专利名称：基板夹取装置的制作方法
技术领域：
本发明关于一种基板夹取装置，尤其涉及一种具有浮动单元的基板夹取装置。
背景技术：
请参见图IA和图1B，图IA所示为现有技术中的基板夹取装置夹取基板时的俯视 图；图IB所示为现有技术中的基板夹取装置夹取基板时的正视图。现有技术中，基板夹取 装置1包括夹持单元2以及基板定位结构3，其中基板4为显示面板。夹持单元2用以夹取 放置于基板定位结构3上的显示面板4，图IA中的基板定位结构3具有承载台5。夹持单 元2包括平行且相对设置的第一夹臂6以及第二夹臂7，第一夹臂6以及第二夹臂7在滑 轨8上可相对运动，并分别用以夹持于显示面板4的相对两侧面。但是如图IA和图IB中 所示，目前使用的显示面板4 一般在夹取前会先进行定位，如果显示面板4本身的位置发生 偏移，那么在定位后夹取显示面板4会导致夹取单元2中单侧夹臂如第一夹臂6受力损坏； 或者由于显示面板4定位不良时导致显示面板4单侧受到夹取单元2的应力，导致显示面 板4损坏。
发明内容
因此，本发明的目的之一在于提供一种基板夹取装置，利用气浮单元使在夹取基 板时基板定位结构能在一定范围内自由浮动，减少由于基板位置发生偏移而导致夹取单元 或基板损坏的情况。为达上述目的，本发明提供一种基板夹取装置，该基板夹取装置包括夹持单元、基 板定位结构以及气浮单元。夹持单元用以夹取基板；该基板放置于该基板定位结构上；该 气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出 空气而使该基板定位结构浮起。进一步地，该夹持单元包括平行且相对设置的第一夹臂以及第二夹臂，该第一夹 臂以及该第二夹臂作相对运动，并分别用以夹持该基板的相对两侧面。进一步地，该夹持单元还包括控制机构，用以控制该第一夹臂以及该第二夹臂的 移动。进一步地，该气浮单元包括气源结构以及多个气孔，该些气孔连接于该气源结构。进一步地，该气浮单元还包括通孔，该通孔连通该些气孔以及该气源结构。进一步地，该气浮单元还包括平台，相对该基板定位结构设置于该第一侧，该些气 孔设置于该平台上。进一步地，气浮单元还包括空压节流阀，控制该些气孔的流量大小。进一步地，该基板为液晶显示面板。与现有技术相比，本发明的基板夹取装置具有气浮单元，利用基板夹取装置进行 基板夹取移动时，气浮单元可使基板定位结构能在一定范围内浮动，有效避免由于基板位 置发生偏移而导致夹取单元或基板损坏的情况。
关于本发明的优点与精神可以藉由以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图IA所示为现有技术中的基板夹取装置夹取基板时的俯视图；图IB所示为现有技术中的基板夹取装置夹取基板时的正视图；图2所示为根据本发明的基板夹取装置的示意图；图3所示为根据本发明的基板夹取装置的立体示意图；图4A所示为沿图3中的AA’线的剖视图；图4B所示为图3中的气浮单元工作时基板夹取装置的示意图。
具体实施例方式请参见图2，图2所示为根据本发明的基板夹取装置的示意图。本发明提供一种基 板夹取装置10，基板夹取装置10包括夹持单元11、基板定位结构12以及气浮单元。夹持 单元11用以夹取基板14，其中基板14例如为液晶显示面板，当然也并不以此为限，也可以 为玻璃基板等。基板14放置于基板定位结构12上，本实施方式中，基板定位结构12仅以 承载台表示，但事实上基板定位结构12的结构并不做限制。气浮单元设置于基板定位结构 12远离基板14的第一侧15，气浮单元朝基板定位结构12喷出空气R而使基板定位结构12 浮起。请参见图3和图4A，图3所示为根据本发明的基板夹取装置的立体示意图，图4A 所示为沿图3中的AA’线的剖视图。本实施方式中，夹持单元11包括平行且相对设置的第 一夹臂16以及第二夹臂17，第一夹臂16以及第二夹臂17可作相对运动，并分别用以夹持 基板14的相对两侧面，进而对基板14进行夹取动作。本实施方式中是将第一夹臂16和第 二夹臂17架设于滑轨20上，使得第一夹臂16与第二夹臂17可在滑轨20上自由滑动。其 中第一夹臂16以及第二夹臂17的移动可通过手工操作，但在实际使用中，较佳地，夹持单 元11还包括控制机构(图中未示出)，用以控制第一夹臂16以及第二夹臂17的移动，以实 现自动化操作。本实施方式中，气浮单元13的结构例如可采用图3中的结构，当然也并比以此为 限。气浮单元13包括气源结构18以及多个气孔19，这些气孔19连接于气源结构18。本 实施方式中，气浮单元13还包括通孔21，通孔21连通这些气孔19以及气源结构18。而且，本实施方式中，气浮单元13还包括平台22，相对基板定位结构12设置于第 一侧15，这些气孔19设置于平台22上，而且通孔21也设置于平台22内，从而将这些气孔 19以及气源结构18连通。进一步地，气浮单元13例如还可包括空压节流阀(图中未示 出)，控制这些气孔19的流量大小。气源结构18产生的高压空气R经由通孔21与气孔19 流出，并且可根据各种实际情况，如基板14的尺寸或重量等，由空压节流阀调整气孔19的 气流量大小。如图4B所示，图4B所示为图3中的气浮单元工作时基板夹取装置的示意图。 当夹取单元11夹取基板14时，上述气浮单元13的设计可产生气浮效果，使得基板定位结 构12能自平台22表面浮起，并可在一定范围内浮动，如此防止基板14或夹取单元11的夹 臂损坏。
综上所述，本发明的基板夹取装置具有气浮单元，利用基板夹取装置进行基板夹取移动时，可使基板定位结构能在一定范围内浮动，有效避免由于基板位置发生偏移而导 致夹取单元或基板损坏的情况。藉由以上较佳具体实施例的详述，是希望能更加清楚描述本发明的特征与精神， 而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的保护范围加以限制。相反地，其目的 是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的权利要求的保护范围内。因 此，本发明所申请的权利要求的保护范围应该根据上述的说明作最宽广的解释，以致使其 涵盖所有可能的改变以及具相等性的安排。
权利要求
一种基板夹取装置，其特征在于该基板夹取装置包括夹持单元，用以夹取基板；基板定位结构，该基板放置于该基板定位结构上；以及气浮单元，该气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出空气而使该基板定位结构浮起。
2.如权利要求1所述的基板夹取装置，其特征在于该夹持单元包括平行且相对设置的 第一夹臂以及第二夹臂，该第一夹臂以及该第二夹臂作相对运动，并分别用以夹持该基板 的相对两侧面。
3.如权利要求1所述的基板夹取装置，其特征在于该夹持单元还包括控制机构，用以 控制该第一夹臂以及该第二夹臂的移动。
4.如权利要求1所述的基板夹取装置，其特征在于该气浮单元包括气源结构以及多个 气孔，该些气孔连接于该气源结构。
5.如权利要求4所述的基板夹取装置，其特征在于该气浮单元还包括通孔，该通孔连 通该些气孔以及该气源结构。
6.如权利要求4所述的基板夹取装置，其特征在于该气浮单元还包括平台，相对该基 板定位结构设置于该第一侧，该些气孔设置于该平台上。
7.如权利要求4所述的基板夹取装置，其特征在于气浮单元还包括空压节流阀，控制 该些气孔的流量大小。
8.如权利要求1所述的基板夹取装置，其特征在于该基板为液晶显示面板。
全文摘要
本发明揭露一种基板夹取装置，该基板夹取装置包括夹持单元、基板定位结构以及气浮单元。夹持单元用以夹取基板；该基板放置于该基板定位结构上；该气浮单元设置于该基板定位结构远离该基板的第一侧，该气浮单元朝该基板定位结构喷出空气而使该基板定位结构浮起。本发明的基板夹取装置利用气浮单元使在夹取基板时基板定位结构能在一定范围内自由浮动，减少由于基板位置发生偏移而导致夹取单元或基板损坏的情况。
文档编号H01L21/683GK101840880SQ20101015787
公开日2010年9月22日 申请日期2010年3月24日 优先权日2010年3月24日
发明者李春辉, 陶朋来 申请人:友达光电(苏州)有限公司;友达光电股份有限公司