专利名称：修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体制程中埋层或深阱的形成后消除衬底高低差的方法。
背景技术：
在许多半导体器件，如Bipolar，SiGe-HBT 射频器件或 BCD (Bipolar-CMOS-DMOS) 器件等的制造工艺中，需要在隔离单元(如STI结构)形成之前进行一些高剂量的P型或N 型的离子注入(IonImplanation)形成器件的埋层(Barrier layer)或深阱(Deep well)。 通常在离子注入工艺之后会有一道高温氧化推进(Drive-in)制程，使注入的离子到达所 需要的深度。对于通常的硅的热氧化过程，离子掺杂后的单晶或多晶硅较未掺杂的硅具有 更高的氧化速率，且氧化速率随注入剂量的提高而增大。若这些离子注入工是通过图形 (Pattering)的非全局注入，会在硅片内形成注入区和非注入区。在随后通有氧气的热推进 工艺中，注入区的氧化速率比非注入区的氧化速率快，消耗更多的衬底硅。因此后续的氧化 膜剥离以后，注入区和非注入区的将会产生高低差(Step-height)(注入区的衬底平面比 非注入区低，见图1)。对带有氮化膜为阻挡层的热氧化推进工艺中，这种现象会更加明显。 如，对一个厚度为2500埃的热氧化膜，按照0. 44的硅消耗比例计算，在热氧化膜剥离后，注 入区和非注入区的高低差会有1000埃。随着器件的线宽减小，注入氧化推进所形成的衬底 高低差可能会对后续的工艺产生不良影响。如0. 18微米以下的器件，需要采用浅沟槽隔离 STKShallow trench isolation)作为隔离单元。衬底的高低差会造成STI制备中的化学 机械抛光(Chemicalmechanical polishing, CMP)后，在特定区域，如大面积的器件注入区 产生局部氧化硅残留，如图2所示，注入区上有部分氧化硅残留。衬底平面的高低差还可能 对其它重要工艺(如Poly-⑶的控制)产生影响。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低 差的方法。为解决上述技术问题，本发明的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方 法，包括如下步骤1)在硅表面依次淀积缓冲氧化膜和氮化膜；2)采用光刻工艺定义出注入区和非注入区，以光刻胶为掩膜刻蚀去除注入区的氮 化膜；3)离子注入并进行注入后的氧化推进工艺，在注入区表面生成氧化硅；4)去除所述注入区硅表面的氧化硅；5)采用选择性外延生长工艺，在注入区表面外延生长硅，使外延生长后注入区的 硅平面与非注入区的硅平面一致；6)最后去除所述氮化膜和缓冲氧化膜。本发明的方法通过在去除氧化膜之后采用选择性外延工艺，使外延生长后注入区的硅平面和非注入区的硅平面一致，以修复隔离单元形成以前由于离子注入后氧化推进形 成的衬底高低差，解决因衬底高低差对后续的工艺的影响。
下面结合附图与具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明图1为埋层或阱区注入后氧化推进之后的硅表面示意图；图2为有衬底差硅表面进行STI平整化研磨后的结构示意图；图3为本发明的制备流程示意图；图4为实施本发明的方法中去除氧化膜后的截面结构示意图；图5为实施本发明的方法中选择性外延后的截面结构示意图。
具体实施例方式本发明公开了一种修复离子注入后因氧化推进形成的衬底高低差的方法。该方法 通过采用氮化硅作为离子注入的掩膜层(即注入区的表面无氮化硅层，而非注入区表面覆 盖有氮化硅层)，在注入推进的热氧化膜剥离以后，采用选择性外延工艺，在无氮化硅覆盖 的注入区进行选择性外延生长，修复衬底平面的高低差，之后再将氮化硅剥离，从而修复硅 衬底表面高低差，消除其对后续工艺(如STI形成，Poly⑶等)的影响。本发明的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，具体包括如下步骤 (见图3)1)在硅表面依次淀积缓冲氧化膜和氮化膜。其中缓冲氧化膜的淀积工艺为常压 化学气相淀积法(APCVD)、低压化学气相淀积法(LPCVD)、等离子体增强化学气相淀积法 (PECVD)或热氧化法，缓冲氧化膜的厚度为10-2000埃；而氮化膜的淀积工艺为常压化学气 相淀积法、低压化学气相淀积法或等离子体增强化学气相淀积法，氮化膜的厚度为10-2000 埃；2)采用光刻工艺定义出注入区和非注入区，以光刻胶为掩膜刻蚀去除注入区的氮 化膜；3)离子注入并进行注入后的氧化推进工艺，在注入区表面生成氧化硅；其中离 子注入过程中注入离子可为N型或P型，注入离子元素可以为砷(As)，磷(P)，硼(B)和 锑(Sb)中的任一种，注入剂量范围1*1013 1*1015个原子/每平方厘米，注入能量范围 30 500Kev ；氧化推进工艺可选常压或低压氧化推进，氧化推进过程中的温度范围可为 900-1200°C ；4)去除所述注入区硅表面的氧化硅，图4为去除氧化硅之后的截面结构示意图， 其中注入区的硅表面和非注入区的硅表面有高低差；5)采用选择性外延生长工艺，在注入区表面外延生长硅，使外延生长后注入区的 硅平面与非注入区的硅平面一致(见图5)，其中外延生长工艺中可采用SiCl4、SiHCl3或 SiH2Cl2为外延气体，外延生长的温度范围可为700-1000°C，外延使外延腔体内的压力范围 可为10-150托；同时外延生长可为不掺杂的外延生长或根据器件设计需要的掺杂外延生长。6)最后去除所述氮化膜和缓冲氧化膜。
权利要求
一种修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在于，包括如下步骤1)在硅表面依次淀积缓冲氧化膜和氮化膜；2)采用光刻工艺定义出注入区和非注入区，以光刻胶为掩膜刻蚀去除注入区的氮化膜；3)离子注入并进行注入后的氧化推进工艺，在注入区表面生成氧化硅，同时形成埋层或深阱；4)去除所述注入区硅表面的氧化硅；5)采用选择性外延生长工艺，在注入区表面外延生长硅，使外延生长后注入区的硅平面与非注入区的硅平面一致；6)最后去除所述氮化膜和缓冲氧化膜。
2.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述步骤一中的缓冲氧化膜的淀积工艺为常压化学气相淀积法、低压化学气相淀积法、 等离子体增强化学气相淀积法或热氧化法，所述缓冲氧化膜的厚度为10-2000埃。
3.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述步骤一中的氮化膜的淀积工艺为常压化学气相淀积法、低压化学气相淀积法或等 离子体增强化学气相淀积法，所述氮化膜的厚度为10-2000埃。
4.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述步骤三中离子注入的离子为砷、磷、硼和锑中的任一种，注入剂量范围为1*1013 1*1015个原子/每平方厘米，注入能量范围为30 500Kev。
5.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述步骤三中的氧化推进工艺为常压或低压氧化推进，所述氧化推进过程中的温度范 围为 900-1200°C。
6.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述选择性外延生长工艺中采用3比14、5让(13或SiH2Cl2*外延气体，外延生长的温度 范围为700-1000°C，外延使外延腔体内的压力范围为10-150托。
7.如权利要求1所述的修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，其特征在 于所述步骤五中外延生长为不掺杂的外延生长或根据器件设计需要的掺杂外延生长。
全文摘要
本发明公开了一种修复离子注入后氧化推进形成的衬底高低差的方法，包括如下步骤1)在硅表面依次淀积缓冲氧化膜和氮化膜；2)采用光刻工艺定义出注入区和非注入区，以光刻胶为掩膜刻蚀去除注入区的氮化膜；3)离子注入并进行注入后的氧化推进工艺，在注入区表面生成氧化硅，同时形成埋层或深阱；4)去除所述注入区硅表面的氧化硅；5)采用选择性外延生长工艺，在注入区表面外延生长硅，使外延生长后注入区的硅平面与非注入区的硅平面一致；6)最后去除所述氮化膜和缓冲氧化膜。采用本发明的方法，修复了埋层或阱区注入氧化推进后形成的衬底高低差。
文档编号H01L21/20GK101930910SQ20091005745
公开日2010年12月29日 申请日期2009年6月18日 优先权日2009年6月18日
发明者方精训, 程晓华, 邓镭 申请人:上海华虹Nec电子有限公司