专利名称：一种提高太阳能电池rie均匀性的制绒设备及方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池的RIE制绒设备领域，特别是一种提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备及方法。
背景技术：
反应性离子蚀刻简称RIE是结合物理性的离子轰击与化学反应的蚀刻。此种方式兼具非等向性与高蚀刻选择比等双重优点，蚀刻的进行主要靠化学反应来达成，以获得高选择比。加入离子轰击的作用有二 一是将被蚀刻材质表面的原子键结破坏，以加速反应速率。二是将再沉积于被蚀刻表面的产物或聚合物打掉，以使被蚀刻表面能再与蚀刻气体接触。而非等向性蚀刻的达成，则是靠再沉积的产物或聚合物沉积在蚀刻图形上，在表面的沉积物可为离子打掉，故蚀刻可继续进行，而在侧壁上的沉积物，因未受离子轰击而保留下来，阻隔了蚀刻表面与反应气体的接触，使得侧壁不受蚀刻，而获得非等向性蚀刻。通过调整气体流量及射频能量可获得非常低的反射率，因而可应用于多晶太阳能电池的制绒工艺上。RIE制绒工艺是通过等离子体的轰击和化学反应的刻蚀在硅片表面形成< Ium的微小绒面，以降低表面反射率，增加陷光效果，提升电池片的短路电流。在工业化的生产中， 为了提升产能，RIE制绒时一般是多片同时作业，数量可达100片，而目前的RIE制绒设备的反应气体只是从反应腔顶部的喷淋头通入，这样会造成在反应时中间与边缘气体比例有差别，造成边缘与中间的反射率相差较大，批内均勻性很差，工艺调整困难。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备，改善现有RIE太阳能电池制绒工艺均勻性差问题。本发明解决其技术问题所采用的方案是一种提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备，包括反应腔、顶部气体管路和喷淋头，电池片放置在反应腔内，喷淋头位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路输送，从喷淋头进入反应腔，在反应腔侧壁上设置侧壁气体管路，在顶部气体管路和侧壁气体管路上都设置单独的流量控制器，可分别调整流量。反应腔侧壁两侧都设置侧壁气体管路。—种提高太阳能电池RIE均勻性的方法为使用该制绒设备，如果边缘反射率较高则可增加侧壁气体管路流量，反之则降低侧壁气体管路流量。侧壁气体流量与喷淋头气体流量比例一般为0. 5 1. 5之间。本发明的有益效果是通过本发明可改善RIE制绒工艺的均勻性，增加工艺的可控性，解决电池性能不稳定的问题。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；
图1是本发明的结构示意图；图中，1.顶部气体管路、2.喷淋头，3.反应腔侧壁，4.电池片，5.侧壁气体管路， 6.流量控制器。
具体实施例方式如图1所示，该提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备，包括反应腔、顶部气体管路1和喷淋头2，电池片4放置在反应腔内，喷淋头2位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路1输送，从喷淋头2进入反应腔，在反应腔侧壁3上设置侧壁气体管路5，在顶部气体管路1和侧壁气体管路5上都设置单独的流量控制器6，可分别调整流量。反应腔侧壁3 两侧都设置侧壁气体管路5。本发明在反应腔侧壁3加入侧壁气体管路5，反应气体可同时从顶部气体管路1 及侧壁气体管路5流出，通过调节侧壁气体管路5的气体流量，可调整边缘电池片4的反射率。通过调整侧壁气体管路5的气体流量与喷淋头2的气体流量的比例达到改善均勻性的目的。具体方式为如果边缘电池片4的反射率较高则可增加侧壁气体管路5的气体流量， 反之则降低侧壁气体管路5的气体流量。侧壁气体流量根据射频能量，喷淋头2与底座距离进行调整，侧壁气体流量与喷淋头气体流量比例一般为0. 5 1. 5之间。
权利要求
1.一种提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备，包括反应腔、顶部气体管路(1)和喷淋头0)，电池片(4)放置在反应腔内，喷淋头(2)位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路(1)输送，从喷淋头( 进入反应腔，其特征是在所述的反应腔侧壁C3)上设置侧壁气体管路(5)，在顶部气体管路(1)和侧壁气体管路( 上都设置单独的流量控制器(6)， 可分别调整流量。
2.根据权利要求1所述的一种提高太阳能电池RIE均勻性的制绒设备，其特征是所述的反应腔侧壁( 两侧都设置侧壁气体管路(5)。
3.一种提高太阳能电池RIE均勻性的方法，其特征是使用权利要求1所述的制绒设备，如果边缘反射率较高则可增加侧壁气体管路流量，反之则降低侧壁气体管路流量。
4.根据权利要求3所述的提高太阳能电池RIE均勻性的方法，其特征是侧壁气体流量与喷淋头气体流量比例为0. 5 1. 5之间。
全文摘要
本发明涉及太阳能电池的RIE制绒设备领域，本发明涉及太阳能电池的RIE制绒设备领域，特别是一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备及方法，制绒设备包括反应腔、顶部气体管路和喷淋头，电池片放置在反应腔内，喷淋头位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路输送，从喷淋头进入反应腔，在反应腔侧壁上设置侧壁气体管路，在顶部气体管路和侧壁气体管路上都设置单独的流量控制器，可分别调整流量。该方法为使用该制绒设备，如果边缘反射率较高则可增加侧壁气体管路流量，反之则降低侧壁气体管路流量，通过本发明可改善RIE制绒工艺的均匀性，增加工艺的可控性，解决电池性能不稳定的问题。
文档编号H01L21/3065GK102364662SQ20111018014
公开日2012年2月29日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年6月30日
发明者钟明 申请人:常州天合光能有限公司