专利名称：Pvd工艺的半导体生产设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体生产设备，具体涉及一种PVD工艺的半导体生产设备。
背景技术：
目前使用的进行PVD (Physical Vapor D印osition物理气相沉积)工艺的半导体 生产设备，是美国应用材料公司生产的ENDURA设备。该设备配备有漏电流保护开关，但无 漏电流监视系统，如有单个部件产生漏电流，会导致设备整体下电，这给设备的故障诊断和 设备的修复带来很多问题。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种PVD工艺的半导体生产设备，它可以 对PVD工艺设备的漏电流进行在线监测。为解决上述技术问题，本实用新型PVD工艺的半导体生产设备的技术解决方案 为包括PVD工艺设备；所述PVD工艺设备设置有漏电流监视系统。所述漏电流监视系统包括多个感应线圈、数据采集器、数据处理装置，所述PVD工 艺设备的各用电部件中线分别设有外接的感应线圈，感应线圈通过信号线连接数据采集 器，数据采集器连接数据处理装置。所述多个感应线圈共用一个数据采集器。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型通过对PVD工艺设备设置漏电流监视系统，能够实现对设备各用电部 件中线的漏电流监视。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是本实用新型PVD工艺的半导体生产设备的示意图。图中附图标记说明1、2. ..η为各设备中线，10为感应线圈，20为数据采集器，30为PC电脑。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型PVD工艺的半导体生产设备，包括PVD工艺设备 (ENDURA)，设备各用电部件中线1、2... η分别设有外接的感应线圈10，感应线圈10通过信 号线连接数据采集器20，数据采集器20连接数据处理装置(PC电脑)30。多个感应线圈10 共用一个数据采集器20。[0016]本实用新型通过感应线圈检测PVD工艺设备用电部件中线的电流，并将采集到的 电流信号传递至数据采集器，数据采集器将输入的电流信号转换至输出ANALOG (模拟)信 号并经过USB接口传送至PC电脑，PC电脑显示并记录电流信号数据，且设定报警值，同时对 输入的电流信号的变化趋势进行分析判断，若某一路漏电流超过设定值则显示报警信号， 从而实现对设备各用电部件中线的漏电流监视，实现设备的漏电流监视功能。本实用新型在监测设备漏电流的过程中，能够通过漏电流的变化防止设备下电，在设备下电状态下也可通过监视履历判断有瞬间漏电流的部件。
权利要求一种PVD工艺的半导体生产设备，包括PVD工艺设备；其特征在于所述PVD工艺设备设置有漏电流监视系统。
2.根据权利要求1所述的PVD工艺的半导体生产设备，其特征在于所述漏电流监视 系统包括多个感应线圈、数据采集器、数据处理装置，所述PVD工艺设备的各用电部件中线 分别设有外接的感应线圈，感应线圈通过信号线连接数据采集器，数据采集器连接数据处 理装置。
3.根据权利要求2所述的PVD工艺的半导体生产设备，其特征在于所述多个感应线 圈共用一个数据采集器。
专利摘要本实用新型公开了一种PVD工艺的半导体生产设备，包括PVD工艺设备；所述PVD工艺设备设置有漏电流监视系统。所述漏电流监视系统包括多个感应线圈、数据采集器、数据处理装置，所述PVD工艺设备的各用电部件中线分别设有外接的感应线圈，感应线圈通过信号线连接数据采集器，数据采集器连接数据处理装置。本实用新型通过对PVD工艺设备设置漏电流监视系统，能够实现对设备各用电部件中线的漏电流监视。
文档编号H01L21/00GK201576664SQ20092007472
公开日2010年9月8日 申请日期2009年11月26日 优先权日2009年11月26日
发明者严骏, 蒋金弟 申请人:上海华虹Nec电子有限公司