专利名称：Tft平板探测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及TFT平板探测器。
背景技术：
TFT平板探测器，是采用薄膜晶体管(TFT)做开关元件，在其前端与非晶硅光电二 极管相连组成大面积的传感器阵列，TFT的后部与外部读出电路连接，将光电二极管获取的 模拟电信号输出。如图1中所示，为单个单元的信号采集原理图，当光照射PIN光电二极管 时，所感生的电荷反应光照的信息，由TFT沟道的开关控制该信息的储存和读取，读取的模 拟信号由后端的读出电路A形成数字信号输出。由于TFT可以制作成一个由各个小单元组 成的大面积的矩阵电路，所以，各个单元配合上光电二极管后可以制造成一个大面积的平 板探测器，可以广泛用于信号测量、图像采集等。对于医用X射线平板探测器，是将TFT平板探测器的光电二极管的前面覆盖一层 闪烁体，这样，当X射线照射到闪烁体上，闪烁体吸收X射线并将其转换为等比例的可见光， 这些可见光被下面的光电二极管接收，按比例产生模拟电流电压信号，由TFT及后端的读 出电路输出数字信号，形成照射到荧光体(闪烁体)上的X射线的影像。如图2中所示，为 现有X射线探测器的结构示意图，自上而下依次为闪烁体1、光电二极管2、TFT电路板3、铅 板4和采集读出电路5，其中，所述光电二极管和TFT元件是一体的，是印刷刻蚀在由玻璃 基板上生长出的晶体上的，为了保护下面的采集读出电路免受X射线损害，所述玻璃和采 集读出电路之间贴覆铅板，即其最终结构自上而下依次为闪烁体、刻蚀有光电二极管和TFT 电路板的玻璃基板、铅板以及采集读出电路。然而，由于铅板容易对所述采集读出电路造成 损伤，而且，玻璃基板的机械强度差，往往导致产品的成品率较低。
实用新型内容本实用新型克服了上述缺点，提供了一种结构简单、成品率高的TFT平板探测器。本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是一种TFT平板探测器，包括采 集读出电路，还包括覆盖在所述采集读出电路上的铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读 出电路的一侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路和光电二极管电 路，且光电二极管电路位于TFT电路的外侧。一种TFT平板探测器，包括光电二极管电路和采集读出电路，所述光电二极管电 路和采集读出电路之间设置有铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具 有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路。本实用新型采用铅玻璃作为基板，在所述铅玻璃上直接生长出的晶体上刻蚀有 TFT电路或者同时刻蚀TFT电路和光电二极管电路，这样就不用再在平板电路的下面加覆 铅板，从而增加了产品的机械强度，减少了由于覆盖铅板对电路的损伤，提高了产品的成品率。
图1为现有TFT平板探测器信号采集原理图；图2为现有X射线探测器的结构示意图；图3为采用了实施例1的X射线探测器的结构示意图；图4为采用了实施例2的X射线探测器的结构示意图。
具体实施方式
实施例1 包括采集读出电路和覆盖在所述采集读出电路上的铅玻璃，所述铅玻 璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电 路和光电二极管电路，且光电二极管电路位于TFT电路的外侧。如图3中所示，为采用了本实用新型TFT平板探测器的X射线探测器的结构示意 图，自上而下依次为闪烁体1、刻蚀有光电二极管电路、TFT电路的晶体层33、铅玻璃34和 采集读出电路5，当X射线照射到闪烁体1上，闪烁体1吸收X射线并将其转换为可见光， 这些可见光被下面的晶体层33中的光电二极管电路331接收，产生模拟电流电压信号，再 由TFT电路332的开关作用控制后端的采集读出电路5输出数字信号，由于铅玻璃具有良 好的机械强度，又同时能够阻挡X射线对采集读出电路的损伤，不用再在平板电路的下面 加覆铅板，从而增加了产品的机械强度，减少了由于覆盖铅板对电路的损伤，提高了产品的 成品率。实施例2 包括光电二极管电路和采集读出电路，所述光电二极管电路和采集读 出电路之间设置有铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具有生长出的 晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路。如图4中所示，为采用了本实用新型TFT平板探测器的X射线探测器的结构示意 图，自上而下依次为闪烁体1、光电二极管电路42、刻蚀有TFT电路的晶体层43、铅玻璃44 和采集读出电路5，当X射线照射到闪烁体1上，闪烁体1吸收X射线并将其转换为可见 光，这些可见光被下面的光电二极管电路42接收，产生模拟电流电压信号，由晶体层43中 的TFT电路的开关作用控制后端的采集读出电路5输出数字信号，由于铅玻璃具有良好的 机械强度，又同时能够阻挡X射线对采集读出电路的损伤，不用再在平板电路的下面加覆 铅板，从而增加了产品的机械强度，减少了由于覆盖铅板对电路的损伤，提高了产品的成品 率。以上对本实用新型所提供的TFT平板探测器进行了详细介绍，本文中应用了具体 个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本 实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思 想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对 本实用新型的限制。
权利要求一种TFT平板探测器，包括采集读出电路，其特征在于还包括覆盖在所述采集读出电路上的铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路和光电二极管电路，且光电二极管电路位于TFT电路的外侧。
2.—种TFT平板探测器，包括光电二极管电路和采集读出电路，其特征在于所述光电 二极管电路和采集读出电路之间设置有铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一 侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路。
专利摘要本实用新型涉及一种TFT平板探测器，包括采集读出电路及覆盖在所述采集读出电路上的铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路和光电二极管电路，且光电二极管电路位于TFT电路的外侧。本实用新型还要求保护另一种TFT平板探测器，在光电二极管和采集读出电路之间设置有铅玻璃，所述铅玻璃的背向所述采集读出电路的一侧表面具有生长出的晶体层，所述晶体层上刻蚀有TFT电路。本实用新型采用铅玻璃作为基板，这样就不用再在平板电路的下面加覆铅板，从而增加了产品的机械强度，减少了由于覆盖铅板对电路的损伤，提高了产品的成品率。
文档编号H01L27/144GK201699015SQ20102022281
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月11日 优先权日2010年6月11日
发明者于红林, 戴建平, 燕树林, 陈卫国 申请人:戴建平;燕树林;于红林;陈卫国