专利名称：激光诱致热成像用膜的去除装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种激光诱致热成像(Laser Induced Thermal Imaging, LITI)用膜的去除装置，尤其涉及一种用于稳定去除设置于基板的激光诱致热成像(LITI)用膜的装置。
背景技术：
平板显示器中的有机电致发光显示器具有的优点在于，无论尺寸如何，其均可作为运动图像的显示介质；这是因为其响应时间不超过1毫秒、功耗低，并且由于能够自发光而具有出色的视角。此外，基于现有的半导体处理技术，能够利用简单的工艺在低温条件下制造有机电致发光显示器，因此，其作为下一代平板显示器颇具吸引力。根据使用的材料和工艺，一般可以将有机电致发光显示器分为采用湿法的聚合物型显示器和采用沉积法的低分子量型显示器。但是，在聚合物或低分子量发光层所采用的成图法中，喷墨打印法具有的缺点在于，除发光层之外的有机层所采用的材料有限，并且喷墨打印所采用的结构必须形成在基板上。此外，采用沉积法对发光层成图时，由于金属掩膜的影响，难以制造大型显示装置。激光诱致热成像(LITI)法，作为这种成图法的可代替技术，最近才发展起来。LITI法是将光源发出的激光转变成热能，热能依次将成图材料转移至靶基板，从而形成图形。在LITI法中，供体薄膜覆盖作为受体的整个基板，并且供体薄膜和基板固定于平台上。此外，供体薄膜与基板通过层压处理进一步相互结合，然后再进行激光成像，从而形成图形。应当注意的是上述内容仅用于理解背景技术，并非说明本领域的公知技术。通常，从基板上去除供体薄膜时，会不可控地引入空气，从而导致供体薄膜起皱并且损坏基板上已成像部分。因此，需要解决这个问题。
发明内容
本发明内容的一个方面在于提供一种根据辊子位置朝供体薄膜相继喷射空气从而将激光诱致热成像用膜从基板上稳定地去除并同时调节空气引入的装置，从而防止了因不必要的空气泄漏导致基板上出现缺陷。根据本发明的一个方面，一种激光诱致热成像用膜的去除装置，包括基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元， 设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除。所述吸气单元可以包括穿过所述基板台的多个吸气管、与所述吸气管连通的集气管、与所述集气管连通的排气管、以及与所述排气管连通以抽吸空气的排气泵。所述吸气管可以围绕所述基板设置。所述吸气单元可以根据所述辊单元的位置相继抽吸空气。
通过下文并结合附图对实施例的说明，本发明的上述及其它方面、特征和优点将显而易见。其中图1为根据本发明的示例性实施例的一种激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的示意图；图2为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气单元示意图；图3为根据本发明的示例性实施例的所述激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的基板台示意图，其中设置有基板和供体薄膜；以及图4为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气管排列示意图。
具体实施例方式下面将结合附图详细描述本发明的实施例。应当注意的是附图并未按照精确比例绘制，为方便描述和清楚起见，线条厚度或组件尺寸可能被放大。此外，文中定义的术语考虑了本发明的功能，并可以根据使用人员和操作人员的习惯或意图予以改变。因此，应根据本文所述的整个公开内容来确定术语的含义。图1为根据本发明的示例性实施例的一种激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的示意图；图2为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气单元示意图；图3为根据本发明的示例性实施例的所述激光诱致热成像(LITI)用膜的去除装置的基板台示意图，其中设置有基板和供体薄膜；图4为根据本发明的示例性实施例的所述装置的吸气管排列示意图。由图1-图4可知，根据本发明的实施例的所述装置1包括基板台10、辊单元20以及吸气单元50。基板台10具有凹部，该凹部内设置有基板11和供体薄膜件12。基板台10横向移动，可以通过轮、导轨、长度可变的气缸或其它各种结构来移动基板台10。将激光束照射到供体薄膜件12时，供体薄膜件12的光热转换层将该激光束转变成热能，从而在散热时膨胀。因此，有机层，即转换层，也会膨胀，并与供体薄膜件12分离， 从而在基板11上形成有机层。这里，成图材料根据激光的照射方向附着至基板11。供体薄膜件12包括与激光反应的薄膜13以及连接至薄膜13边缘的托架14。辊单元20压制供体薄膜件12。辊单元20包括一对连接板21和辊子22，连接板 21连接到某个结构(图中未示出)。该对连接板21根据薄膜13的宽度彼此分开相应的距离。辊子22旋转设置在该对连接板21之间，从而压制薄膜13。吸气单元50设置于基板台10并将供体薄膜件12与基板11之间逸出的空气去除。吸气单元50包括吸气管51、集气管52、排气管53以及排气泵54。吸气管51穿过基板台10。吸气管51由多个管道构成，该管道设置于基板台10的与供体薄膜件12的薄膜13和托架14之间的部分相对应的部分。集气管52设置于基板台10，用于与相应的吸气管51连通。排气管53设置于基板台10，用于与集气管52连通。排气管53穿过运动单元38，运动单元38设置于基板台10以便纵向运动。当运动单元38向上运动时，基板11与薄膜 13之间的空气被排出，而使基板11与薄膜13之间被排空。排气泵54连接至排气管53。当排气泵54被驱动时，空气被排出，因此薄膜13和基板11所不需要的导入空气被排出。吸气管51围绕基板11设置，对基板11及薄膜13之间的导入空气进行抽吸。吸气管51由多个管道构成，将该管道分成多个管组a、b、c及d，从而相继抽吸空气。分组设置的吸气管51可以根据辊单元20的位置相继抽吸空气。吸气管51分别与集气管52连通，集气管52与单独的排气管53连通，进而连接至排气泵54，或者，集气管52与带有气路换向阀的单个排气管53连通。下面将讲述该激光诱致热成像用膜的去除装置的操作方法。当辊子22压制薄膜13时，根据辊子22的位置，空气被持续送入基板11与薄膜13 之间，薄膜13与基板11分离。此处，辊子22在对应于薄膜宽度的整个长度上压制薄膜13，从而防止薄膜13由于气压过大而起皱。在持续将空气送入基板11与薄膜13之间的过程中，一部分空气被送入基板11与薄膜13之间的辊子22未经过的区域。此处，驱动排气泵54时，泄漏到不必要位置处的空气通过吸气管51、集气管52和排气管53排出。即，当辊子22经过a组的吸气管51时，通过b、c和d组的排气管51抽吸薄膜13 与基板11之间泄漏的空气。然后，随着基板台10的移动，当辊子22经过b组的吸气管51时，通过c组和d组的吸气管51抽吸薄膜13与基板11之间泄漏的空气。此外，随着基板台10的移动，当辊子22经过c组的吸气管51时，通过d组的吸气管51抽吸薄膜13与基板11之间泄漏的空气。同样，根据这些实施例，该激光诱致热成像用膜的去除装置可以通过吸气单元排出泄漏的空气，从而防止薄膜因空气泄漏而受损。尽管本发明中已经讲述了一些实施例，但应明白的是，这些实施例仅用于说明，而非限制本发明的范围，并且在不背离本发明的精神的前提下，本领域的技术人员可以进行各种修改、变化和改变，本发明的精神及范围仅由所附权利要求予以限定。
权利要求
1.一种激光诱致热成像用膜的去除装置，其特征在于，包括 基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除。
2.根据权利要求1的所述装置，其特征在于，所述吸气单元包括穿过所述基板台的多个吸气管、与所述吸气管连通的集气管、与所述集气管连通的排气管、以及与所述排气管连通以抽吸空气的排气泵。
3.根据权利要求2的所述装置，其特征在于，所述吸气管围绕所述基板设置。
4.根据权利要求3的所述装置，其特征在于，所述吸气单元根据所述辊单元的位置相继抽吸空气。
全文摘要
本发明公开了一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除，从而防止了所述薄膜因为空气泄漏而受损。
文档编号H01L51/56GK102332537SQ20111017682
公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月28日 优先权日2010年6月30日
发明者尹小辉, 崔东奎, 金相午, 黄成在 申请人:Ap系统股份有限公司