。
在该磁头研磨方法中，可使研磨头连续地转动或者在一个预定的角度内反复地回转。
此外，待研磨物件可以在调整环转动时研磨。
此外，物件可以在研磨头和调整环作直线往复运动时研磨。
本发明的第二个方面的磁头研磨方法包括以下步骤把一个其上固定有一个待研磨物件的夹具安装在一个后板上，该物件具有排列在其上的多个磁头，使用一个研磨头、一个摆动部分和该后板，该研磨头具有一个受到一个调整环控制的体位，该调整环与一个受驱动旋转的研磨盘的研磨表面处于面接触状态，该摆动部分可以围绕一根摆动轴转动，该摆动轴相对于研磨头沿着与研磨表面平行的方向延伸，该后板可转动地安装在一个竖直移动部分的下部，该竖直移动部分可以相对于摆动部分作竖向移动；通过把夹具支承在一个相对于研磨表面的竖直面上，通过使用平衡致动器把压紧力分别作用在一个其上可转动地连接着后板的位置的两侧，以及通过使用校正致动器把操作力作用在该夹具的两端部分和中间部分来进行第一研磨过程，该过程用来对多个连接在待研磨物件上的磁头均匀地进行研磨；以及在使摆动部分相对于研磨头倾斜的同时，通过把该夹具支承成与相对于研磨表面的竖直面处于倾斜位置来进行第二研磨过程，该过程用来使待研磨物件的底面倾斜。
上述步骤可以顺序地进行。
在该第二磁头研磨方法中，有人建议在第二研磨过程中的研磨量可通过使用传感器检测出夹具的左和右端部分的位置而测定。
本发明的一种磁头研磨设备，包括一个可被驱动旋转的研磨盘；一个被支承成可与研磨盘的一个研磨表面处于面接触状态的调整环；一个其体位可由调整环控制的研磨头；一个可相对于研磨头围绕一个与研磨表面平行方向延伸的摆动轴摆动的摆动部分；用来使摆动部分倾斜的倾斜装置；一个可转动地安装在一个竖直移动部分的下部的后板，该竖直移动部分可相对于摆动部分作竖向移动；用来把压紧力分别地作用在一个其上可转动地连接着后板的位置的两侧上的平衡致动器；一个安装在后板上用来在其上固定一个待研磨物件的夹具，该物件具有排列在其上的多个磁头；以及用来把操作力作用在夹具的两端部分和中间部分上的校正致动器。
在该磁头研磨设备中，研磨头和调整环可以可转动地支承在一个研磨头安装架上，该安装架可在一个与研磨盘的研磨表面平行的一个平面内运动，以及通过设置在研磨头安装架上的回转装置可以在一个预定角度内作回转运动。
该夹具通过安装装置在其中间部分的一个单独位置安装在后板上。
此外，该设备设置有用来检测夹具的左和右端头部分的位置的传感器。
图1是示出本发明的一个实施例的磁头研磨方法和设备的主要部分的总结构的前剖视图2是示出本发明的该实施例的总结构的前视图；图3是示出本发明的该实施例的总结构的俯视图；图4是示出该实施例的主要部分的结构的前视图；图5是示出该实施例的主要部分的结构的局部省略的前视图，图中包括了用于检测一个水平长型夹具的左和右端位置的传感器；图6是示出该实施例的主要部分的结构的侧剖视图；图7是示出该实施例的主要部分的结构的侧视图；图8是示出该实施例的一个主要部分即水平长型夹具的安装部分的放大的侧剖视图，图中具有放大的该水平长型夹具的左端侧的截面；图9是示出一个主要部分的放大的侧剖视图并带有放大的该水平长型夹具的中部的横截面图；图10是示出该实施例中的一部分的前剖视图，在该部分中一个研磨头和一个调整环安装在研磨头安装架上；图11是在该实施例中使施用的调整环的底视图；图12是在该实施例中的一个待研磨物件的侧剖视图，用来说明使该物件倾斜的操作；图13是示出本发明的另一个实施例的主要部分的结构的前剖视图；以及图14是在本发明的该另一个实施例中使用的一个调整环的底视图。
下面将参照附图对本发明的一个实施例的磁头研磨方法和磁头研磨设备进行描述。
图1以草图示出了本发明的一个实施例的主要部分的结构；图2和3示出了该实施例的整体部分的详细结构；以及图4至7示出了该实施例的一个主要部分的详细结构。
下面将首先参考图2和3来说明该实施例的整体结构。在图2和3中，标号1表示一个底板工件台，该工作台支承着一个研磨盘2，以使该盘可以在一个水平面内转动。研磨盘2由一个平板驱动电机3通过一条皮带4驱动和旋转，平板驱动电机3用来作为底板1内部的一个旋转的驱动源。
在底板工件台1上方是一对导轨5。这对导轨5水平地支承在该底板工作台一侧。一个在图3中示出的水平移动的滑座6由该对导轨5可滑动地导引。一个研磨头安装架7安装在水平移动滑座6上以便沿竖直方向移动(研磨头安装架7被驱动作上下移动以便自由地调整高度)。水平移动滑座6可以通过把一根沿着平行于导轨5的方向延伸的滚珠轴承导螺杆拧入在滑座6侧的一个螺母中并且用一个电机驱动该滚珠轴承导螺杆旋转而受到驱动。滑座6和研磨头安装架7使直线运动往复进行。
如图1和10中所示，一个转动支承部分9通过一个环形支承部分8可转动地支承在研磨头安装架7内，以及一个研磨头10通过一个弹性件11(例如一个板簧或橡胶)安装在转动支承部分9上。研磨头10具有一个底板12和多个竖直的支承板13，该些支承板13垂直安装和固定在底板12上并且互相平行地延伸。一个调整环(耐磨垫)20固定在底板12的底面上。调整环20与研磨面2a(它是研磨盘2的上表面)为面接触。一个皮带轮14固定在转动支承部分9上，以及如图2和3中所示，一个用来驱动皮带轮16转动的研磨头回转电机15安装在研磨头安装架7的外侧。一条皮带17安装在皮带轮14,16之间。回转电机15、皮带轮14,16及皮带17起着回转装置的作用，以便用来使研磨头10和调整环20在一个预定角度内作回转运动。
图11是调整环20的一个底视图。调整环20是由一个用铝制成的环主体21形成的，该主体上连接有弧形部分23和24。用耐磨陶瓷制成的许多个圆柱形模型22(dummy)埋置在弧形部分23和24内，并且该圆柱形模型22的下端面稍微有一点从弧形部分23和24伸出。此处圆柱形模型22的数目的设定应使它能与安装在调整环20上的研磨头10的重量相平衡。在图11的情况下，由于与研磨盘2面接触的调整环20的弧形部分23,24中的弧形部分23承受了较大的研磨头10的负载量，因此在弧形部分23上的圆柱形模型22的数目大于在弧形部分24上的圆柱形模型的数目。
如图4至7中所示，一个摆动部分30通过摆动轴31安装在研磨头10的竖直支承板13之间的研磨头10上，以便可围绕摆动轴31摆动。摆动轴31平行于调整环20的下表面(即研磨盘2的研磨表面2a)延伸。如图6和7中所示，电机安装底板部分33的下部通过一个支点轴32安装在研磨头10的竖直支承板13的一侧，而摆动电机34固定在该电机安装底板部分33的上部。一根滚珠轴承导螺杆35与电机34的转动驱动轴相连接，一个螺母36拧入该滚珠轴承导螺杆中。一个固定在摆动部分30上的臂37通过支承轴38与螺母36相连接。一个包括支点轴32至支点轴38的机构组成了一个倾斜装置，该装置使摆动部分30从其相对于研磨盘2的研磨表面2a所处的竖立状态倾斜一个预定的角度。
一个竖直移动部分49通过一个滑动轴承(横向滚柱导轨)48安装在摆动部分30上，以便可以沿摆动部分30作竖直移动。但是，该竖直移动部分49是与摆动部分30整体地倾斜的，因此摆动部分30和竖直移动部分49仍保持互相平行的关系。一个后板40通过支承轴41可转动地安装在竖直移动部分49的下端部分上。支承轴41沿平行于研磨盘2的研磨表面2a并垂直于摆动轴31的方向延伸。平衡致动器43A，43B安装在摆动部分30的上部，如图4和5中所示。平衡致动器43A,43B用来向下压缩(施加压力)后板40的支点轴41的左和右两侧。如图6中所示，平衡致动器43A,43B的驱动轴与钟形曲臂(杠杆)45的端部相连接，该曲臂在支点轴44处用轴颈支承在摆动部分30上。连接杆46与钟形曲臂45的其它端以及后板40的左和右侧相连接。左和右连接杆46就是在L,R位置上可转动地安装在后板40上的。应当注意的是，如果包括竖直移动部分49、后板40和水平长型夹具70等在内的竖直移动部分的皮重足够大的话，那么平衡致动器43A,43B的压紧力在某些情况下就可以被设定在负值(提升力)。
阶形柱状伸出部分51A、51B、51C整体地配置在矩形板状部分50的左和右端部分以及中间部分上，如图4和5中所示，以便把矩形板状的水平长型平具70安装在矩形板状部分50的前表面上，使矩形板状部分50构成后板40的下部，以及使水平长型夹具70在其底面粘附有物件60，如图8和9中所示。如图8和9中所示，阶形柱状伸出部分51A、51B、51C中的每个部分在其中部都具有一个台阶面52，该台阶面形成它从这样的台阶面52变成一个小直径部分(细长直径部分)的前端侧。水平长型夹具70具有与在阶形柱状伸出部分51A、51B、51C的前端上的小直径部分相对应的(相啮合的)通孔71，以及水平长型夹具70的后表面受到支承以便与对应的阶形柱状伸出部分51A、51B、51C的台阶面52相接触。应当注意，只有在中间的阶形柱状伸出部分51C的前端面是通过一个机用安装螺钉53被拧紧的，如图9中所示；这就是说，矩形板状的水平长型夹具70是不可松脱地固定在一个唯一的位置上。这里，水平长型夹具70的安装通孔71都被制成为略大于在对应的阶形柱状伸出部分51A、51B、51C的前端上的小直径部分，因此水平长型夹具70可以具有这样一个游隙来固定，以便使该夹具能够相对于后板40的矩形板状部分50作某种程度的竖直移动。
连接在(用粘合剂粘附在)水平长型夹具70的底面上的物件60是通过把许多磁头的转换部分配置成在一个细长的方形陶瓷棒上的一个单排而形成的，每个转换部分是由一个磁性薄膜图形(patterns)形成的。该陶瓷棒当把该薄膜磁头分离成各个单件时形成该薄膜磁头的浮动块(sliders)。该转换部分的磁性薄膜图形被排列在陶瓷棒61的一个沿纵向延伸的侧面61a上。所以，通过研磨陶瓷棒61的底面侧，设置在沿纵向延伸的侧面61a上的转换部分的喉部高度就可以改变(减小)。
如图1和4中所示，校正致动器80A、80B、80C安装在后板40的这侧，以便校正连接在水平长型夹具70的底面上的物件60的变形或弯曲。校正致动器80A增加了对水平长型夹具70的左端部分的操作力，用来使固定在转动轴81A上的臂82A产生转动，该转动轴可转动地支承在与后板40结合成一个整体的上延伸部分57的上部。一个从动臂83A固定在转动轴81A上。竖直移动杆84A的上端部分在一个可转动的连接点P处连接在从动臂83A上。一个竖直移动的校正件85A固定在竖直移动杆84A的下端。如图8中所示，该竖直移动的校正件85A可以沿着一个在后板40的矩形板状部分50与安装在矩形板状部分50上的水平长型夹具70之间的间隙竖直地滑动。一个与校正孔72完全啮合的校正销86A固定在竖直移动的校正件85A上。校正孔72设置在水平长型夹具70的左端部分上。因此，通过转动臂82A和通过驱动具有校正销86A的竖直移动的校正件85A经过从动臂83A和竖直移动杆84A在竖直方向的精细地移动，水平长型夹具70的左端部分的高度以及固定在水平长型夹具70上的物件60的左端部分的高度就能产生精细地变化。
校正致动器80B增加对水平长型夹具70的右端部分的操作力。所要求的机理与校正致动器80A的机理相类似。也就是说，通过转动一个固定在转动轴81B(它可转动地支承在上延伸部分57上)上的臂82B，一个具有校正销86B的竖直移动的校正件85B就被驱动通过从动臂83B和竖直移动杆84B沿竖直方向作精细地移动。
校正致动器80C增加对水平长型夹具70的中间部分的操作力。所要求的机理与校正致动器80A的机理相类似。也就是说，通过转动一个固定在转动轴81C(它可转动地支承在上延伸部分57上)上的臂82C，一个具有校正销86C的竖直移动的校正件85C就被驱动通过从动臂83C和竖直移动杆84C沿竖直方向作精细地移动，如图9中所示。
通过把校正致动器80A、80B、80C的操作力增加在该水平长型夹具70的左和右端部分以及中间部分，连接在该水平长型夹具70的底面上的物件60的变形和弯曲就能得到校正。
应当注意，为了最佳地调整磁头的相应的转换部分的喉部高度，研磨操作是在一个预定的周期内与测量例如设置在陶瓷杆61的左和右端部分以及中间部分上的转换部分的喉部高度相对应的电阻值的同时进行的，该磁头是用沿着该方形陶瓷杆61(它将成为物件60)的一个纵向延伸的侧面61a排列的磁性薄膜制成的。无需详细介绍，电气连接在该转换部分上的电极在水平长型夹具70的与后板40这侧上的矩形板状部分50相面对的表面上形成。测量销55与图中未示出的电阻测量装置相连接。
如图5和7中所示，接触传感器90固定在上延伸部分57的左侧边缘和右侧边缘上，该上延伸部分通过紧固件结合在后板40上。该接触传感器90设置用来检测安装在后板40的矩形板状部分50上的该水平长型夹具70的左端和右端部分的位置(该上延伸部分57的左和右侧边缘的位置基本上与水平长型夹具70的左和右端部分的位置相对应)。每个接触传感器90的接触点91的尖端与在研磨头10的相应的竖直支承板13上形成的该伸出的上表面相接触。接触传感器90产生一个与接触点91的伸出量成正比例的电容变化。根据其他检测原理工作的传感器也可以使用。应当注意，使用两个接触传感器90来检测上延伸部分57的左和右侧边缘的高度(水平长型夹具70的左和右端部分的位置可相应地被间接测出)的原因是为了检测出研磨量和在左和右侧两侧上的平衡情况。
下面介绍该实施例的一般工作情况。
如图8和9中所示，固定有其上排列着许多薄膜磁头的物件60的水平长型夹具70安装在后板40的矩形板状部分50上，并且研磨头10处于与研磨盘2分开的位置，如图2和3中所示。后板40相对于研磨头10的倾斜角最初调整为零度(相对于调整环20的底面是竖直的；即相对于研磨盘的研磨面处于竖直位置)。
当后板40的倾斜角已经调定好并且水平长型夹具70已经安装好以后，使研磨头10已经装在其上的研磨头安装架7沿着导轨5作直线移动，从而把研磨头安装架7放在已被驱动和旋转的研磨盘2上方。然后，把研磨头安装架7降低，使得调整环20以一个适当的压紧力与研磨盘2的上表面的研磨表面2a作面接触。随着调整环20以一个适当的压紧力与研磨盘2的研磨表面2a作面接触，在调整环20上的研磨头10的体位就以该研磨表面作为基准而受到控制。摆动部分30竖直地设置在调整环20的底面上，后板40的矩形板状部分50和安装在该矩形板状部分50上的水平长型夹具70形成一个相对于该研磨表面的竖直表面。在这种情况下，不但该压紧力通过平衡致动器43A、43B作用在支点轴41的两端，该轴用来作为在后板的这一侧上的矩形板状部分50的一个可转动的连接点，而且该竖直的操作力通过校正致动器80A、80B、80C作用在水平长型夹具70的两端部分和中间部分上，从而使第一研磨过程得以进行，以便最佳地调整在物件60中的相应的薄膜磁头(形成在陶瓷杆61的沿纵向延伸的侧面61a上)的转换部分的喉部高度。例如，当该物件60向下弯曲从而形成一个突出表面时，不但要开动用来作用在左和右端的校正致动器80A、80B使它压住水平长型夹具70的左端和右端部分向下，而且还要开动用来作用在中间部分的校正致动器80C使它停止或者缓慢下来，从而使物件60的下部得以变平，等等。此外，平衡致动器43A、43B调整作用在物件60的左和右侧上的压紧力，从而不但可使物件60的左和右端两侧的研磨量均匀，而且还可把物件60向着研磨表面2a推进。
在第一研磨过程中，如果调整环20在相同位置与研磨盘2相接触，就将引起单侧磨损。为了克服这个问题，不但具有研磨头10和调整环20安装其上的转动支承部分9借助于研磨头回转电机15在预定角度内沿两个方向转动，而且还使研磨头安装架7在一个预定角度内作来回的直线移动。因此，在第一研磨过程中，研磨头10和调整环20产生了这样的运动，其中沿两个方向的旋转运动与沿两个方向的直线运动重迭进行。
磁性薄膜制成的磁头的转换部分排列在方形陶瓷杆61的沿纵向延伸的侧面61a上，如图8和9中所示。每个转换部分的喉部高度可以通过测量相应的转换部分的电阻而测定。通过在周期检测每个转换部分的电阻的同时进行第一研磨过程，相应的薄膜磁头的喉部高度就可以制成最均匀并且调节得最佳。
在用来把该相应的薄膜磁头的喉部高度制成最均匀和调节得最佳的第一研磨过程以后，就进行第二研磨过程，该过程用来使方形陶瓷杆61(它就是物件60)的底面61b相对于一个水平面倾斜最大约3°，如图12中所示(该第二研磨过程用来通过磨掉一个阴影部分Q而使方形陶瓷杆61的底面倾斜)。也就是说，通过开动摆动电机34，使摆动部分30和后板40从这些构件30、40已经相对于研磨盘2的研磨表面2a形成的一个竖直面的状态倾斜成一个预定的角度，该角度最大约3°。与此动作相联系，后板40的矩形板状部分50以及安装在矩形板状部分50上的水平长型夹具70也从相对于该研磨表面形成的竖直面倾斜一个预定的角度。在这种状态下，陶瓷杆61(它将成为浮动块)的底面部分将由转动的研磨盘2研磨。此外，当由设在左和右端进行位置检测操作(对水平长型夹具70的左和右端部分的间接的位置测定)的接触传感器90所测定的在与后板40结合成一个整体的上延伸部分57的左和右侧上的研磨量已经达到预定值后，该研磨操作就终止。可以设想到，使研磨头10和调整环20产生与第一研磨过程相类似的重迭运动，即可使这些构件10和20在第二研磨过程中产生这样的运动，其中沿两个方向的旋转运动与沿两个方向的直线运动重迭进行。
该实施例具有以下优点(1)在具有多个薄膜磁头排列在其上的物件60固定在其上的水平长型夹具70安装在研磨头10上以及物件60受到研磨使物件60与旋转着的研磨盘2的研磨表面2a相接触，同时移动研磨头10的情况下，研磨头10的体位就受到与研磨盘2的该研磨表面处于面接触状态的调整环20的控制。也就是说，研磨头10以及安装在该研磨头10上的摆动部分30和后板40的体位都以研磨盘2的该研磨表面作为基准而受到控制。此外，物件60可以在受到机械压紧力(不是皮重)的作用下进行研磨。此外，通过实施一个物件60的校正体位控制，不但物件60的底面的平直度可以改进，而且在物件60的沿纵向延伸的侧面61a上形成的相应的薄膜磁头的转换部分的喉部高度的变化也可以减小。
(2)通过根据研磨头10的负荷分布而选定调整环20的圆柱形模型22的数目，可以防止调整环20的单侧磨损，这又有利于改进物件60的底面的平直度。
(3)研磨头10和调整环20可以产生这样的运动，其中沿两个方向的旋转运动在一个与研磨盘2的研磨表面2a相平行的平面内与沿两个方向的直线运动重迭进行，这又不但对防止调整环20的单侧磨损有利而且对改进物件60的底面的平直度有利。
(4)方形陶瓷杆61(它就是物件60)连接在后板40的矩形板状部分50的中间部分的一个位置上。因此，即使方形陶瓷杆61在转动方向受到一个扭转，该方形陶瓷杆61仍能在保持不校正该扭转的情况下受到研磨。结果，这种扭转没有造成任何缺陷。如果方形陶瓷杆61连接在其左和右端两个位置上，该方形陶瓷杆61就以任何可强迫校正其扭转的方式连接在后板40上。因此，当方形陶瓷杆61在研磨过程完成后从后板40上卸下来时就会再次发生扭转。从而，存在着方形陶瓷杆61是不合格的可能。
(5)后板40通过支点轴41在一个很靠近后板40的下部的位置安装在竖直移动部分49上，该竖直移动部分49相对于摆动部分30可作竖向移动。因此，矩形板状部分50在后板40的下部的位置以及安装在矩形板状部分50上的水平长型夹具70的位置就能稳定。
(6)通过利用两个接触传感器90来间接地检测安装在后板40上的水平长型夹具70的左端和右端部分的位置，就可以测定出在第二研磨过程(用来使滑座倾斜的过程)中的研磨量和在该左和右端之间的平衡情况。此外，可以利用该检测结果来实现该研磨操作的自动停止控制等。
图13和14示出了本发明的另一个实施例。图13和14示出了一种用于可转动地相对于研磨头10支承一个调整环100以及用于使调整环100转动从而防止单侧摩损的结构。在图13和14中，转动支承部分9通过环形支承部分8可转动地支承在研磨头安装架7内，以及研磨头10通过弹性体11(例如一个板簧或橡胶件)安装在转动支承部分9上。一个大直径的正齿轮111通过一个环形支承部分110可转动地安装在研磨头10的下面部分的外周边上。调整环100固定在该正齿轮111上。另一方面，研磨头安装架7的外部是一个调整环转动电机112。固定在电机112的转动轴上的一个正齿轮113与该调整环这侧的正齿轮111相啮合。
图14是调整环100的底视图。例如，该调整环100是通过把大量的由耐磨陶瓷制成的圆柱形模型102埋置在由铝制成的一个环主体101内而形成的。这些圆柱形模型102的下端面从该环主体101稍微突出一点。这里，由于调整环100在研磨操作过程中是转动的，这些模型102是均匀分布在调整环100上的。
应当注意的是，在正齿轮111，112之间允许形成的某个间隙当该两齿轮啮合时将不会阻止调整环100与研磨盘2的研磨表面2a的面接触。此外，由于研磨头10是通过弹性件11(例如一个板簧或橡胶件)安装的，因此研磨头10的底板12是设置在调整环100上，从而与它处于紧密接触状态。所以，研磨头10的体位就可以以调整环100作为基准(因而就是以研磨表面2a作为基准)来进行调整。
应当指出，本实施例的其他方面的结构是与上述实施例中的那些结构是类似的。
在图13和14中所示的实施例中，不但可使研磨头10作出沿两个方向的旋转运动，而且可由调整环转动电机112通过齿轮机构使调整环100受驱动和旋转。因此，可以防止调整环100的单侧磨损，它又不仅可以使研磨过程免于变化而且能实现良好的平直度。
虽然电磁型致动器可以用于平衡致动器43A,43B和校正致动器80A、80B、80C，但是由其它工作原理操纵的致动器(例如液压缸)也可以使用。
此外，研磨盘的转动速度和方向可以改变，并且可以通过温度控制使研磨盘的温度稳定。
此外，虽然上面已经说明了研磨头在一个预定角度内沿两个方向转动的情况，但该研磨头沿两个方向转动(回转)的原因是为了便于对设置在研磨头上的电机的电导(以防止导线由于扭转而被切断)。因此，研磨头可以在一个方向受到驱动而连续地施转，只要电机电导(motor conduction)通过设置导电装置(例如滑环)而予以改变。
上述内容介绍了本发明的实施例。
对于本领域的普通技术人员来说显而易见的是，本发明不受上述实施例的限制而是可以改进和改变成各种不同的型式。
如上所述，本发明的特征在于可以使研磨头的体位通过调整环使整用研磨表面作为基准而受到控制，该调整环与研磨盘的研磨表面处于面接触状态。因此，对一个待研磨物件的研磨操作可以通过对该物件作用机械压紧力(不是皮重)，同时实行该物件相对于研磨表面的体位控制而完成。此外，通过正确地对物件进行体位控制，不但改进了物件的底面的平直度，而且可以减少相应的磁头的转换部分的喉部高度的变化从而使喉部高度得到最佳调整。
权利要求
1．一种磁头研磨方法，该方法包括以下步骤把一个其上固定有一个待研磨的物件的夹具安装在一个研磨头上，该物件具有排列在其上的多个磁头；使用一个与该研磨盘的该研磨表面处于面接触状态的调整环来控制该研磨头的体位；以及在使该物件与已被驱动和旋转的研磨盘的研磨表面相接触的同时，移动该研磨头来对该物件进行研磨。
2．如权利要求1所述的磁头研磨方法，其特征在于，使该研磨头连续地转动或者在一个预定的角度内反复地回转。
3．如权利要求1或2所述的磁头研磨方法，其特征在于，使该调整环转动。
4．如权利要求1或2所述的磁头研磨方法，其特征在于，使该研磨头和该调整环作直线地往复运动。
5．一种磁头研磨方法，该方法包括以下步骤把一个其上固定有一个待研磨物件的夹具安装在一个后板上，该物件具有排列在其上的多个磁头，使用一个研磨头、一个摆动部分和该后板，该研磨头具有一个受到一个调整环控制的体位，该调整环与一个受驱动旋转的研磨盘的研磨表面处于面接触状态，该摆动部分可以围绕一根摆动轴摆动，该摆动轴相对于该研磨头沿着与该研磨表面平行的方向延伸，该后板可转动地安装在一个竖直移动部分的下部，该竖直移动部分可以相对于该摆动部分作竖向移动；通过把夹具支承在一个相对于该研磨表面的竖直面上，通过使用平衡致动器把压紧力分别分作用在一个其上可转动地连接着该后板的位置的两侧，以及通过使用校正致力器把操作力作用在该夹具的两端部分和中间部分来进行第一研磨过程，该过程用来对多个连接在待研磨物件上的磁头均匀地进行研磨；以及在使该摆动部分相对于该研磨头倾斜的同时，通过把该夹具支承成与相对于该研磨表面的该竖直面处于倾斜位置来进行第二研磨过程，该过程用来使该待研磨物件的底面磨成斜面。
6．如权利要求5所述的磁头研磨方法，其特征在于，在该第二研磨过程中的研磨量是通过使用传感器检测出该夹具的左和右端部分的位置而测定的。
7．一种磁头研磨设备，包括一个可被驱动旋转的研磨盘；一个被支承成可与该研磨盘的一个研磨表面处于面接触状态的调整环；一个其体位可由该调整环控制的研磨头；一个可相对于该研磨头围绕一个与该研磨表面平行方向延伸的摆动轴摆动的摆动部分；用来使该摆动部分倾斜的倾斜装置；一个可转动地安装在一个竖直移动部分的下部的后板，该竖直移动部分可相对于该摆动部分作竖向移动；用来把压紧力分别地作用在一个其上可转动地连接该后板的位置的两侧上的平衡致动器；一个安装在后板上用来在其上固定一个待研磨物件的夹具，该物件具有排列在其上的多个磁头；以及用来把操作力作用在该夹具的两端部分和中间部分上的校正致动器。
8．如权利要求7所述的磁头研磨设备，其特征在于，该研磨头和该调整环可转动地支承在一个研磨头安装架上，该安装架可在一个与该研磨盘的该研磨表面平行的一个平面内运动，以及通过设置在该研磨头安装架上的回转装置使该研磨头和该调整环在一个预定角度内作回转运动。
9．如权利要求7或8所述的磁头研磨设备，其特征在于，该夹具通过安装装置在其中间部分的一个单独位置上安装在该后板上。
10．如权利要求7或8所述的磁头研磨设备，其特征在于，设置有用来检测该夹具的左和右端部分的位置的传感器。
全文摘要
一个具有排列在其上的多个薄膜磁头的待研磨物件在下述情况下受到研磨,把一个其上固定有该物件的一个水平长型夹具安装在一个研磨头上,使该物件与已被驱动和旋转的研磨盘的研磨表面相面接触,通过一个与研磨盘的该研磨表面处于面接触状态的调整环来控制该研磨头的体位。因此通过使该物件的体位以研磨盘的研磨表面作为基准来进行控制,可以改进物件的平直度并且可以减少在待研磨物件上形成的许多磁头的喉部高度的变化。
文档编号G11B5/127GK1208912SQ9811504
公开日1999年2月24日 申请日期1998年6月19日 优先权日1997年6月21日
发明者吉原信也, 进藤宏史, 山口正雄, 伊藤善映 申请人:Tdk株式会社