专利名称：背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。
背景技术：
近年来，特别出于保护地球环境的观点，对将太阳能转换为电能的太阳能电池单元作为新一代能源的期待急剧提高。虽然太阳能电池单元的种类包括使用化合物半导体的太阳能电池单元及使用有机材料的太阳能电池单元等形形色色的种类，但目前，使用硅晶的太阳能电池单元已成为主流。目前，制造及销售最多的太阳能电池单元是在太阳光射入侧的一面(受光侧)上形成η电极、在与受光面相反侧的一面(背面)上形成ρ电极而构成的双面电极型太阳能电池单元。还有，例如在(日本)特开2005-310830号公报(专利文献1)中，公开了在太阳能电池单元的受光面上不形成电极、而只在太阳能电池单元的背面上形成η电极及ρ电极的背面电极型太阳能电池单元。具有上述专利文献1所公开结构的背面电极型太阳能电池单元单体中可利用的电能有限。因此，需要研究将多个上述结构的背面电极型太阳能电池单元电连接而形成太阳能电池模块的方法。还有，将背面电极型太阳能电池单元连接在形成了配线的基板上而构成的太阳能电池模块已在美国专利第5951786号公报(专利文献2)中公开。而且，在专利文献2中，还记述了作为连接技术而研究的包括焊料、电阻焊接、含银导电性环氧、以感压性或热固化性的导电树脂覆盖的铜箔、含银粘接剂、含碳粘接剂、含有金或其他的导电性金属的粘接剂。专利文献1 (日本)特开2005-310830号公报专利文献2 美国专利第5951786号公报然而，目前，关于背面电极型太阳能电池单元的电极与形成于基板状部件的配线的连接的研究还不充分，希望能通过改善电极-配线间的连接而提高模块特性。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的。本发明的目的在于提供能够提高太阳能电池模块特性的背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。本发明为背面电极型太阳能电池单元，其特征在于，具有形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板；形成于所述半导体基板的一个表面侧的、分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极；所述第一导电型用电极及所述第二导电型用电极的至少一种电极随着逐渐离开所述半导体基板、宽度连续地减小而从所述半导体基板的相反侧突出。本发明为附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有如权利要求1所述的背面电极型太阳能电池单元；具有绝缘基体材料和设置于所述绝缘基体材料上的第一导电型用配线及第二导电型用配线的配线基板；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元，使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接；除所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元与所述配线基板之间的至少一部分区域通过绝缘树脂接合。而且，本发明为太阳能电池模块，其特征在于，通过密封材料将上述的附配线基板的太阳能电池单元密封于透明基板上。还有，本发明为背面电极型太阳能电池单元，其特征在于，具有形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板；形成于所述半导体基板的一个表面侧的、分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极；所述第一导电型用电极及所述第二导电型用电极的至少一种电极在表面上具有多个凸部和在所述凸部之间形成且与电极端部连接的凹部。本发明为附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有上述的背面电极型太阳能电池单元；具有绝缘基体材料和设置于所述绝缘基体材料上的第一导电型用配线及第二导电型用配线的配线基板；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元，使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接；除所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元与所述配线基板之间的至少一部分区域通过绝缘树脂接合。而且，本发明为太阳能电池模块，其特征在于，通过密封材料将上述的附配线基板的太阳能电池单元密封于透明基板上。还有，本发明为配线基板，其特征在于，绝缘基体材料；为连接背面电极型太阳能电池单元的电极而在所述绝缘基体材料上设置的第一导电型用配线和第二导电型用配线； 所述第一导电型用配线及所述第二导电型用配线的至少一种配线随着逐渐离开所述绝缘基体材料、宽度连续地减小而从所述绝缘基体材料的相反侧突出。本发明为附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有上述的配线基板、在形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极的背面电极型太阳能电池单元；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元，使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接；除所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元与所述配线基板之间的至少一部分区域通过绝缘树脂接合。而且，本发明还为太阳能电池模块，其特征在于，通过密封材料将上述的附配线基板的太阳能电池单元密封于透明基板上。还有，本发明为配线基板，其特征在于，绝缘基体材料；为连接背面电极型太阳能电池单元的电极而在所述绝缘基体材料上设置的第一导电型用配线和第二导电型用配线； 所述第一导电型用配线及所述第二导电型用配线的至少一种配线在表面上具有多个凸部和形成于所述凸部之间且与配线端部连接的凹部。本发明为附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有上述的配线基板、在形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极的背面电极型太阳能电池单元；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元，使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接；除所述背面电极型太阳能电池单元的所述第一导电型用电极与所述配线基板的所述第一导电型用配线对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元的所述第二导电型用电极与所述配线基板的所述第二导电型用配线对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元与所述配线基板之间的至少一部分区域通过绝缘树脂接合。而且，本发明还为太阳能电池模块，其特征在于，通过密封材料将上述的附配线基板的太阳能电池单元密封于透明基板上。另外，本发明为制造附配线基板的太阳能电池单元的方法，该附配线基板的太阳能电池单元具有在形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极的背面电极型太阳能电池单元；具有绝缘基体材料和设置于所述绝缘基体材料上的第一导电型用配线和第二导电型用配线的配线基板；该制造方法的特征在于，包括在包括所述第一导电型用配线的表面和/或所述第二导电型用配线的表面的所述配线基板的表面上涂布绝缘树脂的工序；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元的工序。而且本发明还是太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括将按照上述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造出的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上的工序。还有，本发明是制造附配线基板的太阳能电池单元的方法，该附配线基板的太阳能电池单元具有在形成有第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域及所述第二导电型杂质扩散区域的第一导电型用电极及第二导电型用电极的背面电极型太阳能电池单元；具有绝缘基体材料和设置于所述绝缘基体材料上的第一导电型用配线和第二导电型用配线的配线基板；该制造方法的特征在于，包括在包括所述第一导电型用电极的表面和/或所述第二导电型用电极的表面的所述背面电极型太阳能电池单元的表面上涂布绝缘树脂的工序；在所述配线基板上设置所述背面电极型太阳能电池单元的工序。而且本发明还是太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括将按照上述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造出的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上的工序。根据本发明，可提供能够提高太阳能电池模块特性的背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。
图1是本发明的太阳能电池模块的一例的示意性剖面图；图2是沿图1所示的太阳能电池模块的II-II方向的示意性剖面放大图；图3(a) (g)是针对图1及图2所示的背面电极型太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；图4是本发明所使用的背面电极型太阳能电池单元的背面一例的示意性俯视图；图5(a) (d)是针对图1及图2所示的配线基板的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；图6是本发明所使用的配线基板表面的一例的示意性俯视图；图7(a) (c)是针对图1及图2所示的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；图8是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面图；图9是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面图；图10是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面图；图11是沿图10所示的太阳能电池模块的XI-XI方向的示意性剖面放大图；图12(a) (c)是针对图10及图11所示的背面电极型太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；图13是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面放大图；图14是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面放大图；图15是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面图；图16是沿图15所示的太阳能电池模块的XVI-XVI方向的示意性剖面放大图；图17(a) (c)是针对图15所示的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；图18是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面放大图；图19是本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面放大图；图20是实施例的太阳能电池模块的EUElectro Luminescence 电致发光)发光图像；图21是比较例的太阳能电池模块的EL发光图像。
附图标记说明1半导体基板；Ia切片损伤；2第一导电型杂质扩散区域；3第二导电型杂质扩散区域；4钝化膜；4a，4b接触孔；5防止反射膜；6第一导电型用电极；7第二导电型用电极； 8,80背面电极型太阳能电池单元；10，100配线基板；11绝缘基体材料；12，1 第一导电型用配线；13，13a第二导电型用配线；14连接用配线；16绝缘树脂；17透明基板；18密封材料；19背膜；26，27，112，113凹部；36，37，212，213凸部；41导电层；42抗蚀剂膜；60第一导电型用集电电极；70第二导电型用集电电极。
具体实施例方式以下说明本发明的实施方式。在本发明的附图中相同的附图标记表示相同部分或相当的部分。<第一实施方式>图1中表示本发明的太阳能电池模块的一例的示意性剖面图。图1所示结构的太阳能电池模块是将在配线基板10上设置有背面电极型太阳能电池单元8的结构的附配线基板的太阳能电池单元，密封于玻璃基板等透明基板17与聚酯膜等背膜19之间的乙烯-醋酸乙烯酯等密封材料18中而构成的。在此，在背面电极型太阳能电池单元8的半导体基板1的受光面上形成纹理结构等凹凸结构，覆盖该凹凸结构而形成防止反射膜5。并且在背面电极型太阳能电池单元8的半导体基板1的背面形成钝化膜4。而且，背面电极型太阳能电池单元8包括半导体基板1、形成于半导体基板1的背面的第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3、与第一导电型杂质扩散区域2连接而形成的第一导电型用电极6、与第二导电型杂质扩散区域3连接而形成的第二导电型用电极7。因此，在半导体基板1的背面侧形成对应第一导电型杂质扩散区域2的第一导电型用电极6、及对应第二导电型杂质扩散区域3的第二导电型用电极7。在此，背面电极型太阳能电池单元8的背面侧的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别为突出于半导体基板1的背面侧的形状，并且第一导电型用电极6的电极宽度及第二导电型用电极7的电极宽度分别随着逐渐离开半导体基板1而连续地减小，第一导电型用电极6的外表面及第二导电型用电极7的外表面分别为如圆柱的侧面那样弯曲的曲面。通过像这样使背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别形成为上述的形状，能够在第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别与配线基板10连接时顶开(押L· Θ K 3 )绝缘树脂16而形成与配线基板10的配线电连接的形状。即无论对于背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的哪一种，都形成为使绝缘树脂16在未固化的液体材料的状态下可以流动的形状。 这种形状是当第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13对接时，配置在电极-配线之间的未固化的绝缘树脂 16可以流动的形状。另外，在该例中，第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3分别形成为向图1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状，并且第一导电型杂质扩散区域2和第二导电型杂质扩散区域3在半导体基板1的背面交替地隔开规定的间隔而配置。还有，在该例中，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7也分别形成为向图1 的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状，并且第一导电型用电极6及第二导电型用电极7 分别通过钝化膜4上所设的开口部，沿半导体基板1背面的第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3，分别与第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3连接而形成。另一方面，配线基板10包括绝缘基体材料11和在绝缘基体材料11的表面上形成为规定形状的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。而且，配线基板10的绝缘基体材料11上的第一导电型用配线12形成与背面电极型太阳能电池单元8背面的第一导电型用电极6彼此逐条相对的形状。并且配线基板10的绝缘基体材料11上的第二导电型用配线13形成为与背面电极型太阳能电池单元8背面的第二导电型用电极7彼此逐条相对的形状。另外，在该例中，配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13也分别形成为在图1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状。然后，上述的背面电极型太阳能电池单元8与上述的配线基板10通过设置在背面电极型太阳能电池单元8和配线基板10之间的为电绝缘树脂的绝缘树脂16接合。图2表示沿图1所示的太阳能电池模块的II-II方向(背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及配线基板10的第一导电型用配线12各自的延伸方向在图 1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的方向)上的示意性剖面放大图。在此，如图2所示，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6沿背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及配线基板10的第一导电型用配线12各自的延伸方向，与配线基板10的第一导电型用配线12连接而形成电连接。另外，虽然未图示，但背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7与图2 所示的第一导电型用电极6相同，沿背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7 及配线基板10的第二导电型用配线13各自的延伸方向，与配线基板10的第二导电型用配线13连接而形成电连接。还有，为方便说明，在图2中对于半导体基板1的受光面的凹凸结构未图示为凹凸形状。以下参照图3(a) 图3(g)的示意性剖面图，针对图1及图2所示的背面电极型太阳能电池单元8的制造方法的一例进行说明。首先，如图3(a)所示，例如通过铸锭切片等，准备在半导体基板1的表面上形成有切片损伤Ia的半导体基板1。在此，作为半导体基板1，例如可以采用由具有η型或P型的任一种导电型的多晶硅或单晶硅等构成的硅基板。接着，如图3(b)所示，除去半导体基板1的表面的切片损伤la。在此，例如在半导体基板1是由上述的硅基板构成的情况下，可以利用氟化氢水溶液与硝酸的混合酸或氢氧化钠等的碱性溶液对上述切割后的硅基板的表面进行蚀刻等，由此除去切片损伤la。在此，对除去切片损伤Ia后的半导体基板1的大小及形状没有特别限定，但半导体基板1的厚度例如可以为100 μ m以上500 μ m以下，特别优选为200 μ m左右。
接着，如图3(c)所示，在半导体基板1的背面分别形成第一导电型杂质扩散区域 2及第二导电型杂质扩散区域3。在此，第一导电型杂质扩散区域2例如可以通过使用含有第一导电型杂质的气体的气相扩散等方法形成，第二导电型杂质扩散区域3例如可以通过使用含有第二导电型杂质的气体的气相扩散等方法而形成。在此，第一导电型杂质扩散区域2只要是含有第一导电型杂质，表示η型或P型导电型的区域就没有特别限定。另外，作为第一导电型杂质，当第一导电型为η型时，例如可以使用磷等η型杂质；当第一导电型为ρ型时，例如可以使用硼或铝等ρ型杂质。并且，第二导电型杂质扩散区域3只要是含有第二导电型杂质，表示与第一导电型杂质扩散区域2相反导电型的区域就没有特别限定。另外，作为第二导电型杂质，当第二导电型为η型时，例如可以使用磷等η型杂质；当第二导电型为ρ型时，例如可以使用硼或铝等P型杂质。另外，第一导电型也可为η型或ρ型中的任一种导电型，第二导电型只要是与第一导电型相反的导电型即可。即第一导电型为η型时，第二导电型为ρ型；第一导电型为ρ型时，第二导电型为η型。而且，作为含有第一导电型杂质的气体，当第一导电型为η型时，例如可以使用像 POCl3这种含有磷等η型杂质的气体；当第一导电型为ρ型时，例如可以使用像BBr3这种含有硼等P型杂质的气体。作为含有第二导电型杂质的气体，当第二导电型为η型时，例如可以使用像POCl3 这种含有磷等η型杂质的气体；当第二导电型为ρ型时，例如可以使用像BBr3这种含有硼等P型杂质的气体。接着，如图3(d)所示，在半导体基板1的背面形成钝化膜4。在此，钝化膜4例如可以通过热氧化法或等离子体CVD (Chemical VaporDeposition)法等方法形成。在此，作为钝化膜4，例如可以使用氧化硅膜、氮化硅膜、或氧化硅膜与氮化硅膜的积层体等，但不限定于这些。而且，钝化膜4的厚度例如可以为0. 05 μ m以上1 μ m以下，特别优选为0. 2 μ m左
右ο接着，如图3(e)所示，在半导体基板1的受光面的整个面上形成纹理结构等凹凸结构后，在该凹凸结构上形成防止反射膜5。在此，纹理结构例如可以通过蚀刻半导体基板1的受光面而形成。例如，当半导体基板1为硅基板时，使用将在例如氢氧化钠或氢氧化钾等碱性溶液中添加了异丙醇的液体加热至例如70°C以上80°C以下的蚀刻液，蚀刻半导体基板1的受光面，由此形成纹理结构。还有，防止反射膜5可以通过例如等离子体CVD法等形成。另外，作为防止反射膜 5，例如可以使用氮化硅膜等，但不限定于此。接着，如图3(f)所示，通过除去半导体基板1背面的钝化膜4的一部分，形成接触孔如及接触孔4b。在此，为了露出第一导电型杂质扩散区域2的表面的至少一部分而形成接触孔如；同样地，为了露出第二导电型杂质扩散区域3的表面的至少一部分而形成接触孔4b。另外，接触孔如及接触孔4b可分别通过下述方法等形成，S卩、例如利用光刻技术， 在钝化膜4上形成在对应接触孔如及接触孔4b的形成位置的部分上具有开口的抗蚀剂膜图案之后，通过抗蚀剂膜图案的开口，利用蚀刻等除去钝化膜4的方法；或者在对应接触孔如及接触孔4b的形成位置的钝化膜4的部分上涂布蚀刻膏之后，通过加热，蚀刻、除去钝化膜4的方法等。接着，如图3 (g)所示，形成通过接触孔4a、与第一导电型杂质扩散区域2连接的第一导电型用电极6和通过接触孔4b、与第二导电型杂质扩散区域3连接的第二导电型用电极7，由此制作出背面电极型太阳能电池单元8。在此，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别通过例如丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等，能够在与上述那种配线基板10连接时顶开绝缘树脂16而形成与配线基板10的配线电连接的形状。例如，在通过丝网印刷法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，在形成具有与电极图案对应而被构图的开口部、并且使用了乳胶等乳剂的丝网或薄金属板上，使用具有与电极图案而被构图的开口部的金属丝网等，通过从丝网侧的按压，逐渐从丝网的开口部向半导体基板1挤出具有某种程度粘度的金属膏。此时，粘附在半导体基板1上的金属膏由于半导体基板1的反作用力而在横向扩展的方向上受到力的作用，因此， 在半导体基板1侧金属膏的宽度大于丝网开口部宽度，随着逐渐离开半导体基板1，金属膏与丝网开口部的宽度基本相同，从而能够形成倾斜。之后，金属膏在例如500C 2000C左右的温度下被干燥后，在300°C 800°C左右的温度下进行烧制，从而形成第一导电型用电极 6及第二导电型用电极7。还有，在通过真空蒸镀法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，在半导体基板1的背面侧，在具有根据电极图案构图的开口部的金属掩模和半导体基板1之间设有间隔的状态、或者在金属掩模的开口部的截面上设置倾斜的状态下，真空蒸镀金属，由此可以使第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别形成为上述形状。而且，如果第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别由可蚀刻的金属形成，那么例如通过基于弱酸或碱性的湿式蚀刻对这些电极的表面进行短时间的处理，由此表面能量高的电极的边缘能够优先被蚀刻而使电极的前端部形成曲面。另外，在通过镀层法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，将光刻工序用的抗蚀剂膜或丝网印刷用的抗蚀剂膜在在半导体基板1的背面进行构图，以具有根据电极图案而构图的开口部，然后，对抗蚀剂膜进行热处理，由此在抗蚀剂膜的开口部的截面上设置倾斜。之后使半导体基板1浸泡在电镀槽中，从抗蚀剂膜的开口部析出镀层， 由此能够分别形成由该镀层构成的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。还有，对抗蚀剂膜进行构图，通过RF溅射法等在上述抗蚀剂膜的开口部形成作为镀层开始层(#開始層)的电镀种子层后除去抗蚀剂膜，在电镀种子层上使镀层析出， 由此能够形成由该镀层构成的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。在该情况下，使表面能量一定而使镀层自然地析出为半圆状，因此能够分别形成上述形状的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。另外，作为第一导电型用电极6及第二导电型用电极7，例如可以使用银等金属构成的电极。为了恰好顶开绝缘树脂16而使背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板 10的配线的连接稳定性提高，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7各自的厚度优选在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。图4表示按照上述说明制作的背面电极型太阳能电池单元8背面的一例的示意性俯视图。在此，在背面电极型太阳能电池单元8的背面，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别形成为带状。而且，带状的多个第一导电型用电极6分别与一个带状的第一导电型用集电电极60连接，带状的多个第二导电型用电极7分别与一个带状的第二导电型用集电电极70连接。另外，在该例中，第一导电型用集电电极60在与带状的第一导电型用电极6的纵长方向垂直的方向上延伸而形成，第二导电型用集电电极70在与带状的第二导电型用电极7的纵长方向垂直的方向上延伸而形成。因此，在图4所示结构的背面电极型太阳能电池单元8的背面上，通过一个第一导电型用集电电极60与多个第一导电型用电极6形成一个梳状电极，通过一个第二导电型用集电电极70与多个第二导电型用电极7形成一个梳状电极。而且，相当于该梳状电极的梳齿的第一导电型用电极6与第二导电型用电极7彼此相对、逐条啮合地配置。并且在连接带状的第一导电型用电极6的半导体基板1的背面部分配置一条带状的第一导电型杂质扩散区域2，在连接带状的第二导电型用电极7的半导体基板1的背面部分配置一条带状的第二导电型杂质扩散区域3。以下参照图5(a) 图5(d)的示意性剖面图，针对图1及图2所示的配线基板10 的制造方法的一例进行说明。首先，如图5(a)所示，在绝缘基体材料11的表面上形成导电层41。在此，作为绝缘基体材料11，例如可以使用由聚酯、聚萘二甲酸或聚酰亚胺等树脂构成的基板，但不限定于此。而且，绝缘基体材料11的厚度例如可以为IOym以上200 μ m以下，特别优选为 25 μ m左右。并且，作为导电层41，例如可以使用铜等金属构成的层，但不限定于此。接着，如图5 (b)所示，在绝缘基体材料11的表面的导电层41上形成抗蚀剂膜(> 卜)42。在此，抗蚀剂膜42形成为在形成第一导电型用配线12及第二导电型用配线 13的位置以外的位置具有开口部的形状。作为抗蚀剂膜42，例如可以使用目前已公知的材料，而且例如可以是使用通过丝网印刷、分配器(Π 7《 > 寸)涂布或喷墨涂布等方法将涂布在规定位置上的树脂固化而成的材料。接着，如图5(c)所示，按照箭头43的方向除去从抗蚀剂膜42露出的部分的导电层41，由此形成导电层41的图案，由导电层41的剩余部分形成第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。在此，例如可通过使用酸性或碱性溶液的湿式蚀刻等除去导电层41。接着，如图5(d)所示，从第一导电型用配线12的表面及第二导电型用配线13的表面除去所有的抗蚀剂膜42，由此制作出配线基板10。图6表示按照上述说明制作出的配线基板10的表面的一例的示意性俯视图。在此，在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上，第一导电型用配线12及第二导电型用配线13分别形成为带状。而且在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上形成带状的连接用配线14，通过连接用配线14电连接第一导电型用配线12和第二导电型用配线13。另外， 连接用配线14例如可与第一导电型用配线12及第二导电型用配线13同样地，由导电层41的剩余部分形成。通过这种结构，除分别位于配线基板10的终端的梳状第一导电型用配线1 及梳状第二导电型用配线13a以外，邻接的第一导电型用配线12和第二导电型用配线13都通过连接用配线14电连接，所以在配线基板10上邻接而设置的背面电极型太阳能电池单元彼此相互电连接。因此设置在配线基板10上的所有背面电极型太阳能电池单元都串联地电连接。以下参照图7(a) 图7(c)的示意性剖面图，针对图1及图2所示的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行说明。首先，如图7(a)所示，在按照上述说明制作出的配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。当在配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16时，例如可以在包括配线基板10的第一导电型用配线12的表面和/或第二导电型用配线13的表面的配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。在此，绝缘树脂16例如可以利用丝网印刷、分配器涂布或喷墨涂布等方法进行涂布。而且，作为绝缘树脂16，可没有特别限定地使用具有电绝缘性的树脂，例如可以使用目前已公知的热固性树脂或光固化树脂等。另外，绝缘树脂16也可涂布在背面电极型太阳能电池单元8的表面上。当在背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16 时，例如可以在包括背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的表面和/或第二导电型用电极7的表面的背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16。接着，如图7(b)所示，在配线基板10上设置背面电极型太阳能电池单元8。在此，背面电极型太阳能电池单元8如图7(c)所示，设置在配线基板10上，在配线基板10的第一导电型用配线12上设置背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6、并且在配线基板10的第二导电型用配线13上设置背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7。由此，背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10连接。此时，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7 分别如上所述顶开绝缘树脂16，形成与配线基板10的配线电连接的形状。因此，在位于第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的各自下方且位于背面电极型太阳能电池单元8 与配线基板10之间的绝缘树脂16被分别顶向第一导电型用电极6的前端部及第二导电型用电极7的前端部的各自的外侧。即液状材料状态的未固化的绝缘树脂16在第一导电型用电极6-第一导电型用配线12及第二导电型用电极7-第二导电型用配线13之间流动， 使第一导电型用电极6与第一导电型用配线12对接，并且使第二导电型用电极7与第二导电型用配线13对接。因此，第一导电型用电极6的前端部与第一导电型用配线12接触而确保其电连接；并且第二导电型用电极7的前端部与配线基板10的第二导电型用配线13也接触而确保其电连接。因此，在使用上述结构的背面电极型太阳能电池单元8的情况下，在背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线之间夹入绝缘树脂16，能够减少不能实现电连接背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线这种问题的发生，所以能够提高附配线基板的太阳能电池单元及后述的太阳能电池模块的特性。之后，将按照上述说明涂布的绝缘树脂16加热和/或进行光照射，由此使绝缘树脂16固化，通过固化的绝缘树脂16，接合背面电极型太阳能电池单元8和配线基板10。如此一来，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13之间部分地通过绝缘树脂16接合，并且通过在该接合部以外的位置上的对接，形成电连接。然后，上述的绝缘树脂16固化后的附配线基板的太阳能电池单元例如如图1所示，夹在具有乙烯-醋酸乙烯酯等密封材料18的玻璃基板等透明基板17与具有密封材料 18的聚脂膜等背膜19之间，将构成附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元8密封在密封材料18中，由此制作出太阳能电池模块。另外，绝缘树脂16的固化也可在将构成附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元8密封于密封材料18中之际进行。还有，在上述说明中关于背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的所有形状虽然为顶开绝缘树脂16而与配线10的配线电连接的形状，但在本发明中，只要有第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的电极中的至少一种电极的形状为顶开绝缘树脂16而与配线10的配线电连接的形状即可。即在第一导电型用电极6及第二导电型用电极7中的至少一种电极上，形成使绝缘树脂16以未固化的液状材料的状态可流动的形状即可。而且，在上述说明中关于背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的各自的形状虽然为顶开绝缘树脂16而与配线10的配线电连接的形状，但在本发明中，例如如图8的示意性剖面图所示，也可将配线基板10的绝缘基体材料11 的表面上的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的各自形状作为在与背面电极型太阳能电池单元8连接时顶开绝缘树脂16而与背面电极型太阳能电池单元8的电极电连接的形状。即也可在配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13上，形成使绝缘树脂16以未固化的液状材料的状态可流动的形状。这种形状是在背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13对接时、使设置在电极-配线之间的未固化的绝缘树脂16可流动的形状。在此，配线基板10的绝缘基体材料11的表面上的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13分别成为突出于绝缘基体材料11的相反一侧的形状，第一导电型用配线12 的电极宽度及第二导电型用配线13的电极宽度分别随着逐渐离开绝缘基体材料11而连续减小，第一导电型用配线12的外表面及第二导电型用配线13的外表面分别形成像圆柱的侧面那样弯曲的曲面。作为将配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的形状形成为在分别与背面电极型太阳能电池单元8的连接时顶开绝缘树脂16而与背面电极型太阳能电池单元8的电极电连接的形状的方法，例如既可以通过上述的丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等形成，也可以使用通过金属箔的蚀刻来形成的方法。在此，在通过金属箔的蚀刻分别形成配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的情况下，首先，在绝缘基体材料11的表面上形成通过轧制或电镀法等形成的金属箔。然后，在金属箔的表面上对抗蚀剂膜进行构图，然后利用酸等对金属箔进行蚀刻，由此根据第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的配线图案对金属箔进行构图。 之后，通过使用弱酸或碱性的溶液的湿式蚀刻，分别对由构图后的金属箔构成的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的表面进行短时间的处理，由此能够优先蚀刻表面能量高的配线的边缘部，从而使第一导电型用配线12的表面及第二导电型用配线13的表面分别形成为曲面。还有，在图8所示的结构中，虽然将配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的所有配线形状都作为顶开绝缘树脂16而与背面电极型太阳能电池单元8 的电极电连接的形状，但在本发明中，也可将第一导电型用配线12及第二导电型用配线13 中的至少一种配线的形状作为顶开绝缘树脂16而与背面电极型太阳能电池单元8的电极电连接的形状，即、也可在第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的至少一种配线上，形成使绝缘树脂16以未固化的液状材料的状态可流动的形状。在此，在图8所示的结构中，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，第一导电型用配线12及第二导电型用配线13各自的厚度优选在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。而且，在本发明中，例如如图9的示意性剖面图所示，也可将背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7各自的形状形成为在与配线基板10 连接时顶开绝缘树脂16而与配线基板10的配线电连接的形状，并且将配线基板10的绝缘基体材料11表面上的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13各自的形状形成为在与背面电极型太阳能电池单元8连接时顶开绝缘树脂16而与背面电极型太阳能电池单元 8的电极电连接的形状。即也可在背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7上形成使绝缘树脂16以未固化的液状材料状态可流动的形状，并且在配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13上形成使绝缘树脂16也以未固化的液状材料状态可流动的形状。在图9所示的结构中，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，第一导电型用电极6、第二导电型用电极 7、第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的厚度分别与上述相同，优选在IOnm以上 1000 μ m以下的范围内。如上所述，在本发明中，通过使背面电极型太阳能电池单元8的电极和/或配线基板10的配线的形状为顶开绝缘树脂16的形状，即通过在背面电极型太阳能电池单元8的电极和/或配线基板10的配线上形成使液状材料可流动的形状，能够减少绝缘树脂16的嵌入，作为背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线之间的接触电阻可得到良好的值，因此，根据本发明所形成的附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池模块，作为电子特性中的串联电阻成分可得到良好的值，并且能够改善光照射时的 F. F. (FillFactor 填充率)。另外，在本发明的背面电极型太阳能电池单元的概念中，不仅包括只在上述的半导体基板的一个表面侧(背面侧)形成第一导电型用电极及第二导电型用电极这两种电极的结构，还包括所有的MWT (Metal Wrap Through)单元(在半导体基板所设有的贯通孔上设置电极的一部分的结构的太阳能电池单元)等所谓背接触式太阳能电池单元(从与太阳能电池单元的受光面侧相反侧的背面侧输出电流的结构的太阳能电池单元)。还有，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的概念中，不仅包括将多个背面电极型太阳能电池单元设置在配线基板上的结构，还包括将一个背面电极型太阳能电池单元设置在配线基板上的结构。〈第二实施方式〉图10表示本发明的太阳能电池模块的其他例的示意性剖面图，图11表示沿图10 所示的太阳能电池模块的XI-XI方向(背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极 6及配线基板10的第一导电型用配线12各自的延伸方向向图10的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的方向)上的示意性剖面放大图。在本实施方式的太阳能电池模块中，例如如图11所示，其特征在于，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的表面沿第一导电型用电极6的延伸方向具有凹部沈和凸部36，第一导电型用电极6的表面的凹部沈为使被第一导电型用电极6的凸部 36顶开的绝缘树脂16流动的树脂流动部。还有，虽然未图示，但背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7的表面也如图11的第一导电型用电极6的表面所示，沿第二导电型用电极7的延伸方向上具有凹部和凸部，第二导电型用电极7的表面的凹部也是使绝缘树脂16流动的树脂流动部。即在第二实施方式中，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别形成在与配线基板10连接时顶开绝缘树脂16而与配线基板10的配线电连接的形状，并且具有用来使被顶开的绝缘树脂16流动的树脂流动部。在第二实施方式中，无论在背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6 及第二导电型用电极7的哪一个电极上，形成使绝缘树脂16以未固化的液状材料的状态可流动的凹部26。这种凹部沈是在第一导电型用电极6的凸部36及第二导电型用电极7的凸部分别与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13对接时、使设置在电极-配线之间的未固化的绝缘树脂16可流动的形状，是使未固化的绝缘树脂16流动的树脂流动部。第一导电型用电极6的凹部尤选与第一导电型用电极6的端部连接而形成于多个凸部36之间，第二导电型用电极7的凹部沈优选与第二导电型用电极7的端部连接而形成于多个凸部36之间。在第一导电型用电极6的凹部沈与第一导电型用电极6的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用电极6的凸部36顶开而流入第一导电型用电极 6的凹部沈的绝缘树脂16从第一导电型用电极6的端部向第一导电型用电极6的外部排出的倾向。同样地，在第二导电型用电极7的凹部沈与第二导电型用电极7的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用电极7的凸部36顶开而流入第二导电型用电极7的凹部沈的绝缘树脂16从第二导电型用电极7的端部向第二导电型用电极7的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用电极6的端部，例如可例举与第一导电型用电极6的延伸方向正交的方向上的端部，作为第二导电型用电极7的端部，例如可例举与第二导电型用电极7 的延伸方向正交的方向上的端部。在此，具有如图11所示形状的树脂流动部的背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别能够通过例如丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等形成。例如，在通过丝网印刷法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，首先，准备丝网，该丝网设有对应第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的各自图案的丝网开口部(以下称为“主开口部”)，并且在与其开口部的长度方向(电极的延伸方向)正交的方向上也以任意间隔设有开口部(以下称为“副开口部”)。然后，通过丝网逐渐向半导体基板1按压出金属膏来进行印制。此时，在丝网的设有副开口部的主开口部的部分上，为了使金属膏也流入该副开口部而在该位置将所印制的金属膏的厚度压薄，由此，能够沿第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的各自表面的延伸方向形成凹部和凸部。 之后，使金属膏在例如50°C 200°C左右的温度下干燥后，在300°C 800°C左右的温度下进行烧制，由此能够形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。还有，在通过真空蒸镀法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，与上述说明相同，使用具有主开口部和副开口部的金属掩模，能够通过在金属掩模的开口部对金属进行真空蒸镀而形成。还有，在通过镀层法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，与上述说明相同，形成具有主开口部和副开口部的抗蚀剂膜，通过在抗蚀剂膜的开口部上析出镀层，能够形成由该镀层构成的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。另外，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，优选第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。以下参照图12(a) 图12(c)的示意性剖面放大图，针对图10及图11所示的太阳能电池模块所使用的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行说明。另外， 图12(a) 图12(c)是从与图11相同方向观察时的剖面放大图。首先，如图12(a)所示，在按照上述说明制作的配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。在此，绝缘树脂16也涂布在配线基板10的第一导电型用配线12的表面上。而且， 虽然未图示，但绝缘树脂16也涂布在配线基板10的第二导电型用配线13的表面上。另外，如果在配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16，那么，例如能够在包括配线基板10的第一导电型用配线12的表面和/或第二导电型用配线13的表面的配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。而且，绝缘树脂16也可涂布在背面电极型太阳能电池单元8的表面上。如果在背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16，那么，例如能够在包括背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的表面和/或第二导电型用电极7的表面的背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16。接着，如图12(b)所示，在配线基板10上设置背面电极型太阳能电池单元8。在此，如图12 (c)所示，为了在配线基板10的第一导电型用配线12上设置背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6而将背面电极型太阳能电池单元8设置在配线基板10上。另外，虽然未图示，但在配线基板10的第二导电型用配线13上设置有背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7，由此连接背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10。此时，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的凸部36及第二导电型用电极7的凸部(未图示)分别顶开配线基板10上的绝缘树脂16。但被这些电极的凸部顶开的绝缘树脂16分别被收容在作为树脂流动部的第一导电型用电极6的凹部沈及第二导电型用电极7的凹部(未图示)中。即液状材料状态的、未固化的绝缘树脂16在第一导电型用电极6-第一导电型用配线之间及第二导电型用电极7-第二导电型用配线13之间流动，使第一导电型用电极6的凸部36与第一导电型用配线12对接，并且使第二导电型用电极7的凸部与第一导电型用配线13对接。在此，如果流动的绝缘树脂16被树脂流动部(第一导电型用电极6的凹部沈及第二导电型用电极7的凹部)收容而固化，则在树脂流动部中，第一导电型用电极6与第一导电型用配线12接合，并且第二导电型用电极7与第二导电型用配线13接合。因此，第一导电型用电极6的凸部36与第一导电型用配线12接触而确保其电连接；并且第二导电型用电极7的凸部也与配线基板10的第二导电型用配线13接触而确保其电连接。在绝缘树脂16被固化的状态下，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13 这两者之间，局部地通过树脂流动部中的绝缘树脂16接合，并且在该流动树脂部以外的凸部的顶部对接，由此形成电连接。因此，在使用上述结构的背面电极型太阳能电池单元8的情况下，在背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线之间嵌入绝缘树脂16，可以减少不能实现电连接背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线这种问题的发生，所以能够提高附配线基板的太阳能电池单元及后述的太阳能电池模块的特性。而且，绝缘树脂16填充在背面电极型太阳能电池单元8的电极的树脂流动部中， 覆盖电极的周围，对电极进行保护，所以能够提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池模块的长期可靠性。另外，在上述说明中，虽然在背面电极型太阳能电池单元8的所有第一导电型用电极6及第二导电型用电极7都设有树脂流动部，但在本发明中，只要第一导电型用电极6 及第二导电型用电极7中的至少一种电极设有树脂流动部即可。而且，在上述说明中，虽然将背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6 的凹部26及第二导电型用电极7的凹部(未图示)分别作为树脂流动部，但在本发明中，例如如图13的示意性剖面放大图所示，也可在配线基板10的第一导电型用配线12的表面、 沿第一导电型用配线12的延伸方向设有凹部112和凸部212，在第二导电型用配线13的表面、沿第二导电型用配线13的延伸方向设有凹部(未图示)和凸部(未图示)。在该情况下，第一导电型用配线12的凹部112及第二导电型用配线13的凹部(未图示)分别为树脂流动部。第一导电型用配线12的凹部112优选与第一导电型用配线12的端部连接而形成于多个凸部212之间，而且第二导电型用配线13的凹部112优选与第二导电型用配线13的端部连接而形成于多个凸部212之间。在第一导电型配线12的凹部112与第一导电型用配线12的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用配线12的凸部212顶开而流入第一导电型用配线12的凹部112的绝缘树脂16从第一导电型用配线12的端部向第一导电型用配线12的外部排出的倾向。而且，在第二导电型用配线13的凹部112与第二导电型用配线13的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用配线13的凸部212顶开而流入第二导电型用配线13的凹部112的绝缘树脂16从第二导电型用配线13的端部向第二导电型用配线13的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用配线12的端部，例如可以例举与第一导电型用配线12的延伸方向正交的方向上的端部，作为第二导电型用配线13 的端部，例如可以例举与第二导电型用配线13的延伸方向正交的方向上的端部。
在此，作为形成具有凹部112和凸部212的第一导电型用配线12及具有凹部(未图示)和凸部(未图示)的第二导电型用配线13的方法，虽然也可以通过例如上述的丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等形成，但也可使用通过金属箔的蚀刻而形成的方法。在通过金属箔的蚀刻、分别形成配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的情况下，例如，首先在绝缘基体材料11的表面上形成通过轧制或电镀法等形成的金属箔。然后，与上述说明相同，为了具有主开口部和副开口部而在金属箔的表面上对抗蚀剂膜进行构图，之后通过酸等对金属箔进行蚀刻，由此根据第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的图案，对金属箔进行构图，从而能够分别形成由构图后的金属箔构成的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。另外，在图13所示的结构中，虽然配线基板10的所有第一导电型用配线12及第二导电型用配线13都设有树脂流动部，但在本发明中，只要第一导电型用配线12及第二导电型用配线13中的至少一种配线上设有树脂流动部即可。在此，在图13所示的结构中，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，优选第一导电型用配线12及第二导电型用配线13各自的厚度在IOnm以上 1000 μ m以下的范围内。还有，在本发明中，例如如图14的示意性剖面放大图所示，也可以在背面电极型太阳能电池单元8的各自的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7上设有树脂流动部，同时在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上的各自第一导电型用配线12及第二导电型用配线13上设有树脂流动部。在图14所示的结构中，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，第一导电型用电极6、第二导电型用电极7、第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的厚度分别与上述相同，优选在IOnm以上IOOOym以下的范围内。在此，第一导电型用电极6的凹部沈优选与第一导电型用电极6的端部连接而形成于多个凸部36之间。而且第二导电型用电极7的凹部沈优选与第二导电型用电极7的端部连接而形成于多个凸部36之间。在第一导电型用电极6的凹部沈与第一导电型用电极6的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用电极6的凸部36顶开而流入第一导电型用电极6的凹部沈的绝缘树脂16从第一导电型用电极6的端部向第一导电型用电极 6的外部排出的倾向。而且，在第二导电型用电极7的凹部沈与第二导电型用电极7的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用电极7的凸部36顶开而流入第二导电型用电极7的凹部沈的绝缘树脂16从第二导电型用电极7的端部向第二导电型用电极7的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用电极6的端部，例如可以例举与第一导电型用电极6 的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用电极7的端部，例如可以例举与第二导电型用电极7的延伸方向正交的方向上的端部。而且，第一导电型用配线12的凹部112优选与第一导电型用配线12的端部连接而形成于多个凸部212之间，并且第二导电型用配线13的凹部112优选与第二导电型用配线13的端部连接而形成于多个凸部212之间。在第一导电型配线12的凹部112与第一导电型用配线12的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用配线12的凸部212顶开而流入第一导电型用配线12的凹部112的绝缘树脂16从第一导电型用配线12的端部向第一导电型用配线12的外部排出的倾向。还有，在第二导电型配线13的凹部112与第二导电型用配线13的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用配线13的凸部212顶开而流入第二导电型用配线13的凹部112的绝缘树脂16从第二导电型用配线13的端部向第二导电型用配线13的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用配线12的端部，例如可以例举与第一导电型用配线12的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用配线13的端部，例如可以例举与第二导电型用配线13的延伸方向正交的方向上的端部。另外，为方便说明，在图11 图14中关于半导体基板1的受光面的凹凸结构也未图示为凹凸形状。本实施方式的除上述以外的其他说明因为与第一实施方式相同，所以在此省略其说明。〈第三实施方式〉图15表示本发明的太阳能电池模块的又一个其他例的示意性剖面图，图16表示沿图15所示的太阳能电池模块的XVI-XVI方向(背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及配线基板10的第一导电型用配线12的各自的延伸方向向图15的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的方向)上的示意性剖面放大图。另外，为方便说明，在图16中关于半导体基板1的受光面的凹凸结构也未图示为凹凸形状。在本实施方式的太阳能电池模块中，例如如图15及图16所示，其特征在于，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的表面沿第一导电型用电极6的延伸方向及与其延伸方向正交的方向上具有凹部26和凸部36，第一导电型用电极6表面的凹部26 是用来使被第一导电型用电极6的凸部36顶开的绝缘树脂16流动的树脂流动部。而且，在本实施方式的太阳能电池模块中，例如如图15及图16所示，背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7的表面也沿第二导电型用电极7的延伸方向及与其延伸方向正交的方向上具有凹部27和凸部37，第二导电型用电极7表面的凹部27也是用来使绝缘树脂16流动的树脂流动部。即在第三实施方式中，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别顶开绝缘树脂16而形成为与配线基板10的配线电连接的形状，并且具有用来使被顶开的绝缘树脂16流动的树脂流动部。在第三实施方式中，无论在背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6 及第二导电型用电极7的哪一种电极上都形成有使绝缘树脂16以未固化的液状材料的状态可以流动的凹部26、27。这种凹部沈、27是在第一导电型用电极6的凸部36及第二导电型用电极7的凸部37分别与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13 对接时、使设置在电极-配线之间的未固化的绝缘树脂16可以流动的形状，是使未固化的绝缘树脂16流动的树脂流动部。在此，第一导电型用电极6的凹部沈优选与第一导电型用电极6的端部连接而形成于多个凸部36之间，而且第二导电型用电极7的凹部27优选与第二导电型用电极7的端部连接而形成于多个凸部37之间。在第一导电型用电极6的凹部沈与第一导电型用电极6的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用电极6的凸部36顶开而流入第一导电型用电极6的凹部沈的绝缘树脂16从第一导电型用电极6的端部向第一导电型用电极 6的外部排出的倾向；在第二导电型电极7的凹部27与第二导电型用电极7的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用电极7的凸部37顶开而流入第二导电型用电极7的凹二导电型用电极7的端部向第二导电型用电极7的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用电极6的端部，例如可以例举第一导电型用电极6的延伸方向上的端部和/或与第一导电型用电极6的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用电极7的端部，例如可以例举第二导电型用电极7的延伸方向上的端部和/或与第二导电型用电极7的延伸方向正交的方向上的端部。在此，具有如图15及图16所示形状的树脂流动部的背面电极型太阳能电池单元8 的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别能够通过例如丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等来形成。例如，在通过丝网印刷法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，选择丝网所使用的网状金属线的线形和厚度，能够在被压成为对应电极图案的开口部形状的金属膏表面上形成细小的凹凸。在该情况下，金属线部为凹部，金属线之间的开口部为凸部。之后，将金属膏在例如50°C 200°C左右的温度下干燥，然后再在300°C 800°C 左右的温度下烧制，由此能够形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。还有，在通过真空蒸镀法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，使用具有对应电极图案的开口部的金属掩模对金属进行真空蒸镀后，利用使用了绝缘膜或抗蚀剂膜等图案掩模的湿式蚀刻或等离子体离子处理和喷砂等干式蚀刻等，对金属的表面进行粗糙化处理，由此能够形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。还有，在通过镀层法形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的情况下，与第二实施方式相同，在形成镀层后，利用使用了绝缘膜或抗蚀剂膜等图案掩模的湿式蚀刻或等离子体离子处理和喷砂等干式蚀刻等，对金属的表面进行粗糙化处理，由此能够形成第一导电型用电极6及第二导电型用电极7。另外，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，优选第一导电型用电极6及第二导电型用电极7各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。以下参照图17(a) 图17(c)的示意性剖面放大图，针对图15及图16所示的太阳能电池模块中所使用的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行说明。首先，如图17(a)所示，在配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。在此，绝缘树脂 16也涂布在配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的表面上。如果在配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16，那么例如可以在包括配线基板10的第一导电型用配线12的表面和/或第二导电型用配线13的表面的配线基板10的表面上涂布绝缘树脂16。另外，绝缘树脂16也可涂布在背面电极型太阳能电池单元8的表面上。如果在背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16，那么例如可以在包括背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的表面和/或第二导电型用电极7的表面的背面电极型太阳能电池单元8的表面上涂布绝缘树脂16。接着，如图17(b)所示，在配线基板10上设置背面电极型太阳能电池单元8。在此，如图17(c)所示，背面电极型太阳能电池单元8设置在配线基板10上，以在配线基板10的第一导电型用配线12上设置背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6。另外，虽未图示，但在配线基板10的第二导电型用配线13上设置有背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7。由此，连接背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10。此时，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6的凸部36及第二导电型用电极7的凸部37分别顶开配线基板10上的绝缘树脂16。但被这些电极的凸部顶开的绝缘树脂16分别被收容在作为树脂流动部的第一导电型用电极6的凹部沈及第二导电型用电极7的凹部27中。即液状材料状态的未固化的绝缘树脂16在第一导电型用电极6-第一导电型用配线12之间及第二导电型用电极7-第二导电型用配线13之间流动，使第一导电型用电极6的凸部36与第一导电型用配线12对接，并且使第二导电型用电极7的凸部 37与第二导电型用配线13对接。在此，如果流动的绝缘树脂16被收容在树脂流动部(第一导电型用电极6的凹部沈及第二导电型用电极7的凹部27)而固化，那么在树脂流动部中，第一导电型用电极6与第一导电型用配线12接合，并且第二导电型用电极7与第二导电型用配线13接合。因此，第一导电型用电极6的凸部36与第一导电型用配线12接触而确保电连接； 并且第二导电型用电极7的凸部37与配线基板10的第二导电型用配线13也接触而确保电连接。在绝缘树脂16被固化的状态下，背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7与配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13 这两者之间，局部地通过树脂流动部中的绝缘树脂接合，并且在该树脂流动部以外的凸部顶部对接，由此形成电连接。因此，在使用上述结构的背面电极型太阳能电池单元8的情况下，在背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线之间嵌入绝缘树脂16，可以减少不能实现电连接背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线这种问题的发生，所以能够提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池模块的特性。而且，绝缘树脂16填充在背面电极型太阳能电池单元8的电极的树脂流动部中， 覆盖电极的周围，对电极进行保护，所以能够提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池模块的长期可靠性。另外，在上述说明中，虽然在背面电极型太阳能电池单元8的所有第一导电型用电极6及第二导电型用电极7都设有树脂流动部，但在本发明中，只要在第一导电型用电极 6及第二导电型用电极7的至少一种电极上设有树脂流动部即可。而且，在上述说明中，虽然将背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6 的凹部26及第二导电型用电极7的凹部27分别作为树脂流动部，但在本发明中，例如如图 18的示意性剖面放大图所示，也可在配线基板10的第一导电型用配线12的表面沿第一导电型用配线12的延伸方向及与其延伸方向正交的方向设有凹部112和凸部212，并且在第二导电型用配线13的表面沿第二导电型用配线13的延伸方向及与其延伸方向正交的方向设有凹部113和凸部213。在该情况下，第一导电型用配线12上的凹部112及第二导电型用配线13上的凹部113分别为树脂流动部。第一导电型用配线12的凹部112优选与第一导电型用配线12的端部连接而形成于多个凸部212之间，而且，第二导电型用配线13的凹部113优选与第二导电型用配线13 的端部连接而形成于多个凸部213之间。在第一导电型配线12的凹部112与第一导电型用配线12的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用配线12的凸部212顶开而流入第一导电型用配线12的凹部112的绝缘树脂16从第一导电型用配线12的端部向第一导电型用配线12的外部排出的倾向；在第二导电型配线13的凹部113与第二导电型用配线13的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用配线13的凸部213顶开而流入第二导电型用配线13的凹部113的绝缘树脂16从第二导电型用配线13的端部向第二导电型用配线13的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用配线12的端部，例如可以例举第一导电型用配线12的延伸方向上的端部和/或与第一导电型用配线12的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用配线13的端部，例如可以例举第二导电型用配线13的延伸方向上的端部和/或与第二导电型用配线13的延伸方向正交的方向上的端部。在此，作为形成具有凹部112和凸部212的第一导电型用配线12及具有凹部113 和凸部213的第二导电型用配线13的方法，虽然也可以通过例如上述的丝网印刷法、真空蒸镀法或镀层法等形成，但也可使用通过金属箔的蚀刻来形成的方法。在通过金属箔的蚀刻分别形成配线基板10的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的情况下，例如，首先在绝缘基体材料11的表面上形成通过轧制或电镀法等形成的金属箔。然后，在金属箔的表面上对抗蚀剂膜进行构图而形成为具有主开口部和副开口部，之后通过酸等对金属箔进行蚀刻，根据第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的图案对金属箔进行构图，由此分别形成由构图后的金属箔构成的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。最后，利用使用了绝缘膜或抗蚀剂膜等图案掩模的湿式蚀刻或等离子体离子处理和喷砂等干式蚀刻等，对金属的表面进行粗糙化处理，由此能够形成第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。还有，在图18所示的结构中，虽然配线基板10的所有第一导电型用配线12及第二导电型用配线13都设有树脂流动部，但在本发明中，只要在第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的至少一种配线上设有树脂流动部即可。而且，为了恰好顶开绝缘树脂16 而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，优选第一导电型用配线12及第二导电型用配线13各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。还有，在本发明中，例如如图19的示意性剖面放大图所示，也可在背面电极型太阳能电池单元8的各自的第一导电型用电极6及第二导电型用电极7上设有树脂流动部 (凹部)，并且在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上各自的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13上设有树脂流动部(凹部)。在图19所示的结构中，为了恰好顶开绝缘树脂16而提高背面电极型太阳能电池单元8的电极与配线基板10的配线连接的稳定性，第一导电型用电极6、第二导电型用电极7、第一导电型用配线12及第二导电型用配线 13的厚度分别与上述相同，优选在IOnm以上1000 μ m以下的范围内。在此，第一导电型用电极6的凹部优选与第一导电型用电极6的端部连接而形成于多个凸部之间。而且第二导电型用电极7的凹部优选与第二导电型用电极7的端部连接而形成于多个凸部之间。在第一导电型用电极6的凹部与第一导电型用电极6的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用电极6的凸部顶开而流入第一导电型用电极6的凹部的绝缘树脂16从第一导电型用电极6的端部向第一导电型用电极6的外部排出的倾向。 而且，在第二导电型用电极7的凹部与第二导电型用电极7的端部连接的情况下，具有能够将被第二导电型用电极7的凸部顶开而流入第二导电型用电极7的凹部的绝缘树脂16从第二导电型用电极7的端部向第二导电型用电极7的外部排出的倾向。另外，作为第一导电型用电极6的端部，例如可以例举第一导电型用电极6的延伸方向上的端部和/或与第一导电型用电极6的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用电极7的端部，例如可以例举第二导电型用电极7的延伸方向上的端部和/或与第二导电型用电极7的延伸方向正交的方向上的端部。第一导电型用配线12的凹部优选与第一导电型用配线12的端部连接而形成于多个凸部之间，而且第二导电型用配线13的凹部优选与第二导电型用配线13的端部连接而形成于多个凸部之间。在第一导电型用配线12的凹部与第一导电型用配线12的端部连接的情况下，具有能够将被第一导电型用配线12的凸部顶开而流入第一导电型用配线12的凹部的绝缘树脂16从第一导电型用配线12的端部向第一导电型用配线12的外部排出的倾向。而且，在第二导电型用配线13的凹部与第二导电型用配线13的端部连接的情况下， 具有能够将被第二导电型用配线13的凸部顶开而流入第二导电型用配线13的凹部的绝缘树脂16从第二导电型用配线13的端部向第二导电型用配线13的外部排出的倾向。另外， 作为第一导电型用配线12的端部，例如可以例举第一导电型用配线12的延伸方向上的端部和/或与第一导电型用配线12的延伸方向正交的方向上的端部；作为第二导电型用配线 13的端部，例如可以例举第二导电型用配线13的延伸方向上的端部和/或与第二导电型用配线13的延伸方向正交的方向上的端部。本实施方式上述以外的其他说明因为与第一实施方式及第二实施方式相同，所以在此省略其说明。
实施例〈实施例〉在实施例中，制作了图1所示结构的太阳能电池模块。以下针对实施例的太阳能电池模块的制造方法进行说明。首先，准备具有边长分别为U6mm的准正方形状的受光面及背面的、厚度为 200 μ m的η型硅基板作为半导体基板1，然后在η型硅基板的背面形成带状的η型杂质掺杂区域作为第一导电型杂质扩散区域2，并且交替地配列带状的ρ型杂质掺杂区域作为第二导电型杂质扩散区域3。之后，在η型硅基板的背面的整个面上通过等离子体CVD法形成氮化硅膜作为钝化膜4，在η型硅基板的受光面的整个面上形成纹理结构等凹凸结构，然后，在该凹凸结构上通过等离子体CVD法形成氮化膜作为防止反射膜5。接着，通过除去η型硅基板背面的氮化膜的一部分形成接触孔后，在通过接触孔而露出的η型杂质扩散区域上形成延伸成带状、外表面如圆柱的侧面般弯曲的曲面银电极作为第一导电型用电极6，并且在从接触孔露出的ρ型杂质扩散区域上形成延伸成带状、外表面如圆柱的侧面般弯曲的曲面银电极作为第二导电型用电极7。在此，银电极的厚度分别在IOym 15μπι的范围内，相邻的银电极之间的间距为0. 75mm左右。而且，作为第一导电型用电极6及第二导电型用电极7的银电极分别使用丝网，该丝网使用了形成为具有对应电极图案而构图的开口部的乳剂，通过从丝网侧的按压，慢慢地从丝网的开口部向η型硅基板背面的η型杂质扩散区域或P型杂质扩散区域挤出银膏， 之后，在100°C左右的温度下使银膏干燥后，在600°C左右的温度烧制而形成。通过以上步骤，制作出实施例的背面电极型太阳能电池单元。然后，如图6所示，作为配线基板10，准备在作为绝缘基体材料11的聚酰亚胺膜的表面上形成作为第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的、分别如图6所示构图的铜配线结构的配线基板。该配线基板的铜配线的图案为能够串联地电连接16块按照上述说明制作出的背面电极型太阳能电池单元的图案。接着，如图7(a) 图7(c)所示，在按照上述说明制作出的配线基板的表面上涂布作为绝缘树脂16的热固化性树脂后，设置按照上述说明制作出的背面电极型太阳能电池单元。之后，加热热固化性树脂，使之固化，由此连接背面电极型太阳能电池单元与配线基板，从而制作出附配线基板的太阳能电池单元。在此，背面电极型太阳能电池单元通过提前形成于背面电极型太阳能电池单元的定位标记而设置在配线基板上。然后，如图1所示，通过真空压接，密封在作为密封材料18的乙酸-醋酸乙烯酯树脂中，该密封材料18位于作为透明基板17的玻璃基板与用PET膜夹住作为背膜19的铝箔两面而构成的薄膜之间。在此，真空压接通过真空排气、并且在130°C温度下维持5分钟而进行。接着，在真空压接后，通过在145°C温度下加热40分钟，热固化乙酸-醋酸乙烯酸树脂，从而完成图1所示结构的实施例的太阳能电池模块。图20中表示实施例的太阳能电池模块的EL发光图像。如图20所示，在实施例的太阳能电池模块中，因为几乎看不到表示背面电极型太阳能电池单元的电极与配线基板的配线连接不良的黑色部分，基本确认在整个面上为均勻发光，所以能够确认背面电极型太阳能电池单元的电极与配线基板的配线连接良好。〈比较仿Ij>在比较例中，使用具有边长分别为90mm的准正方形状的受光面及背面的η型硅基板，使银电极间的间距为0. 6mm，除了背面电极型太阳能电池单元的电极的表面与配线基板的配线的表面分别是平坦的以外，其他都与实施例相同，由此制作出图7(c)所示结构的比较例的太阳能电池模块。图21表示比较例的太阳能电池模块的EL发光图像。如图21所示，在比较例的太阳能电池模块中，因为可确认表示背面电极型太阳能电池单元的电极与配线基板的配线连接不良的黑色部分存在于整个面上的广泛区域中，所以能够确认背面电极型太阳能电池单元的电极与配线基板的配线的连接不如实施例的太阳能电池模块良好。本次公开的实施方式及实施例在所有方面都是例示而不应该认为是限制。本发明的范围不是由上述的说明而是由权利要求范围来表示的，目的在于包括与权利要求范围等同含义和范围内的所有变更。工业上实用性本发明能够应用于背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。
权利要求
1.一种背面电极型太阳能电池单元(8)，其特征在于，具有形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域(3)的半导体基板(1)；形成于所述半导体基板(1)的一个表面侧的、分别对应所述第一导电型杂质扩散区域 (2)及所述第二导电型杂质扩散区域(3)的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极 (7)；所述第一导电型用电极(6)及所述第二导电型用电极(7)的至少一种电极随着逐渐离开所述半导体基板(1)、宽度连续地减小而从所述半导体基板(1)的相反侧突出。
2.一种附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有如权利要求1所述的背面电极型太阳能电池单元⑶；具有绝缘基体材料(11)和设置于所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12) 及第二导电型用配线(13)的配线基板(10)；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(1 对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极 (7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13)对接；除所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板 (10)的所述第一导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第二导电型用电极(7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)之间的至少一部分区域通过绝缘树脂(16)接合。
3.一种太阳能电池模块，其特征在于，如权利要求2所述的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上。
4.一种背面电极型太阳能电池单元(8)，其特征在于，具有形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域(3)的半导体基板(1)；形成于所述半导体基板(1)的一个表面侧的、分别对应所述第一导电型杂质扩散区域 (2)及所述第二导电型杂质扩散区域(3)的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极 (7)；所述第一导电型用电极(6)及所述第二导电型用电极(7)的至少一种电极在表面上具有多个凸部和在所述凸部之间形成且与电极端部连接的凹部。
5.一种附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有如权利要求4所述的背面电极型太阳能电池单元⑶；具有绝缘基体材料(11)和设置于所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12) 及第二导电型用配线(13)的配线基板(10)；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(1 对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极 (7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13)对接；除所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板 (10)的所述第一导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第二导电型用电极(7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)之间的至少一部分区域通过绝缘树脂(16)接合。
6.一种太阳能电池模块，其特征在于，如权利要求5所述的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上。
7.—种配线基板(10)，其特征在于，具有 绝缘基体材料(11)；为连接背面电极型太阳能电池单元(8)的电极(6，7)而在所述绝缘基体材料(11)上设置的第一导电型用配线(12)和第二导电型用配线(13)；所述第一导电型用配线(12)及所述第二导电型用配线(13)的至少一种配线随着逐渐离开所述绝缘基体材料(11)、宽度连续地减小从所述绝缘基体材料(11)的相反侧突出。
8.—种附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有 如权利要求7所述的配线基板(10)；在形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域C3)的半导体基板 (1)的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域( 及所述第二导电型杂质扩散区域⑶的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极(7)的背面电极型太阳能电池单元⑶；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(1 对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极 (7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13)对接；除所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板 (10)的所述第一导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第二导电型用电极(7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)之间的至少一部分区域通过绝缘树脂(16)接合。
9.一种太阳能电池模块，其特征在于，如权利要求8所述的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上。
10.一种配线基板(10)，其特征在于，具有 绝缘基体材料(11)；为连接背面电极型太阳能电池单元(8)的电极(6，7)而在所述绝缘基体材料(11)上设置的第一导电型用配线(12)和第二导电型用配线(13)；所述第一导电型用配线(12)及所述第二导电型用配线(13)的至少一种配线在表面上具有多个凸部和形成于所述凸部之间且与配线端部连接的凹部。
11.一种附配线基板的太阳能电池单元，其特征在于，具有 如权利要求10所述的配线基板(10)；在形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域C3)的半导体基板 (1)的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域( 及所述第二导电型杂质扩散区域⑶的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极(7)的背面电极型太阳能电池单元⑶；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(1 对接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极 (7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13)对接；除所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板 (10)的所述第一导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以及所述背面电极型太阳能电池单元⑶的所述第二导电型用电极(7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(1 对接而形成电连接的区域以外，所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)之间的至少一部分区域通过绝缘树脂(16)接合。
12.—种太阳能电池模块，其特征在于，如权利要求11所述的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上。
13.—种制造附配线基板的太阳能电池单元的方法，该附配线基板的太阳能电池单元具有在形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域C3)的半导体基板 (1)的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域( 及所述第二导电型杂质扩散区域⑶的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极(7)的背面电极型太阳能电池单元⑶；具有绝缘基体材料(11)和设置于所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12) 和第二导电型用配线(13)的配线基板(10)；该制造方法的特征在于，包括在包括所述第一导电型用配线(1 的表面和/或所述第二导电型用配线(1 的表面的所述配线基板(10)的表面上涂布绝缘树脂(16)的工序；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)的工序。
14.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括将按照如权利要求13所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造出的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上的工序。
15.一种附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，该附配线基板的太阳能电池单元具有在形成有第一导电型杂质扩散区域( 及第二导电型杂质扩散区域C3)的半导体基板 (1)的一个表面侧形成分别对应所述第一导电型杂质扩散区域( 及所述第二导电型杂质扩散区域⑶的第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极(7)的背面电极型太阳能电池单元⑶；具有绝缘基体材料(11)和设置于所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12) 和第二导电型用配线(13)的配线基板(10)；该制造方法的特征在于，包括在包括所述第一导电型用电极(6)的表面和/或所述第二导电型用电极(7)的表面的所述背面电极型太阳能电池单元(8)的表面上涂布绝缘树脂(16)的工序；在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)的工序。
16. 一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括将按照如权利要求15所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造出的附配线基板的太阳能电池单元通过密封材料密封于透明基板上的工序。
全文摘要
本发明提供了背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。本发明包括在第一导电型用电极(6)及第二导电型用电极(7)的至少一种电极上形成液状材料的可流动形状的背面电极型太阳能电池单元(8)、在第一导电型用配线(12)及第二导电型用配线(13)的至少一种配线上形成液状材料的可流动形状的配线基板(10)、以及使用上述的背面电极型太阳能电池单元(8)和/或配线基板(10)的附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法。
文档编号H01L31/042GK102414835SQ20108001811
公开日2012年4月11日 申请日期2010年3月11日 优先权日2009年3月25日
发明者安彦义哉 申请人:夏普株式会社