专利名称：一种扩散用石英舟的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种太阳能电池制作工段夹具技术领域，具体涉及一种扩散用石英舟。
背景技术：
晶体硅太阳能电池制作工艺包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等 步骤，扩散步骤一般采用石英舟作为承载工具，如专利200920068241. 4。现有技术在太阳能电池制作PN结的过程中，一般采用凹槽以相同的间隔均匀分布于支架上的石英舟，在扩散插片时采用两片硅片扩散面相背紧贴在一起插入凹槽进行单面扩散的方法。这样，一方面由于非扩散面得不到足够的磷源，从而减弱了磷扩散的高温吸杂作用；另一方面电池的方块电阻可控性、均匀性差，从而降低了太阳能电池的转化效率。同时由于背靠背插片会在一定程度上增加了硅片的碎片几率，降低了产品的合格率。而使用现有技术的石英舟进行双面扩散，将一片硅片单独插入凹槽，这样，不仅使电池产能降低到原有产能的1/2，同时还提高了生产成本，直接减少企业利益。
发明内容
本发明的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种扩散用石英舟。该石英舟的凹槽按宽、窄间隔交替分布，这样可以提高太阳能电池的转化效率及合格率，并且可以有效的降低硅片在装卸舟过程中出现的碎片率高、用时长、扩散面放反等问题，显著提高工作效率。本发明的一种扩散用石英舟技术方案为，包括侧面连接件和支架；支架包括一对上支架和一对下支架；上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁，下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁，且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行，上支架之间的距离比下支架之间的距离宽；所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。所述侧面连接件外侧上部设有把手。上支架和下支架的横截面为矩形，其中两个上支架相对的内侧有凸起。所述的上支架内侧凸起的表面、下支架上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。凹槽的宽度为O. 5 2mm，凹槽的宽度优选为I. 0±0· 1mm。宽间隔的宽度为O. 5 5mm，宽间隔的宽度优选为2. 2±0· 1mm。窄间隔的宽度为O. 5 4mm，窄间隔的宽度优选为1±0. 1mm。本发明的有益效果为本发明的一种扩散用石英舟，包括侧面连接件和支架；其中，支架包括一对上支架和一对下支架；上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁，下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁，且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行，上支架之间的距离比下支架之间的距离宽；所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。
本发明的凹槽按宽、窄间隔交替分布，采用单片硅片插入凹槽进行双面扩散的方法，可以提高磷扩散的高温吸杂作用，提高太阳能电池的转化效率，同时，彻底杜绝了由于扩散面放反导致的电性能不良等问题；另外，可以有效的降低硅片在装、卸舟过程中出现的崩边、掉角、隐裂等碎片问题，减少了装卸舟时间，显著提高工作效率；提高了产品质量及合格率。
图I所示为本发明正面剖视图。
图中，I.上支架，2.把手，3.侧面连接件，4.下支架，6.凸起。
具体实施例方式 为了更好地理解本发明，下面结合具体实例来详细说明本发明的技术方案，但是本发明并不局限于此。
本发明的一种扩散用石英舟技术方案为，包括侧面连接件3和支架；支架包括一对上支架I和一对下支架4 ;上支架I对称固定于侧面连接件3上端内侧壁，下支架4对称固定于侧面连接件3底部内侧壁，且上支架I所在平面与下支架4所在平面相互平行，上支架I之间的距离比下支架4之间的距离宽；所述的上支架I内侧表面、下支4架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。所述侧面连接件3外侧上部设有把手2。上支架I和下支架4的横截面为矩形，其中两个上支架I相对的内侧有凸起6。所述的上支架I内侧凸起6的表面、下支架4上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。凹槽的宽度为O. 5 2mm，凹槽的宽度优选为I. 0±0· 1mm。宽间隔的宽度为O. 5 5mm，宽间隔的宽度优选为2. 2±0. 1mm。窄间隔的宽度为O. 5 4mm，窄间隔的宽度优选为1±0. 1mm。本发明将现有技术的上支架I、下支架4的凹槽由均匀大小间隔，更改为上支架I按上支架宽间隔和上支架I窄间隔均匀分布，下支架4按下支架4宽间隔和下支架4窄间隔交替分布。采用双面扩散的方法，可以提高磷扩散的高温吸杂作用，提高太阳能电池的转化效率；同时，彻底杜绝了由于扩散面放反导致的电性能不良等问题；另外，可以有效的减少硅片在装、卸舟过程中出现的崩边、掉角、隐裂等碎片问题，提高了产品质量及合格率。实施例I
一种扩散用石英舟，包括侧面连接件3和支架；支架包括一对上支架I和一对下支架4;上支架I对称固定于侧面连接件3上端内侧壁，下支架4对称固定于侧面连接件3底部内侧壁，且上支架I所在平面与下支架4所在平面相互平行，上支架I之间的距离比下支架4之间的距离宽；所述的上支架I内侧表面、下支4架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。所述侧面连接件3外侧上部设有把手2。上支架I和下支架4的横截面为矩形，其中两个上支架I相对的内侧有凸起6。所述的上支架I内侧凸起6的表面、下支架4上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。米用凹槽宽度为1.0±0. 1mm，宽间隔的大小为2. 2±0. 1mm，窄间隔的大小
为1±0. Imm的石英舟。使用P型的单晶硅片，经过制绒、清洗等步骤后，进入扩散步骤，分别插入本发明石英舟与现有技术石英舟内；本发明石英舟与现有技术石英舟均采用两片硅片扩散面相背紧贴在一起插入凹槽进行单面扩散，进行80高方阻试验，扩散工艺视情况作适当调整。将本发明实施例I所得电池片与现有技术的电池片进行比较，结果如下
表I扩散后80方块电阻比较
权利要求
1.一种扩散用石英舟，包括侧面连接件和支架，其特征在于，支架包括一对上支架和一对下支架；上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁，下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁，且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行，上支架之间的距离比下支架之间的距离宽；所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。
2.根据权利要求I所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，上支架和下支架的横截面为矩形，其中两个上支架相对的内侧有凸起。
3.根据权利要求2所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，所述的上支架内侧凸起的表面、下支架上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。
4.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，凹槽的宽度为O.5 2_。
5.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，凹槽的宽度为I.0±0. 1mm。
6.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，宽间隔的宽度为O.5 5mm ο
7.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，宽间隔的宽度为2.2±0. 1mm。
8.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，窄间隔的宽度为O.5 4mm ο
9.根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，窄间隔的宽度为1±0.1_。
10.根据权利要求I所述的一种扩散用石英舟，其特征在于，所述侧面连接件外侧上部设有把手。
全文摘要
本发明涉及太阳电池的生产技术领域，具体涉及一种扩散用石英舟。该装置包括侧面连接件和支架；其中，支架包括一对上支架和一对下支架；上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁，下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁，且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行，上支架之间的距离比下支架之间的距离宽；所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。采用本装置扩散后硅片可以提高太阳电池的开路电压、短路电流，进而提高转换效率，且能更易于控制电池的方块电阻，增加均匀性，方法易行、操作简便。
文档编号H01L21/673GK102723301SQ20121018228
公开日2012年10月10日 申请日期2012年6月5日 优先权日2012年6月5日
发明者任现坤, 刘鹏, 姚增辉, 姜言森, 孙继峰, 张丽丽, 张同星, 张春艳, 张黎明, 徐振华, 李刚, 李玉花, 杜敏, 王兆光, 王光利, 程亮, 贾河顺, 马玉英, 马继磊 申请人:山东力诺太阳能电力股份有限公司