专利名称：应用于运输系统整合的方法及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体制造工艺，特别涉及一种应用于运输系统整合的方法及系统。
背景技术：
单一产品的传统半导体制造流程通常为一个高度重复使用一定制造机台的流程。在完成制造之前，每一个产品制造流程需要使用多次相同的机台资源。传统的半导体制造工厂通常包含必要的制造机台，用以处理半导体晶片，诸如光刻(photolithography)、化学机械研磨(chemical-mechanical polishing)或化学气相沉积(chemical vapor deposition)。在制造过程中，半导体晶片会通过一系列的各式各样的机台，用以完成制造步骤。例如，一个集成电路产品的制造，通常要通过接近600道步骤。
晶片通常会储存在一个载具(carrier)中，例如卡匣(cassette)，而每一个载具至多可置入25片晶片。之后，卡匣会被载入至载具中，诸如标准机器接口(standard mechanical interfaces，SMIFs)或12寸前开式标准片盒(frontopening unified pods，FOUPs)，以利于在厂房中运输。在一个300mm晶片厂中，自动化原料管理系统(automated material handling system，AMHS)会依据从制造执行系统(manufacturing execution system，MES)发出的指令，从一个地点运送载具到另一个地点。晶片载具通常会被自动化设备输入到原料管理系统中。自动化设备配合原料管理系统，由机台的负载端口(loadport)取出晶片，并且会加上避免储存在相邻储存器的晶片批次在运输时发生碰撞(collision)的措施。
一个制造执行系统连接自动化原料管理系统并且根据一系列的标准程序步骤发送命令给原料管理系统，让原料管理系统据以执行特定运输作业，例如将晶片载具从一个地点移至另一地点等，或回复信息，例如一个特定地点的储存信息等。通常各种自动化原料管理系统设置在不同的制造厂房中。传统上，一部制造执行系统控制单一个自动化原料管理系统，要控制不同的自动化原料管理系统需要更多的制造执行系统，这样增加成本，因此需要一个应用于运输系统整合的方法及系统，来减少成本，增加运输系统的性能。
发明内容
本发明提供一种应用于运输系统整合的方法，使用一部计算机来执行该方法。实施例的运输系统整合方法包括下列步骤接收一个请求，该请求包括关于一个制造对象的请求信息；依据关于哪一个运输系统服务器管理该制造对象的信息，在多个运输系统服务器中决定出一个运输系统服务器。产生对应于接收到的请求的指令。发出产生的指令至决定的运输系统服务器。
本发明上述的应用于运输系统整合的方法，其中所述制造对象是制造机台或存储器，该请求可包括关于晶片载具从第一地点移至该制造对象，或从该制造对象移至第二地点的请求信息。可发出产生的指令至决定的运输系统服务器，以驱动对应于决定的运输系统服务器的运输系统，将晶片载具从第一地点移至制造对象，或从制造对象移至第二地点。
本发明上述的应用于运输系统整合的方法，其中所述制造对象是制造机台或存储器，该请求可包括关于该制造对象的数据查询的请求信息，以及可发出产生的指令至决定的运输系统服务器以取得对应于该制造对象的数据。
实施例的运输系统整合方法还可以包括下列步骤。借由检测请求中的内容来决定出请求类型。判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许。当决定的请求类型被允许时，发出产生的指令至决定的运输系统服务器。
本发明上述的应用于运输系统整合的方法，其中请求类型可为载具移动请求，其包括关于晶片载具从第一地点移至制造对象，或从制造对象移至第二地点的请求信息，或者，请求类型可为信息查询请求，其包括关于制造对象的数据查询的请求信息。
本发明上述的应用于运输系统整合的方法，其中当决定的运输系统服务器失效时，载具移动请求可不被允许，以及当决定的运输系统服务器失效时，数据查询请求可不被允许。
实施例的运输系统整合方法还可以包括下列步骤借由询问(query)决定的运输系统服务器来判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许。当回复的准许状态指出决定的请求类型是不被允许时，或若在超时之后还未收到任何的回复准许状态时，判断决定的请求类型不被允许。
实施例的运输系统整合方法还可以包括下列步骤从决定的运输系统服务器接收指出决定的请求类型被允许或不被允许的通知信息。储存所接收的通知信息于储存装置。借由取得储存的通知信息来判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许。
指令可使用对应于决定的运输系统服务器的特定格式来产生。实施例的运输系统整合方法还可以包括下列步骤接收对应于发出的指令的答复信息。将答复信息转换为对应于请求者的特定格式。回复所转换的答复信息至请求者。
本发明也提供一种应用于运输系统整合的系统。实施例的运输系统整合系统包括多个运输系统服务器以及一个制造执行系统(manufacturingexecution system，MES)。制造执行系统耦接于运输系统服务器，接收一个请求，该请求包括关于一个制造对象的请求信息，制造执行系统依据关于哪一个运输系统服务器管理该制造对象的信息，在多个运输系统服务器中决定一个运输系统服务器，产生对应于接收到的请求的指令，以及发出产生的指令至决定的运输系统服务器。制造对象可为制造机台(fabrication tool)或存储器(stocker)。请求可包括关于晶片载具从第一地点移至该制造对象，或从该制造对象移至第二地点的请求信息。制造执行系统可发出产生的指令，以驱动对应于决定的运输系统服务器的运输系统将晶片载具从第一地点移至该制造对象，或从该制造对象移至第二地点。请求可包括关于该制造对象的数据查询的请求信息，以及制造执行系统可发出产生的指令，以取得对应于该制造对象的数据。
制造执行系统借由检测请求中的内容，还可以决定出请求的请求类型，判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许，以及当决定的请求类型被允许时，发出产生的指令至决定的运输系统服务器。
制造执行系统借由询问决定的运输系统服务器，还可以判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许，以及当回复的准许状态指出决定的请求类型是不被允许时，或若在超时后还未收到任何回复的准许状态时，判断决定的请求类型不被允许。
制造执行系统还可以从决定的运输系统服务器接收指出决定的请求类型被允许或不被允许的通知信息，储存接收的通知信息在储存装置，以及借由取得储存的通知信息，来判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许。
指令可使用对应于决定的运输系统服务器的特定格式来产生。制造执行系统还可以接收对应于发出的指令的答复信息，将答复信息转换为对应于请求者的特定格式，以及回复所转换的答复信息至请求者。
利用本发明的方法及系统，可以减少成本并且增加运输系统的性能。
图1为本发明实施例的运输系统的整合系统示意图；图2为依据本发明范例的制造执行系统或运输系统服务器的硬件环境示意图；图3为范例的映射记录示意图；图4及图5为依据本发明实施例的运输系统整合方法的方法流程图；图6表示依据本发明实施例的运输系统整合方法的储存媒体示意图。
其中，附图标记说明如下10～运输系统的整合系统；11～制造执行系统；13、14、15～运输系统；131、141、151～运输系统服务器； 21～处理单元；22～存储器；23～储存装置；24～输入装置；25～输出装置； 26～通讯装置；27～总线；31、32、...、38、39～记录；S41、S43、S45、S47～方法步骤；S511、S521、S531、S541、S543、S545、S547、S551～方法步骤；60～储存媒体； 620～运输系统整合计算机程序；621～接收请求逻辑； 622～决定所接收的请求的请求类型逻辑；623～依据接收的请求中所包括的信息在多个运输系统服务器决定出一个运输系统服务器逻辑；624～判断所决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许逻辑；625～产生与发出指令至决定的运输系统服务器逻辑；626～接收对应于发出的指令的答复信息逻辑；
627～回复错误信息或回复所接收的答复信息逻辑。
具体实施例方式
图1为本发明实施例的运输系统(transport system，TS)的整合系统10示意图，包括一个制造执行系统(MES)11与运输系统13、14及15。制造执行系统根据标准程序步骤来指示运输系统13、14及15执行多种运输动作以及回复关于一个或多个特定位置的存储信息(stock information)。
制造执行系统11可视为一个包含方法与软件工具的整合的计算机系统，用以完成制造任务。例如，制造执行系统11的基本功能可包括收集一个或多个位置的存储数据(stock data)，例如制造机台、存储器等等，实时地组织与储存存储数据于一个集中化的数据库中，进行工作顺序管理、制造机台管理、流程管理以及运输管理。实施例的制造执行系统(未显示)包括Promis(马赛诸塞州的Brooks自动化公司)、Workstream(加利福尼亚州的应用材料公司)、Poseidon(纽约的IBM公司)、SiView(纽约的IBM公司)以及Mirl-MES(台湾的机械工业研究实验室)。每一个制造执行系统可有不同的应用领域。例如，Mirl-MES可用的应用范围为封装(packaging)、液晶显示器(liquid crystaldisplays，LCDs)、以及印刷电路板(printed circuit boards，PCBs)；而Promis、Workstream、SiView以及Poseidon可用于集成电路制造(IC fabrication)以及薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor LCD，TFT-LCD)的应用。制造机台通常会在一个指定批次的晶片上，执行单一一道晶片制造作业。例如，一部制造机台可能用以执行分层(layering)、图案化(patterning)、掺杂(doping)、离子注入(implanting)或热处理(heat treatment)作业。存储器(stockers)提供要储存晶片批次的储存空间以等待处理或检查。
运输系统13、14及15依照制造执行系统11的指令，将包括晶片批次的晶片载具从一个位置移动到另一个位置。其通常使用自动化设备将晶片载具放入运输系统13、14及15内。自动设备和/或移出设备用于当做出发点的制造机台或存储器的负载端口(loadports)中，并配合运输系统13、14及15来移出晶片载具，其并且允许集合多个邻近位置的晶片载具来避免晶片载具碰撞(collison)的情况。运输系统服务器131、141及151分别内存于运输系统13、14及15中，可为执行方法与软件工具的整合性计算机系统，用以完成晶片载具移动与反馈存储信息。运输系统服务器131、141及151在优选的情况下提供符合各种特定标准的传输通讯协议、信息格式及功能的软件服务。
图2为依据本发明范例的制造执行系统或运输系统服务器的硬件环境示意图，包括处理单元21、存储器22、储存装置23、输入装置24、输出装置25及通讯装置26。根据范纽曼架构(Von Neumann architecture)，处理单元21由总线27连接起存储器22、储存装置23、输入装置24、输出装置25及通讯装置26。其或许存在一个或多个处理单元21，以致使计算机的处理器包含单一中央处理单元(central processing unit，CPU)、微处理单位(MPU)或者是关联于并行运算环境(parallel processing environment)的多个处理单元。存储器22在优选情况下为动态存取存储器(RAM)，但也可为只读存储器(ROM)或快闪只读存储器(flash ROM)。存储器22在优选情况下储存可由处理单元21执行的运输系统整合功能的程序模块。一般而言，程序模块包含例程(routines)、程序(program)、对象(object)、组件(component)等，用以执行特定功能或应用特定抽象数据类型(abstract data type)。除此之外，熟悉该技术的人也可将本发明实施于其它计算机系统构造(configuration)上，例如，手持式设备(hand-held devices)、多处理器系统、基于微处理器或可编程的消费类电子产品(microprocessor-based or programmable consumer electronics)、网络计算机、迷你计算机、大型主机以及类似的设备。本发明也可以实施于分布式运算环境，其运算工作被连结于通讯网络的远程处理设备所执行。在分布式环境中，程序模块可同时存在于本地以及远程记忆储存装置中，而远程访问架构包含分布式组件对象模型(DCOM)、通用对象请求代理体系结构(CORBA)、网页组件(Web objects)、网络服务(Web Services)或其它类似结构。储存装置23可为硬盘装置、磁性装置、光盘装置、可携式储存装置或非易失性存储器装置(nonvolatile memory drive)。这些装置及其相关的计算机可读取媒体(computer-readable media)提供计算机可读取指令、数据结构、或程序模块的非易失性储存空间(nonvolatile storage)。通讯装置26可为以太网络(Ethernet)接口装置或一个兼容于802.x或GPRS的无线通讯装置。熟悉该技术的人都了解可将制造执行系统11，运输系统服务器131、141及151中的任意两者以上整合至单一一部计算机中。
储存装置23储存多笔映射记录(mapping records)。每一笔映射记录储存关于哪一个运输系统服务器管理特定制造对象的信息，制造对象为例如晶片载具、制造机台、存储器等。每一笔映射记录在优选的情况下包括两个字段关联于一个实体制造对象的制造对象识别码，以及关联于一个运输系统服务器的运输系统服务器识别码。熟悉该技术的人可在映射记录中实施更多或不尽相同的字段。可使用数据库管理系统中的单一或多个数据表、数据对象管理系统中的数据对象，或文件管理系统中的数据文件来应用映射记录。对应于一个既定的制造对象识别码的一个管理的运输系统服务器识别码的取得，可经由使用各式各样查询功能来有效地检索映射记录以取得运输系统服务器识别码，例如使用ANSI SQL查询、数据对象查询方法或文件操作指令。图3为实施例的映射记录示意图，其包括九个记录31至39。每一笔映射记录储存关于一个特定存储器(以制造对象识别码作为表示)被哪一个运输系统服务器(以运输系统服务器识别码来表示)所管理。
图4为依据本发明实施例的运输系统整合方法的方法流程图，由制造执行系统11来执行。在步骤S41，接收包括关于一个制造对象的请求信息。制造对象可为一个制造机台或一个存储器。所接收到的请求可包括关于将晶片载具从第一地点移至该制造对象，或从该制造对象移至第二地点的请求信息，或者关于该制造对象的数据查询请求。在步骤S43，依据关于哪一个运输系统服务器管理该制造对象的信息，在诸如131、141及151的多个运输系统服务器中决定出一个运输系统服务器。如步骤S45，产生对应于接收到的请求的指令。在步骤S47，发出产生的指令至决定的运输系统服务器。该步骤可发出产生的指令至决定的运输系统服务器，以驱动对应于决定的运输系统服务器的运输系统，将晶片载具从第一地点移至制造对象，或从制造对象移至第二地点。此外，该步骤可发出产生的指令至决定的运输系统服务器，以取得对应于该制造对象的数据。
图5为依据本发明实施例的运输系统整合方法的方法流程图，由制造执行系统11来执行。在步骤S511，接收一个请求。该请求的接收，可由制造执行系统11中的一个特定应用程序，例如制造规划(manufacturingscheduling)、后勤(logistic)数据管理等，或从远程计算机(未显示)中的客户应用程序接收。在步骤S521，决定出所接收的请求的请求类型。制造执行系统支持两种类型的请求载具移动及数据查询，用来与运输系统服务器131、141及151来进行互动。载具移动请求用以驱动运输系统13、14及15借由自动化设备从第一地点移动晶片载具到另一个地点，第一地点例如制造机台、存储器等。数据查询请求用以检索数据，例如制造机台或存储器等不同地点的运输系统状态、存货明细(inventory details)或作业状态。载具移动请求通常牵涉到自动化设备的运动，例如在空中(over-head)运输轨道的运动、从制造机台或存储器等的负载端口移动晶片载具，但是数据查询请求则不牵涉到自动化设备的运动。数据查询请求通常用以检索储存于相应的运输系统服务器中的数据。在步骤S531，依据储存于映射记录中的信息对比所接收到的请求信息，在多个运输系统服务器中决定出一个运输系统服务器。接收到的请求中所提供的信息可借由该请求所使用的参数来取得。参考图3，例如，当接收到的请求中所包括的信息是关于从存储器“41111“至一部制造机台之间的移动时，则决定出的运输系统服务器为“TS14”。在另一个例子中，当接收到的请求中所包括的信息是关于存储器“51345”的存货数据查询时，则决定出的运输系统服务器为“TS15”。
在步骤S541，判断决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许，若是，流程进行至步骤S543，若否，则进行至步骤S551。当运输系统中的对应的运输系统服务器或自动化设备受损，或进行系统更新时，则晶片载具移动的请求可能不被允许。当对应的运输系统服务器不正常的关机或进行系统更新时，数据查询请求可能不被允许。有两种方法可用以检查准许状态。在一种方法中，制造执行系统11经由执行储存于其中的软件服务，可查询(query)决定的运输系统服务器来取得决定的请求类型的准许状态。当回复的准许状态指出决定的请求类型是不被允许时，或若在超时后还未收到任何的回复准许状态时，则判断决定的请求类型不被允许。在另一种方法中，对应的运输系统服务器可实时地通知请求类型的准许状态，来指出特定的请求类型是被允许或不被允许，并且制造执行系统11立即地储存通知信息于储存装置23中，作为后续确认之用。因此，决定的请求类型的准许状态可借由查询相应的运输系统服务器，或从储存装置23中取得事先储存的通知信息来完成。
在步骤S543，产生对应于接收的请求的至少一个指令，并且发出产生的指令至决定的运输系统服务器。产生的指令可驱动决定的运输系统服务器，将特定晶片载具从一个地点移至另一个地点，或回复特定地点的存货数据。须注意的是，当产生多于两个的指令，并需要与决定的运输系统服务器进行互动时，可使用对应于服务器中所提供的软件服务的特定格式，例如指令名称、参数安排、参数数据类型、指令执行通讯协议等，来产生指令。在步骤S454，接收对应于所发出的指令的答复信息。例如，接到对应于所发出的是成功或失败的移动状态的载具移动指令，或接收到对应于所发出的数据查询指令的回复数据。在步骤S547，回复所接收的答复信息至请求者。需注意的是，答复信息可转换为对应于请求者的特定格式，请求者可为制造执行系统11中的特定应用程序或远程计算机(未显示)中的客户应用程序。在步骤S551，向请求者回复指出该请求是不被决定的运输系统服务器所允许的错误信息。
图6表示依据本发明实施例的运输系统整合方法的储存媒体示意图，由制造执行系统11加载并执行其中所含有的程序。该储存媒体60内含有至少一个使用于计算机系统中的运输系统整合计算机程序620，该计算机可读取程序逻辑包含接收请求逻辑621，决定所接收的请求的请求类型逻辑622，依据接收的请求中所包括的信息在多个运输系统服务器决定出一个运输系统服务器逻辑623，判断所决定的请求类型是否为决定的运输系统服务器所允许逻辑624，产生与发出指令至决定的运输系统服务器逻辑625，接收对应于发出的指令的答复信息逻辑626，回复错误信息或回复所接收的答复信息逻辑627。
虽然本发明已以优选实施例公开如上，然而其并非用以限定本发明，任何熟悉该项技术的人，在不脱离本发明的精神和范围内，当可做出变动与修改饰，因此本发明的保护范围应以所附的权利要求书所界定的范围为准。
权利要求
1.一种应用于运输系统整合的方法，包括使用计算机执行的下列步骤接收请求，所述请求包括关于制造对象的请求信息；依据关于哪一个运输系统服务器管理所述制造对象的信息，在多个运输系统服务器中决定一个运输系统服务器；产生对应于所述接收到的请求的指令；以及发出所述产生的指令至所述决定的运输系统服务器。
2.如权利要求1所述的应用于运输系统整合的方法，其中所述制造对象是制造机台或存储器，所述请求包括关于晶片载具从第一地点移至所述制造对象，或从所述制造对象移至第二地点的请求信息，以及所述产生的指令被发出至所述决定的运输系统服务器，用以驱动对应于所述决定的运输系统服务器的运输系统将所述晶片载具从所述第一地点移至所述制造对象或从所述制造对象移至所述第二地点。
3.如权利要求1所述的应用于运输系统整合的方法，其中所述制造对象是制造机台或存储器，所述请求包括关于所述制造对象的数据查询的请求信息，以及所述产生的指令是被发出至所述决定的运输系统服务器以取得对应于所述制造对象的数据。
4.如权利要求1所述的应用于运输系统整合的方法，还包括借由检测所述请求中的内容来决定出所述请求的请求类型；判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许；以及当所述决定的请求类型被允许时，发出所述产生的指令至所述决定的运输系统服务器。
5.如权利要求4所述的应用于运输系统整合的方法，其中所述请求类型为载具移动请求，其包括关于晶片载具从第一地点移至所述制造对象，或从所述制造对象移至第二地点的请求信息，或所述请求类型为信息查询请求，其包括关于所述制造对象的数据查询的请求信息。
6.如权利要求5所述的应用于运输系统整合的方法，其中当所述决定的运输系统服务器失效时，所述载具移动请求不被允许，以及当所述决定的运输系统服务器失效时，所述数据查询请求不被允许。
7.如权利要求5所述的应用于运输系统整合的方法，还包括借由询问所述决定的运输系统服务器来判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许；以及当回复的准许状态指出所述决定的请求类型是不被允许时，或若在超时之后还未收到任何的回复准许状态时，判断所述决定的请求类型不被允许。
8.如权利要求5所述的应用于运输系统整合的方法，还包括从所述决定的运输系统服务器接收指出所述决定的请求类型被允许或不被允许的通知信息；储存所述接收的通知信息在储存装置；以及借由取得所述储存的通知信息来判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许。
9.一种应用于运输系统整合的系统，包括多个运输系统服务器；以及制造执行系统，耦接于所述运输系统服务器，用于接收请求，所述请求包括关于制造对象的请求信息，依据关于哪一个运输系统服务器管理所述制造对象的信息，在所述多个运输系统服务器中决定一个运输系统服务器，产生对应于所述接收到的请求的指令，以及发出所述产生的指令至所述决定的运输系统服务器。
10.如权利要求9所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述制造对象是制造机台或存储器，所述请求包括关于晶片载具从第一地点移至所述制造对象，或从所述制造对象移至第二地点的请求信息，以及所述产生的指令被发出至所述决定的运输系统服务器，用以驱动对应于所述决定的运输系统服务器的运输系统将所述晶片载具从所述第一地点移至所述制造对象，或从所述制造对象移至所述第二地点。
11.如权利要求9所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述制造对象是制造机台或存储器，所述请求包括关于所述制造对象的数据查询的请求信息，以及所述产生的指令是被发出至所述决定的运输系统服务器以取得对应于所述制造对象的数据。
12.如权利要求9所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述制造执行系统借由检测所述请求中的内容来决定出所述请求的请求类型，判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许，以及当所述决定的请求类型被允许时，发出所述产生的指令至所述决定的运输系统服务器。
13.如权利要求12所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述请求类型为载具移动请求，其包括关于晶片载具从第一地点移至所述制造对象，或从所述制造对象移至第二地点的请求信息，或所述请求类型为信息查询请求，其包括关于所述制造对象的数据查询的请求信息。
14.如权利要求13所述的应用于运输系统整合的系统，其中当所述决定的运输系统服务器失效，或对应于决定的运输系统服务器的运输系统失效时，所述载具移动请求不被允许，以及当所述决定的运输系统服务器失效时，所述数据查询请求不被允许。
15.如权利要求13所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述制造执行系统借由询问所述决定的运输系统服务器来判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许，以及当回复的准许状态指出所述决定的请求类型是不被允许时，或若在超时后还未收到任何回复的准许状态时，判断所述决定的请求类型不被允许。
16.如权利要求13所述的应用于运输系统整合的系统，其中所述制造执行系统从所述决定的运输系统服务器接收指出所述决定的请求类型被允许或不被允许的通知信息，储存所述接收的通知信息于储存装置，以及借由取得所述储存的通知信息来判断所述决定的请求类型是否为所述决定的运输系统服务器所允许。
全文摘要
本发明公开一种应用于运输系统整合的方法及系统。其中该方法包括使用计算机执行下列步骤接收包括关于一个制造对象的请求信息；依据关于哪一个运输系统管理该制造对象的信息，在多个运输系统服务器中决定出一个运输系统服务器；产生对应于所接收到的请求的指令；以及发出所产生的指令到所决定的运输系统服务器。利用本发明可以减少成本并且增加运输系统的性能。
文档编号H01L21/00GK1991641SQ20061009285
公开日2007年7月4日 申请日期2006年6月16日 优先权日2005年12月28日
发明者陈贤智 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司