专利名称：带有辅助进给装置的进给机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体加工设备，尤其涉及一种半导体加工设备中的进给机构。
背景技术：
半导体加工设备中的原材料(晶片)需要由前端装载，晶片是放在晶片盒中一同装载 入前端，这就产生了晶片盒的装载与卸载工作，也就是说晶片先放入晶片盒中，然后晶片 盒装被载到半导体加工设备的片仓中，再由半导体加工设备的机械手过来逐个取走晶片， 进行后续传片及加工工艺工作，做完工艺的晶片再被放回晶片盒，而后晶片盒再被卸载， 完成一套流程。这就需要有一种稳定的进给机构，实现晶片盒的装载及卸载工作。
现有技术中，进给机构是由气缸驱动的。
现有技术中的进给机构至少有以下缺点气缸驱动的稳定性较差，气缸在给气启动瞬 间，惯性较大，瞬间对受动元件有一个较大的冲击。
发明内容
本发明的目的是提供一种稳定性好的带有辅助进给装置的进给机构。 本发明的目的是通过以下技术方案实现的
本发明的带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，所述气缸的活塞杆的前端连接有 辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的带有辅助进给装置的进给机 构，由于气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助 进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。
图l为本发明带有辅助进给装置的进给机构的具体实施例的结构示意图。
具体实施例方式
本发明的带有辅助进给装置的进给机构，其较佳的具体实施方式
如图l所示，包括气缸 6，所述气缸6的活塞杆5的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行 端。
所述的辅助进给机构可以为齿轮、齿条机构，具体包括上齿条4、齿轮3、下齿条2， 所述齿轮3设于上齿条4和下齿条2之间并分别与上齿条4和下齿条2啮合。所述活塞杆4的前 端与上齿条4的后端连接，所述下齿条2的前端为进给执行端。
所述的辅助进给机构也可以为其它的机构，如阻尼油缸等。
所述的进给执行端设有安装孔，所述安装孔内设有定位销l，具体可以将所述安装孔 设于所述下齿条2的前端。
所述的定位销l上装有受动元件，受动元件为晶片盒等。
所述的进给执行端设有限位装置，放置其超行程，也可以将限位装置设于进给执行端 的行程极限位置。
本发明通过气缸及齿轮齿条结合的方式，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的 作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都 应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，其特征在于，所述气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端。
2、 根据权利要求l所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的辅助进 给机构包括上齿条、齿轮、下齿条，所述齿轮设于上齿条和下齿条之间并分别与上齿条和 下齿条啮合。
3、 根据权利要求2所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述活塞杆的 前端与上齿条的后端连接，所述下齿条的前端为进给执行端。
4、 根据权利要求l、 2或3所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的 进给执行端设有安装孔，所述安装孔内设有定位销。
5、 根据权利要求4所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的定位销 上装有受动元件。
6、 根据权利要求5所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的受动元 件为晶片盒。
7、 根据权利要求l、 2或3所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的 进给执行端设有限位装置。
全文摘要
本发明公开了一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，辅助进给机构包括上齿条、齿轮、下齿条，齿轮设于上齿条和下齿条之间并分别与上齿条和下齿条啮合，下齿条的前端为进给执行端。通过气缸及齿轮齿条结合的方式，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。主要应用于半导体加工设备的进给机构。
文档编号H01L21/677GK101345202SQ20071011854
公开日2009年1月14日 申请日期2007年7月9日 优先权日2007年7月9日
发明者朱常青 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司