专利名称：激光精确对位装置的制作方法
技术领域：
激光精确对位装置技术领域[0001]本实用新型涉及OLED生产制造领域，更具体地涉及一种对镀膜工艺腔体组进行精确对位的激光精确对位装置。
背景技术：
[0002]现阶段，平板显示技术不断发展。有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管 (Organic Light-Emitting Diode)，又禾尔为有机电激光显不(Organic Electroluminesence Display, OELD)。因为具备轻薄、省电等特性，OLED显示技术与传统的IXD显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能。OLED 的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)，与电力之正极相连，再加上另一个金属阴极，包成如三明治的结构。整个结构层中包括了 空穴传输层(HTL)、发光层 (EL)与电子传输层(ETL)。当电力供应至适当电压时，正极空穴与阴极电荷就会在发光层中结合，产生光亮，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三原色，构成基本色彩。OLED的特性是自己发光，不像TFT LCD需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。[0003]OLED内部的各个结构层的离不开成型于镀膜工艺，OLED镀膜生产线，每个需要工艺真空的独立腔体联结，腔体之间轨道有较高的位置要求，必须对腔体位置在连接之前进行对位。类似OLED镀膜生产线，对每个独立的镀膜腔体进行连接，为保证彼此轨道位置，而且在其连接后不应力集中即是各个独立设备处于地板支撑的自然状态，就必须先把每个设备调整到同一高度，然后靠近用螺钉连接固定。而众所周知，激光束的集中性极强，因此能够很好的应用在对位领域。[0004]因此亟需一能够将OLED镀膜生产线中，对镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组进行精确对位的激光精确对位装置。实用新型内容[0005]本实用新型的目的是提供一能够将OLED镀膜生产线中，对镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组进行精确对位的激光精确对位装置。[0006]为了实现上述目的，本实用新型提供一种激光精确对位装置，用于对OLED镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组进行精确对位，所述激光精确对位装置包括激光器组及透明目标靶，所述激光器组至少包括两个平行设置的激光器，所述透明目标靶上设置有与所述激光器组中的激光器的数量及排布相对应的靶标，所述腔体组中的腔体依次排列，位于起始端的腔体形成基准腔体，位于所述基准腔体之后的腔体形成对位腔体，所述基准腔体及对位腔体均具有对接连通用的对接部，所述激光器组设置于所述基准腔体上的对接部， 所述透明目标靶分布设置于所述对位腔体上的对接部，所述激光器组与所述透明目标靶之间预留有光线通道，调节所述基准腔体及对位腔体的位置使所述激光器组中的激光器发射出的激光通过所述光线通道依次对应穿过所述透明目标靶的靶标。[0007]较佳地，所述腔体组底部设置进行升降调节的调节支撑脚。通过所述调节支撑脚对所述腔体组进行粗调节，有利于所述激光精确对位装置对所述腔体组进行精准的对位。[0008]较佳地，还包括激光器安装座，所述激光器安装座固定在所述基准腔体上，所述激光器组装设于所述激光器安装座上。设置所述激光器安装座能够很好的安装所述激光器对位设备，不容易产生位移。[0009]较佳地，所述激光器组的激光器呈水平等间隔的并排平行设置于所述激光器安装座上。并排平行设置所述激光器组的激光器能够有利于所述激光精确对位装置对所述腔体组进行精准的对位。[0010]较佳地，所述透明目标靶包括的靶标呈圆形。[0011]与现有技术相比，在本实用新型激光精确对位装置中，所述激光器组设置于所述基准腔体上的对接部，所述透明目标靶分布设置于所述对位腔体上的对接部，所述激光器与所述透明目标靶之间预留有光线通道，调节所述基准腔体及对位腔体的位置，当所述激光器组中的激光器发射出的激光通过所述光线通道依次对应穿过所述透明目标靶的靶标时，表明所述对位腔体已经和所述基准腔体完成了对位，通过本实用新型激光精确对位装置对镀膜用工艺腔体组进行对位的流程简单、操作方法简便易于实现。[0012]通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
[0013]图1为本实用新型激光精确对位装置装设于腔体组上的一个实施例的结构示意图。[0014]图2为本实用新型激光精确对位装置的激光器装设于激光器安装座的俯视图。[0015]图3为本实用新型透明目标靶的结构示意图。
具体实施方式
[0016]现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述，如图1-3所示，本实施例提供的激光精确对位装置100，用于对OLED镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组10进行精确对位，所述激光精确对位装置100包括激光器组1及透明目标靶40，所述激光器组1包括三个平行设置的激光器la、lb及lc，对应的所述透明目标靶40上设置有与所述激光器组1中的激光器la、lb及Ic排布相对应的靶标 40，所述腔体组10包括依次排列的位于起始端的基准腔体10a，位于所述基准腔体IOa之后对位腔体IOb及10c，所述基准腔体10a、对位腔体IOb及10c，均具有对接连通用的对接部 20，所述激光器组1设置于所述基准腔体IOa上的对接部20，所述透明目标靶40分布设置于所述对位腔体IOb及IOc上的对接部，所述激光器组1与所述透明目标靶40之间预留有光线通道2，调节所述基准腔体IOa及对位腔体IOb及IOc的位置使所述激光器组1中的激光器发射出的激光通过所述光线通道2依次对应穿过所述透明目标靶40的靶标3。[0017]较佳者，如图1所示，所述腔体组10底部设置进行升降调节的调节支撑脚11。通过所述调节支撑脚11对所述腔体组10进行粗调节，有利于所述激光精确对位装置100对所述腔体组10进行精准的对位。[0018]如图2所示，还包括激光器安装座4，所述激光器安装座4固定在所述基准腔体 IOa上，所述激光器组1装设于所述激光器安装座4上。设置所述激光器安装座4能够很好的安装所述激光器对位设备100，不容易产生位移。[0019]较佳者，如图2所示，所述激光器组1的激光器la、lb及Ic呈水平等间隔的并排平行设置于所述激光器安装座4上。并排平行设置所述激光器组1的激光器la、lb及Ic 能够有利于所述激光精确对位装置100对所述腔体10进行精准的对位。[0020]较佳者，所述透明目标靶40包括的靶标3呈圆形。[0021]本实用新型还提供一种激光对位方法，用于对OLED镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组进行精确对位其包括以下步骤[0022]SOOl 提供激光器组及透明目标靶，所述激光器组至少包括两个平行设置的激光器，所述透明目标靶上设置有与所述激光器组中的激光器的数量及排布相对应的靶标；[0023]S002:将腔体依次排列，并将位于起始端的腔体作为基准腔体，位于所述基准腔体之后的腔体作为对位腔体；[0024]S003 将所述激光器组设置于所述基准腔体上的对接部，将所述透明目标靶分布设置于所述对位腔体上的对接部；[0025]S004:调节所述基准腔体及对位腔体的位置使所述激光器组中的激光器发射出的激光依次对应穿过所述透明目标靶的靶标。[0026]结合图1-3，在本实用新型激光精确对位装置100，所述激光器组1设置于所述基准腔体IOa上的对接部20，所述透明目标靶40分布设置于所述对位腔体IOb及IOc上的对接部20，所述激光器组1与所述透明目标靶40之间预留有光线通道2，调节所述基准腔体IOa及对位腔体IOb及IOc的位置，当所述激光器组1中的激光器la、Ib及Ic发射出的激光通过所述光线通道2依次对应穿过所述透明目标靶40的靶标3时，表明所述对位腔体 IOb及IOc已经和所述基准腔体IOa完成了对位，通过本实用新型激光精确对位装置10对镀膜用工艺腔体组进行对位的流程简单、操作方法简便易于实现。[0027]以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。权利要求1.一种激光精确对位装置，用于对OLED镀膜生产线上的若干镀膜工艺用腔体组进行精确对位，其特征在于所述激光精确对位装置包括激光器组及透明目标靶，所述激光器组至少包括两个平行设置的激光器，所述透明目标靶上设置有与所述激光器组中的激光器的数量及排布相对应的靶标，所述腔体组中的腔体依次排列，位于起始端的腔体形成基准腔体，位于所述基准腔体之后的腔体形成对位腔体，所述基准腔体及对位腔体均具有对接连通用的对接部，所述激光器组设置于所述基准腔体上的对接部，所述透明目标靶分布设置于所述对位腔体上的对接部，所述激光器组与所述透明目标靶之间预留有光线通道，调节所述基准腔体及对位腔体的位置使所述激光器组中的激光器发射出的激光通过所述光线通道依次对应穿过所述透明目标靶的靶标。
2.如权利要求1所述的激光精确对位装置，其特征在于所述腔体组底部设置进行升降调节的调节支撑脚。
3.如权利要求1所述的激光精确对位装置，其特征在于还包括激光器安装座，所述激光器安装座固定在所述基准腔体上，所述激光器组装设于所述激光器安装座上。
4.如权利要求3所述的激光精确对位装置，其特征在于所述激光器组的激光器呈水平等间隔的并排平行设置于所述激光器安装座上。
5.如权利要求1所述的激光精确对位装置，其特征在于所述透明目标靶包括的靶标呈圆形。
专利摘要本实用新型公开了一种激光精确对位装置包括激光器组及透明目标靶，透明目标靶上设置有与激光器组中的激光器的数量及排布相对应的靶标，腔体组中的腔体依次排列，位于起始端的腔体形成基准腔体，位于基准腔体之后的腔体形成对位腔体，基准腔体及对位腔体均具有对接连通用的对接部，激光器组设置于基准腔体上的对接部，透明目标靶分布设置于对位腔体上的对接部，激光器组与透明目标靶之间预留有光线通道，调节基准腔体及对位腔体的位置使激光器组中的激光器发射出的激光通过光线通道依次对应穿过透明目标靶的靶标。本实用新型激光精确对位装置能够将OLED镀膜生产线中，对镀膜工艺腔体组进行精确对位。
文档编号H01L51/56GK202308076SQ20112039889
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月19日 优先权日2011年10月19日
发明者余超平, 刘惠森, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司