专利名称：离子源的电弧体及其固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种离子源的电弧体及其固定装置，旨在提供一种离子植入机灯
丝电弧反应室的夹持固定装置。
背景技术：
半导体工业生产应用许多不同制程步骤以制造集成电路于一半导体晶片上，离子植入为另一常用于晶圆上制造积体电路的制程步骤，离子植入为一种掺杂的形式，为一种物理制程，其涉及使用一高压离子撞击将高能量离子打入基底中，此在晶圆上制造电路的制程步骤中常接于显影步骤后。 离子植入制程于一离子植入机完成，晶圆带电为一种常见于离子植入制程中的现象，这种现象可能引发晶圆的过度电荷累积，导致离子束电荷失去平衡及爆炸，结果造成晶片上有一相当大支离子分布变异量。过度电荷累积同时也损害到晶片的氧化物，导致组件可信度的问题，以及晶片中绝缘层电崩溃与不佳的组件良率等问题。 晶圆带电可使用一电浆泛注统加以控制，将晶圆置于一稳定且高密度电浆环境
中，得自电弧反应室氩及疝气电将的低能量，电子引入离子束中，将电子带至晶圆表面以中
和晶圆表面所带的正电，且该电子能量需够低以避免晶圆产生负充电现象。 如图1、图2及图3所示的离子源夹持装置10即为一般习知用以中和受离子植入
而带正电的晶圆的电浆泛注系统使用离子源夹持装置，其包含一电弧座体内设一灯丝由一
杆体套合，而该杆体的穿孔穿入该夹持组件再加以使用治具，藉此达到固定电弧座体及灯
丝的目的。 惟，上揭所示习用离子源夹持装置所用的夹持组件易造成开口变形，而使杆体与夹持组件接触移位，并导致固定电弧座体及灯丝位置倾斜，影响离子束电荷失去平衡，结果造成晶片上离子分布变异。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的主要目的即在提供一种方便使用者调整、操作，而且结构相对较为稳固、可靠的离子源的电弧体及其固定装置。
本实用新型的技术方案为一种离子源的电弧体及其固定装置，包含有一电弧
座体，设有一环体件及一底座，该环体件及该底座形成有一开口容置空间，该底座设一贯穿
孔；一杆体，其设有一卡座部，且该杆体其一端插设入该电弧座体的贯穿孔。 更包含夹持组件、卡块及固定件，该电弧座体设有一环体件及一底座，该环体件及
该底座形成有一开口容置空间，该底座设一贯穿孔俾使杆体一端插设，且该杆体另端穿入
夹持组件所设的滑孔，而该卡块一侧衔接夹持组件的容部面，同时该卡块另侧衔接卡座部，
并藉由该槽口可活动设于该容部槽，最后该一固定件抵接夹持组件的固定面，并固锁于该
杆体的另端。
本实用新型的离子源的电弧体及其固定装置具有方便调整、操作的优点；另外，当调整动作完成之后，该固定件抵接夹持组件稳固结合，本实用新型的优点在于一、其为固定式，可固定电弧组件(电弧座体及杆体)。二、夹持组件不会滑动，电弧组件不致有偏移的虞，故整体结构相对较为稳固、可靠，进而延长离子源使用寿命。三、确保电弧体与灯丝之间的最佳位置，以提供离子源优化效率，及降低耗材使用率。
图1为习用离子源夹持装置的结构示意图； 图2为习用离子源夹持装置的夹持组件结构示意图； 图3为习用离子源夹持装置的结构组合示意图； 图4为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的结构示意图； 图5为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的立体分解图； 图6为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的另一立体分解图； 图7A为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的第一实施例a距离结构示意
图； 图7B为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的第一实施例另一 a距离结构示意图； 图8为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的固定件结构示意图； 图9为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的再一结构示意图； 图10为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的第二实施例立体分解图； 图11为本实用新型离子源的电弧体及其固定装置的第二实施例另一立体分解图。图号说明电弧座体10环体件ll底座12容置空间13贯穿孔122杆体20卡座部21卡座面211外螺牙22夹持组件30滑孔31容部槽32容部面321固定面33沟槽34卡块40固定件50灯丝60电弧座体70杆体80 夹持组件90
具体实施方式本实用新型的特点，可参阅本案图式及实施例的详细说明而获得清楚地了解。[0036] 如图4、图5及图6所示，本实用新型的离子源的电弧体及其固定装置包括有一电弧座体IO，设有一环体件11及一底座12，该环体件11及该底座12形成有一开口容置空间13，该底座12设一贯穿孔122 ;[0037] —杆体20，其设有一卡座部21，且该杆体20其一端插设入该电弧座体10的贯穿孔122 ; —夹持组件30，其设一贯穿的滑孔31及一容部槽32，该滑孔31可令该杆体20的另端穿入，且该杆体20的卡座部21并设于该容部槽32，另该容部槽32形成有一容部面321 ;该夹持组件设一架设孔，该夹持组件由架设孔固设在治具上。 —卡块40，其设一槽口 ，该槽口设于杆体20上，且该卡块40 —侧衔接夹持组件30的容部面321，而该卡块40另侧衔接卡座部21并可活动设于该容部槽32 ;[0040] —固定件50，其固设于该杆体20的另端，且抵接夹持组件30的固定面33。[0041] 据以，如图7A及图7B所示，为本实用新型的第一实施例，其中，该电弧座体10的容置空间13装设一灯丝60，该灯丝固设于另一治具上，该灯丝60与电弧座体10的底座12形成一 a距离，其中该卡块40密合装设于卡座部21及容部槽32间时，a距离为零；该卡块40自卡座部21及容部槽32间抽离时，移动杆体20以使卡座部21及容部槽32密合，此时该a距离为该卡块40的厚度，而该卡块40的最佳厚度为0. 6mm。 如图8所示，该杆体20另端设有螺牙，该固定件50可为螺帽，或该固定件50可为该夹持组件30设内螺牙于滑孔31内，以俾使整体组件装设完成，再将杆体20配合固定件50锁紧固定。 本实用新型的优点在于 1、其为固定式，可固定电弧组件Cathode (电弧座体及杆体)。 2、本装置夹持组件不滑动，电弧组件不致有偏移之虞，故整体结构相对较为稳固、可靠，进而延长离子源使用寿命。 3、确保电弧体与灯丝之间的最佳位置，以提供离子源优化效率，及降低耗材使用率。 又如图9所示，本实用新型的一种离子源的电弧体及其固定装置，包括有 —电弧座体10，设有一环体件11及一底座12，该环体件11及该底座12形成有一
开口容置空间13，该底座12设一贯穿孔122 ; —杆体20，其设有一卡座部21，且该杆体20其一端插设入该电弧座体10的贯穿孔122 ; —夹持组件30，其设一贯穿的滑孔31及一容部槽32，该滑孔31可令该杆体20的另端穿入，另该容部槽32形成有一容部面321 ; —卡块40，其设一槽口 ，该槽口设于杆体20上，且该卡块40 —侧衔接夹持组件30
的容部面321，而该卡块40另侧衔接卡座部21，活动设于该容部槽32 ; —灯丝60，其固设于电弧座体10的容置空间13，并与底座12形成一距离；该距离
等于该卡块40的厚度。 再如图10及图11所示，为本实用新型的第二实施例，其中该夹持组件30的容部槽32侧边的凸垣上设有一沟槽34，该沟槽34与容部槽32间形成有一距离a (其最佳距离为0. 6mm)。而杆体20的卡座部21相对沟槽34位置设有一切面使卡座部21形成一单向卡座面211。 据以，当组合时由杆体20的卡座面211先卡置于容部槽32的容部面321上，当灯丝60固定后再将卡座面211旋转一定角度脱离容部面321而卡置于容部槽32的侧边的沟槽34上，再以固定件50固设于该杆体20的另端，同样可以达到相同功能。 综上所述，本实用新型提供一较佳可行的离子源的电弧体及其固定装置，爰依法
提呈新型专利的申请；本实用新型的技术内容及技术特点巳揭示如上，然而熟悉本项技术
的人士仍可能基于本实用新型的揭示而作各种不背离本案实用新型精神的替换及修饰。因
此，本实用新型的保护范围应不限于实施例所揭示者，而应包括各种不背离本实用新型的
替换及修饰，并为以下的申请专利范围所涵盖。
权利要求一种离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，包含有一电弧座体，设有一环体件及一底座，该环体件及该底座形成有一开口容置空间，该底座设一贯穿孔；一杆体，其设有一卡座部，且该杆体其一端插设入该电弧座体的贯穿孔。
2. 如权利要求1所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，更包含有一夹持组件，其设一贯穿的可令该杆体的另端穿入的滑孔及一容部槽，且该杆体的卡座部并设于该容部槽，另该容部槽形成有一容部面；一卡块，其设一槽口 ，该槽口设于杆体上，且该卡块一侧衔接夹持组件的容部面，而该卡块另侧衔接卡座部并可活动设于该容部槽；一固定件，其固设于该杆体的另端，且抵接夹持组件的固定面。
3. 如权利要求2所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该夹持组件设一架设孔，该夹持组件由架设孔固设在治具上。
4. 如权利要求1或2所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该电弧座体的容置空间装设一灯丝，该灯丝固设于另一治具上，该灯丝与电弧座体的底件形成一距离；该卡块密合装设于卡座部及容部槽间时，距离为零；该卡块自卡座部及容部槽间抽离时，移动杆体以使卡座部及容部槽密合，此时该距离为该卡块的厚度。
5. 如权利要求2所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该卡块的厚度为0. 6mm。
6. 如权利要求2所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该杆体另端设有螺牙，该固定件为螺帽或为该夹持组件设内螺牙于滑孔内。
7. 如权利要求1所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，更包含有一夹持组件，其设一贯穿的滑孔及一容部槽，该滑孔可令该杆体的另端穿入，且该杆体的卡座部并设于该容部槽，另该容部槽形成有一容部面；一卡块，其设一槽口 ，该槽口设于杆体上，且该卡块一侧衔接夹持组件的容部面，而该卡块另侧衔接卡座部，活动设于该容部槽；一灯丝，其固设于电弧座体的容置空间，并与底件形成一距离；该距离等于该卡块的厚度。
8. 如权利要求7所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该夹持组件设一架设孔，该夹持组件由架设孔固设在治具上；该灯丝固设于另一治具上，该杆体另端设有螺牙，该杆体设一固定件，以使该杆体的螺牙配合装设，该固定件为螺帽或为该夹持组件的滑孔内设内螺牙。
9. 如权利要求l所述的离子源的电弧体及其固定装置，其特征在于，该卡座部形成一单向卡部，且该杆体其一端插设入该电弧座体的贯穿孔；更包含一夹持组件，其设一贯穿的可令该杆体另端穿入的滑孔及一容部槽，且该杆体的卡座部并设于该容部槽，另该容部槽形成有一容部面，容部槽侧边的凸垣上设有一沟槽，该沟槽与容部槽间形成有一距离，进一步设有一固定件。
专利摘要本实用新型离子源的电弧体及其固定装置，由电弧座体、杆体、夹持组件、卡块及固定件相互套接构成；电弧座体设有环体件及底座，该环体件及该底座形成有开口容置空间，该底座设贯穿孔，而杆体设有卡座部；另该夹持组件设滑孔及容部槽，且该杆体卡座部设于该容部槽，该容部槽形成有容部面；卡块设槽口，槽口设于杆体上，且该卡块一侧衔接夹持组件的容部面；而该卡块另侧衔接卡座部并可活动设于该容部槽，该杆体的另端固设固定件，该抵接固定件夹持组件的固定面。本实用新型优点在于为固定式，可固定电弧组件，夹持组件不会滑动，亦可强化其寿命，故整体结构相对较为稳固、可靠。确保电弧体与灯丝之间的最佳位置，提供离子源优化效率，降低耗材使用率。
文档编号H01L21/265GK201503846SQ200920151948
公开日2010年6月9日 申请日期2009年5月5日 优先权日2009年5月5日
发明者郑敦元 申请人:郑敦元