专利名称：具有双层减反射膜的太阳能电池片的制作方法
技术领域：
具有双层减反射膜的太阳能电池片技术领域[0001]本实用新型涉及一种太阳能电池片，特别是一种具有双层减反射膜的太阳能电池片，属于晶体硅太阳能电池的技术领域。
背景技术：
[0002]太阳能电池片是太阳能发电系统中最重要的一个单元，太阳能电池片的性能好坏直接影响太阳能发电系统的发电效率。太阳能电池片的主要组成部分为硅片，硅片的硅晶体在生长中受应力、温度等诸多因素的影响会造成悬挂键、晶界等缺陷，并成为非平衡载流子的复合中心，导致晶体硅中少数载流子寿命及扩散长度的降低。为了解决上述问题，太阳能电池片的上方一般采用PECVD方法沉积有SiNx薄膜作为太阳能电池片表面的减反射膜， 具有减少电池片表面复合中心、降低表面反射、表面钝化以及体钝化的作用。然而，现有的减反射膜的结构较不合理，使得电池片的钝化效果并不令人满意，从而影响了太阳能电池片的性能。实用新型内容[0003]本实用新型的目的在于，提供一种具有双层减反射膜的太阳能电池片。本实用新型提高了体钝化效果和表面反射性能，从而提高了电池器件的性能，具有较高的经济和社会效益。[0004]本实用新型的技术方案一种具有双层减反射膜的太阳能电池片，包括基板，基板的上表面从下至上依次设有第一层SiNx减反射膜和第二层SiNx减反射膜，第二层SiNx减反射膜上方设有纵向的主电极和横向的栅电极；基板的背面设有背电极。[0005]上述的具有双层减反射膜的太阳能电池片中，所述的第一层SiNx减反射膜为 SixNyHz减反射膜。[0006]前述的具有双层减反射膜的太阳能电池片中，所述的第一层SiNx减反射膜的厚度为40 45nm。[0007]前述的具有双层减反射膜的太阳能电池片中，所述的第一层SiNx减反射膜的折射率为2. 2 2. 3。[0008]前述的具有双层减反射膜的太阳能电池片中，所述的第二层SiNx减反射膜的厚度为40nm。[0009]前述的具有双层减反射膜的太阳能电池片中，所述的第一层SiNx减反射膜和第二层SiNx减反射膜的总折射率为2. 05 2. 07。[0010]与现有技术相比，本实用新型包括基板，基板的上表面设有两层减反射膜从下至上依次为第一层SiNx减反射膜和第二层SiNx减反射膜；本实用新型的表面沉积两层SiNx 减反射膜提高了电池片的体钝化效果和减反射效果。作为优选，第一层SiNx减反射膜采用 SixNyHz减反射膜，第一层减反射薄膜因含有较丰富的氢原子，因此能对晶体硅缺陷起到体钝化作用，进一步提高本实用新型的体钝化效果。进一步地，两层SiNx减反射膜的厚度和2/2页折射率是申请人经过反复试验、筛选和总结得到的，使得本实用新型的体钝化效果和减反射效果最佳。
[0011]图1是本实用新型的结构示意图；[0012]图2是本实用新型的截面示意图。[0013]附图中的标记为1-基板，2-第一层SiNx减反射膜，3-第二层SiNx减反射膜， 4-主电极，5-栅电极，6-背电极。
具体实施方式
[0014]
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。[0015]实施例具有双层减反射膜的太阳能电池片，构成如图1和图2所示，包括基板1， 基板1的上表面从下至上依次设有第一层SiNx减反射膜2和第二层SiNx减反射膜3，第二层SiNx减反射膜3上方设有纵向的主电极4和横向的栅电极5 ；基板1的背面设有背电极6 ；作为优选，所述的第一层SiNx减反射膜2为SixNyHz减反射膜，SixNyHz减反射膜富含氢原子，是本领域较为常见的减反射薄膜；第一层减反射薄膜因含有较丰富的氢原子，因此能对晶体硅缺陷起到体钝化作用，进一步提高本实用新型的体钝化效果。进一步地，第一层SiNx减反射膜2的厚度为40 45nm ；所述的第一层SiNx减反射膜2的折射率为2. 2 2. 3 ；所述的第二层SiNx减反射膜3的厚度为40nm，且所述的第一层SiNx减反射膜2和第二层SiNx减反射膜3的总折射率为2. 05 2. 07 ；两层SiNx减反射膜的厚度和折射率是申请人经过反复试验、筛选和总结得到的，使得本实用新型的体钝化效果和减反射效果最佳。权利要求1.具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于包括基板(1)，基板(1)的上表面从下至上依次设有第一层SiNx减反射膜( 和第二层SiNx减反射膜(3)，第二层SiNx减反射膜C3)上方设有纵向的主电极(4)和横向的栅电极(5)；基板(1)的背面设有背电极(6)。
2.根据权利要求1所述的具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于所述的第一层SiNx减反射膜O)为SixNyHz减反射膜。
3.根据权利要求1或2所述的具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于所述的第一层SiNx减反射膜O)的厚度为40 45nm。
4.根据权利要求3所述的具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于所述的第一层SiNx减反射膜O)的折射率为2. 2 2. 3。
5.根据权利要求1或2所述的具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于所述的第二层SiNx减反射膜(3)的厚度为40nm。
6.根据权利要求5所述的具有双层减反射膜的太阳能电池片，其特征在于所述的第一层SiNx减反射膜(2)和第二层SiNx减反射膜(3)的总折射率为2. 05 2. 07。
专利摘要本实用新型公开了一种具有双层减反射膜的太阳能电池片，本实用新型包括基板(1)，基板(1)的上表面从下至上依次设有第一层SiNx减反射膜(2)和第二层SiNx减反射膜(3)，第二层SiNx减反射膜(3)上方设有纵向的主电极(4)和横向的栅电极(5)；基板(1)的背面设有背电极(6)。本实用新型提高了体钝化效果和表面反射性能，从而提高了电池器件的性能，具有较高的经济和社会效益。
文档编号H01L31/0216GK202332867SQ20112047933
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月25日 优先权日2011年11月25日
发明者李新富 申请人:浙江金贝能源科技有限公司