专利名称：显示面板的检查装置的制作方法
技术领域：
本发明是关于用以检查液晶显示面板等显示面板的装置。
用语的定义本发明中，将与检查装置所接收的显示面板平行的面内的一方向及另一方向，分别称为X方向及Y方向，将与X方向及Y方向垂直的方向(与显示面板垂直的方向)称为Z方向。
背景技术：
用来检查显示面板的装置，通常为了要防止通电用探针(probe)的破损，分别设有将面板交接到检查装置的交接位置(面板安置部)；及使用检查平台进行面板的点灯检查的检查位置，并且将未检查的面板从交接位置搬送至检查位置，或将检查后的面板从检查位置搬送至交接位置。
这种检查装置的一个例子，有使用两个搬送机构(承载架(carrier))，使面板从交接位置移动至检查位置及使面板反向移动的(专利文献1)。
日本特开平11-14957号公报该检查装置中，各搬送机构是将可在Y方向移动的一对滑块(slider)，以在Y方向保持间隔的状态加以连结，并且将两个保持器(holder)在X方向保持间隔且朝相对侧的滑块突出的状态配置于各滑块。
此种承载架中，面板的把持是通过令两滑块朝彼此靠近的方向移动，以两滑块的保持器来共同进行。相对于此，把持的卸除是通过令两滑块朝彼此分离的方向移动，使两滑块的保持器从面板脱离来进行。
然而，现有的检查装置仅把持面板相对的一对缘部，故进行大型面板的检查时，面板在滑块分离方向的中间区域会弯曲，而造成面板无法搬送或损伤的情形。
发明内容
本发明的目的在于可稳定地搬送大型面板而不会造成损伤。
本发明的检查装置包括用以接收矩形的显示面板的检查平台；及进行相对于该检查平台的上述面板搬送的搬送装置，上述搬送装置包括至少一个承载架，该承载架是在X方向的两缘部及Y方向的两缘部以可卸除的方式支持上述面板以进行搬送。
从分别对应于矩形的四个边的四个缘部来支持面板时，即使是大型的面板，也可通过在Y方向的缘部的支持及在X方向的缘部的支持，而防止面板在X方向中央区域的弯曲及面板在Y方向中央区域的弯曲。因此，可稳定地搬送大型面板而不会造成损伤。
上述承载架可具有抵接于上述X方向的各缘部的在Y方向保持间隔的数个部位，及抵接于上述Y方向的各缘部的在X方向保持间隔的数个部位，而以可卸除的方式支持上述面板以进行搬送的构造。如此，面板的支持会很稳定。
上述承载架可包括用以支持上述面板的上述X方向的缘部的X保持器；用以支持上述面板的上述Y方向的缘部的Y保持器；使上述X保持器在X方向移动的X移动机构；及使上述Y保持器在Y方向移动的Y移动机构。
上述承载架可包括数个X保持器，用以支持上述面板的上述X方向的两缘部的在Y方向保持间隔的数个部位；同时还包括数个Y保持器，用以支持上述面板的上述Y方向的两缘部的在X方向保持间隔的数个部位。如此，面板的支持更加稳定。
上述承载架又包括可安装上述X保持器且可通过上述X移动机构而在X方向移动的X臂；及可安装上述Y保持器且可通过上述Y移动机构而在Y方向移动的Y臂。如此，X保持器及Y保持器的移动变得滑顺，面板的支持会更加稳定。
上述X移动机构及上述Y移动机构的一方也可支持于另一方。
上述X移动机构及上述Y移动机构的一方包括第1驱动源；通过该第1驱动源而旋转的第1滑轮；于X方向及Y方向的另一方，与该第1滑轮保持间隔的第2滑轮；及绕挂于上述第1及第2滑轮，且与上述X臂及上述Y臂的一方连结的皮带，上述X移动机构及上述Y移动机构的另一方包括第2驱动源；通过该第2驱动源而旋转且沿X方向及Y方向的一方延伸，且在Y方向及X方向的一方的两处具有方向相反的螺纹部的滚珠螺杆；及螺合于各螺纹部且与上述X臂及上述Y臂的另一方连结的螺帽。
检查装置可另包括于X方向与上述检查平台保持间隔的面板安置部，且上述承载架是进行对上述检查平台和上述面板安置部的上述显示面板的交接。再者，上述搬送装置可包括两个上述承载架。
上述搬送装置可再包括以上述两个承载架可个别移动的方式支持上述两个承载架的支持台；以及使两个承载架个别移动的两个承载架驱动机构。
图1是显示本发明的使用电性连接装置的检查装置的一实施例的正面图；图2是图1所示的检查装置的正面图，为去除搬送装置而显示的图；图3是沿着图1的3-3线剖开的剖视图；图4是显示图1所示的检查装置中使用的搬送装置的一实施例的俯视图；图5是从图4的5-5方向看图4的搬送装置所见的图；图6是显示图4所示的搬送装置中使用的承载架的一实施例的斜视图；图7是图6所示的承载架的正面图；图8是沿着图7的8-8线剖开的剖视图；图9是用以说明图6至图8所示的承载架的动作的图，(A)是表示把持面板的状态，(B)是表示卸除面板的状态；图10(A)至(C)是显示搬送装置中使用的保持器的实施例的图。
具体实施例方式
参考图1至图3，检查装置10是矩形显示面板12的点灯检查装置。图标的例中，面板12在矩形的三个边(对应的两个短边和一个长边)，分别具备数个电极。设置于各边的电极是在该边的方向(即长度方向)保持着间隔，且朝垂直于该边的方向延伸。
检查装置10在由数个长形构件和数个板构件所制成的框体14内，收容有点灯检查所需的各种机器。检查装置10的前面上部，是形成愈往上部愈后方侧后退的倾斜面16。形成有该倾斜面16的板状构件是作为板状的本体基底18。
图标的例中，图1中的左右方向是X方向，倾斜的上下方向是Y方向。Z方向是与检查装置10倾斜接收的面板12垂直的方向。
检查装置10包括进行对检查装置10的面板12交接的面板安置部；及进行显示面板12检查的检查部。本体基底18上，比面板12大的矩形开口20及22，是分别形成于与面板安置部及检查部相对应之处。
面板安置部配置有倾斜接收面板12的交接平台24、和将所接收的面板12预先对准(pre-alignment)的两组推动器(pusher)26。相对于此，检查部配置有倾斜接收面板12的检查平台28(参考图3)、和用作为电性连接装置的探针(probe)装置30。
交接平台24是以可倾斜接收面板12的方式，将数个长形构件所形成的面板座32安装于Z平台34。面板座32在进行面板12的交接时，可通过Z平台34而在Z方向移动。
在X方向保持间隔的推动器26，是配置成可在沿X方向延伸的长形构件上朝相互靠近或分离的方向(X方向)移动，且通过未图标的移动机构而在X方向移动。相对于此，在Y方向保持间隔的推动器26，是配置成可在沿Y方向延伸的长形构件上朝相互靠近或分离的方向(Y方向)移动，且通过未图标的移动机构而在Y方向移动。
面板12是在推动器26彼此呈分离的状态下配置于这些推动器26之间，且通过使各组推动器26朝相互靠近的方向移动，使面板12相对于交接平台24而移动，以进行相对于检查装置10的预先对准。
未检查的面板12，是通过人力或装卸机器人配置于交接平台24，在交接平台24中通过推动器26而进行预先对准，然后，利用搬送装置36(参考图1)将其搬送至检查平台28，而在检查部接受点灯检查。
图标的例中的点灯检查是由操作者以目视方式进行的目视点灯检查，然而，也可为使用未图标的视频摄影机(video camera)及画像处理装置等的自动点灯检查。
检查后的面板12是通过搬送装置36从检查平台28搬送至交接平台24，然后，利用人力或装卸机器人从交接平台24搬离，而收纳于收纳用匣。
检查平台28是以使夹盘头(chuck top)38的面板吸着面可接收倾斜向上的面板12的方式，令面板吸着面与开口22相对。
夹盘头38的面板吸着面具有用来真空吸着面板12真空吸着的数个吸着沟，而且，夹盘头38的内部具有从面板12的背面照亮面板12的背光单元。
检查平台28具有三维(X、Y及Z)平台40、42及44，令倾斜向上接收的面板12，朝向与其平行的X及Y两方向和与面板12垂直的Z方向移动；同时也具有θ平台46，令面板12绕着在Z方向延伸的轴线旋转。
检查平台28是在夹盘头38下降的状态，从搬送装置36接收面板12，进行面板12的检查时，使得夹盘头38上升。又，检查平台28是在面板12交接至搬送装置36后，在夹盘头38下降的状态下待机。
探针装置30包括对应于假想的矩形各个边的四个基底构件48；分别配置于三个基底构件48的三个探针单元50；及为了进行探针单元50相对于面板12的电极的定位，而可使三个基底构件48分别沿着其所对应的边(即，边的长度方向)移动的移动机构(未图标)。
各基底构件48是具有沿其所对应边的长度方向的长形板形状，并且支持于本体基底18的背面侧，且使其一部分从开口22露出。相邻的基底构件48并不相靠接而保持着间隔。
探针单元50是配置于相向的一对基底构件48、及与这些基底构件48相邻的一个基底构件48。相对于此，移动机构是设置于相向的另一对基底构件48、及与这些基底构件48相邻的一个基底构件48。
没有与移动机构连结的基底构件48是通过垫片(spacer)(未图标)、和螺栓等数个固定具(未图标)，不能移动地安装于本体基底18而由本体基底18所支持。
剩余的各基底构件48是通过线性引导件(linear guide)等引导机构(未图标)，而可在其所对应边的长度方向移动地安装支持于本体基底18。
各探针单元50具有以在所对应的基底构件48的长度方向延伸的状态安装于该基底构件48的长板状探针基底52；配置于探针基底52的数个探针块54；及配置于探针块54的数个探针56。
探针基底52是通过数个螺丝构件(未图标)，坚固地安装于基底构件48的宽度方向的缘部中矩形的中心侧(即前端侧)的缘部外侧。
各探针块54是通过数个螺丝构件(未图标)，坚固地安装于探针基底52的宽度方向前端侧缘部的外侧。各探针56是以前端侧朝前方突出的状态，利用适当的手段安装于探针块54的前端部下面。
基底构件48用的各移动机构是可使用包括安装于本体基底18的马达、通过该马达而旋转的导螺杆(lead screw)、和螺合于导螺杆的导螺帽的一般机构。
各探针56在进行搬送至检查平台28的面板12的检查时，是通过夹盘头(chuck top)38的上升，而按压于面板12的电极上。在该状态下，透过面板12的电极而对面板12通电。
如图4至图10所示，搬送装置36是具备安装于本体基底18背面侧的框架60；以可在X方向移动且在X方向保持间隔的状态配置于框架60的一对承载架62、64；及分别令承载架62、64在X方向移动的一对承载架移动机构66、68。
框架60是将四个长形构件70结合成矩形，又，将两个导轨72、74以在Y方向保持间隔且在X方向延伸的状态，分别安装于在Y方向相向的一对长形构件。
可移动地嵌合于导轨72、74的引导件(guide)76、78，是分别安装于承载架62及64的两端。因此，承载架62借着导轨72及引导件76而可移动地支持于框架60，承载架64借着导轨74及引导件78而可移动地支持于框架60。
承载架62、64的一方62(64)是如图6至图8所示，使在Z方向保持间隔地延伸于Y方向的承载架基座80，通过导轨72(74)及引导件76(78)而可在X方向移动地支持于框架60，且使在Y方向保持间隔地延伸于X方向的一对支持臂82，可在Y方向移动地配置于承载架基座80。
引导件76(78)是安装于承载架基座80的端部。承载架基座80具备与Y方向平行而延伸的导轨84。可移动地嵌合于导轨84的引导件86，是安装于支持臂82的一端部。因此，各支持臂82是以悬臂梁的形态支持于承载架基座80。
各支持臂82上，安装有在X方向保持间隔的一对X臂88，同时也安装有Y臂。两X臂88和Y臂90是从支持臂82朝Y方向的中心延伸，而以悬臂梁的形态支持于支持臂82。
各X臂88是通过线性引导件等适当的结合机构92，在X方向保持间隔且可朝相互靠近或分离的方向(X方向)移动地安装于各支持臂82。
在各X臂88的前端部具有X保持器94。相对于此，在Y臂90的前端部具有在X方向保持间隔的一对Y保持器96。两X保持器94及Y保持器96，是分别抵接于X方向的面板12的缘部及Y方向的面板12的缘部，而共同支持该面板12。
X保持器94及Y保持器96，可以是以相向的保持器夹持面板12而支持面板12者，也可以是使面板12扣止于扣止片而支持面板12者，也可以是以接收边接收面板12而支持面板12者。
各承载架移动机构66、68是令延伸于X方向的滚珠螺杆(ball screw)100可旋转地支持于框架60，且将螺合于滚珠螺杆100的螺帽(未图标)安装于承载架基座80。滚珠螺杆100是通过承载架用马达104而旋转。
承载架移动机构66、68的马达104及104相互朝相反的方向而同步旋转。通过此方式，两承载架62及64可分别从交接平台24移动至检查平台28，或分别从检查平台28移动至交接平台24。
各臂(arm)中，首先Y臂90及90是通过Y移动机构108及108而在Y方向同步移动。然后，X臂88及88是分别通过X移动机构106及106而同步于X方向移动。
各X移动机构106是包括像马达那样可反转的X驱动源110；通过X驱动源110而旋转的第1滑轮112；与第1滑轮112于X方向保持间隔的第2滑轮114；及绕挂于第1及第2滑轮112及114上的无端皮带116。
上侧的X臂88是安装于无端皮带116的上侧部位，下侧的X臂88是安装于无端皮带116的下侧部位。因此，当X驱动源110旋转于一方向时，两X臂88及88会朝彼此靠近的方向移动，而旋转于另一方向时则朝彼此分离的方向移动。通过此方式，两X臂88及88就可进行面板12的把持和解除。
Y移动机构108是包括像马达那样可反转的Y驱动源120；通过Y驱动源120而绕着延伸于Y方向的轴线旋转，且在Y方向两处具有螺旋方向相反的螺纹部122a、112b的滚珠螺杆122；及螺合于各螺纹部122a、112b的螺帽124。
图标的例中，滚珠螺杆122是将作为螺纹部122a及122b的螺纹棒，通过连结具122c连结，再以可绕着延伸于Y方向的轴线旋转的方式支持于承载架基座80。各螺帽124是安装于支持臂82。
导轨72、74、84及引导件76、78及78、86，可使用线性引导件。
在检查装置10中，在检查平台28检查面板期间进行利用承载架62(或64)将检查完的面板移置到交接平台24；从交接平台24移除检查完的面板；将未检查的面板12配置到交接平台24；该未检查的面板的预先对准；及将该未检查面板交接至承载架62(或64)。
检查结束时，交接平台24侧的未检查面板是保持于一方的承载架62(或64)，检查平台28侧的检查完的面板则保持于另一方的承载架64(或62)，然后将这些面板分别搬送至检查平台28及交接平台24。
利用承载架62及64来搬送未检查及检查完的面板，是通过分别使承载架移动机构66及68朝彼此相反的方向旋转而进行。
利用承载架62及64来把持面板12，是通过令X驱动源110、110及Y驱动源120朝一方向旋转，而如图9(A)所示的令X保持器94、94及Y保持器96、96朝相互靠近的方向移动，以令面板12的缘部支持于保持器94、94、96、96来进行。
利用承载架62及64来搬送面板12，是令X保持器94及Y保持器96，分别抵接于X方向的各缘部的在Y方向保持间隔的数个部位，及Y方向的各缘部的在X方向保持间隔的数个部位，而在可解除地支持着面板12的状态下进行。因此，面板12的支持会很稳定。
面板12的卸除是通过令X驱动源110、110及Y驱动源120朝另一方向旋转，而如图9(B)所示地令X保持器94、94及Y保持器96、96朝彼此分离的方向移动来进行。
如检查装置10的在分别与矩形的四个边对应的四个缘部支持面板12时，则即使是大型的面板，也可通过Y方向缘部的支持及X方向缘部的支持，而防止X方向中央区域的面板弯曲及Y方向中央区域的面板弯曲。结果，可稳定地搬送大型面板而不会造成损伤。
参考图10，图10(A)所示的保持器130，是将L字形的保持片132以L字形的凹部成为面板支持侧的状态安装于X臂88或Y臂90的面板扣止侧，并且将防止面板12落下的一对落下防止片134，设置于保持片132的面板扣止侧，并将用以抵接面板12的弹性块136安装于保持片132的L字形的凹部。
图10(B)所示的保持器140，是将ㄈ字形的保持片142以ㄈ字形的凹部成为面板支持侧的状态安装于X臂88及Y臂90，并且将防止面板12落下的一对落下防止片144，在Z方向保持间隔地设置于保持片142的面板支持侧，且将用以抵接面板12的弹性块146安装于保持片142的ㄈ字形的凹部。
图10(C)所示的保持器150，是将立方体状的保持片152安装于X臂88或Y臂90，且将用以抵接面板12的弹性块156安装于保持片152的面板支持侧。
落下防止片134及144的厚度尺寸(与纸面垂直方向的尺寸)，是分别小于保持片132及142。弹性块136、146、156是利用胺基甲酸酯(urethane)橡胶等橡胶材来制作。图1至图9的实施例所使用的保持器94、96是保持器130。
上述保持器130、140、150都通过令面板12的缘部抵接于弹性块136、146、156，而令面板12摩擦扣合于弹性块136、146、156的方式支持面板12。然而，保持器也可为使用以接收片接收面板12而支持面板12等的其它类型。
产业上的利用可能性搬送装置36也可为使用一个承载架62或64的构成。又，在检查平台28的X方向的两侧配置交接平台24而构成检查装置的情况下，搬送装置36也可具备将面板搬送至一方的交接平台和检查平台的承载架；及将面板搬送至另一方的交接平台和检查平台的承载架的搬送装置。
本发明不仅适用于液晶显示面板，也可适用于玻璃基板、有机电场发光(EL)面板等其它显示面板的电性连接装置。此外，本发明不仅适用于将显示面板在倾斜状态下检查的装置，也可适用于将显示面板在朝向上方的状态下检查的装置等其它类型的检查装置。
本发明并不局限于上述实施例，只要不脱离本发明的旨意，可进行各种的变更。
组件符号说明10 检查装置 12 面板14 框体 16 倾斜面18 本体基底 20、22 开口24 交接平台 26 推动器28 检查平台 30 探针装置32 面板座 34 Z平台36 搬送装置 38 夹盘头40、42、44 三维平台 46 θ平台48 基底构件 50 探针单元52 探针基底 54 探针块56 探针 60 框架62、64 承载架 66、68 承载架移动机构70 长形构件 72、74、84 导轨76、78、86 引导件 80 承载架基座82 支持臂 88 X臂90 Y臂92 结合机构94 X保持器96 Y保持器100、122 滚珠螺杆 104马达106X移动机构 108Y移动机构110X驱动源112、114 滑轮116无端皮带 120Y区动源122a、122b 螺纹部 122c 连结具
124螺帽130、140、150 保持器132、142 保持片 134、144 落下防止片136、146、156 弹性块
权利要求
1.一种显示面板的检查装置，包括用以接收矩形的显示面板的检查平台；及进行相对于该检查平台的上述面板的搬送的搬送装置，上述搬送装置是包括至少一个承载架，该承载架是在X方向的两缘部及Y方向的两缘部以可卸除的方式支持上述面板以进行搬送。
2.如权利要求1所述的检查装置，其中，上述承载架是抵接于上述X方向的各缘部的在Y方向保持间隔的数个部位，及上述Y方向的各缘部的在X方向保持间隔的数个部位，而以可卸除的方式支持上述面板以进行搬送。
3.如权利要求1所述的检查装置，其中，上述承载架是包括用以支持上述面板的上述X方向的缘部的X保持器；用以支持上述面板的上述Y方向的缘部的Y保持器；使上述X保持器在X方向移动的X移动机构；及使上述Y保持器在Y方向移动的Y移动机构。
4.如权利要求3所述的检查装置，其中，上述承载架是包括数个X保持器，用以支持上述面板的上述X方向的两缘部的在Y方向保持间隔的数个部位；同时也包括数个Y保持器，用以支持上述面板的上述Y方向的两缘部的在X方向保持间隔的数个部位。
5.如权利要求3所述的检查装置，其中，上述承载架又包括可安装上述X保持器且可通过上述X移动机构而在X方向移动的X臂；及可安装上述Y保持器且可通过上述Y移动机构而在Y方向移动的Y臂。
6.如权利要求5所述的检查装置，其中，上述X移动机构及上述Y移动机构的一方是支持于另一方。
7.如权利要求5所述的检查装置，其中，上述X移动机构及上述Y移动机构的一方是包括第1驱动源；通过该第1驱动源而旋转的第1滑轮；于X方向及Y方向的另一方，与该第1滑轮保持间隔的第2滑轮；及绕挂于上述第1及第2滑轮，且与上述X臂及上述Y臂的一方连结的皮带，上述X移动机构及上述Y移动机构的另一方是包括第2驱动源；通过该第2驱动源而旋转且沿X方向及Y方向的一方延伸，且在Y方向及X方向的一方的两处具有方向相反的螺纹部的滚珠螺杆；及螺合于各螺纹部且与上述X臂及上述Y臂的另一方连结的螺帽。
8.如权利要求1至7项中任一项所述的检查装置，其中，又包括于X方向与上述检查平台保持间隔的面板安置部，且上述承载架是进行对上述检查平台和上述面板安置部的上述显示面板的交接。
9.如权利要求8所述的检查装置，其中，上述搬送装置包括两个上述承载架。
10.如权利要求9所述的检查装置，其中，上述搬送装置又包括以上述两个承载架可个别移动的方式支持上述两个承载架的支持台；以及使两个承载架个别移动的两个承载架驱动机构。
全文摘要
本发明提供一种显示面板的检查装置，其目的在于可稳定地搬送大型面板而不会造成损伤。检查装置包括用以接收矩形的显示面板的检查平台；及进行相对于该检查平台的搬送面板的搬送装置，搬送装置包括至少一个承载架，该承载架在X方向的两缘部及Y方向的两缘部以可卸除的方式支持面板以进行搬送。
文档编号H01L21/68GK1598598SQ20041007910
公开日2005年3月23日 申请日期2004年9月7日 优先权日2003年9月18日
发明者齐藤健, 藤原慎治 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司