专利名称：周壁设有从动件的晶圆承载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种承载装置，特别是一种周壁设有从动件的晶圆承载装置。
背景技术：
太阳能为极重要的替代能源，通过转换太阳光能为电能，提供人类洁净无 污染的能源，光-电转换的重要部件即为太阳能电池晶圆，其外观如图l所示， 常见外观如图l所示的矩形薄片状，还有的产品具有四个角落呈倒角的型态， 无论如何，太阳能已为人类实现能源新希望。
太阳能电池晶圓制造过程中，在携行复数晶圆时，需利用合适的容器装载，
如图2所示，为常见的承载器2，于承载器2上方预置一片保护版10后，即可 迭放太阳能电池晶圓1。现有的技术方案中，如图2所示，太阳能电池晶圆1 置入承载器2时，并无适当机制确保太阳能电池晶圆1能稳定、逐片且以接近 水平姿态置入，对薄且脆弱又造价不低的太阳能电池晶圆1,具有碰损风险。
一旦承载器2装载太阳能电池晶圓l后，搬运将是另一问题，装满太阳能 电池晶圓1的承载器2重达十数公斤，然如现有的设计并无适当着力点方便搬 运，操作人员将面临一定的风险。又如需进行太阳能电池晶圓1包装时，需将 太阳能电池晶圓1成迭取出，操作难度较大，并且取出时容易摔坏太阳能电池 晶圓，因此，现有的承载器2亟待改善。
因此，需要一种承载装置，可以稳定的容纳晶圓，并且方便操作人员搬运， 而且在晶圆取出时方便可靠
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种周壁设有从动件的晶圆承载装置，旨在解 决承载装置收纳晶圆稳定，取出晶圓方便可靠的问题。
本实用新型是这样实现的， 一种周壁设有从动件的晶圓承载装置，用来迭
置复数晶圓，所述的承载装置包括基座、周壁和从动件，其中
所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相对所述固定框
上下移动的顶高架；
所述周壁设置于所述固定框周缘，其尺寸与所述晶圓对应；
所述从动件设置于所述周壁，随所述顶高架升降，沿所述顶高架移动方向 相对所述周壁升降。
所述周壁包括复数个底部与所述固定框形成有间隔穿孔的直立柱，所述,人 动件为复数条分别套接环绕于所述直立柱的皮带。
所述皮带具有两分别被固定于所述顶高架的端部。
所述周壁设置有一个可供所述晶圓移出的侧向缺口 ，所述承载装置还包括 封闭或者开启所述侧向缺口的门扇，所述门扇通过枢轴设置于所述固定框上， 所述门扇更包括控制所述门扇与所述周壁配合或者分离的卡固件。
所述周壁侧向缺口的侧边设置有对应所述门扇的卡槽，所述卡固件为对应 所述卡槽的卡^r。
所述周壁还设置有一组手把。
本实用新型克服现有技术的不足，采用与顶高架连动的从动件，顶高架可 稳定且緩步提供升降机能，使晶圓迭置更安全稳定，并设置有可开合的门扇， 使迭置的晶圆取出更加便利，承载装置周壁两侧的把手更便利于安全搬运，有 效的提升了测试质量与测试效率。
图1是现有太阳能电池晶圆的外观立体示意图2是现有太阳能电池晶圆与承载器的外观立体示意图；图3是本实用新型第一实施例提供的承载装置处于搬移位置的外观立体示
意图4是本实用新型第一实施例提供的承载装置处于收纳迭置太阳能电池晶 圓的立体示意图5是本实用新型第一实施例中顶高架顶升的立体示意图； 图6是图5的局部放大图7是本实用新型第二实施例提供的承载装置的立体示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图 及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体 实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
请参考图3及图4所示，为本实用新型第一实施例，图3是本实用新型第 一实施例提供的承载装置在搬移位置、可取出承载的太阳能电池晶圓的外观立 体示意图；图4则为本实用新型第一实施例提供的承载装置处于收纳迭置太阳 能电池晶圆的外观立体示意图。本实施例提供的承载装置3包含基座4、周壁5 与从动件，从动件于本实施例中以皮带6呈现。
基座4包括固定框42、并包括位于固定框42中央，可相对固定框42上下 移动的顶高架44，图中的顶高架44处于贴近固定框42的位置。周壁5设置于 固定框42周缘、尺寸对应如图l所示的太阳能电池晶圓1。周壁5形成有一个 可供如图1所示的太阳能电池晶圆I移出的侧向缺口 56，周壁5设置有随顶高 架44的升降，沿顶高架44移动方向相对周壁5升降的从动件；本实施例中， 从动件以皮带6呈现。
本实施例中，周壁5包括复数个底部与固定框42形成有间隔穿孔52的直 立柱54，从动件即为复数条分别套接环绕于各直立柱54的皮带6。承载装置3 还包括门扇7，门扇7通过枢轴72设置于固定框42上，可以沿枢轴72转动，
5门扇7还包括一个卡固件，本实施例中，卡固件为卡栓74，卡栓74配合图3 中的卡槽58,即可控制所述门扇与所述周壁配合或者分离，实现门扇7开启与 闭合的功能。承载装置3还设置有一组手把8，可供操作人员搬运。
图5更进一步说明皮带6与顶高架44的连动机制，图5中，承载装置3 的顶高架44已沿垂直方向远离固定框42,为确保顶高架44移动时保持水平， 复数皮带6固定于顶高架44的端缘，即图5中虚线框圓所示。将图5虚线框圆 局部放大，如图6所示，皮带6具有两分别被固定于顶高架44的端部62,两 端部62通过螺钉64锁固于顶高架44;顶高架44将成为皮带6循环的一部分， 亦即将顶高架44与各条皮带6连动，第一实施例中共有8条皮带6，可同步与 顶高架44连动，非常稳定。
第一实施例中，通过螺钉64锁固于顶高架44顶面，具体应用本实用新型 技术方案时可不在此限，例如位于门扇7的两条皮带，为方便门扇7开启，可 反锁皮带端部于顶高架44底面，也可使得皮带6与顶高架44连动。
如果受限于应用环境如机台的尺寸限制，为节省空间，如图4中的手把8 也可暂时卸除，如图7所示，即为本实用新型第二实施例，操作人员仍可通过 周壁的构造搬运承载装置3'。
综上所述，本实用新型提供的技术方案中，顶高架与从动件的连动，可使 承载的太阳能电池晶圓平稳的随顶高架升降，门扇开启后，使容纳物取出更加 方便可靠，有效的克服了现有承载装置的缺陷。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型， 凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应 包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种周壁设有从动件的晶圆承载装置，用来迭置复数晶圆，其特征在于，所述的承载装置包括基座、周壁和从动件，其中所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相对所述固定框上下移动的顶高架；所述周壁设置于所述固定框周缘，其尺寸与所述晶圆对应；所述从动件设置于所述周壁，随所述顶高架升降，沿所述顶高架移动方向相对所述周壁升降。
2、 根据权利要求l所示的晶圆承载装置，其特征在于，所述周壁包括复数 个底部与所述固定框形成有间隔穿孔的直立柱，所述从动件为复数条分别套接 环绕于所述直立柱的皮带。
3、 根据权利要求2所示的晶圆承载装置，其特征在于，所述皮带具有两分 别被固定于所述顶高架的端部。
4、 根据权利要求1或者2或者3所示的晶圆承载装置，其特征在于，所述 周壁设置有一个可供所述晶圆移出的侧向缺口 ，所述承载装置还包括封闭或者 开启所述侧向缺口的门扇，所述门扇通过枢轴设置于所述固定框上，所述门扇 更包括控制所述门扇与所迷周壁配合或者分离的卡固件。
5、 根据权利要求4所示的晶圆承载装置，其特征在于，所述周壁侧向缺口 的侧边设置有对应所述门扇的卡槽，所述卡固件为对应所述卡槽的卡栓。
6.根据权利要求1或者2或者3所示的晶圓承载装置，其特征在于，所述 周壁还设置有一组手把。
专利摘要本实用新型适用于测试技术领域，提供了一种周壁设有从动件的晶圆承载装置，用来迭置复数晶圆，所述的承载装置包括基座、周壁和从动件，其中所述基座包括固定框，以及位于所述的固定框中央、并可相对所述固定框上下移动的顶高架；所述周壁设置于所述固定框周缘，其尺寸与所述晶圆对应；所述从动件设置于所述周壁，随所述顶高架升降，沿所述顶高架移动方向相对所述周壁升降。本实用新型克服现有技术的不足，采用与顶高架连动的从动件，顶高架可稳定且缓步提供升降机能，使晶圆迭置更安全稳定，并设置有可开合的门扇，使迭置的晶圆取出更加便利，承载装置周壁两侧的把手更便利于安全搬运，有效的提升了测试质量与测试效率。
文档编号H01L31/18GK201327840SQ200820213419
公开日2009年10月14日 申请日期2008年11月7日 优先权日2008年11月7日
发明者苏彦璋 申请人:中茂电子(深圳)有限公司