专利名称：带有挠性的光栅固定件的变窄光线的单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光器，特别是带有基于光栅的一变窄光线的单元(line narro瓦ing unit)的高功率气体放电激光器。本发明要求提出于1999年11月30日的第09/451,407号申请的优先权，该申请是提出于1999年9月3日的第09/390,579号申请、现为美国专利第6,212,217B1号的部分延续。
背景技术：
窄带气体放电激光器用作集成电路平版印刷的光源的气体放电的紫外线激光器通常是光线变窄的。一种较佳的现有技术的变窄光线的技术是与一输出耦合器一起使用一基于光栅的变窄光线的单元，以形成激光共振腔。该腔体内的增益介质是通过放电至一循环激光气体来产生的，所述循环激光气体诸如氪、氟和氖(对于KrF激光来说)；氩、氟和氖(对于ArF激光来说)；或者氟和氦和/或氖(对于F2激光来说)。
变窄光线组件在
图1中示出了这样一个现有技术系统的示意图，该系统是从日本专利第2,696,285号中摘录出来的。所示的系统包括输出耦合器(或前镜)4、激光腔3、腔室窗口11、以及一基于光栅的变窄光线的单元7。变窄光线的单元7通常作为一个可容易替换的单元设置在一平版印刷激光系统中，并且有时会被称为“变窄光线的组件”或简称为“LNP”。该现有技术的单元包括两个光束扩展棱镜27和29以及一设置在Litro瓦结构中的光栅16。在这些系统中所使用的光栅是极其敏感的光学器件。典型的光栅表面可能在一厚玻璃基片上的的一铝层或多铝层中每英寸有10,000条凹槽。美国专利第5,999,318号中描述了这些光栅和用于制造它们的技术，该专利的内容结合于此，以供参考。一种用于避免光栅表面扭曲的现有技术是将光栅安装在一金属的光栅固定件上，该固定件用热膨胀系数较小且十分接近光栅玻璃基片的热膨胀系数的材料制成。在标准空气中存在氧的情况下，该光栅在紫外线的辐照下很快就变坏。由于这个原因，用于平版印刷的激光器的变窄光线的单元的光学部件通常在用氮气工作的过程中不断地进行清洗。
图2是申请人们的雇主Cymer，Inc.所制造的一现有技术的变窄光线的单元，该单元作为采用该装置的一现有技术的光线变窄的平版印刷KrF激光系统的一部分。该单元包括三个光束扩展棱镜8、10以及12、一旋转镜14以及一光栅16。可注意到，从瓶44出来的氮气清洗剂在旋转镜46的背侧上进入该单元，以避免清洗剂直接流到光栅的表面上。在该系统中，在一反馈结构中控制激光束6的波长，在该反馈结构中，监测器22测量光束波长，计算机控制器24利用该波长信息来调节旋转镜14的角度位置，以将波长控制到一所要求的值。使用一带宽控制装置20来机械地弯曲光栅16，例如使其稍稍地凹入。在转让给Cymer的美国专利第5,095,492号中详细地描述了该装置。使用该装置能使带宽稍许减小，但当激光器以高忙闲度(duty cycle)运行时，所得的带宽仍然超出规格。
多年来，光线变窄激光器的设计者们认为激光束的扭曲可能是由于靠近光栅的表面的气流导致的。因此，激光器的设计者们过去特别努力地去使清洗用的氮气不直接流到光栅的表面上。在上面所引述的日本专利2,696,285中描述了这些努力的若干例子。在摘录的图1中所示的例子中，从N2气体瓶44、穿过排放口46朝向光栅16的背侧引导清洗剂流。
更大的重复频率目前在集成电路工业中使用的光线变窄的紫外线激光源在约1000赫兹的重复频率和约百分之20的占空因数下通常每一脉冲产生约10毫焦。在更高的重复频率和更大的占空因数的情况下可以获得更大的集成电路产量。申请人们的雇主目前出售2000赫兹的气体放电的平版印刷激光器，且申请人们与他们的同事已设计出4000赫兹的气体放电的平版印刷激光器。在这些更高的重复频率和忙闲度下，申请人们在保持一贯的窄带宽方面遇到了困难。
人们需要可靠的、用于高重复频率和高忙闲度的气体放电激光器的变窄光线的装置和技术。
发明内容
本发明提供一种用于产生高能激光束的变窄光线激光器的基于光栅的变窄光线装置。提供诸技术以使激光束在变窄光线装置内产生的热量所带来的不利影响最小。
提供了一种挠性光栅固定件，它真正地消除了由于光栅和LNP壳体结构之间的不同热膨胀而导致的光栅上的应力。在一较佳地实施例中，使用一挠性光栅固定件将在一厚的超低膨胀玻璃基片上包括一十分薄的饰面铝制表面的光栅附接至一铝制壳体结构上。在光栅固定件中至少设置一个挠曲连接部，它允许铝制壳体膨胀和收缩，且不在光栅的玻璃基片中产生所不想要的机械应力。在一些实施例中，固定件包括一金属板，所述挠曲连接部是机加工到金属板中的一H形的挠曲连接部。在另一实施例中，设置了两个H形的挠曲连接部。在其它的实施例中，该挠曲连接部是一鸠尾连接部，允许固定件的一端相对另一端滑动。
在另一较佳的实施例中，横跨光栅表面地引导气体流。在其它的实施例中，通过使用氦气来作为清洗剂气体来减小光栅表面上的热气体层的效应，并且在其它实施例中，降低清洗剂气体的压力，以减小热气体层的光学作用。
附图简述图1示出了一第一个现有技术的光线变窄的激光系统。
图2示出了一第二个现有技术的光线变窄的激光系统。
图2A和2B示出了一现有技术的光栅安装技术。
图3示出了对在一变窄光线的光栅的表面上的一热气体层的带宽的不利影响。
图4A和4B示出了本发明的一较佳实施例。
图5A示出了采用现有技术的清洗在各种不同重复频率下的带宽轨迹。
图5B示出了用根据本发明的清洗在各种不同重复频率下的带宽轨迹。
图6A、6B及6C示出了本发明的可选择的实施例。
图7和8示出了一为快速反馈控制配备的LNP。
图9示出了在光栅表面上的气体层的加热情况。
图10示出了一用来减小清洗剂气体压力的技术。
图11A、B、C及D示出了本发明的一较佳实施例的特征。
图12A、B及C示出了本发明的另一较佳实施例的特征。
图13A、B、C、D及E示出了本发明的另一较佳实施例的特征。
具体实施例方式
可参照附图对本发明的较佳实施例进行描述。
在高平均功率下的激光性能在相对较低的平均功率、通常低于5瓦的平均功率下工作的一现有技术的光线变窄的KrF的激发物激光器通常产生一中心位于约248纳米处、带宽小于0.6皮米的激光束。只要平均功率低于5瓦，该激光器可以在高达2000赫兹或更高的高重复频率下毫无问题地运行。典型的平版印刷KrF激发物激光器的脉冲能量为10毫焦。因此，为了避免增加平均功率，激光器必须以较低的忙闲度进行工作。例如，它可以在2千赫下以200脉冲的脉冲串且脉冲串之间的间隔约为0.45秒地运行。这样的一种工作状态将产生如下的平均功率 当平均功率增加时，带宽控制方面的问题就开始显现。例如，当脉冲串之间的延迟减小时发生这样的情况。例如，激光器同样以200脉冲的脉冲串运行，但脉冲串之间的延迟为0.1秒，则平均功率将为 在最大值处，即激光器以200赫兹和10毫焦脉冲能量的连续模式工作时，等效于20瓦的平均功率。
当现有技术的激光系统以较高的平均功率运行时，带宽在经过约5至20分钟的一时段后，从小于0.6皮米的初始带宽逐渐增加，并基本保持大于0.6皮米。在微型平版印刷的生产运行中应避免这样的带宽的增加，这是因为它会由于投射透镜的色彩交替而致使图案模糊。另一个重要的应用是，使用激光器测试另一平版印刷部件、如投影透镜自身在高忙闲度下的热性能。在这种应用中，假设激光器的带宽和其它参数在测试的持续过程中保持在规定范围之内。
4000赫兹的激光器现在进行测试以用于生产的平版印刷激光系统包括设计成以4000赫兹进行工作的激光器。在这些提高了的重复频率下保持所要的激光束质量是一种挑战。与2000赫兹的系统相比，热效应显著地增加。
光栅扭曲图2A是示出现有技术的将光栅16安装到LNP壳体的底板上的方法的侧视图。在这种情况下，光栅的厚玻璃基片在三个部位中的每一个处用十分短的环氧树脂柱附接至固定板16A。图2B示出了在17A、17B以及17C处诸柱子大致的水平位置。固定板利用两个螺杆16B和16C牢固地螺纹连接至LNP壳体的底板上。在该现有技术的设计中，固定板是用不胀钢制成的，其热膨胀系数接近零，也接近超低热膨胀玻璃的光栅玻璃基片的、也是接近零的热膨胀系数。但是，腔室壳体是具有与不胀钢和光栅玻璃基片显著不同的热膨胀系数的铝制成的。结果，在LNP中的温度偏差在紧紧地螺杆连接在LNP壳体底部上的固定板中产生弯曲应力，该板又通过环氧树脂短柱在光栅上产生弯曲应力。只要温度偏差较小，短柱是足够地挠性以避免明显的扭曲的；但在2000赫兹至4000赫兹范围内的高重复频率以及高忙闲度之下，光栅中的热扭曲必定很大，以致在带宽和波长中心线的稳定性方面都相当严重地不利地影响激光束。
寻找产生该问题的原因当中请人们最初发现光束质量随着光束能量的增加而下降时，其引发原因是不清楚的，并对各种可能的引发原因进行了研究。清洗剂气体在光栅表面上的表面加热作用是其中的一个引发原因，并且通过将清洗剂气体流直接引导在光栅表面上(如在下面的部分中所描述的)，可以大部分地纠正该引发原因。但这不能完全地消除该问题。
最后，诸申请人之一松开如图2A中所示的螺杆16C，光束的质量有了显著的改善。这样申请人们就认识到，不同的热膨胀导致所不想要的光栅弯曲，光栅的弯曲又导致光栅质量的下降。结果，申请人就设计出在LNP中的若干种修改方案来解决这个问题。
鸠尾设计在图11A、B、C及D中示出了该问题的一个解决方案。图11A和11B是一用来使作用在光栅上的热应力最小的光栅固定件的仰视图。该固定件包括两个主要零件100和102，零件102滑入零件100中的一鸠尾槽104中。零件102利用螺纹孔106螺栓连接至LNP的底板上，零件100利用螺纹孔104螺栓连接至LNP的底板上。图11C示出了在零件100中的鸠尾槽，图11D是零件102的一端视图，示出了它是如何设计以紧密地滑动配合在该槽中的。图11E示出了位于零件100的槽104内部的零件102。两个弹簧张紧辊108将零件102压靠于槽104的侧面110。光栅(未示出)较佳地是利用三个直径约1厘米、高度约4密耳的环氧树脂短柱安装在零件100的顶上。该设计允许LNP的底板不对光栅施加机械应力地膨胀和收缩。
H形挠曲连接部可参照图12A、B及C来描述本发明的一第二实施例。该三幅图分别是带有单个H形挠曲连接部的一光栅固定件的俯视、侧视和仰视图。该固定件是用不胀钢制成的，其以如上所示地具有一十分小的热膨胀系数，且大致与熔化的硅制成的光栅玻璃基片的热膨胀系数相同。还固定件为约1/2英寸厚，并且其长度大致等于要安装于其上的光栅的厚玻璃基片的长度。在固定件中切出诸孔120，主要是减轻其重量。在固定件中基加工出一H形挠曲连接部，如图12A所示。在固定件中切出两狗骨形的孔124，产生一“H”形的挠曲连接部，且使四个挠曲腿部126各约0.060英寸厚。光栅较佳地是利用三个约4密耳高、直径为1厘米环氧树脂短柱在位置128处安装在固定件上，如图12A所示。
固定件利用如图12C所示的螺纹孔130牢固地螺杆连接至LNP壳体的底部。该H形的挠曲连接部允许壳体底部不向光栅传递任何明显的应力地膨胀和收缩。该连接部对沿着光栅纵向的小的力只产生十分小的阻力。沿这个方向的膨胀系数为约0.001英寸/磅，但在任何其它方向上则十分坚固并对力进行抵抗。
两H形的挠曲连接部可参照图13A、B、C、D、E及F对一第三实施例进行描述。图13A是一俯视图，图13B是一侧视图以及图13C是一仰视图。该固定件与上面描述的并示于12A中的固定件相似。但该固定件有两个H形的挠曲连接部134和133，如图13D和13E分别放大地所示。该固定件如LNP的壳体一样是用铝制成的。固定件如在前述实施例中所描述地那样安装在壳体上。光栅利用如上所述的三个环氧树脂短柱在位置132A、132B及132C处附接至固定件，如图13A、13D及13E所示。固定件的在环氧树脂位置处的表面(在本实施例以及在其它实施例中)较佳的是用#40的干粗砂对铝喷砂进行研磨，以产生一较好的环氧树脂表面。H形挠曲部134和133的腿部约0.030英寸宽。挠曲部133允许固定件相对光栅沿着光栅的长向膨胀，挠曲134允许沿着光栅的一短向膨胀，如图中所示的。第二H形挠曲连接部允许使用铝作为固定件的材料，因为铝比不胀钢廉价且易于加工。较佳地，在本实施例和其它实施例中，在将光栅附接至固定件上时，使用一4密耳的薄垫片，以确保环氧树脂短柱为正确的厚度(亦即高度)。
匹配热膨胀系数读者数应注意，光栅固定件的较佳设计应考虑到用于固定件的材料。例如，在图11A-D中和图12A-C的例子中，固定件使用其热膨胀系数与厚ULE玻璃光栅基片的相近的不胀钢。因此，光栅在两远远地间隔开的位置处利用三个环氧树脂短柱附接至固定件的长的部分，且不附接至固定件的短的部分。在这两个例子中，固定件的长的部分的一端附接至腔体，且在固定件的另一端处的固定件的端的部分分开地附接至腔体。在两个例子中的挠曲连接部都允许固定件和腔体(它们具有明显不同的热膨胀系数)以不同的比率膨胀和收缩。
在图13A-E所示的例子中，固定件的长的部分在两位置处牢固地附接至壳体。既然固定件和壳体都是铝制的，这就不产生明显的应力。其膨胀系数显著地不同于铝的光栅基片附接至固定件的三个分开的部分的各个上，它们由于两个挠曲连接部而可自由地相对彼此运动。因此，如果在图11A-D和图12A-C中的例子中固定件用铝制成的话，那么在每一情况下，仅固定件的长的部分应附接至腔体底板，且光栅应附接至两个部分上。同样，如图在图13A-E所示的例子中，固定件使用不胀钢，那么光栅应附接至长的实心部分，固定件应在位置132A、132B及132C处附接至腔体。
热氮气层申请人们确定，如图3所示的在高重复频率下的较差的性能部分地是一热氮气层发展的结果，该热氮气层在约5分钟的一时段后就在光栅48的表面上建立起来了。该热气体被光栅表面加热，该光栅表面又通过吸收一部分的入射激光束而被加热。通常，有多达15至20％的入射激光会被光栅表面吸收。光栅表面的温度可能上升到10至15℃。该温度的上升是不均匀的，在光栅的中间部分高，在端部处低，如图9所示。因此，在光栅的中间部分前方的空气比在边缘前方的空气热。因此，当激光束80入射到光栅表面86上时，它穿过该边界层82。因为该空气具体相同的压力，所以空气越热它的密度越小。因此，靠近光栅中心处的空气比靠近边缘处的空气稀薄。由于这个原因，当激光束80到达光栅的中间部分和边缘时将具有不同的相移。因此，具有平行的波前88的入射光线将具有一相应于发散光束的弯曲的波前90。即使光栅16完全平直也会发生这样的情况。
申请人们已经研制出用于变窄光线的单元的较佳的修改形式，以基本消除该热氮气层。
横跨光栅表面的流动在图4A和4B中示出了本发明第一较佳实施例。在该情况下，约每分钟2升的氮气清洗剂穿过大致诸1毫米直径的孔向上流动，这些孔以1/4英寸的间隔设置在用作一清洗剂气体集合管的一内径为3/8英寸、长为10英寸的管中。阻挡板60和阻挡盖62迫使大部分的氮气清洗剂沿着图4B中箭头所示的方向流动。这样的结构产生很好的效果，如图5中所示。在这种情况下，输出平均功率从0.1瓦至20瓦的一增加导致约0.4至0.5皮米范围内的变动。有趣的是，可注意到在10瓦的平均功率处，带宽实际上稍小于在0.1瓦处的带宽。
重要的是小心地控制横跨光栅表面的清洗剂流，以避免与流相关的扭曲。申请人们测试了各种流量，并确定过度的流动会产生过多的害处。例如，每分钟20升的流量得到十分差的结果。建议的流量在约每分钟0.5升至约每分钟10升的范围内。
还重要的是，注意到该清洗剂没有显著地降低光栅的温度。光栅仍然很热。清洗剂所做的是相当连续地移动光栅前的空气，以致其没有时间被光栅加热。十分小的流量、并因此导致的气体速度防止气流自身所引起的任何空气的扭曲影响激光器的工作。
其它清洗剂结构布置有许多提供横跨光栅表面的气流以防止导致问题的热层产生的可能的结构布置，如图3中所示。例如，可以使用延伸在集合管段上的约0.5毫米的一狭缝来替代诸小孔。也可以用诸如图6A的剖面中所示的一狭缝型的喷嘴来提供更为平稳的气流，或者可以在光栅的顶部和底部都设置狭缝喷嘴，如图6B所示。还有，可以用在一半封闭的系统中的十分小的风扇提供横跨光栅表面的气流，如图6C所示。在这种情况中，可以提供常规的氮气清洗剂，如图2的现有技术中那样。在图6C的实施例中，光栅与阻挡板之间的空腔是不密封的，并且允许清洗剂气体流入和流出该空腔，如在64和66处所示。引导至风扇70和从风扇70引导出的管子68连接在带狭缝管72和74的中心附近，该位置正好在光栅16上的最热的区域的上方和下方。
降低的气体压力热气体层问题的一第二个解决方案是降低在变窄光线组件中的气体压力。
气体对流在空间上改变气体密度，导致不均一的折射率分布，这又引起相前失常。由气体密度的波动(是由于靠近被加热的光栅表面的气体对流而产生的)所导致的任何失常的量大致线性地随敏感度或折射率的名义值、并因而随气体密度而变。
光栅或其它光学元件的表面的对流冷却作用不会显著地降低，只要气体分子的平均自由程不小于LNP中的“热”与“冷”表面之间的距离。如果我们假设这些距离为约10厘米，那么根据经验，我们可以说气体压力应不被降低到低于平均自由程约为10厘米处的压力。该压力在约1至10毫巴(millibar)的范围内，以致在LNP中的气体密度约大气状态下的密度的百分之0.1至1.0。
图10是示出用于将LNP中的受控压力保持在约1至10毫巴的一系统的示意图。氮气穿过孔口90进入密封的LNP7。使用真空泵92来在LNP中产生真空。控制器94利用来自压力传感器96的一反馈信号来控制针阀98，从而保持该所要求的真空。由于LNP是一密封的系统，并且压力大致保持均衡，所以传感器96可以是热电偶的。
用氦气的进行清洗减少热层效应的另一解决方案是用氦气清洗LNP。氦气具有较小的折射率差(differential refractive index)，所以热层产生较小的扭曲。此外，与氮气相比，氦气具有好得多的热传递性能。也可以使用氩气，它具有相同的优点。
但氦气比氮气要贵得多。
熟悉本技术领域的人们会认识到，除了上述的本发明的特定实施例之外，可以有许多其它的可能对付扭曲的实施例。例如，固定件可以使用除了不胀钢或铝之外的其它材料，由于上述的理由，这些其它的材料应具有与刚性光栅基片或腔体壳体相配的热膨胀系数。另一种用来对付热气体层的技术是提供主动的带宽控制，以纠正热气体层的不利影响。在提出于1999年9月3日的美国专利申请第09/390,579序列号中描述了用来基本实时地控制若干波长参数的技术，该申请的内容结合于此，以供参考。这些技术包括对光束扩展棱镜的位置、光栅曲率以及旋转镜位置的快速反馈控制。也可以提供对激光腔位置的控制。图7是整个激光系统的一组合方块图式的示意图，图8是带有增加的反馈控制特征的LNP的图。在该实施例中，通过光栅曲率步进电动机30来控制光栅的曲率，以补偿在光栅表面上的热气体层所导致的扭曲。因此，本发明的保护范围应由所附权利要求及其法律上的等效物来确定。
权利要求
1.一种用于对产生高能激光束的激光器进行变窄光线的基于光栅的变窄光线装置，所述装置包括(1)一光栅，它设有固定在一刚性光栅基片上的开槽的一表面层或多表面层，所述光栅形成一纵向；(2)用于容纳至少所述光栅的一腔体；(3)用于提供用来清洗所述腔体的一清洗剂气体的一清洗装置；(4)一光束扩展装置，用来扩展来自所述激光器的光束以产生一扩展的光束；(5)一旋转装置，用来将所述扩展的光束定向到光栅表面上，以从所述扩展的光束选择一所需要的波长范围，以及(6)一挠性的光栅固定件，它包括1)一第一部分和一第二部分，所述第一部分和所述第二部分各牢固地附接至所述腔体，并且所述光栅仅牢固地附接至所述第一部分；2)一挠曲连接部，它将所述第一部分连接至所述第二部分，以允许所述第二部分较为容易地沿着所述纵向相对所述第一部分运动。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述挠曲连接部是一H形的挠曲连接部。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述挠曲连接部是一鸠尾式的滑动连接部。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固定件由具有与所述刚性光栅基片接近地相匹配的一热膨胀系数的材料制成。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热量去除装置包括一清洗剂气体集合管，所述集合管包括用于引导清洗剂气体横跨光栅表面的多个小孔口。
6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述热量去除装置包括一光栅清洗剂气体流控制装置，它用来控制横跨光栅表面的清洗剂气体流。
7.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述清洗剂气体流控制装置包括形成横跨所述光栅表面、然后离开所述光栅表面的一流动路径的结构。
8.一种用于对产生高能激光束的激光器进行变窄光线的基于光栅的变窄光线装置，所述装置包括(1)一光栅，它设有固定在一刚性光栅基片上的开槽的一表面层或多表面层，所述光栅形成一纵向；(2)用于容纳至少所述光栅的一腔体；(3)用于提供用来清洗所述腔体的一清洗剂气体的一清洗装置；(4)一光束扩展装置，用来扩展来自所述激光器的光束以产生一扩展的光束；(5)一旋转装置，用来将所述扩展的光束定向到光栅表面上，以从所述扩展的光束选择一所需要的波长范围，以及(6)一挠性的光栅固定件，它包括1)一第一部分和一第二部分，所述第一部分和所述第二部分各牢固地附接至所述刚性光栅基片，并且所述腔体仅牢固地附接至所述第一部分；2)一挠曲连接部，它将所述第一部分连接至所述第二部分，以允许所述第二部分较为容易地沿着所述纵向相对所述第一部分运动。
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述挠曲连接部是一H形的挠曲连接部。
10.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述挠曲连接部是一鸠尾式的滑动连接部。
11.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述固定件由具有与所述刚性光栅基片接近地相匹配的一热膨胀系数的材料制成。
12.如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括一热量去除装置，它用来去除在所述开槽的表面层附近的一热清洗剂气体层的热量。
13.如权利要求12所述而装置，其特征在于，所述热量去除装置包括一清洗剂气体集合管，所述集合管包括用于引导清洗剂气体横跨光栅表面的多个小孔口。
14.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述热量去除装置包括一光栅清洗剂气体流控制装置，它用来控制横跨光栅表面的清洗剂气体流。
15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述清洗剂气体流控制装置包括形成横跨所述光栅表面、然后离开所述光栅表面的一流动路径的结构。
16.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固定件还包括一第二挠曲连接部。
17.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述固定件还包括一第二挠曲连接部。
全文摘要
本发明提供一种用于对产生高能激光束的基于光栅的激光器变窄光线的变窄光线装置。提供了一种挠性光栅固定件，它真正地消除了由于光栅和壳体结构之间的不同热膨胀而导致的光栅上的应力。使用一挠性光栅固定件将在一厚的超低膨胀玻璃基片上包括一十分薄的铝制表面的光栅附接至一铝制壳体结构上。在光栅固定件中至少设置一个挠曲连接部，它允许基片热膨胀和收缩。在一些实施例中，固定件包括一金属板，所述挠曲连接部是机加工到金属板中的带有四个腿部(126)的一H形的挠曲连接部(124)。在另一实施例中，设置了两个H形的挠曲连接部。在其它的实施例中，该挠曲连接部是一鸠尾连接部，它允许固定件的一端相对另一端滑动。
文档编号H01S3/036GK1522484SQ02813018
公开日2004年8月18日 申请日期2002年6月5日 优先权日2001年6月29日
发明者C·C·蒂图斯, W·G·胡尔布德, R·F·西布尔斯基, J·M·埃尔格茨, M·S·利西克, C C 蒂图斯, 利西克, 埃尔格茨, 胡尔布德, 西布尔斯基 申请人:西默股份有限公司