专利名称:一种弹簧式引线防变形束源炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种弹簧式引线防变形束源炉。本实用新型属于电阻加热源【技术领域】。一种弹簧式引线防变形束源炉，其特点是：弹簧式引线防变形束源炉包括上加热炉和下加热炉，下加热炉下部为底盘，底盘有支撑杆支撑加热炉；上加热炉和下加热炉内有加热丝，上加热炉加热丝和下加热炉加热丝都有引线从底盘引出，上加热炉引线为防止变形的弹簧式结构。本实用新型具有结构简单，可靠性高，安全性好，有效防止加热丝短路或者与屏蔽短路，可以延长加热源的寿命，提供稳定的加热时间，能为后续连续化生产提供有效保障等优点。
【专利说明】一种弹簧式引线防变形束源炉
【技术领域】
[0001]本实用新型属于电阻加热源【技术领域】，特别是涉及一种弹簧式引线防变形束源炉。
【背景技术】
[0002]目前，薄膜太阳能电池具有质量轻、弱光性能好、温度功率系数好等优点，广泛用在建筑、国防等领域。由于各种技术问题，目前国内薄膜太阳电池还没有产业化，比如CIGS薄膜太阳电池，蒸发Cu元素需要高温，温度要超过铜的熔点1083°C，要求蒸发源具有高的可靠性，工作时间至少要1500小时。
[0003]蒸发源有电阻加热、激光加热、电弧加热等，电阻式蒸发源简单、经济、可靠，被普遍应用。电阻加热式蒸发源的发热材料一般选用W、Mo等高熔点金属及Ni和N1-Cr合金。把它们加工成各种形状，把待蒸发的材料放在其上，然后通大电流蒸发。比如蒸发Cu材料的加热丝到达1135°C时，电流稳定在9A的稳定值。加热丝加工成各种形状的过程中，加热丝上存在残余应力，以及热胀冷缩现象的存在，长时间大电流通电导致加热丝出现变形现象，致使蒸发源加热丝短路或者与屏蔽短路，降低加热源的寿命。
[0004]实用新型专利CN2425427公开了一种分子束源炉，其主要结构:由钽筒、坩祸、加热丝、炉座、测温元件及支架组成，其中钽筒为多层结构，最外层钽筒置坩祸于上炉座内，最内层钽筒无上下底；加热丝位于坩祸和最里层钽筒之间，经罗列安排两两依次穿插于绝缘环上的偏孔里。其主要优点是保温效果稳定，生长薄膜质量好，但其不足之处是:加热丝容易与屏蔽短路，并且上加热丝底部容易变形，与底部加热丝短路或者与屏蔽短路。
【发明内容】
[0005]本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种弹簧式引线防变形束源炉。
[0006]本实用新型的目的之一是提供一种具有结构简单，可靠性高，有效防止加热丝短路或者与屏蔽短路，可以延长加热源的寿命，提供稳定的加热时间，能为后续连续化生产打下一个好的基础等特点的弹簧式引线防变形束源炉。
[0007]本束源炉加热装置的加热炉分为上加热炉和下加热炉，上加热炉加热坩祸的上半部分，下加热炉加热坩祸的下半部分，上加热炉的加热温度比下加热炉高150 °C，加热炉的外面是屏蔽，起到保温作用。上加热炉的加热丝和下加热炉的加热丝都从底盘引出，品红加热丝引线是上加热炉引线，虚线加热丝引线是下加热炉引线。上加热炉加热丝引线需要从下加热炉的陶瓷固定片上引出。用三根支撑螺杆支撑加热炉。底盘主要起到把束源炉固定在真空腔室壁上。
[0008]由于上下加热炉存在温差，容易引起上加热丝引线变形，需要改变引线的引出结构。
[0009]本实用新型即改变顶部加热炉两根接电极的加热丝的形状，在穿出底部加热炉之前，把部分顶部加热炉两根接电极的加热丝的形状改为弹簧结构。
[0010]将上加热炉引线改为弹簧结构，可以吸收温差引线的形变，防止上加热炉引线在下加热炉内部变形，可以有效屏蔽或者防止与下加热炉炉丝短路。
[0011]本实用新型弹簧式引线防变形束源炉所采取的技术方案是:
[0012]一种弹簧式引线防变形束源炉，其特点是:弹簧式引线防变形束源炉包括上加热炉和下加热炉，下加热炉下部为底盘，底盘有支撑杆支撑加热炉；上加热炉和下加热炉内有加热丝，上加热炉加热丝和下加热炉加热丝都有引线从底盘引出，上加热炉引线为防止变形的弹簧式结构。
[0013]本实用新型弹簧式引线防变形束源炉还可以采用如下技术方案:
[0014]所述的弹簧式引线防变形束源炉，其特点是:底盘有三根支撑螺杆支撑加热炉。
[0015]所述的弹簧式引线防变形束源炉，其特点是:上加热炉引线位于下加热炉和底盘之间部分为弹簧式结构。
[0016]本实用新型具有的优点和积极效果是:
[0017]弹簧式引线防变形束源炉由于采用了本实用新型全新的技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下特点:
[0018]1.与传统的束源炉相比，束源炉加热丝防变形防护，这在一定程度上有效防止了顶部加热丝与屏蔽短路的现象。
[0019]2.与传统的束源炉相比，束源炉加热丝防变形防护，延长了束源炉的使用寿命，这为后续连续化生产打下一个好的基础。
【附图说明】
[0020]图1是本实用新型弹簧式引线防变形束源炉结构示意图；
[0021 ] 图2是传统束源炉结构示意图。
[0022]图中，1.坩祸位置，2.上加热炉，3.外屏蔽，4.下加热炉，5.支撑螺杆，6.上加热炉引线，7.下加热炉引线，8.底盘，9.传统炉上加热炉引线。
【具体实施方式】
[0023]为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:
[0024]实施例1
[0025]参阅附图1。
[0026]弹簧式引线防变形束源炉，加热炉分为上加热炉和下加热炉，上加热炉加热坩祸的上半部分，下加热炉加热坩祸的下半部分，上加热炉的加热温度比下加热炉高150°C，加热炉的外面是屏蔽，起到保温作用。上加热炉的加热丝和下加热炉的加热丝都从底盘引出。用三根支撑螺杆支撑加热炉。底盘主要起到把束源炉固定在真空腔室壁上。
[0027]本实施例用的穿插加热丝的绝缘材料都是氮化硼陶瓷，用的加热丝是合金加热丝，上加热丝的直径大约为1mm，下加热丝的直径大约为0.8mm。束源炉上加热丝穿过下加热炉，长时间加热容易与下加热丝接触，为防止与下加热丝和屏蔽接触，上加热丝穿过下加热炉后的部分缠绕成弹簧结构，然后与外部的导线相连。
[0028] 本实施例具有结构简单，可靠性高，可以延长加热源的寿命，提供稳定的加热时间，能为后续连续化生产打下一个好的基础等积极效果。
【权利要求】
1.一种弹簧式引线防变形束源炉，其特征是:弹簧式引线防变形束源炉包括上加热炉和下加热炉，下加热炉下部为底盘，底盘有支撑杆支撑加热炉；上加热炉和下加热炉内有加热丝，上加热炉加热丝和下加热炉加热丝都有引线从底盘引出，上加热炉引线为防止变形的弹簧式结构。2.根据权利要求1所述的弹簧式引线防变形束源炉，其特征是:底盘有三根支撑螺杆支撑加热炉。3.根据权利要求1所述的弹簧式引线防变形束源炉，其特征是:上加热炉引线位于下加热炉和底盘之间部分为弹簧式结构。
【文档编号】H01L31-18GK204271052SQ201420768168
【发明者】邓朝文 [申请人]中国电子科技集团公司第十八研究所