发光装置的制造装置以及制造方法

专利名称：发光装置的制造装置以及制造方法
技术领域：
本发明涉及一种发光装置的制造装置以及制造方法。
背景技术：
被称为有机电致发光(electroluminescence)元件(有机EL元件)或者有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode)元件的自发光元件由通过施加电场而发光的荧光性的有机化合物形成，具有在各像素上具有该元件而构成的显示屏的显示装置作为下一代显示设备而受到关注。有机EL元件形成在阳极电极和阴极电极这一对电极间，例如具备具有发光层、空穴注入层等的有机EL层(有机层)。有机EL元件通过在发光层由空穴和电子的再结合所产生的能量而发光。为了形成这样的有机层，以往，将规定的高分子材料作为印刷墨并通过使用作为凸版的一种的柔印版的印刷(以下称为柔印印刷)来在基板上形成(例如，日本特开 2007-299616号公报)。柔印印刷通过使用低粘度印刷墨，能够使形成于基板上的发光层等成为薄膜。另外，在柔印印刷中，通过例如由直接驱动马达等驱动形成为辊子状的印版滚筒和网纹辊，能够进行精密的印刷。由于这些理由，能够将柔印印刷良好地用于有机EL的有机层的图案形成。但是，以往的柔印印刷法存在以下所示的问题点。从分配器(日本特开 2007-299616号公报中墨腔)以在网纹辊表面整体上扩展的方式供给的印刷墨，转印到卷绕在印版滚筒上的形成印刷图案的柔印版。柔印版与作为印刷对象的基板接触，从而在基板上印刷印刷墨。此时，残留在网纹辊上的剩余的印刷墨被刮刀(刮刀)除去。此时，由于网纹辊和刮刀接触而产生尘埃，成为印刷墨中混入异物的原因。有机EL元件由于阴/阳极间薄，所以即使异物微小，也成为由于电极间短路而产生的暗斑等问题的原因。

发明内容
本发明是鉴于上述问题点而作出的，其目的在于提供一种能够有效抑制形成有机 EL元件这样的微小的结构时的异物混入的发光装置的制造装置以及制造方法。发光装置的制造装置，上述发光装置具有排列于基板上的多个发光元件，上述发光装置的制造装置具有旋转式的印版滚筒，具有用于在上述基板上印刷用来形成上述发光元件的有机层的印刷墨的柔印版；中间转印体，与上述柔印版抵接并转印上述印刷墨；头部，向上述中间转印体供给上述印刷墨；存储部，将通过上述转印而从上述中间转印体移动了上述印刷墨的区域作为印刷墨补充图案而存储；以及控制部，从上述头部向上述中间转印体的表面的上述印刷墨补充图案的区域内供给上述印刷墨。发明的效果根据本发明，能够有效地抑制形成有机EL元件这样的微小结构时的异物混入。


图1是表示本发明的实施方式1的印刷装置的结构的示意图。图2是表示印刷装置的主要结构的框图。图3是表示从网纹辊向印版滚筒的印刷墨的转印动作的图。图4是表示从印版滚筒向基板的印刷动作的图。图5是表示发光装置的结构例的俯视图。图6是像素的驱动电路的一例的等价电路图。图7是像素的俯视图。图8是图7所示的VIII-VIII线截面图。图9A 图9C是表示发光装置的制造方法的图。图IOA 图IOC是继图9表示发光装置的制造方法的图。图11是表示本发明的实施方式2的印刷装置的结构的示意图。图12是表示本发明的实施方式3的印刷装置的结构以及动作的示意图。图13是继图12表示印刷装置的动作的图。图14是表示本发明的实施方式4的印刷装置的结构的示意图。图15是表示本发明的实施方式5的印刷装置的结构的示意图。图16是表示本发明的实施方式6的印刷装置的结构的示意图。图17是表示印刷装置的主要结构的框图。图18是表示从网纹辊向印版滚筒的印刷墨的转印动作的图。图19是表示从印版滚筒向基板的印刷动作的图。图20A以及图20B是表示使用发光装置的电子设备的图。图21是表示使用发光装置的电子设备的图。图22是表示使用发光装置的电子设备的图。图23是表示使用发光装置的电子设备的图。图24A以及图24B是表示头的结构例的示意图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。(实施方式1)如图1所示，实施方式1的印刷装置300具有控制部301、存储部302、头303、收容有印刷墨340的印刷墨收容部304、网纹辊310、印版滚筒320、印刷台330。控制部301具有CPU (中央处理单元，Central Processing Unit)等，对来自于后述的头303的印刷墨的喷出以及网纹辊310和印版滚筒320的驱动等印刷装置300的功能整体进行控制。存储部302是由ROM(只读存储器，Read Only Memory)，RAM(随机存取存储器，Random Access Memory)等构成的存储装置。在存储部302中，存储有例如控制部301执行的程序以及基于印版滚筒320上的版的印刷图案所涉及的数据等。另外，存储部302例如作为控制部301执行程序时的工作存储器动作。头303基于控制部301的指示从头303将印刷墨340向网纹辊310喷出。在本实施方式中，头303具有压电元件(未图示)，通过所谓的喷墨方式喷出印刷墨340。另外，头 303以如下方式构成，S卩，一边配合网纹辊310的长度在图的X轴方向上扫描，一边喷出印刷墨340。印刷墨收容部304在其内部收容印刷墨340，并向头303供给印刷墨340。本实施方式的印刷墨340是有机EL的例如成为发光层等的材料的规定的高分子材料的溶液。网纹辊310将图的X轴方向作为轴并能够旋转地被支承，在X轴方向上具有规定的长度。在网纹辊310的外周面、即接收印刷墨340的面上，形成有作为浅凹部的多个网眼 311。在本说明书中，简略化地显示网眼311，网眼311以对应于印刷条件具有规定的深度、 图案等的方式设置。另外，头303只要以如下方式配置，即，在网纹辊310的X轴方向上对应于规定的长度，沿X轴配置多个将印刷墨340任意地喷出的喷出口，则能够不在X轴方向上使头303扫描地向网纹辊310的任意的网眼311内喷出印刷墨340。印版滚筒320以图的X轴方向为轴并能够能够旋转地被支承，在X轴方向具有规定的长度。如下所述，印版滚筒320以如下方式构成，即，印版滚筒320除了能够在X轴方向上旋转之外，还能够在与载置在印刷台330上的基板31的印刷面的面方向中的与图的X 轴方向正交的Y轴方向上移动，并且，能够在与X轴方向以及Y轴方向正交的、即相对于基板31的印刷面的法线方向的Z轴方向上移动。在印版滚筒320的外周面上，形成有柔印版的1个或多个版的凸部321。版的凸部321以对应于印刷的发光层等成为规定的图案的方式形成，接收来自网纹辊310的印刷墨340并在印刷对象物的基板31上转印印刷墨340。 印版滚筒320上的包含版的凸部321的柔印版的部分由树脂以及橡胶等适合于柔印印刷的材料形成。另外，基板31在本实施方式中固定于印刷台330上。印刷台330是将作为印刷装置300的印刷对象物的基板31载置在图的XY平面上的台。另外，印刷台330具有例如用于固定基板31的机构，但是在本说明书中省略其详细说明。在图2中，以框图表示出与控制部301关联的、更为详细的结构。印刷装置300除了图1所示的结构物以外，还具有头驱动部305、驱动部312、角度检测部313、驱动部322、 角度检测部323。头驱动部305基于控制部301的指示，驱动头303内置的压电元件并喷出印刷墨 3400另外，头驱动部305具有驱动用马达(未图示)以及轨道等机构，使头303在图的X 轴方向上扫描。驱动部312具有直接驱动方式的驱动用马达(未图示)，基于控制部301的指示， 以使从头303喷出的印刷墨340到达网纹辊310的规定的位置的方式使网纹辊310旋转。角度检测部313是设置于网纹辊310或驱动用马达的旋转轴上的角度传感器。角度检测部313通过直接或间接地检测网纹辊310的旋转角度来检测网纹辊310的位置，并将表示其位置的信号发送到控制部301。驱动部322具有直接驱动方式的驱动用马达(未图示)，基于控制部301的指示， 以将喷出到网纹辊310上的印刷墨340转印到印版滚筒320上的版的规定的位置上的方式，使印版滚筒320旋转。另外，驱动部322如下所述，使印版滚筒320在图的Y轴方向以及Z轴方向上移动。角度检测部323是设置于印版滚筒320或驱动用马达的旋转轴上的角度传感器。 角度检测部323直接或间接地检测印版滚筒320的位置，并将表示其位置的信号发送至控制部301。接下来，参照图3以及图4对本实施方式的印刷装置300的动作进行说明。另外， 以下所示的印刷装置300的动作只要没有特别限定，则基于控制部301的指示进行。另外， 在以下的说明中，网纹辊310的表面是指包含网眼311的范围的网纹辊310的外周面。如图3所示，头303首先向网纹辊310喷出印刷墨340。如果不考虑从网纹辊310 向印版滚筒320的印刷墨的转印，在该工序中，在网纹辊310的表面的全周上形成均勻的印刷墨膜341。另外，头303通过在图的X轴方向上扫描，覆盖网纹辊310的长度范围地喷出印刷墨340。配合上述的印刷墨膜341的形成工序，作为中间转印体的网纹辊310向印版滚筒 320转印印刷墨。此时，网纹辊310在箭头Rl的方向上旋转，印版滚筒320在箭头Cl的方向上旋转。控制部301通过角度检测部313检测网纹辊310的位置并且通过角度检测部 323检测印版滚筒320的位置。然后，控制部301以正确地进行印刷墨的转印的方式控制驱动部312而使网纹辊310旋转，并且，控制驱动部322而使印版滚筒320旋转。另外，在各实施方式的说明中，网纹辊310以及印版滚筒320的一方或双方也可以向与图示相反的方向旋转。另外，头303在围绕网纹辊310旋转1周为止持续喷出印刷墨340。另外，在图3 的例子中，并行地进行从头303向网纹辊310的印刷墨340的喷出和从网纹辊310向印版滚筒320的转印动作，但是，也可以在印刷墨340的喷出、即印刷墨膜341的形成结束后向印版滚筒320转印印刷墨340。如图3的例子所示，在印刷墨被转印的印版滚筒320上的版的表面上形成印刷墨膜342。与之对应的网纹辊310的表面成为印刷墨膜341被移动且除去的状态。当向印版滚筒320上的版的印刷墨的转印、即印刷墨膜342的形成结束时，如图4 所示，印版滚筒320移动到基板31上的规定的位置，从该位置开始向基板31印刷。此时， 印版滚筒320 —边使设置在印版滚筒320上的版与基板31抵接，一边在箭头Cl的方向上旋转，从而，在箭头C2的方向上移动。然后，在基板31的表面上形成例如成为有机EL元件的有机层的印刷墨膜343。头303相对于印刷墨补充部位344，以在网纹辊310的表面全周再次均勻地形成印刷墨膜341的方式喷出印刷墨340，该印刷墨补充部位是指如上所述通过一部分印刷墨膜341转印，网纹辊310的表面中的印刷墨340移动并被除去的部位。在该工序中，印刷墨 340喷出的图案(印刷墨补充图案)在网纹辊310的表面中的印刷墨340移动并被除去之前就预先存储于存储部302中。控制部301基于从角度检测部313得到的网纹辊310的位置和印刷墨补充图案，以网纹辊310的印刷墨补充部位344正确地面向头303的方式控制驱动部312。通过从头303喷出印刷墨340，形成于印刷墨补充部位344上的补充印刷墨膜 341a与残留的印刷墨膜341 —体化，在全周上形成均勻的印刷墨膜341。之后，如图3所示那样，能够再次向印版滚筒320上的版转印印刷墨以及向基板31印刷。
接下来，对使用上述的印刷装置300制造的发光装置的制造方法进行说明。另外， 在以下的说明中，以使用了使通过有机EL元件产生的光经由形成有有机EL元件的基板向外部射出的底部发射型的有机EL元件的主动驱动方式的发光装置为例进行说明。另外，将本说明书的发光装置作为显示装置使用。图5所示的发光装置10形成在上述的基板31上。发光装置10在进行颜色显示的情况下，将具有分别以红(R)、绿(G)、蓝(B)3色中的任意一个发光色发光的发光元件的 3个像素30(30R、30G、30B)作为一组，该组在行方向(图5的左右方向)上重复排列多个、 例如m个排列，在列方向(图5的上下方向)上，具有相同色的发光色的发光元件的像素排列多个、例如η个。换言之，像素自身在行方向上排列: 个，发出RGB的各色光的像素以矩阵状排列3mXn个。以下，对构成发光装置10的像素30进行说明。另外，在本实施方式中，像素30R、 30G、30B的结构相同，除了后述的发光层分别为发光层45R、45G、45B这一点不同。因此，以下作为单个的像素以像素30G为例进行说明。像素30G如图6所示，具有像素电路DS。像素电路DS例如如图6所示，具有选择晶体管Trll、驱动晶体管Trl2、电容器Cs、有机EL元件(发光元件)0EL。如图6所示，选择晶体管Trll的栅极端子连接于扫描线Ls，漏极端子连接于数据线Ld，源极端子连接于接点mi。另外，驱动晶体管Trl2的栅极端子连接于接点mi，漏极端子连接于阳极线La，源极端子连接于接点m2。电容器Cs连接于驱动晶体管Trl2的栅极端子以及源极端子。另外，电容器Cs是附加设置于驱动晶体管Trl2的栅极-源极间的辅助电容、或者驱动晶体管Trl2的栅极-源极间的寄生电容和辅助容量构成的电容成分。 另外，有机EL元件OEL的阳极电极(像素电极42)连接于接点附2，在阴极电极(对置电极 46)上施加基准电压Vss。扫描线Ls连接于配置在像素基板的周边缘部上的扫描驱动器(未图示)，施加用于在规定时刻将在行方向上排列的多个像素30设定为选择状态的选择电压信号(扫描信号)。另外，数据线Ld连接于配置在像素基板的周边缘部的数据驱动器(未图示)，在与上述像素30的选择状态同步的时刻施加对应于发光数据的数据电压(灰度信号)。为了将排列在行方向上的多个驱动晶体管Trl2设定为在连接于该驱动晶体管Trl2的有机EL元件OEL的像素电极42(例如阳极电极)中流过与发光数据对应的驱动电流的状态，阳极线 La(供给电压线)直接或者间接地连接于规定的高电位电源。即，阳极线La被施加比施加于有机EL元件OEL的对置电极46的基准电压Vss电位充分高的规定的高电位(供给电压 Vdd)。另外，对置电极46例如以如下方式形成，即，该对置电极46直接或间接地连接于规定的低电位电源，相对于在基板31上排列成阵列状的全部像素30通过单一的电极层形成， 被共通地施加规定的低电压(基准电压Vss、例如接地电位GND)。另外，阳极线La和扫描线Ls使用形成各晶体管Trll、Trl2的源极电极、漏极电极的源极-漏极导电层而与上述源极电极、漏极电极一起形成。数据线Ld使用成为各晶体管Trll、Trl2的栅极电极的栅极导电层并与栅极电极一起形成。在数据线Ld和漏极电极 Trlld之间的绝缘膜32上，如图7所示，形成接触孔61，数据线Ld和漏极电极Trlld经由接触孔61导通。在扫描线Ls和栅极电极Trllg的两端之间的绝缘膜32上，分别形成接触孔62、63，扫描线Ls和栅极电极Trllg经由接触孔62、63导通。源极电极TrllS和栅极电极Trl2g之间的绝缘膜32上，形成接触孔64，源极电极TrllS和栅极电极Trl2g经由接触孔64导通。另外，绝缘膜32由绝缘性材料、例如硅氧化膜、硅氮化膜等形成，以覆盖数据线 Ld、栅极电极Trllg以及栅极电极Trl2g的方式形成在基板31上。其次，有机EL元件OEL如图8所示，具有像素电极42、空穴注入层43、间层44、发光层45G、对置电极46。另外，在图8中，为了说明的方便，作为对发光作出贡献的发光功能层，以具有空穴注入层43和发光层45G的结构作为例子。除此以外，发光功能层可以只是发光层45G，也可以具有空穴注入层43和发光层45G。在各像素的基板31上，形成使栅极导电层形成图案的选择晶体管Trll、驱动晶体管Trl2的栅极电极Trllg、Trl2g。在与各像素邻接的基板31上，使栅极导电层形成图案， 并形成沿着列方向延伸的数据线Ld。像素电极(阳极电极)42由具有透光性的导电材料、例如ΙΤ0(铟锡氧化物、hdium Tin Oxide)，ZnO等构成。各像素电极42与邻接的其他的像素30的像素电极42通过层间绝缘膜47而被绝缘。层间绝缘膜47由绝缘性材料、例如氮化硅膜形成。层间绝缘膜47形成在像素电极42间，对晶体管Trll、Trl2和扫描线Ls、阳极线La进行绝缘保护。在层间绝缘膜47上形成大致方形的开口部47a，通过该开口部47a划出像素30G的发光区域。另外，在层间绝缘膜47上形成有隔壁48。在隔壁48上，在列方向(图7的上下方向)上延伸的槽状的开口部48a遍及各个像素30地形成。在这里，层间绝缘膜47以及形成在其上的隔壁48形成在行方向上邻接地排列的各像素30的发光区域间的间隙区域。隔壁48使绝缘材料例如聚酰亚胺等感光性树脂硬化，并形成于层间绝缘膜47上。 隔壁48如图7所示那样以集中对沿着列方向的多个像素的像素电极42开口的方式形成为条纹状。另外，隔壁48的平面形状不仅限定于此，也可以是对每个像素电极42具有开口部的格子状。另外，隔壁48的上表面以比发光层45R、45G、45B的中央的平坦部的上表面高的方式形成。另外，可以在隔壁48的表面、层间绝缘膜47的表面实施疏液处理。在这里，疏液是指表现出拒绝水系的溶剂、有机系溶剂中的任意一种的性质。空穴注入层43形成在像素电极42上。空穴注入层43具有向发光层45供给空穴的功能。空穴注入层43由能够注入/传输空穴(hole)的有机高分子系的材料、例如PEDOT PSS(作为导电性聚合物的聚乙撑二氧噻吩和作为掺杂物的聚苯乙烯磺酸的混合物)构成。间层44形成在空穴注入层43上。间层44具有拦截电子并在发光层45G内使电子和空穴容易再结合的功能，使发光层45G的发光效率提高。发光层45G形成于空穴注入层43上。发光层45G(以及R、B)具有通过在阳极电极42和阴极电极46之间施加电压而产生各像素的发光色的光的功能。发光层45G由包含能够发出荧光或者磷光的公知的高分子发光材料、例如聚对苯乙烯撑系或聚芴系等的共轭双键聚合物的发光材料构成。另外，这些发光材料通过涂敷溶解(或分散)于适当的水系溶剂或者四氢化萘、四甲苯、三甲苯，二甲苯等有机溶剂的溶液(分散液)，并使溶剂挥发而形成。对置电极(阴极电极)46在底部发射型的情况下设置于发光层45G侧，为具有由导电材料、例如Li、Mg、Ca、Ba等功函数低的材料构成的电子注入性的下层和由Al等光反射性导电金属构成的上层的层叠构造。在本实施方式中，对置电极46由跨过多个像素30而形成的单一的电极层构成，施加例如作为接地电位的基准电压Vss。另外，在使有机EL元件 OEL为顶部发射型的情况下，对置电极46设置于发光层45G侧，为具有IOnm左右的膜厚的极薄的例如由Li、Mg、Ca、Ba等功函数低的材料构成的低功函数层和IOOnm 200nm左右的膜厚的ITO等光透过性导电层的透明层叠结构。在对置电极46上，设置有钝化膜49。在钝化膜49上设置有粘结层50。而且，在粘结层50上设置有密封基板51。接下来，使用图9A 图9C以及图IOA 图IOC对本实施方式的发光装置的制造方法进行说明。另外，由于选择晶体管Trll与驱动晶体管Trl2通过同一工序形成，所以省略一部分选择晶体管Trll的形成的说明。如图9A所示，首先，准备由玻璃基板等构成的基板31。然后，在该基板31上，通过溅射法、真空蒸镀法等形成例如由Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al层叠膜、AlTi合金膜或者 AlNdTi合金膜、AlNi合金膜、MoNb合金膜等构成的栅极导电膜，这如图9A所示那样，形成图案为驱动晶体管Trl2的栅极电极Trl2g的形状。此时，虽然没有图示，但是也形成选择晶体管Trll的栅极电极Trllg以及数据线Ld。接下来，如图9B所示，通过CVD (化学气相沉积，Chemical Vapor D印osition)法等在栅极电极Trl2g以及数据线Ld上形成绝缘膜 32。接下来，在绝缘膜32上通过CVD法等形成由非晶体硅等构成的半导体层。然后， 在半导体层上通过CVD法等形成例如由SiN等构成的绝缘膜。接着，将绝缘膜通过光刻等形成图案，形成截止膜115。另外，在半导体层以及截止膜115上，通过CVD法等，形成由含有η型杂质的非晶体硅等构成的膜，通过光刻等使该膜和半导体层形成图案，从而，如图9B 所示，形成半导体层114和欧姆接触层116、117。接下来，通过溅射法、真空蒸镀法等在绝缘膜32上覆盖ITO等透明导电膜或者光反射性导电膜以及ITO等透明导电膜之后，通过光刻形成图案而形成像素电极42。接着，在绝缘膜32上形成作为贯通孔的接触孔61 64，之后，通过溅射法、真空蒸镀法等覆盖由例如Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al层叠膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、 AlNi合金膜、MoNb合金膜等构成的源极-漏极导电膜，通过光刻形成图案而如图9B所示那样形成漏极电极Trl2d以及源极电极Trl2s。与此同时，形成阳极线La。此时，驱动晶体管 Trl2的源极电极Trl2s以分别与像素电极42的一部分重合的方式形成。接着，如图9C所示，以覆盖驱动晶体管Trl2等的方式通过CVD法等形成由硅氮化膜构成的层间绝缘膜47，之后，通过光刻形成开口部47a。接下来，将感光性聚酰亚胺以覆盖层间绝缘膜47的方式涂敷，通过经由与隔壁48的形状对应的掩膜并曝光、显影而形成图案，如图9C所示，形成具有开口部48a的隔壁48。接下来，如图IOA所示，形成发光层45G。在这里，将成为空穴注入层的PEDOT =PSS 的溶液作为印刷墨340，通过上述印刷装置300在由开口部47a包围的像素电极42上选择性地印刷。印刷墨340为，对PEDOT :PSS添加用于调整粘度以及表面张力的酒精、非离子系界面活性剂、乙二醇等，调整为PEDOT =PSS印刷墨。接下来，将基板31在大气环境下以 150°C 250°C进行5 30分钟干燥。由此，使有机化合物含有液的溶剂挥发，形成空穴注入层43。有机化合物含有液在加热环境下被涂敷也可。另外，作为柔印版的印版滚筒320上的版的凸部321的图案对应于被印刷的各层的图案，而使用光刻法形成预先规定的图案。 另外，在空穴注入层用的印刷装置300中，由于印版滚筒320上的版的凸部321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滚筒320上的版能够使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素电极42上。接下来，如图IOB所示，形成间层44。在这里，将含有成为间层44的材料的有机化合物含有液作为印刷墨340，通过印刷装置300在由开口部47a包围的空穴注入层43上印刷。接着，在氮或者氩等不活性环境中进行加热干燥，或者在真空中进行加热干燥，进行残留溶剂的除去并形成间层44。有机化合物含有液也可以在加热环境下涂敷。另外，空穴注入层43以及间层44即使在本实施方式那样的具有多个颜色的发光层45的情况下，也可以由共通的材料形成。另外，在间层用的印刷装置300中，由于印版滚筒320上的版的凸部 321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滚筒320上的版能够使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素电极43上。接下来，形成发光层45G。在这里，将含有发光聚合物材料(R、G、B)的有机化合物含有液作为印刷墨340，通过印刷装置300在由开口部47a包围的间层44上印刷。印刷墨 340使聚芴系的高分子发光材料溶解于甲苯、二甲苯、三甲苯、四甲苯等溶剂，调整为规定的浓度。溶剂也可以是上述的混合溶剂。接下来，在露点-70°C以下的干燥环境下或者在真空中以80 150°C。且为发光层的玻璃转移温度以下的温度加热10 30分钟，除去膜中的溶剂。另外，在发光层用的印刷装置300中，由于印版滚筒320上的版的凸部321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以，印版滚筒320上的版能够使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在间层44上。接下来，如图IOC所示，形成对置电极46。在这里，在保持干燥环境的状态下进行冷却之后，在形成到发光层45G的基板31上，通过真空蒸镀或电子束蒸镀法，以蒸镀法形成 Li、Mg、LiF、Ca、Ba等碱金属、碱土类金属、或者它们的化合物。接着，通过蒸镀法或者电子束蒸镀法形成Al等的光反射性导电层。由此，形成2层结构的对置电极46。接下来，如图8所示，通过在对置电极46上以电子束蒸镀法、溅射法或者CVD法形成SiN、SiON等的层，形成钝化膜49。接着，在钝化膜49上涂敷由紫外线硬化树脂或者热硬化树脂构成的粘结层50，将由玻璃或者金属盖形成的密封基板51贴合于涂敷面。接着， 通过紫外线或者热使粘结层50硬化，使基板31和密封基板51接合。通过以上步骤，制造发光装置10。如以上说明的那样，在本实施方式中，在柔印印刷中，网纹辊310上的印刷墨膜 341中，仅对通过向印版滚筒320上的版的转印而使印刷墨340移动并除去的部分，通过喷墨法喷出印刷墨340，形成均勻的印刷墨340。由此，不需要如以往的柔印印刷那样通过使刮刀在网纹辊的表面上滑动来除去印刷墨，能够抑制异物的混入。特别是，在将本发明用于如有机EL元件那样在阴极和阳极间形成数百nm左右的微小的构造的有机层的情况下，能够减低电极间的短路所导致的暗斑等不良产生的可能性，所以特别适合于应用。(实施方式2)如图11所示，实施方式2的印刷装置400具有头303a、30;3b这2个头，与具有1 个头303的实施方式1的印刷装置300不同。另外，在以下的说明中，对与已经说明了的实施方式相同的结构物赋予相同符号，并省略其详细说明。
在头303a上连接有印刷墨收容部304a。在印刷墨收容部30 中收容有与实施方式1相同规定浓度的印刷墨；340。头303a以能够与实施方式1同样地将印刷墨340向网纹辊310喷出的方式配置。在头30 上连接有印刷墨收容部304b。在印刷墨收容部304b中收容有比印刷墨 340浓度低的印刷墨。头30 以与头303a同样地一边在基板31的长度方向(图的X轴方向)上扫描，一边向网纹辊310喷出印刷墨的方式配置。接下来，对印刷装置400的动作进行说明。如图11所示，在本实施方式中，通过头 303a,303b这2个头进行图4中所说明的那样的印刷墨的补充。首先，对网纹辊310表面的印刷墨补充部位344，从头303a喷出规定的浓度的印刷墨，形成补充印刷墨膜341a。接着，从头30 喷出比规定的浓度低的印刷墨。印刷墨从头30 的喷出，是为了补充网纹辊310旋转期间蒸发的溶剂，而对印刷墨没有转印的部分喷出或者对网纹辊310整体均勻地喷出的。这样，通过补充印刷墨膜341a与残留的印刷墨膜341接触，浓度相对低的印刷墨和相对高的印刷墨340以在印刷墨膜341内成为均等的印刷墨浓度的方式移动、扩散。这些头303a、303b的动作与实施方式1的头303同样，基于通过角度检测部313检测的网纹辊310的位置，控制部301进行控制。这样，通过涂敷多种浓度的印刷墨，能够在全周形成浓度以及膜厚的均勻性更高的印刷墨膜341。因此，根据本实施方式，形成于基板31上的印刷墨膜343因为能够提高均勻性而优选。另外，在本实施方式中，对应于印刷条件，也可以代替浓度低的印刷墨而仅使用溶剂。另外，在本实施方式中，设置有2个喷墨头即头303a、303b，但是也可以设置3个以上， 也可以从各个头喷出浓度不同的印刷墨或者仅喷出溶剂。(实施方式3)如图12所示，实施方式3的印刷装置500在使用将实施方式1的网纹辊310展开成平面状的网纹板350这一点上与实施方式1的印刷装置300不同。另外，对上面没有说明的结构物进行以下说明。网纹板350在本实施方式中是形成为矩形的板状体的印刷墨收容部。在网纹板 350的一方的主面、即与印版滚筒320对置的一侧的面上，形成有作为与网纹辊310的网眼 311相当的浅的凹部即网眼351。网眼351以对应于印刷条件等具有规定的深度、图案等的
方式设置。网纹板台360是固定网纹板350的台状的构件。网纹板台360以至少能够在图的 Y轴方向上移动的方式构成。驱动部361相当于实施方式1的驱动部312。驱动部361具有线性马达方式的驱动用马达(未图示)，基于控制部301的指示，使网纹板台360移动到规定的位置。位置检测部362与实施方式1的角度检测部313相当。位置检测部362是设置于网纹板350、网纹板台360或者驱动用马达上的位置传感器。位置检测部362直接或者间接地检测网纹板350的位置，将表示该位置的信号发送至控制部301。头驱动部306使头303在图的Y轴方向上移动，使头303在图的X轴方向上扫描。头驱动部306与实施方式1的头驱动部305相当。头驱动部306具有X轴方向以及Y轴方向上的导向轨道(在图12中仅在Y轴方向上)，在能够使头303不仅在图的X轴方向而且在Y轴方向上扫描这一点上，与头驱动部305不同。另外，头驱动部306基于控制部301的指示，驱动头303内置的压电元件并喷出印刷墨340。接下来，参照图12以及图13对本实施方式的印刷装置500的动作进行说明。首先，头303在网纹板350的表面喷出印刷墨340。由此，在网纹板350的整个面上形成印刷墨膜；341。此时，印版滚筒320在不干涉印刷墨340的喷出的位置待机。接下来，如图12所示，印版滚筒320移动到网纹板350上的规定的位置。接着，印版滚筒320 —边使印版滚筒320上的版抵接于网纹板350，一边在箭头Cl的方向上旋转，并且在箭头C2的方向上行进。另外，载置网纹板350的网纹板台360在箭头C2的相反方向的箭头Rl的方向上移动。由此，印刷墨膜341被转印到印版滚筒320上的版上，在印版滚筒320上的版的表面上形成实施方式1的图3所示那样的印刷墨膜342。另外，在向印版滚筒320上的版转印印刷墨时，网纹板350也可以停止，但是，为了利用用于印刷墨转印的适当的推压而得到剪断力，优选在与印版滚筒320的行进方向相反的方向(箭头Rl)上行进。接下来，如图13所示，印版滚筒320与实施方式1的图4同样地在基板31上进行印刷。由此，在基板31上形成印刷墨膜343。另外，头303向网纹板350上的印刷墨膜341 中的印刷墨340移动并被除去的部分3M补充印刷墨340。此时，头驱动部306使头303向箭头Sl的方向移动，驱动部361使网纹板台360向箭头Sl的相反方向的箭头Rl的方向移动。在印版滚筒320向基板31转印的期间，如果头303向印刷墨膜341中的印刷墨340移动并被除去的部分邪4补充印刷墨340，则在印版滚筒320向基板31的转印结束后，通过再次接触网纹板350上的印刷墨膜341，而迅速供给接下来的转印的印刷墨，能够进一步提高制造效率。如本实施方式的印刷装置500那样，通过使网纹辊310平面化并成为网纹板350， 能够提高维护性。另外，代替头驱动部306，也可以使用与实施方式1同样的头驱动部305。 在该情况下，能够使头303的驱动机构简略化或者省略(在后述的线列头(Iinehead)方式的情况下)，通过网纹板台360移动，在网纹板350整体上涂敷印刷墨340。(实施方式4)如图14所示，实施方式4的印刷装置600在使头303成为与实施方式2同样的头 303a,303b这两个头的这一点上，与实施方式3的印刷装置500不同。印刷装置600的动作基本上与印刷装置500 —样。另外，与实施方式2 —样，头 303a喷出规定浓度的印刷墨340，头30 喷出浓度比印刷墨340低的印刷墨或者仅喷出溶剂。头30 能够在网纹板350的表面的一部分或者全部上涂敷印刷墨或者溶剂。(实施方式5)如图15所示，实施方式5的印刷装置700在具有2个网纹板350a、350b这点上， 以及，在具有2个清洁单元371、372这一点上，与实施方式3的印刷装置500不同。另外， 为了简略化，省略图示，以下说明以外的结构与实施方式3相同。网纹板350a、350b分别与实施方式3的网纹板350相同。在本实施方式中，网纹板350a、350b载置在共通的网纹板台360上。另外，在本实施方式中，基于控制部301的指示，驱动部361不仅能够使网纹板台360在图的Y轴方向上移动，而且能够在X轴方向(箭头Al)上移动。另外，网纹板台360以在向着箭头Al的方向移动的情况下主要成为2个状态的方式构成。1个如图15所示，为网纹板350a位于清洁位置Pcl而网纹板350b位于印刷墨转印位置PO的状态。另一个是网纹板350a位于印刷墨转印位置PO而网纹板350b位于清洁位置Pc2的状态。另外，也可以将网纹板台360分开为与网纹板350a相对的部分和与网纹板350b相对的部分，但是，在本实施方式那样的作为一体的情况下，具有2个网纹板的相对位置关系不变的优点。清洁单元371是在网纹板350a位于清洁位置Pcl时，在网纹板350a上进行扫描、 清洁、擦拭、大气压等离子体清洁、UV(紫外线)照射等的清洁装置。由此，清洁单元371能够进行网纹板350a的维护。清洁单元372是在网纹板350b位于清洁位置Pc2时，在网纹板350b上进行扫描、 清洁、擦拭、大气压等离子体清洁、UV(紫外线)照射等的清洁装置。由此，清洁单元372能够进行网纹板350b的维护。另外，清洁单元371、372都是根据控制部301的指示动作，能够在图的Y轴方向(箭头Hl)上移动。接下来对印刷装置700的动作进行说明。印刷墨340向网纹板350a或者网纹板 350b的涂敷以及印刷墨340向印版滚筒320上的版的转印在图15的印刷墨转印位置PO进行。这之后，到向基板31的印刷为止的动作与实施方式3—样。印版滚筒320在图的Y轴方向(箭头Ο)上往复，重复上述的工序。另外，在本实施方式中，交替使用2个网纹板350a、350b。例如，在使用网纹板350a 进行上述的印刷之后，当印刷次数达到规定次数时，驱动部361以网纹板350a位于清洁位置Pcl的方式使网纹板台360移动。接着，清洁单元371通过上述方法对网纹板350a的表面进行清洁。在网纹板350a在清洁位置Pcl进行维护的过程中，能够在印刷中使用的网纹板 350b位于印刷墨转印位置P0。因此，并行进行网纹板350a的维护，而能够使用网纹板350b 继续进行印刷。当使用网纹板350b完成规定次数的印刷后，驱动部361以网纹板350b位于清洁位置Pc2的方式使网纹板台360移动。之后，同样地交替进行网纹板350a与网纹板 350b的印刷的使用和维护。如以上说明的那样，通过设置多个印刷墨收容部(网纹板350a、350b)，能够提高作为印刷装置的开工率。另外，在本实施方式中，虽然对使用网纹板的情况进行了记载，但是，也可以准备2组实施方式1那样的网纹辊，交替进行印刷的使用和维护。另外，在本实施方式中，为了图示的方便使用2个清洁单元371、372，但是，作为一体的清洁装置构成也可。(实施方式6)以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。如图16所示，本实施方式的印刷装置1300具有控制部301、存储部302、头303、收容有印刷墨340的印刷墨收容部304、网纹辊310、印版滚筒1320、印刷台330。控制部301具有CPU (中央处理单元，Central Processing Unit)等，对来自于后述的头303的印刷墨的喷出以及网纹辊310和印版滚筒1320的驱动等印刷装置1300的功能整体进行控制。存储部302是由ROM(只读存储器，Read Only Memory)，RAM(随机存取存储器， Random Access Memory)等构成的存储装置。在存储部302中，存储有例如控制部301执行的程序以及基于印版滚筒1320上的版的印刷图案所涉及的数据等。另外，存储部302例如作为控制部301执行程序时的工作存储器动作。头303基于控制部301的指示从头303将印刷墨340向网纹辊310喷出。在本实施方式中，头303具有压电元件(未图示)，通过所谓的喷墨方式喷出印刷墨340。另外，头 303以如下方式构成，即，一边配合网纹辊310的长度在图的X轴方向上扫描，一边喷出印刷墨340。印刷墨收容部304在其内部收容印刷墨340，并向头303供给印刷墨340。本实施方式的印刷墨340是有机EL的例如成为发光层等的材料的规定的高分子材料的溶液。网纹辊310将图的X轴方向作为轴并能够旋转地被支承，在X轴方向上具有规定的长度。在网纹辊310的外周面、即接收印刷墨340的面上，形成有作为浅凹部的多个网眼 311。在本说明书中，简略化地显示网眼311，网眼311以对应于印刷条件具有规定的深度、 图案等的方式设置。另外，头303只要以如下方式配置，即，在网纹辊310的X轴方向上对应于规定的长度，沿X轴配置多个将印刷墨340任意地喷出的喷出口，则能够不在X轴方向上使头303扫描地向网纹辊310的任意的网眼311内喷出印刷墨340。印版滚筒1320以图的X轴方向为轴并能够能够旋转地被支承，在X轴方向具有规定的长度。如下所述，印版滚筒1320以如下方式构成，即，印版滚筒1320除了能够在X轴方向上旋转之外，还能够在与载置在印刷台330上的基板31的印刷面的面方向中的与图的 X轴方向正交的Y轴方向上移动，并且，能够在与X轴方向以及Y轴方向正交的、即相对于基板31的印刷面的法线方向的Z轴方向上移动。在印版滚筒1320的外周面上，形成有柔印版的1个或多个版的凸部1321。版的凸部1321以对应于印刷的发光层等成为规定的图案的方式形成，接收来自网纹辊310的印刷墨340并在印刷对象物的基板31上转印印刷墨 340。印版滚筒1320上的包含版的凸部1321的柔印版的部分由树脂以及橡胶等适合于柔印印刷的材料形成。另外，基板31在本实施方式中固定于印刷台330上。印刷台330是将作为印刷装置1300的印刷对象物的基板31载置在图的XY平面上的台。另外，印刷台330具有例如用于固定基板31的机构，但是在本说明书中省略其详细说明。在图17中，以框图表示出与控制部301关联的、更为详细的结构。印刷装置1300 除了图21所示的结构物以外，还具有头驱动部305、驱动部312、角度检测部313、驱动部 322、角度检测部323。头驱动部305基于控制部301的指示，驱动头303内置的压电元件并喷出印刷墨 3400另外，头驱动部305具有驱动用马达(未图示)以及轨道等机构，使头303在图的X 轴方向上扫描。驱动部312具有直接驱动方式的驱动用马达(未图示)，基于控制部301的指示， 以使从头303喷出的印刷墨340到达网纹辊310的规定的位置的方式使网纹辊310旋转。角度检测部313是设置于网纹辊310或驱动用马达的旋转轴上的角度传感器。角度检测部313通过直接或间接地检测网纹辊310的位置，并将表示其位置的信号发送到控制部301。驱动部322具有直接驱动方式的驱动用马达(未图示)，基于控制部301的指示， 以将喷出到网纹辊310上的印刷墨340转印到印版滚筒1320上所具有的版的规定的位置上的方式，使印版滚筒1320旋转。另外，驱动部322如下所述，使印版滚筒1320在图的Y轴方向以及Z轴方向上移动。角度检测部323是设置于印版滚筒1320或驱动用马达的旋转轴上的角度传感器。 角度检测部323直接或间接地检测印版滚筒1320的位置，并将表示其位置的信号发送至控制部301。接下来，参照图18以及图19对本实施方式的印刷装置1300的动作进行说明。另外，以下所示的印刷装置1300的动作只要没有特别限定，则基于控制部301的指示进行。另外，在以下的说明中，网纹辊310的表面是指包含网眼311的范围的网纹辊310的外周面。首先，在控制部301中，基于来自与网纹辊310对应的角度检测部313的信号，计算出网纹辊310的位置。接着，控制部301由存储于存储部302的印刷图案计算出网纹辊 310的表面的印刷墨涂敷区域。在本实施方式中，印刷墨涂敷区域为印版滚筒1320所具有的版的凸部1321的表面。然后，头303向计算出的印刷墨涂敷区域喷出印刷墨340，在网纹辊310的表面形成布满印刷墨340的印刷墨膜341。此时，网纹辊310在箭头Rl的方向上旋转。另外，头 303通过在图的X轴方向上扫描而覆盖网纹辊310的长度范围地喷出印刷墨340。涂敷于作为中间转印体的网纹辊310的印刷墨膜341的印刷墨340，通过网纹辊 310与印版滚筒1320上的版的抵接而转印到印版滚筒1320的版的凸部1321上。印版滚筒 1320在箭头Cl的方向上旋转。在图18的例子中，某个版的凸部1321上的印刷墨膜342的印刷墨340已经从网纹辊310被转印，接着，对于其相邻的版的凸部1321，没有图示的印刷墨膜341从网纹辊310被转印。通过这样从网纹辊310向印版滚筒1320上的版的转印，大致全部的印刷墨膜341从网纹辊310移动并被除去。另外，在本实施方式的说明中，网纹辊 310以及印版滚筒1320的一方或双方也可以向与图示相反的方向旋转。通过印刷墨的转印，当印版滚筒1320所具有的版的印刷墨膜342的形成结束时， 接着，驱动部322使印版滚筒1320移动到基板31上的规定的位置。之后，如图19所示，印刷墨340在与基板31接触的同时在箭头Cl的方向上旋转，并且，在箭头C2的方向上行进， 与此同时，将印刷墨膜342转印到基板31上。由此，在基板31上，形成印刷墨膜343。另外，如上所述，从向印版滚筒1320上的版转印后的网纹辊310的表面除去大致全部的印刷墨膜341。接下来，对使用上述的印刷装置1300制造的发光装置的制造方法进行说明。另外，在以下的说明中，以使用了使通过有机EL元件产生的光经由形成有有机EL元件的基板向外部射出的底部发射型的有机EL元件的主动驱动方式的发光装置为例进行说明。另外， 将本说明书的发光装置作为显示装置使用。图5所示的发光装置10形成在上述的基板31上。发光装置10在进行颜色显示的情况下，将具有分别以红(R)、绿(G)、蓝(B) 3色中的任意一个发光色发光的发光元件的 3个像素30(30R、30G、30B)作为一组，该组在行方向(图5的左右方向)上重复排列多个、 例如m个排列，在列方向(图5的上下方向)上，具有相同色的发光色的发光元件的像素排列多个、例如η个。换言之，像素自身在行方向上排列: 个，发出RGB的各色光的像素以矩阵状排列3mXn个。以下，对构成发光装置10的像素30进行说明。另外，在本实施方式中，像素30R、 30G、30B的结构相同，除了后述的发光层分别为发光层45R、45G、45B这一点不同。因此，以下作为单个的像素以像素30G为例进行说明。像素30G如图6所示，具有像素电路DS。像素电路DS例如如图6所示，具有选择晶体管Trll、驱动晶体管Trl2、电容器Cs、有机EL元件(发光元件)0EL。如图6所示，选择晶体管Trll的栅极端子连接于扫描线Ls，漏极端子连接于数据线Ld，源极端子连接于接点mi。另外，驱动晶体管Trl2的栅极端子连接于接点mi，漏极端子连接于阳极线La，源极端子连接于接点m2。电容器Cs连接于驱动晶体管Trl2的栅极端子以及源极端子。另外，电容器Cs是附加设置于驱动晶体管Trl2的栅极-源极间的辅助电容、或者驱动晶体管Trl2的栅极-源极间的寄生电容和辅助容量构成的电容成分。 另外，有机EL元件OEL的阳极电极(像素电极42)连接于接点附2，在阴极电极(对置电极 46)上施加基准电压Vss。扫描线Ls连接于配置在像素基板的周边缘部上的扫描驱动器(未图示)，施加用于在规定时刻将在行方向上排列的多个像素30设定为选择状态的选择电压信号(扫描信号)。另外，数据线Ld连接于配置在像素基板的周边缘部的数据驱动器(未图示)，在与上述像素30的选择状态同步的时刻施加对应于发光数据的数据电压(灰度信号)。为了将排列在行方向上的多个驱动晶体管Trl2设定为在连接于该驱动晶体管Trl2的有机EL元件OEL的像素电极42(例如阳极电极)中流过与发光数据对应的驱动电流的状态，阳极线 La(供给电压线)直接或者间接地连接于规定的高电位电源。即，阳极线La被施加比施加于有机EL元件OEL的对置电极46的基准电压Vss电位充分高的规定的高电位(供给电压 Vdd)。另外，对置电极46例如以如下方式形成，即，该对置电极46直接或间接地连接于规定的低电位电源，相对于在基板31上排列成阵列状的全部像素30通过单一的电极层形成， 被共通地施加规定的低电压(基准电压Vss、例如接地电位GND)。另外，阳极线La和扫描线Ls使用形成各晶体管Trll、Trl2的源极电极、漏极电极的源极-漏极导电层而与上述源极电极、漏极电极一起形成。数据线Ld使用成为各晶体管Trll、Trl2的栅极电极的栅极导电层并与栅极电极一起形成。在数据线Ld和漏极电极 Trlld之间的绝缘膜32上，如图7所示，形成接触孔61，数据线Ld和漏极电极Trlld经由接触孔61导通。在扫描线Ls和栅极电极Trllg的两端之间的绝缘膜32上，分别形成接触孔62、63，扫描线Ls和栅极电极Trllg经由接触孔62、63导通。源极电极TrllS和栅极电极Trl2g之间的绝缘膜32上，形成接触孔64，源极电极TrllS和栅极电极Trl2g经由接触孔64导通。另外，绝缘膜32由绝缘性材料、例如硅氧化膜、硅氮化膜等形成，以覆盖数据线 Ld、栅极电极Trllg以及栅极电极Trl2g的方式形成在基板31上。其次，有机EL元件OEL如图8所示，具有像素电极42、空穴注入层43、间层44、发光层45G、对置电极46。另外，在图8中，为了说明的方便，作为对发光作出贡献的发光功能层，以具有空穴注入层43和发光层45G的结构作为例子。除此以外，发光功能层可以只是发光层45G，也可以具有空穴注入层43和发光层45G。在各像素的基板31上，形成使栅极导电层形成图案的选择晶体管Trll、驱动晶体管Trl2的栅极电极Trllg、Trl2g。在与各像素邻接的基板31上，使栅极导电层形成图案， 并形成沿着列方向延伸的数据线Ld。像素电极(阳极电极)42由具有透光性的导电材料、例如ΙΤ0(铟锡氧化物、hdium Tin Oxide)，ZnO等构成。各像素电极42与邻接的其他的像素30的像素电极42通过层间绝缘膜47而被绝缘。层间绝缘膜47由绝缘性材料、例如氮化硅膜形成。层间绝缘膜47形成在像素电极42间，对晶体管Trll、Trl2和扫描线Ls、阳极线La进行绝缘保护。在层间绝缘膜47上形成大致方形的开口部47a，通过该开口部47a划出像素30G的发光区域。另外，在层间绝缘膜47上形成有隔壁48。在隔壁48上，在列方向(图7的上下方向)上延伸的槽状的开口部48a遍及各个像素30地形成。在这里，层间绝缘膜47以及形成在其上的隔壁48形成在行方向上邻接地排列的各像素30的发光区域间的间隙区域。隔壁48使绝缘材料例如聚酰亚胺等感光性树脂硬化，并形成于层间绝缘膜47上。 隔壁48如图7所示那样以集中对沿着列方向的多个像素的像素电极42开口的方式形成为条纹状。另外，隔壁48的平面形状不仅限定于此，也可以是对每个像素电极42具有开口部的格子状。另外，隔壁48的上表面以比发光层45R、45G、45B的中央的平坦部的上表面高的方式形成。另外，可以在隔壁48的表面、层间绝缘膜47的表面实施疏液处理。在这里，疏液是指表现出拒绝水系的溶剂、有机系溶剂中的任意一种的性质。空穴注入层43形成在像素电极42上。空穴注入层43具有向发光层45供给空穴的功能。空穴注入层43由能够注入/传输空穴(hole)的有机高分子系的材料、例如PEDOT PSS(作为导电性聚合物的聚乙撑二氧噻吩和作为掺杂物的聚苯乙烯磺酸的混合物)构成。间层44形成在空穴注入层43上。间层44具有拦截电子并在发光层45G内使电子和空穴容易再结合的功能，使发光层45G的发光效率提高。发光层45G形成于空穴注入层43上。发光层45G(以及R、B)具有通过在阳极电极42和阴极电极46之间施加电压而产生各像素的发光色的光的功能。发光层45G由包含能够发出荧光或者磷光的公知的高分子发光材料、例如聚对苯乙烯撑系或聚芴系等的共轭双键聚合物的发光材料构成。另外，这些发光材料通过涂敷溶解(或分散)于适当的水系溶剂或者四氢化萘、四甲苯、三甲苯，二甲苯等有机溶剂的溶液(分散液)，并使溶剂挥发而形成。对置电极(阴极电极)46在底部发射型的情况下设置于发光层45G侧，为具有由导电材料、例如Li、Mg、Ca、Ba等功函数低的材料构成的电子注入性的下层和由Al等光反射性导电金属构成的上层的层叠构造。在本实施方式中，对置电极46由跨过多个像素30而形成的单一的电极层构成，施加例如作为接地电位的基准电压Vss。另外，在使有机EL元件 OEL为顶部发射型的情况下，对置电极46设置于发光层45G侧，为具有IOnm左右的膜厚的极薄的例如由Li、Mg、Ca、Ba等功函数低的材料构成的低功函数层和IOOnm 200nm左右的膜厚的ITO等光透过性导电层的透明层叠结构。在对置电极46上，设置有钝化膜49。在钝化膜49上设置有粘结层50。而且，在粘结层50上设置有密封基板51。接下来，使用图9A 图9C以及图IOA 图IOC对本实施方式的发光装置的制造方法进行说明。另外，由于选择晶体管Trll与驱动晶体管Trl2通过同一工序形成，所以省略一部分选择晶体管Trll的形成的说明。如图9A所示，首先，准备由玻璃基板等构成的基板31。然后，在该基板31上，通过溅射法、真空蒸镀法等形成例如由Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al层叠膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、AlNi合金膜、MoNb合金膜等构成的栅极导电膜，这如图9A所示那样，形成图案为驱动晶体管Trl2的栅极电极Trl2g的形状。此时，虽然没有图示，但是也形成选择晶体管Trll的栅极电极Trllg以及数据线Ld。接下来，如图9B所示，通过CVD(化学气相沉积，Chemical Vapor D印osition)法等在栅极电极Trl2g以及数据线Ld上形成绝缘膜 32。接下来，在绝缘膜32上通过CVD法等形成由非晶体硅等构成的半导体层。然后， 在半导体层上通过CVD法等形成例如由SiN等构成的绝缘膜。接着，将绝缘膜通过光刻等形成图案，形成截止膜115。另外，在半导体层以及截止膜115上，通过CVD法等，形成由含有η型杂质的非晶体硅等构成的膜，通过光刻等使该膜和半导体层形成图案，从而，如图9B 所示，形成半导体层114和欧姆接触层116、117。接下来，通过溅射法、真空蒸镀法等在绝缘膜32上覆盖ITO等透明导电膜或者光反射性导电膜以及ITO等透明导电膜之后，通过光刻形成图案而形成像素电极42。接着，在绝缘膜32上形成作为贯通孔的接触孔61 64，之后，通过溅射法、真空蒸镀法等覆盖由例如Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al层叠膜、AlTi合金膜或者AlNdTi合金膜、 AlNi合金膜、MoNb合金膜等构成的源极-漏极导电膜，通过光刻形成图案而如图9B所示那样形成漏极电极Trl2d以及源极电极Trl2s。与此同时，形成阳极线La。此时，驱动晶体管 Trl2的源极电极Trl2s以分别与像素电极42的一部分重合的方式形成。接着，如图9C所示，以覆盖驱动晶体管Trl2等的方式通过CVD法等形成由硅氮化膜构成的层间绝缘膜47，之后，通过光刻形成开口部47a。接下来，将感光性聚酰亚胺以覆盖层间绝缘膜47的方式涂敷，通过经由与隔壁48的形状对应的掩膜并曝光、显影而形成图案，如图9C所示，形成具有开口部48a的隔壁48。接下来，如图IOA所示，形成发光层45G。在这里，将成为空穴注入层的PEDOT =PSS 的溶液作为印刷墨340，通过上述印刷装置1300在由开口部47a包围的像素电极42上选择性地印刷。印刷墨340为，对PEDOT :PSS添加用于调整粘度以及表面张力的酒精、非离子系界面活性剂、乙二醇等，调整为PEDOT =PSS印刷墨。接下来，将基板31在大气环境下以 150°C 250°C进行5 30分钟干燥。由此，使有机化合物含有液的溶剂挥发，形成空穴注入层43。有机化合物含有液在加热环境下被涂敷也可。另外，作为柔印版的印版滚筒1320 上的版的凸部1321的图案对应于被印刷的各层的图案，而使用光刻法形成预先规定的图案。另外，在空穴注入层用的印刷装置1300中，由于印版滚筒1320上的版的凸部1321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滚筒1320上的版能够使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在像素电极42上。接下来，如图IOB所示，形成间层44。在这里，将含有成为间层44的材料的有机化合物含有液作为印刷墨340，通过印刷装置1300在由开口部47a包围的空穴注入层43上印刷。接着，在氮或者氩等不活性环境中进行加热干燥，或者在真空中进行加热干燥，进行残留溶剂的除去并形成间层44。有机化合物含有液也可以在加热环境下涂敷。另外，空穴注入层43以及间层44即使在本实施方式那样的具有多个颜色的发光层45的情况下，也可以由共通的材料形成。另外，在间层用的印刷装置1300中，由于印版滚筒1320上的版的凸部 1321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以印版滚筒1320上的版能够使印刷墨膜；342的印刷墨340容易地突出在像素电极43上。
接下来，形成发光层45G。在这里，将含有发光聚合物材料(R、G、B)的有机化合物含有液作为印刷墨340，通过印刷装置1300在由开口部47a包围的间层44上印刷。印刷墨 340使聚芴系的高分子发光材料溶解于甲苯、二甲苯、三甲苯、四甲苯等溶剂，调整为规定的浓度。溶剂也可以是上述的混合溶剂。接下来，在露点-70°C以下的干燥环境下或者在真空中以80 150°C。且为发光层的玻璃转移温度以下的温度加热10 30分钟，除去膜中的溶剂。另外，在发光层用的印刷装置1300中，由于印版滚筒1320上的版的凸部1321的厚度比层间绝缘膜47的厚度以及隔壁48的厚度的和充分高，所以，印版滚筒1320上的版能够使印刷墨膜342的印刷墨340容易地突出在间层44上。接下来，如图IOC所示，形成对置电极46。在这里，在保持干燥环境的状态下进行冷却之后，在形成到发光层45G的基板31上，通过真空蒸镀或电子束蒸镀法，以蒸镀法形成 Li、Mg、LiF、Ca、Ba等碱金属、碱土类金属、或者它们的化合物。接着，通过蒸镀法或者电子束蒸镀法形成Al等的光反射性导电层。由此，形成2层结构的对置电极46。接下来，如图8所示，通过在对置电极46上以电子束蒸镀法、溅射法或者CVD法形成SiN、SiON等的层，形成钝化膜49。接着，在钝化膜49上涂敷由紫外线硬化树脂或者热硬化树脂构成的粘结层50，将由玻璃或者金属盖形成的密封基板51贴合于涂敷面。接着， 通过紫外线或者热使粘结层50硬化，使基板31和密封基板51接合。通过以上步骤，制造发光装置10。如以上说明的那样，在本实施方式中，在柔印印刷中，仅在基板31上的显示部(像素30)所对应的部分以喷墨法在网纹辊310的表面形成印刷墨。由此，能够减少用于柔印印刷的印刷墨的使用量。即，能够提高昂贵的有机EL材料的使用效率，并且能够减小发光装置的制造成本。在上述的实施方式中，作为中间转印体，对旋转式的网纹辊310进行了说明，但是，也可以构成为板状的网纹板。另外，在实施方式1中说明了的发光装置10的制造方法以使用印刷装置300为例进行了说明，但是，也可以使用印刷装置400、500、600、700、1300。另外，发光装置10作为数码相机、个人电脑、便携电话等电子设备的显示部(显示器)使用。具体来说，相机200 例如如图20A以及图20B所示，具有透镜部201、操作部202、显示部203、取景器204。作为该显示部203，使用发光装置10。同样地，图21所示的个人电脑210具有显示部211和操作部212，发光装置10作为显示部211使用。另外，图22所示的便携电话220具有显示部 221、操作部222、受话部223、送话部224，发光装置10作为显示部221使用。另外，图23所示的大画面电视230具有显示部231，在该显示部231使用发光装置10。以上，对各实施方式进行说明，但是本发明不仅限于上述实施方式和具体例子，可以进行各种变形以及应用。例如，在上述实施方式中，发光装置10是进行颜色显示的装置，以具有3个颜色发光元件的结构为例进行了说明，但是不仅限于此，也可以是2个颜色或者4个颜色以上。另外，在发光装置10是进行单色显示的装置的情况下，仅具有1个颜色的发光元件。另外，在上述实施方式中，以发光功能层是具有空穴注入层43、间层44以及发光层45(R、G、B)的结构作为例子，但是不仅限定于此。例如，还可以是由空穴注入层43和发光层45构成发光功能层的结构，还可以仅将发光层45作为发光功能层。
另外，在上述实施方式中，以像素电路DS具有两个晶体管的结构为例进行了说明，但是，也可以具有3个以上的晶体管。另外，在上述实施方式中，以底部发射型的有机EL元件为中心进行了说明，但是不仅限定于此，还能够用于将通过有机EL元件OEL产生的光经由对置电极向外部射出的顶部发射型的有机EL元件。另外，在上述实施方式中，以将发光装置作为显示装置利用的结构作为例子进行了说明，但是，还可以作为在打印机的感光鼓上照射光的打印头等的曝光装置加以利用。另外，在上述实施方式中，对头303在图的X轴方向上扫描的所谓的串行头方式进行了说明。在串行头方式中，头303例如沿着图24A所示的导向轨道307扫描。除此以外， 还可以使用例如具有多个喷出口(喷嘴)的所谓的线列头方式的头。在该情况下，头可以为1个，也可以如图24B所示那样将例如3个头308a、308b、308c从Z轴方向观察配置成交错状。由此，头驱动部305或者头驱动部306中的用于使头303扫描的结构能够省略或者简略化。另外，通过采用线列头方式，由于能够在广阔的范围内一次印刷，能够缩短工序，为优选。另外，在该情况下，希望基于各喷嘴的喷出量的偏差预先设定各喷嘴具有的压电元件的动作波形并存储于存储部302，从而能够使各喷嘴的喷出量一定。另外，当然也可以将上述各实施方式以及变形例的结构适当组合。
权利要求
1.一种发光装置的制造装置，上述发光装置具有排列于基板上的多个发光元件，上述发光装置的制造装置具有旋转式的印版滚筒，具有用于在上述基板上印刷用来形成上述发光元件的有机层的印刷墨的柔印版；中间转印体，与上述柔印版抵接并转印上述印刷墨； 头部，向上述中间转印体供给上述印刷墨；存储部，将通过上述转印而从上述中间转印体移动了上述印刷墨的区域作为印刷墨补充图案而存储；以及控制部，从上述头部向上述中间转印体的表面的上述印刷墨补充图案的区域内供给上述印刷墨。
2.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于，还具有头驱动部，该头驱动部使上述头部移动到与上述印刷墨补充图案对置的位置。
3.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于， 上述头部通过喷墨方式向上述中间转印体喷出上述印刷墨。
4.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于，上述头部具有多个喷嘴，上述多个喷嘴相互之间位置固定并且分别喷出上述印刷墨， 上述多个喷嘴分别具有压电元件，上述压电元件将上述印刷墨作为液滴以喷墨方式喷出，上述存储部存储各上述压电元件的动作波形，上述控制部基于上述动作波形进行控制，从而使来自各上述压电元件的上述印刷墨的喷出量均勻。
5.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于， 上述发光元件是有机电致发光元件，上述印刷墨包含成为有机电致发光元件的有机层的材料。
6.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于， 上述中间转印体是旋转式的网纹辊。
7.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于， 上述中间转印体是板状的网纹板。
8.如权利要求7所述的发光装置的制造装置，其特征在于， 在上述转印时，上述网纹板和上述印版滚筒相互向相反方向行进。
9.如权利要求1所述的发光装置的制造装置，其特征在于，上述头部具有多个头，上述多个头分别喷出上述有机层的材料成分的浓度相互不同的上述印刷墨或者溶剂。
10.一种发光装置的制造装置，上述发光装置具有排列于基板上的多个发光元件，上述发光装置的制造装置具有旋转式的印版滚筒，具有用于在上述基板上印刷用来形成上述发光元件的有机层的印刷墨的柔印版；第1及第2中间转印体，与上述柔印版抵接并转印上述印刷墨； 头部，向上述第1及第2中间转印体供给上述印刷墨；存储部，将通过上述转印而从上述中间转印体移动了上述印刷墨的区域作为印刷墨补充图案而存储；控制部，从上述头部向上述中间转印体的表面的上述印刷墨补充图案的区域内供给上述印刷墨；中间转印体移动装置，使上述第1及第2中间转印体以一方位于用于上述转印的位置而另一方位于用于维护的位置的方式交替移动；以及清洁装置，对位于用于上述维护的位置上的上述第1中间转印体或者上述第2中间转印体进行清洁。
11.一种发光装置的制造装置，上述发光装置具有排列于基板上的多个发光元件，上述发光装置的制造装置具有旋转式的印版滚筒，具有用于在上述基板上印刷用来形成上述发光元件的有机层的印刷墨的柔印版；中间转印体，与上述柔印版抵接并转印上述印刷墨； 头部，向上述中间转印体供给上述印刷墨；存储部，存储与上述基板的印刷图案对应的上述中间转印体的表面的印刷墨供给图案；以及控制部，从上述头部向上述中间转印体的上述印刷墨供给图案的区域内供给上述印刷墨。
12.—种具有发光元件的发光装置的制造方法，包含如下工序将含有发光元件的有机层的材料的印刷墨供给到中间转印体，在上述中间转印体的表面形成印刷墨膜；从上述中间转印体向印版滚筒的柔印版转印上述印刷墨膜； 将转印到上述柔印版上的上述印刷墨膜印刷到基板上；以及对通过上述转印而从上述中间转印体移动了上述印刷墨的区域，喷墨头选择性地补充上述印刷墨，在上述中间转印体的表面再次形成上述印刷墨膜。
13.如权利要求12所述的发光装置的制造方法，其特征在于，在再次形成上述印刷墨膜的工序之后，将上述有机层的材料的浓度比上述印刷墨低的低浓度印刷墨或者溶剂供给到上述中间转印体的表面的一部分或者全部。
14.如权利要求12所述的发光装置的制造方法，其特征在于，在使上述中间转印体的上述印刷墨移动到上述柔印版上之前，将上述中间转印体的上述印刷墨被移动到上述柔印版上的区域作为印刷墨补充图案而存储， 使上述喷墨头部移动到与上述印刷墨补充图案对置的位置。
15.如权利要求12所述的发光装置的制造方法，其特征在于， 上述中间转印体是旋转式的网纹辊。
16.如权利要求12所述的发光装置的制造方法，其特征在于， 检测上述中间转印体的角度而检测上述中间转印体的位置。
17.如权利要求12所述的发光装置的制造方法，其特征在于， 上述中间转印体是板状的网纹板。
18.如权利要求17所述的发光装置的制造方法，其特征在于，在上述转印时，上述网纹板和上述印版滚筒相互向相反方向行进。
19. 一种具有发光元件的发光装置的制造方法，含有以下工序 通过喷墨方式，将含有发光元件的有机层的材料的印刷墨选择性地供给到中间转印体的表面中的与印版滚筒的柔印版抵接的区域；从上述中间转印体向上述印版滚筒的上述柔印版转印上述印刷墨；以及从上述印版滚筒向基板上印刷上述印刷墨。
全文摘要
提供一种能够有效抑制形成有机EL元件这样的微小的结构时的异物混入的发光装置的制造装置以及制造方法。发光装置的制造装置中，发光装置具有排列于基板上的多个发光元件，发光装置的制造装置具有旋转式的印版滚筒，具有用于在基板上印刷用来形成发光元件的有机层的印刷墨的柔印版；中间转印体，与柔印版抵接并转印印刷墨；头部，向中间转印体供给印刷墨；存储部，将通过转印而从中间转印体移动了印刷墨的区域作为印刷墨补充图案而存储；以及控制部，从头部向中间转印体的表面的印刷墨补充图案的区域内供给印刷墨。
文档编号H01L51/56GK102195008SQ201110066780
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月18日 优先权日2010年3月18日
发明者下田悟, 海老泽功 申请人:卡西欧计算机株式会社