专利名称：：监测电路、监测装置及其监测方法
技术领域：
：本发明是有关于一种监测电路、监测装置及其监测方法，且特别是有关于一种监测载入载出晶片是否发生异常的监测电路、监测装置及其监测方法。
背景技术：
：在半导体工艺中，晶片(wafer)对于制造半导体装置而言是相当重要的。晶片通常被承载于一载台(carrier)之上。而在处理晶片的过程时，通常是由一操作器(manipulator)从此载台来载出此晶片，并将晶片传送至一处理室(chamber)以进一步进行处理，之后，操作器再将处理后的晶片载入至此载台中，以完成载入载出晶片的动作。当操作器在载入或载出晶片时，若晶片于载台中的位置偏移时，例如是突出于载台之外时，则可能导致操作器无法正常载入或载出此晶片，严重时，还可能造成晶片的损坏。因此，如何于载入及载出晶片的过程中，避免对此晶片造成损坏，乃业界所致力的方向之一。
发明内容有鉴于此，本发明是有关于一种监测电路、晶片载入载出异常监测装置及其监测方法，通过提供一感测信息，以表示晶片是否突出于载台的一侧，并依据此感测信息判断晶片突出于载台的此侧的时间是否超过一预定时间。若超过预定时间，还可触发一异常事件来表示传送机台在载入或载出晶片时发生异常。如此，还可于此异常事件中停止机台对此晶片进行载入或载出的动作，来避免对此晶片造成损坏。依据本发明的第一方面，提出一种晶片载入载出异常监测装置，包括一感测单元及一检测单元。感测单元用以提供一感测信息，感测信息用以表示晶片是否突出于一载台的一侧。检测单元用以依据感测信息来判断晶片突出于载台的此侧的时间是否超过晶片被载入或载出的一预定时间。若超过预定时间，则检测单元进一步用以触发一异常事件。依据本发明的第二方面，提出一种监测电路，包括一感测单元及一检测单元。感测单元用以提供一感测信息。检测单元包括一第一控制单元、一设定单元、一操作单元、一驱动单元、及一第二控制单元。第一控制单元用以接收一第一检测电压及一第二检测电压，并依据感测信息的电压电平输出第一检测电压及第二检测电压的其中之一。设定单元用以储存一第一储存电压。当第一控制单元输出第一检测电压时，设定单元接收第一检测电压而提高第一储存电压的电平。当第一控制单元输出第二检测电压时，设定单元接收第二检测电压而降低第一储存电压的电平。操作单元用以依据第一储存电压的电平，以选择性地启动闩锁并提供一第二储存电压。驱动单元被受控于第二储存电压，以提供一驱动信号。第二控制单元用以接收一第三检测电压，并依据驱动信号的电压电平，选择性地提供一警示信号，警示信号具有第三检测电压的电压电平。当第一储存电压大于一门限值时，操作单元启动闩锁并提供第二储存电压。驱动单元于第二储存电压的控制下，提供具有高电压电平的驱动信号来驱动第二控制单元，以使第二控制单元提供警示信号。为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。图1绘示依照本发明一实施例的监测方法的流程图。图2绘示依照本发明一实施例的晶片载入载出异常监测装置的方块图。图3A绘示图2的晶片载入载出异常监测装置的载台及其部分架构的一例的侧视图。图3B绘示图3A的载台所承载的晶片突出于载台的此侧时的侧视图。图4A至图4C分别绘示图3A的晶片被适当地载入、载出时、及载出后的侧视图。图5绘示为依据本发明一实施例的监测电路的一例的电路图。主要元件符号说明200:监测装置220:载台222:晶片240:传送机台242a:机械手臂242b:控制器260:监测电路262、266:感测单元264:检测单元264a:时间设定器264b:复位开关2641、2642:电压控制器2643:储存器2644:闩锁器2645:驱动器S1、S2:感测信号S120S160:流程步骤具体实施例方式请参照图l，其绘示依照本发明一实施例的监测方法的流程图。本监测方法用以监测一传送机台从一载台的一前侧载入或载出一晶片时是否发生异常，本监测方法包括下列步骤。于步骤S120中，提供一感测信息，此感测信息用以表示晶片是否突出于载台的一侧。于步骤S140中，依据感测信息判断晶片突出于载台的此侧的时间是否超过晶片被载入或载出的一预定时间。若超过此预定时间，则于步骤S160中，触发一异常事件。下面将应用本发明的监测方法的晶片载入载出异常监测装置说明如下。请参照图2，其绘示依照本发明一实施例的晶片载入载出异常监测装置200的方块图。监测装置200包括一感测单元262与一检测单元264。监测装置200用以监测位于一载台220中的晶体是否被异常地载入或载出。于本发明的一实施例中，监测装置200例如更包括一传送机台240。并请同时参照图3A，其绘示图2的晶片载入载出异常监测装置200的载台220及其部分架构的一例的侧视图。载台220用以承载一晶片222，载台220例如为一^f^式桌台(cassettetable)，而上述的晶片222例如是承载于卡式桌台的其中一个卡槽之内。传送机台240用以从载台220的一侧(例如前侧SD)载入或载出此晶片222。于实际操作中，传送机台240例如包括一机械手臂242a及一控制器242b。机械手臂242a用以在控制器242b的控制下，以进行载入载出晶片222的动作。如图3A所示，传送机台240的机械手臂242a是从载台220的此前侧SD来对此晶片222进行载入或载出的操作。感测单元262用以提供一感测信息(例如为一感测信号Sl)，其是用以表示晶片222是否突出(protrude)于载台220的此前侧SD。举例来说，请同时参照图3A及图3B。图3B绘示图3A的载台220所承载的晶片222突出于载台220的此前侧SD时的侧视图。如图3A及图3B所示，感测单元262例如包括一传送器Tx与一接收器Rx，且被设置于载台220的此前侧SD上。传送器Tx传送感测信号Sl至接收器Rx。检测单元264依据感测信号Sl的状态，来判断晶片222是否突出于载台220的此前侧SD。也就是说，于上述的例子中，当接收器Rx接收到此感测信号Sl时，此时，感测信号Sl未被遮断(block)，故可测量到一第一电压电平，此时，依据具有第一电压电平的此感测信号Sl，检测单元264便能得知晶片222并未突出于载台220的此前侧SD，如图3A所示。对应地，当接收器Rx未接收到此感测信号Sl时，此时，感测信号Sl会被遮断、故可测量到一第二电压电平，此时，依据具有第一电压电平的此感测信号Sl，检测单元264便能得知晶片222可能突出于载台220的此前侧SD，如图3B所示。如此，检测单元264便能依据感测信号Sl的电平(如上述的第一电压电平或第二电压电平)，来判断出晶片222是否突出于载台220的此前侧SD。当检测单元264依据感测信号Sl判断出晶片222突出于载台220的此前侧SD时，检测单元264进一步用以判断晶片222突出于载台220的此前侧SD的时间，是否超过一预定时间。若检测单元264判断超过此预定时间，则检测单元264会触发一异常事件。下面以对晶片222进行载出的操作来将上述的预定时间及异常事件说明如下。请参照图4A至图4C，其分别绘示图2的晶片222被适当地载入、载出时、及载出后的侧视图。当传送机台240适当地载入晶片222时，感测信号Sl是不会被遮断，如图4A所示。当传送机台240载出晶片222时，感测信号Sl将会被遮断，例如被机械手臂242a遮断，如图4B所示，如被机械手臂242a所拿取的晶片222所遮断。之后，感测信号Sl是被持续遮断，并于完成载出晶片222时恢复未被遮断的状态，如图4C所示。因此，于正常操作下，传送机台240在载出晶片222的此段过程所需的时间，可设定为上述的预定时间。替代地，载入晶片222所需的时间亦可设为此预定时间。当检测单元264判断超过此预定时间时，则可能表示此时的晶片222可能是突出于载台220的此前侧SD，例如是在载出晶片222之前即已突出于载台220的此前侧SD之外，或是载入晶片222时，晶片222未被完整地承载于载台220中而突出于载台220的此前侧SD之外。此时，若传送机台240再对此晶片222进行载入或载出的动作时，则可能对此晶片222造成损坏。因此，于本发明的实施例中，当检测单元264判断超过此预定时间时，检测单元264便会触发异常事件，以表示传送机台240在载入或载出晶片222时发生异常，如上述的例子中，晶片222未被正确地承载于载台220之中。再者，于此异常事件中，检测单元264还可关闭控制器242b的电源，以使机械手臂242a停止进行载入载出晶片222的动作。于实际操作中，此机械手臂242a例如为气压式的机械手臂，而控制器242b例如是通过驱动空气驱动器(airdriver)，来控制机械手臂242a的移动。因此，检测单元264可关闭此空气驱动器，以使机械手臂242a停止运作。如此，将可停止传送机台240对突出于载台220外的此晶片222进行载入或载出的动作，而避免对此晶片222造成损坏。此外，于一实际操作的例子中，传送机台240进一步用以移动载台220，以定位载台220至一操作位置。此操作位置为传送机台240可适当地载入或载出此晶片222的位置。此操作位置例如是图4A中以虚线所绘示的载台220的位置。于此实际操作的例子中，图2的监测装置200可更包括另一感测单元266，用以提供另一感测信息(例如是一感测信号S2)，以表示载台220是否定位于操作位置上。如此，在感测单元262提供感测信号Sl之前，检测单元264进一步用以依据感测信号S2判断载台220是否已被定位于此操作位置上。若已被定位于此操作位置上，则检测单元264才会致能感测单元262，以使感测单元262提供感测信号S1。再者，检测单元264还可包括一时间设定器264a。此时间设定器264a可用以设定上述的预定时间。而且，检测单元264可更包括一复位开关264b，用以响应于一外力以复位检测单元264。如此，当复位开关264b复位检测单元264时，检测单元264便会启动控制器264b的电源，并重新依据感测信号Sl进行判断的动作，例如重新执行步骤S140及S160。如此，于晶片222突出于载台220的前侧SD所导致的异常事件中，当使用者在排除此异常事件的原因之后，使用者便能施加此外力至复位开关264b，来复位检测单元264，以恢复正常的操作。本实施例的监测装置200例如可由以下所揭露的一监测电路来实现。请参照图5，其绘示为本发明一实施例的监测电路260的一例的电路图。于图5中，监测电路260包括感测单元262(未绘示于图5中)及检测单元264。检测单元264包括两个控制单元(例如两个电压控制器2641及2642)、一设定单元(例如一储存器2643)、一操作单元(例如一闩锁器2644)、与一驱动单元(例如一驱动器2645)。电压控制器2641用以接收一第一检测电压(例如一正电压VP1)及一第二检测电压(例如一接地电压GND)，并依据感测信号S1的电压电平，输出正电压VP1及接地电压GND的其中之一。储存器2643用以储存一第一储存电压V1。当电压控制器2641输出正电压VP1时，储存器2643接收正电压VP1而提高第一储存电压V1的电平。当电压控制器2641输出接地电压GND时，储存器2643接收接地电压GND而降低第一储存电压VI的电平。闩锁器2644用以依据第一储存电压VI的电平，以选择性地启动闩锁并提供一第二储存电压V2。驱动器2645是受控于第二储存电压V2，以提供一驱动信号Sd。电压控制器2642用以接收一第三检测电压(例如一正电压VP2)，并依据驱动信号Sd的电压电平，选择性地提供一警示信号So。警示信号So具有正电压VP2的电压电平。下面将监测电路260如何提供警示信号So的操作方式说明如下。当电压控制器92641依据感测信号SI输出正电压VP1而提高储存器2643的第一储存电压VI的电平、且使得第一储存电压VI大于一门限值时，闩锁器2644启动闩锁并提供第二储存电压V2。驱动器2645于第二储存电压V2的控制下，提供具有高电压电平的驱动信号Sd来驱动电压控制器2642，以使电压控制器2642提供警示信号So。进一步来说，于图5中，电压控制器2641包括一第一负载元件(例如一电阻器Rl)及一第一电控元件(例如一继电器RL1)。继电器RL1例如包括五个端点(pin)，例如包括一电源端PW1、一接地端G1、一共同端C0M1、一常开端N01、及一常闭端NC1。电源端PWl用以接收感测信号S1。接地端G1是经由第一电阻R1耦接至接地电压GND。常开端NOl用以接收正电压VP1。常闭端NC1用以接收接地电压GND。共同端C0M1用以输出正电压VP1及接地电压GND的其中之一。当感测信号SI为第一电压电平时，例如为低电压电平时，继电器RL1将不会被激磁，故共同端C0M1与常闭端NCI导通，以从共同端C0M1输出接地电压GND。而当感测信号SI为一第二电压电平时，例如为高电压电平时，继电器RL1将会被激磁，故继电器RL1被感测信号SI驱动使得共同端C0M1与常开端N01导通，以从共同端C0M1输出正电压VPl。储存器2643例如包括一第一吸收单元(例如一第一电容器CI)、一充电路径PT1、及一放电路径PT2。第一电容器C1的一端被耦接至接地电压GND，如连接点nl所示。第一电容器C1是用以储存第一储存电压V1。充电路径PT1包括一第二负载元件(例如一可变电阻VR)及一第一导流元件(例如一第一二极管D1)。可变电阻VR的一端被耦接至电容器C1的另一端，如连接点n2所示。第一二极管D1被耦接至可变电阻VR的另一端，如连接点n3所示。放电路径PT2包括一第三负载元件(例如一第二电阻R2)及一第二导流元件(例如一第二二极管D2)。第二电阻R2的一端被耦接至第一电容器C1的另一端，如连接点n4所示。第二二极管D2被耦接至第二电阻R2的另一端，如连接点n5所示。当电压控制器2641输出正电压VP1时，第一二极管D1导通，第一电容器C1经由可变电阻VR接收正电压VP1，以使第一电容器Cl进行充电而提高第一储存电压VI的电平。当电压控制器2641输出接地电压GND时，第二二极管D2导通，第一电容器Cl经由第二电阻R2接收接地电压GND，以使第一电容器Cl进行放电而降低第一储存电压VI的电平。再者，当第一电容器C1经由充电路径PT1上的可变电阻VR进行充电时，此时充电的时间常数可由第一电容器C1的电容值与可变电阻VR的阻抗值所决定。故知，改变可变电阻VR的阻抗值，即可改变充电的时间常数。因此，通过对应地设计第一电容器C1与可变电阻VR的特性，可达到改变第一电容器C1的充电时间的目的。故设定单元(包括第一电容器Cl与可变电阻VR)的功能可实质上等效于图2的时间设定器264a。闩锁器2644包括一第四负载元件(例如一第三电阻器R3)、一第二吸收元件(例如一第二电容器C2)、一第一逻辑栅(例如一第一或门0R1)及一第二逻辑栅(例如一第二或门0R2)。第三电阻器R3及第二电容器C2为串联。第一或门0R1包括一输入端IN1、一输入端IN2、及一输出端0T1。输入端IN1用以接收第一储存电压V1。输入端IN2耦接至接地电压GND。输出端0T1用以依据第一储存电压V1的电平，输出一第三储存电压V3。第二或门0R2包括输入端IN3、一输入端IN4、及一输出端0T2。输入端IN3用以接收第三储存电压V3。输入端IN4用以接收一第四储存电压V4。输出端0T2用以依据第三储存电压V3及第四储存电压V4的电压电平，输出第二储存电压V2。输出端0T2是经由串联的第三电阻器R3及第二电容器C2耦接至接地电压GND，以于第三电阻器R3及第二电容器C2的串联连接点n6上产生第四储存电压V4，并返回至输入端IN4。于图5中，检测单元264更包括一缓冲器2646。缓冲器2646包括相互串联的两反相栅INV1及INV2。闩锁器2644是用以经由两反相栅INV1及INV2，以接收第一储存电压VI。当第一储存电压VI大于门限值时，例如大于可使第一或门0R1进入操作状态的电压值时，第一或门0R1输出具有高电压电平的第三储存电压V3，且第二或门0R2输出具有高电压电平的第二储存电压V2，并产生具有高电压电平的第四储存电压V4，以使闩锁器2644启动闩锁并提供第二储存电压V2。再者，检测单元264可更包括上述的复位开关264b，其被耦接至输出端0T2，用以响应于外力耦接第二电容器C2至接地电压GND，来降低第四储存电压V4的电平，以使闩锁器2644解除闩锁，而不再提供第二储存电压V2。驱动器2645包括一第五负载单元(例如一第四电阻器R4)及一切换单元(例如一晶体管Q)。晶体管Q包括三个端，其对应地至一基极端B、一集极端C、及一射极端E。基极端B用以经由第四电阻器R4接收第二储存电压V2。集极端C耦接至正电压VP1。射极端E用以输出驱动信号Sd。当第二储存电压V2具有高电压电平时，晶体管Q提供具有高电压电平的驱动信号Sd。电压控制器2642包括一第二电控单元(例如一继电器RL2)。继电器RL2亦例如包括五个端点，例如包括一电源端PW2、一接地端G2、一共同端C0M2、一常开端N02、一常闭端NC2。电源端PW2用以接收驱动信号Sd。接地端G2被耦接至接地电压GND。共同端C0M2用以接收正电压VP2。常开端N02用以选择性地提供警示信号So。常闭端NC2可浮接，亦可作为其它应用所使用。其中，继电器RL2于具有高电压电平的驱动信号Sd的驱动下，继电器RL1将会被激磁，以从常开端N02提供警示信号So。故知，于图5所绘示的电路图中，当此晶片突出于载台外时，感测信号S1的电压电平将会改变，此监测电路260便可依据感测信号Sl的电压电平的改变，来进行电性信号的传递，以产生上述的警示信号So。如此，便可通过此警示信号So来停止传送机台对晶片执行载入或载出的动作。如此，可避免对此晶片造成损坏。此外，于另一实施例中，操作单元可替代性地由一计数器来实现。此计数器是利用计数的方式来计算第一储存电压V1高于此门限值的时间，并据以选择性致能与选择性地提供第二储存电压V2。于再一实施例中，电控元件可替代性地由一比较器所实现。举例来说，第一电控元件可由一比较器来实现。此比较器是用来比较第一感测信息的位置与一预定电压值，并据以决定输出第一检测电压与第二检测电压的其中之一。相仿地，第二电控元件亦可由另一比较器来实现，其实现方法不于此重述。于又一实施例中，吸收元件可替代地性由一金属半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-SemiconductorField-EffectTransistor,M0SFET)来实现，而导流元件亦可由M0SFET来实现。于上述所揭露的实施例中，如何以元件来实现监控电路仅是用以说明而为之，本发明并不被限定只能以所揭露的元件来实现。本发明上述实施例所揭露的监测电路、晶片载入载出异常监测装置及其监测方法，通过提供一感测信息，以表示晶片是否突出于载台的一侧，并依据此感测信号判断晶片突出于载台的此侧的时间是否超过传送机台用以载入或载出晶片的预定时间。如此，可在晶片突出于载台的此侧之外时，触发一异常事件，以表示传送机台在载入载出晶片时发生异常。再者，于此异常事件中，还可停止机台对此晶片进行载入或载出的动作，来避免对此晶片造成损坏。综上所述，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属
技术领域：
中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求所界定的范围为准。权利要求一种晶片载入载出异常监测装置，其特征在于，包括一第一感测单元，用以提供一第一感测信息，该第一感测信息用以表示一晶片是否突出于一载台的一侧；及一检测单元，用以依据该第一感测信息，判断该晶片突出于该载台的该侧的时间是否超过该晶片被载入或载出的一预定时间，若超过该预定时间，则该检测单元进一步用以触发一异常事件。2.根据权利要求1所述的监测装置，其特征在于，更包括一传送机台，该传送机台包括一机械手臂及一控制器，其中该机械手臂用以在该控制器的控制下进行载入载出该晶片的动作；其中，当该检测单元触发该异常事件时，该检测单元进一步用以关闭该控制器的电源，以使该机械手臂停止进行载入载出该晶片的动作。3.根据权利要求2所述的监测装置，其特征在于，该检测单元包括一复位开关，用以响应于一外力以复位该检测单元，当该复位开关复位该检测单元时，该检测单元启动该控制器的电源，并重新依据该第一感测信息进行判断的动作。4.根据权利要求2所述的监测装置，其特征在于，该传送机台进一步用以移动该载台，以定位该载台至一操作位置，该操作位置可使该传送机台载入或载出该晶片，该监测装置更包括一第二感测单元，用以提供一第二感测信息，该第二感测信息用以表示该载台是否定位于该操作位置上；其中，在该第一感测单元提供该第一感测信息之前，该检测单元进一步用以依据该第二感测信息判断该载台是否已被定位于该操作位置上，若已被定位于该操作位置上，则该检测单元致能该第一感测单元，以使该第一感测单元提供该第一感测信息。5.—种监测方法，用以监测一传送机台从一载台的一侧载入或载出一晶片时是否发生异常，其特征在于，该方法包括提供一第一感测信息，该第一感测信息用以表示该晶片是否突出于该载台的该侧；以及依据该第一感测信息判断该晶片突出于该载台的该侧的时间，是否超过该晶片被载入或载出的一预定时间，若超过该预定时间，则触发一异常事件。6.根据权利要求5所述的监测方法，其特征在于，该传送机台包括一机械手臂及一控制器，该机械手臂用以在该控制器的控制下进行载入载出该晶片的动作，其中，触发该异常事件的步骤包括关闭该控制器的电源，以使该机械手臂停止进行载入载出该晶片的动作。7.根据权利要求6所述的监测方法，其特征在于，在关闭该控制器的电源的步骤之后，该方法更包括响应于一外力启动该控制器的电源，并重新执行判断的步骤。8.根据权利要求5所述的监测方法，其特征在于，该传送机台进一步用以移动该载台，以定位该载台至一操作位置，该操作位置可使该传送机台载入或载出该晶片，其中在提供该第一感测信息的步骤之前，该方法更包括提供一第二感测信息，该第二感测信息用以表示该载台是否定位于该操作位置上；以及依据该第二感测信息判断该载台是否已被定位于该操作位置上，若该载台已被定位于该操作位置上，则执行提供该第一感测信息的步骤。9.一种监测电路，其特征在于，包括一第一感测单元，用以提供一第一感测信息；以及一检测单元，包括一第一控制单元，用以接收一第一检测电压及一第二检测电压，并依据该第一感测信息的电压电平，输出该第一检测电压及该第二检测电压的其中之一；一设定单元，用以储存一第一储存电压，当该第一控制单元输出该第一检测电压时，该设定单元接收该第一检测电压而提高该第一储存电压的电平，当该第一控制单元输出该第二检测电压时，该设定单元接收该第二检测电压而降低该第一储存电压的电平；一操作单元，用以依据该第一储存电压的电平，以选择性地启动闩锁并提供一第二储存电压；一驱动单元，受控于该第二储存电压，以提供一驱动信号；及一第二控制单元，用以接收一第三检测电压，并依据该驱动信号的电压电平，选择性地提供一警示信号，该警示信号具有该第三检测电压的电压电平；其中，当该第一控制单元依据该第一感测信息输出该第一检测电压而提高该设定单元的该第一储存电压的电平、且使得该第一储存电压大于一门限值时，该操作单元启动闩锁并提供该第二储存电压，该驱动单元于该第二储存电压的控制下，提供具有高电压电平的该驱动信号来驱动该第二控制单元，以使该第二控制单元提供该警示信号。10.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，该第一控制单元包括一第一负载元件及一第一电控元件，该第一电控元件包括一第一端，用以接收该第一感测信息；一第二端，是经由该第一负载元件耦接至该第二检测电压；一第三端，用以接收该第一检测电压；一第四端，用以接收该第二检测电压；以及一第五端，用以输出该第一检测电压及该第二检测电压的其中之一；其中，当该第一感测信息具有一第一电压电平时，该第五端与该第四端导通，以从该第五端输出该第二检测电压，而当该第一感测信息具有一第二电压电平时，该第一电控元件被该第一感测信息驱动使得该第五端与该第三端导通，以从该第五端输出该第一检测电压。11.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，该设定单元包括一第一吸收元件，用以储存该第一储存电压，该第一吸收元件的一端被耦接至该第二检测电压；一充电路径，包括一第二负载元件，其一端被耦接至该第一吸收元件的另一端；及一第一导流元件，被耦接至该第二负载元件的另一端；以及一放电路径，包括一第三负载元件，其一端被耦接至该第一吸收元件的该另一端；及一第二导流元件，被耦接至该第三负载元件的另一端；其中，当该第一控制单元输出该第一检测电压时，该第一导流元件导通，该第一吸收元件的该另一端经由该第二负载元件接收该第一检测电压，以使该第一吸收元件进行充电而提高该第一储存电压的电平；其中，当该第一控制单元输出该第二检测电压时，该第二导流元件导通，该第一吸收元件的该另一端经由该第三负载元件接收该第二检测电压，以使该第一吸收元件进行放电而降低该第一储存电压的电平。12.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，该操作单元包括一第四负载元件及一第二吸收元件，为相互串联；一第一逻辑栅，包括一第一输入端，用以接收该第一储存电压；一第二输入端，耦接至该第二检测电压；及一第一输出端，用以依据该第一储存电压的电平，输出一第三储存电压；以及一第二逻辑栅，包括一第三输入端，用以接收该第三储存电压；一第四输入端，用以接收一第四储存电压；及一第二输出端，用以依据该第三储存电压及该第四储存电压的电压电平，输出该第二储存电压，该第二输出端是经由串联的该第四负载元件及该第二吸收元件耦接至该第二检测电压，以于该第四负载元件及该第二吸收元件的串联连接点上产生该第四储存电压，并返回至该第四输入端；其中，当该第一储存电压大于可使该第一逻辑栅进入操作状态的该门限值时，该第一逻辑栅输出具有高电压电平的该第三储存电压，且该第二逻辑栅输出具有高电压电平的该第二储存电压，并产生具有高电压电平的该第四储存电压，以使该操作单元启动闩锁并提供该第二储存电压。13.根据权利要求12所述的监测电路，其特征在于，更包括一复位开关，被耦接至该第二输出端，用以响应于一外力耦接该第二吸收元件至该第二检测电压，来降低该第四储存电压的电平，以使该操作单元解除闩锁。14.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，该驱动单元包括一第五负载元件；以及一切换元件，包括一第一端，用以经由该第五负载元件接收该第二储存电压；一第二端，耦接至该第一检测电压；及一第三端，用以输出该驱动信号；其中，当该第二储存电压具有高电压电平时，该切换元件提供具有高电压电平的该驱动信号。15.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，第二控制单元包括一第二电控元件，其包括一第一端，用以接收该驱动信号；一第二端，被耦接至该第二检测电压；一第三端，用以选择性地提供该警示信号；以及一第五端，用以接收该第三检测电压；其中，该第二电控元件是在具有高电压电平的该驱动信号的驱动下，以从该第三端提供该警示信号。16.根据权利要求9所述的监测电路，其特征在于，该检测单元更包括一缓冲器，该缓冲器包括相互串联的一第一反相栅及一第二反相栅；其中，该操作单元是用以经由该第一反相栅及该第二反相栅来接收该第一储存电压。全文摘要本发明公开了一种监测电路、监测装置及其监测方法。一种晶片载入载出异常监测装置，包括一感测单元及一检测单元。感测单元用以提供一感测信息，感测信息用以表示晶片是否突出于一载台的一侧。检测单元用以依据感测信息来判断晶片突出于载台的此侧的时间是否超过晶片被载入或载出的一预定时间，若超过预定时间，则检测单元进一步用以触发一异常事件。文档编号H01L21/00GK101783282SQ200910168200公开日2010年7月21日申请日期2009年9月3日优先权日2009年1月20日发明者周义芳,林文墉申请人:旺宏电子股份有限公司