专利名称：板材收容方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及板材收容方法及装置，其为对以竖立状态收容板玻璃等板材的箱体供给并收容每一块板材的方法及实施其方法的板材收容装置。
背景技术：
目前，例如在制造板玻璃等板材的工序等中，将其板材以垂直或接近垂直的状态(以下将其称为竖立状态)搬运后，将多块这些板材一次全部收容于规定的箱体内，在其箱体单元中进行以后的工序或向收容处输出，这种工序被广泛使用。在特开2002-308423号公报中表示有将这种板材以竖立状态搬运的装置的一例。
另外，作为如上所述的箱体之一，公知的有在左右两侧板的内面形成有沿上下方向延伸的槽，将板材的左右端部收进这些左右一对槽内且将该板材以竖立的状态收容的形式。为了对这种箱体供给并收容每一块板材，目前多采用下面这种方法使板材成为竖立状态利用搬运装置搬运到规定的取出位置，在该取出位置的横向附近配置有箱体，用机械手将停放于取出位置的板材的上部边及侧部边保持后，摆动该机械手将被保持的板材插入箱体中。
但是，如上所述，在利用机械手将板材收容于箱体的目前的方法中，由于机械手与板材接触，有时会在板材上附上伤及污物。尤其是在板材为用于精密的光学仪器的板玻璃等时，即使附上这种少的伤及污物也会大大降低板材的商品价值。
另外，如上所述，机械手在板材的取出位置和箱体之间往复摆动时，对其往复摆动要求规定的时间，而机械手的高速化自然而然地有限度，因此，难以缩短循环时间。
为了尽量缩短循环时间，在进行将板材收容于一个箱体的作业期间，也考虑到将随后要使用的箱体配置于机械手的附近，将规定数量的板材收容于一个箱体后可直接使用后面的箱体，但这样做时，为了箱体配置需要宽大的空间。尤其是在板材的收容作业前检查各板材、将板材区分为良品和不良品并分别收容于另外的箱体时，用于配置合计4个箱体需要非常宽大的空间。
另外，收容了规定数的板材的箱体向下面工序等搬运，但用于此的箱体搬运装置必须配置为和机械手不发生干涉，所以，这一点也要求宽大的空间，并且该机械手及箱体搬运装置周边的机构变得复杂化。
再者，在取出位置中的板材的定位精度及/或箱体的槽位置精度低的情况下，将机械手保持的板材收容于该箱体的槽内时，也有时该板材和箱体干涉不能正确地进入槽内而产生破损。
发明内容
本发明是鉴于上述事情而开发的，目的在于提供一种板材收容方法，其能够使得在板材的表面不会附上伤及污物，且能够通过简易的机构在短的循环周期内将板材收容于箱体内。
本发明是以提供能够实施上述的板材收容方法的板材收容装置为目的的发明。本发明的目的还在于，在能够实施上述的板材收容方法的基础上，提供能够防止板材和箱体发生干涉而破损的板材收容装置。
按照本发明设计的板材收容方法，是将板材一块一块地供给并收容于箱体内的方法，该箱体在左右两侧板的内面形成有沿上下方向延伸的槽，将板材的左右端部收进这些左右一对槽内并以竖立状态收容该板材，该板材收容方法的特征在于，使板材以竖立状态搬运到规定的取出位置，在该取出位置的下侧配置有所述箱体，将所述取出位置具有的板材从其下端面接住并保持而从取出位置取出，其后使其下降并送入所述箱体的槽内，至少在所述板材从所述取出位置到进入所述箱体的槽内的这一期间，通过向该板材的一表面及其它表面吹送气体而将该板材以非接触的方式保持在竖立状态。
另一方面，按照本发明设计的板材收容装置是将板材一块一块地供给并收容于箱体内的装置，该箱体在左右两侧板的内面形成有沿上下方向延伸的槽，将板材的左右端部收进这些左右一对槽内并以竖立状态收容该板材，该板材收容装置的特征在于，具备使板材成为竖立状态并搬运到规定的取出位置的搬运装置；在所述取出位置的下侧保持所述箱体的箱体保持装置；具有从下侧接受板材的下端面的接受部，将所述取出位置具有的板材保持在所述接受部上并从取出位置取出，其后下降并将该板材送入所述箱体的槽内的板材移放装置；至少在所述板材从所述取出位置到进入所述箱体的槽内的这一期间，通过向该板材的一表面及其它表面吹送气体将该板材以非接触方式保持在竖立状态的板材保持装置。
在按照本发明设计的板材收容装置中，优选还设有检测所述箱体的接下来收纳板材的槽的位置的传感器；基于该传感器输出的槽位置检测信号，以接下来收进板材的槽对板材移放装置取一定相对位置的方式对箱体的位置进行微调的装置。
另外，在按照本发明设计的板材收容装置中，优选还设有在所述箱体的接下来收进板材的槽的上侧位置由所述板材移放装置对下降的板材的左右端面进行定位，并将其左右端部向这些槽引导的导向装置。
另外，在按照本发明设计的板材收容装置中，优选构成为在将所述板材移放装置设计为只在上下方向移动的结构的基础上，所述搬运装置的结构为，由上升的所述板材移放装置的接受部将所述板材举起到离开该搬运装置后退避到侧方，且和其后下降的板材不发生干涉。
再者，在按照本发明设计的板材收容装置中，优选构成为在将所述板材移放装置设计为只在上下方向移动的结构的基础上，所述箱体保持装置的结构为，使以规定间距排列有多对所述左右的槽的箱体在其中收容有一块板材的每个槽的排列方向和所述间距大致等距离而移动，并使接下来收进板材的槽相对于所述板材移放装置配置在一定的相对位置。
根据本发明的板材收容方法，使板材成为竖立状态并搬运到规定的取出位置，在该取出位置的下侧配置有所述箱体，将所述取出位置具有的板材从其下端面接住并保持而从取出位置取出，其后下降并送入箱体的槽内，而且至少在板材从取出位置到进入箱体的槽内的这一期间，通过向该板材的一表面及其它表面吹送气体将该板材以非接触的方式保持在竖立状态，因此，将板材从上述取出位置移放到箱体的装置与板材接触的部分基本只有其下端面，因而能够确实防止在板材的表面附上伤及污物。
另外，在按照本发明设计的板材收容装置中，具备如前所述的板材搬运装置、箱体保持装置、板材移放装置、板材保持装置，因此能够实施上述板材收容方法，从而能够将板材以在其表面没有附上伤及污物的状态收容于箱体内。
该板材收容装置的结构为，将取出位置具有的板材接受到板材移放装置后，该板材移放装置下降，将板材从上侧供给到配置于该取出位置下侧的箱体内，因此，和利用摆动的机械手沿横向大幅度移动而将板材收容于箱体的现有装置相比，能够在更短的循环时间内将板材收容于箱体内。
而且，该板材收容装置如上所述，没有为了将板材收容于箱体而使该板材大幅度横移的构件，因此结构简单，不需要以和进行这种横移的机械手等不发生干涉的方式配置箱体搬运装置，及/或不需要设定接下来使用的箱体的配置位置。因而，该板材收容装置及用于设置与之相随的箱体搬运装置等的空间也可为比较小的空间。
在按照本发明设计的板材收容装置中，尤其是在设置了检测箱体的接下来收进板材的槽的位置的传感器、和基于该传感器输出的槽位置检测信号以接下来收进板材的槽相对于板材移放装置取一定的相对位置的方式对箱体的位置进行微调的装置时，板材通常被正确地收容于上述槽内，因此能够确实防止板材和箱体发生干涉而破损。
另外，在按照本发明设计的板材收容装置中，尤其是在设置了在箱体的接下来收进板材的槽的上侧位置由板材移放装置对下降的板材的左右端面进行定位，并将其左右端部向这些槽引导的导向装置时，板材也通常被正确地收容于上述槽内，因此能够确实防止板材和箱体发生干涉而破损。即使在设置有这种导向装置的情况下，也能够使得该导向装置与板材接触的部分基本只有该板材的左右端面，因而能够实质性地防止在板材的表面附上伤及污物。
另外，在按照本发明设计的板材收容装置中，尤其是其结构为在将板材移放装置设计为只在上下方向移动的结构的基础上，搬运装置由上升的板材移放装置的接受部将板材举起到离开该搬运装置后退避到侧方，并且和其后下降的板材不发生干涉的结构时，通过简化板材移放装置的结构而获得抑制装置的成本的效果。
再者，在按照本发明设计的板材收容装置中，尤其是其结构为在将板材移放装置设计为只在上下方向移动的结构的基础上，箱体保持装置使以规定间距排列有多对左右的槽的箱体在其中收容有一块板材的每个槽的排列方向和上述间距大致等距离而移动，并使接下来收进板材的槽相对于板材移放装置配置在一定的相对位置的结构时，也通过简化板材移放装置的结构而获得抑制装置的成本的效果。
图1是根据本发明一实施方式设计的板材收容装置的俯视图；图2是上述板材收容装置的正视图；图3是上述板材收容装置的侧视图；图4使用了上述板材收容装置的板材收容方法系统的整体俯视图；图5是表示接受上述板材收容装置的箱体的局部剖切立体图；图6是表示用于上述板材收容装置的导辊的俯视图；图7A是说明上述板材收容装置的动作的说明图；图7B是说明上述板材收容装置的动作的说明图；图7C是说明上述板材收容装置的动作的说明图；图7D是说明上述板材收容装置的动作的说明图；图7E是说明上述板材收容装置的动作的说明图；图7F是说明上述板材收容装置的动作的说明图。
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。图1、2及3分别表示按照本发明实施方式设计的板材收容装置的平面形状、正面形状及侧面形状的图，图4表示设置该板材收容装置而构成的板材收容系统的平面形状。图2表示在图4中从下侧看到的板材收容装置的正面形状，图3表示在图4中从右侧看到的同装置的侧面形状。
首先参照图4对该板材收容系统的概要进行说明。本箱体作为一例构成为在上方开口的PP(聚丙烯)制的箱体1上收容作为板材的板玻璃10。在图5中表示有箱体1的详细形状。如图所示，该箱体1形成为上方开口的箱状，在其左右侧板1a、1b的内面分别形成有沿上下方向延伸的槽1c，板玻璃10成为左右端部被收于这些一对槽1c、1c内而被收容。另外，在其底板1d的上面形成有向上述槽1c的同一侧方向延伸的两个槽1e。
空箱体1在图4所示的箱体供应站11被一个一个地供给到由辊传送带等构成的箱体供给传送带12上，由该箱体供给传送带12输送到图中右侧之后，利用图示外的装置再将其移放到由辊传送带等构成的箱体横送传送带13或14上。
在箱体横送传送带13或14的上侧位置分别配置有根据本发明一实施方式设计的板材收容装置15、16，利用这些装置如后述将板玻璃10以规定数量收容于箱体1内。在本例中，构成板材收容装置15、16的一部分的玻璃搬运装置20将例如长宽尺寸分别为1000mm左右的板玻璃10以竖立状态搬运到图中左侧，其板玻璃10由板材收容装置15或16被收容于箱体1内。
在本例中，由玻璃搬运装置20搬运的板玻璃10在图示外的检查站接受检查，这样被判定为良品的板玻璃10被搬运到板材收容装置15，这样作为良品一次全部收容于箱体1内，而被判定为不良品的板玻璃10被搬运到板材收容装置16，这样作为不良品一次全部收容于箱体1内。
如上，收容了规定块数的板玻璃10的箱体1由箱体横送传送带13或14送出到箱体输出传送带17上，由辊传送带等构成的该箱体输出传送带17搬运到图中左侧，而后从箱体搬出站18搬出到系统外。
其次参照图2～4对板材收容装置15、16进行说明。这些板材收容装置15、16具有基本向同的结构，因此，下面以一板材收容装置15为例进行说明。如图所示，板材收容装置15具有以横跨载置于箱体横送传送带13上的箱体1的方式配设的架台21，在该架台21上安装有构成板材移放装置的一部分的两只玻璃插入手22、作为板材保持装置的三对空气室23、前述的玻璃搬运装置20。
还在架台21上安装有检测箱体1的槽1c的同一侧方向位置(图3的左右方向位置)的、例如光电式或机械式的一对槽位置检测传感器24、和利用横送传送带13的箱体搬运方向同方向，即在图3的右方向精密输送箱体1的一对箱体上锁装置25、与板玻璃10的左右端部抵接且规定其输送方向位置即图2的左右方向位置的导向装置26。
玻璃搬运装置20是在沿相对于由横送传送带13搬运的箱体搬运方向垂直的方向延伸的保持构件30的上部排列设置有多个旋转驱动的辊31的装置，将以竖立状态载置于这些辊31上的板玻璃10以本来的竖立状态搬运到图2中左侧。该玻璃搬运装置20的保持构件30和空气室23的长度大致相同范围的部分即图2中显示的部分和其他部分割断，该部分架设于沿与同图的纸面垂直的方向(在图3中为左右方向)延伸的轨道32上，通过图示外的驱动装置驱动而沿这些轨道32可移动。
上述两只玻璃插入手22的上端部通过连结构件33固定于横构件34上，该横构件34架设于垂直延伸的两条轨道35上，由此，玻璃插入手22在上下方向移动自如。而且，设置有由例如垂直配设的滚珠丝杠36、与其螺合且固定于横构件34的内螺纹部37、使滚珠丝杠36旋转的电动机38构成的驱动装置，通过电动机38正转、反转，横构件34即玻璃插入手22在上下方向移动。
另外，在各个玻璃插入手22的下端部固定有在图3中突出于右侧且如后述自下侧接住板玻璃10的接受爪39。玻璃插入手22的横向位置即图2中的左右方向位置以上述接受爪39位于玻璃搬运装置20的两个辊31之间的方式设定。在本实施方式中，由以上要素33～39及玻璃插入手22构成板材移动装置。
空气室23设计为比板玻璃10的横向尺寸更长且薄的长方体状，且由在一面形成有多个小直径空气喷出孔(未图示)的盒构成。而且该空气室23的两个上述一面隔开稍许间隔互相面对，并且成为三对这种盒在上下方向互相隔开间隔而排列的状态，且分别通过横构件28及纵构件29等固定于架台21上。另外，一对空气室23其上述间隔比板玻璃10的厚度稍大，而且由玻璃搬运装置20搬运来的板玻璃10配置于进入到该间隙的位置。另外，三对空气室23分别配置于与停放于上述取出位置的板玻璃10的上部、中间部及下部面对的位置，最下部的一对空气室23配置为位于下侧的箱体1的稍上侧。
上述各个空气室23与图示外的空气配管及鼓风机等压缩空气供给源等连接，并从上述空气喷出孔喷出互相等压的空气。因此，进入到三对空气室23之间的板玻璃10通过在其一表面及另一表面吹送该空气而被保持于在三对空气室23之间任何两表面都不接触的竖立状态。另外，该板玻璃10如后述利用玻璃插入手22下降并被收容于箱体1的槽1c(参照图5)，由于三对空气室23配置于如上述的上下位置，因此，下降的板玻璃10其大半进入到上述槽1c内并利用该空气室23的作用而被保持于竖立状态。
导向装置26由沿上下方向互相隔开配置的两个保持构件40、在各辊保持构件40上各个沿上下方向排列安装的导辊41、与各辊保持构件40连结的连结构件42、使该连结构件42在图1中的上下方向及左右方向移动的驱动部43构成。导辊41形成为如图6放大表示的大致鼓形，并通过轴支承部44旋转自如地安装于辊保持构件40上。使连结构件42如上述移动的驱动部43在通过该连结构件42、辊保持构件40及轴支承部44将导辊41与处于所述取出位置的板玻璃10的侧面抵接的卡合位置(图6所示是位置)、自此向侧外方离开的离间位置、自该离间位置向图3中右侧离开的退避位置中选择任一位置而设定。
成对设置的箱体输送装置25的每一个由固定板50、固定于该固定板50且沿箱体1的输送方向延伸的一对辊51、架设于该辊51上且沿该辊移动的移动部52、安装于该辊52上且与箱体1卡合的臂53构成。在本实施方式中，通过该箱体输送装置25、所示槽位置检测传感器24及横送传送带13，构成将箱体1保持于板玻璃10的取出位置下侧的规定位置的箱体保持装置。
接着，对利用上述结构的板材收容装置15收容玻璃的玻璃收容动作进行说明。下面，将本装置中的各工作部的状态表示于7A～图7F而且参照进行说明。空箱体1首相由横送传送带13搬运到接受板玻璃10的位置附近，然后由箱体输送装置25精密输送。箱体1如后述从最前方即位于图3中最右侧的槽1c依次收容板玻璃10，槽位置检测传感器24检测出空槽1c中最前方的槽1c的位置并将其检测信号输入图示外的控制电路。该控制电路基于输入的槽位置检测信号控制箱体输送装置25的驱动，由此，使得上述最前方的空槽1c位于处在取出位置的板玻璃10的正下侧，从而精密输送箱体1。
被收容于箱体1的板玻璃10由玻璃搬运装置20以竖立状态搬运且停放于图2所示的取出位置。此时，导辊41设定于所述退避位置以不妨碍板玻璃10的搬运。另外，玻璃插入手22也从同样的目的考虑而设定于其接受爪39比玻璃搬运装置20的辊31的上面下降少许高度的位置。停放于上述取出位置的板玻璃10通过如先前说明的三对空气室23的作用以竖立状态被保持在该位置。该状态表示于图7A。
其次，如图7B所示，导向装置26的导辊41向同图中左侧移动而从退避位置向所述离间位置设定，因此，设定于与板玻璃10的侧端面接触的卡合位置。这样，处于辊31上的板玻璃10通过自其左右推动导辊41而被指定于搬运方向位置(图2中的左右方向位置)。接着玻璃插入手22移动到规定距离上侧，由此接受爪39将板玻璃10自其下端面顶，该板玻璃10从搬运装置20的保持构件31浮起。与此紧接着还有玻璃搬运装置20的保持构件30向同图中右侧移动，由此，辊31退出到脱离上述接受爪39的下侧位置的位置。
接着如图7C所示，玻璃插入手22向下侧移动，由接受爪39从下侧接住的板玻璃10从上侧收容于箱体1内。此时，如前所述，箱体1成为其最前侧的空的槽1c位于处于取出位置的板玻璃10的正下侧的状态，因此，下降的板玻璃10的左右侧端部被正确地导向左右的一对槽1c内。并且与此同时，下降的板玻璃10由设定于所述卡合位置的导辊41引导，槽1c深度方向的位置被指定，因此自该点起，板玻璃10也被正确地导向左右一对槽1c内。这样，可防止板玻璃10碰撞箱体1的槽1c的近边部分而破损这一问题。
另外，这样直到板玻璃10下降并进入上述槽1c内的期间，该板玻璃10均由三对空气室23在两表面以非接触方式进行定位，因此能够确实防止在该板玻璃10的左右两端部附上伤及污物。下降的板玻璃10的左右两端部如上所述由导辊41进行定位，但此时导辊41接触的只是从图6所明了的板玻璃10的左右端面和其边缘部分，因此，由这些导辊41也不会在板玻璃10的表面附上伤及污物。另外不用说，即使玻璃插入手22的接受爪39与板玻璃10的下端面接触，也不会由此在板玻璃10的表面附上伤及污物。
如图7D所述，玻璃插入手22下降到规定的下端位置时，接受爪39进入箱体1的底板1d的槽1e(参照图5)内，板玻璃10在其下端面由上述底板1d接受后而离开接受爪39。
这样板玻璃10被移放到箱体1时，接着如图7E所示，箱体1由箱体输送装置25向前方即同图右侧移动和其槽1c的排列间距等距离。此时，也通过基于槽位置检测传感器24检测的槽位置检测信号控制箱体输送装置25的驱动，接着，收容板玻璃10的空的槽1c以位于板玻璃取出位置的正下方的方式定位于箱体1的位置。这样，接着，收容板玻璃10的空的槽1c相对于玻璃插入手22设定于一定的相对位置。
其次如图7F所示，玻璃插入手22向上侧移动，导辊41自所述卡合位置经由离间位置返回退避位置，还有辊31通过玻璃搬运装置20的保持构件30向同图中左侧移动接受板玻璃10返回可搬运的位置，并各自恢复到图7A所示的状态。然后，另一块板玻璃10由玻璃搬运装置20搬运，停放于取出位置的该板玻璃10进行和上面说明的动作同样的动作被收容于箱体1内。
以后反复进行同样的动作而将规定块数的板玻璃10收容于箱体1内时，其箱体1由箱体横送传送带13送出到图4所示的箱体输出传送带17上。其后，新的空箱体1由图4所示的箱体供应站12及箱体横送传送带13供给到板材收容装置15，并进行与其箱体1同样的动作而收容规定块数的板玻璃10。
如上所述，该板材收容装置15的构成为，使玻璃插入手22下降将板玻璃10从上侧供给到箱体1内，因此，和由摆动的机械手将板玻璃10向横向大幅度移动而收容于箱体内的现有装置相比，能够在更短的循环时间内将板玻璃10收容于箱体1内。
而且，板材收容装置15是用于将该板玻璃10收容于箱体1内而不使该板玻璃10大幅度横向移动的装置，因此成为机构简单的装置，另外，考虑不会与进行横移的机械手等干涉，所以不需要设定箱体供应站12等的配置位置。因而，用于设置该板材收容装置15及上述箱体供应站12等的空间也可以比较小的空间来实现。
另外，尤其是在本实施方式的板材收容装置中，板材移放装置设计为只将玻璃插入手22上下移动的简化结构，因此，与将进行复杂的动作的机械手等作为移放装置使用的板材收容装置相比，能够比较廉价地构成。
权利要求
1.一种板材收容方法，是将板材一块一块地供给并收容于箱体内的方法，该箱体在左右两侧板的内面形成有沿上下方向延伸的槽，将板材的左右端部收进这些左右一对槽内并以竖立状态收容该板材，该板材收容方法的特征在于，使板材以竖立状态搬运到规定的取出位置，在该取出位置的下侧配置有所述箱体，将所述取出位置具有的板材从其下端面接住并保持而从该取出位置取出，其后使其下降并送入所述箱体的槽内，至少在所述板材从所述取出位置到进入所述箱体的槽内的期间，通过向该板材的一表面及其另一面吹送气体而将该板材以非接触的方式保持在竖立状态。
2.一种板材收容装置，是将板材一块一块地供给并收容于箱体内的装置，该箱体在左右两侧板的内面形成有沿上下方向延伸的槽，将板材的左右端部收进这些左右一对槽内并以竖立状态收容该板材，该板材收容装置的特征在于，具备使板材成为竖立状态并搬运到规定的取出位置的搬运装置；在所述取出位置的下侧保持所述箱体的箱体保持装置；板材移放装置，其具有从下侧接受板材的下端面的接受部，将所述取出位置具有的板材保持在所述接受部并从该取出位置取出，其后下降并将该板材送入所述箱体的槽内；至少在所述板材从所述取出位置到进入所述箱体的槽内的期间，通过向该板材的一表面及其另一表面吹送气体将该板材以非接触方式保持在竖立状态的板材保持装置。
3.如权利要求2所述的板材收容装置，其特征在于，具有检测所述箱体的接下来收纳板材的槽的位置的传感器；基于该传感器输出的槽位置检测信号，以接下来收入板材的槽相对于所述板材移放装置取一定相对位置的方式对箱体的位置进行微调的装置。
4.如权利要求2或3所述的板材收容装置，其特征在于，设有在所述箱体的接下来收进板材的槽的上侧位置，由所述板材移放装置对下降的板材的左右端面进行定位，并将其左右端部向这些槽引导的导向装置。
5.如权利要求2～4中任一项所述的板材收容装置，其特征在于，所述板材移放装置为只在上下方向移动的结构，所述搬运装置的结构为由上升的所述板材移放装置的接受部将所述板材举起到离开该搬运装置后，退避到侧方，和其后下降的板材不发生干涉。
6.如权利要求2～5中任一项所述的板材收容装置，其特征在于，所述板材移放装置为只在上下方向移动的结构，所述箱体保持装置的结构为使以规定间距排列有多对所述左右的槽的箱体在其中收容有一块板材的每个槽的排列方向和所述间距大致等距离移动，并使接下来收进板材的槽相对于所述板材移放装置配置在一定的相对位置。
全文摘要
本发明提供一种板材收容方法及装置，设置有使板材成为竖立状态然后搬运到取出位置的搬运装置(20)、在取出位置的下方保持箱体(1)的箱体保持装置(13，25)。由具有自下侧接受其上板材(10)的下端面的接受部(39)，将具有取出位置的板材(10)保持于接受部(39)上且自该取出位置取出、其后下降并将该板材(10)送入箱体(1)的槽内的玻璃插入手(22)等构成板材移放装置。而且，至少在板材(10)从取出位置到放入箱体(1)的槽内这一期间，由向该板材(10)的一表面及其它表面吹送气体的板材保持装置(23)将该板材(10)以非接触的方式保持于竖立状态。
文档编号H01L21/677GK101080354SQ200580042828
公开日2007年11月28日 申请日期2005年12月12日 优先权日2004年12月13日
发明者新海正幸, 杉山进, 石桥希远, 大野俊孝, 和田芳幸, 德田太郎 申请人:康宁日本有限公司, 石川岛播磨重工业株式会社