专利名称：一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程的制作方法
技术领域：
本发明属于显示面板生产领域，涉及AMOLED Frit的生产工艺，具体涉及一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程。
背景技术：
在平板显示制造业业界，众所周知Frit材料无疑为水平最好的封装材料。而Frit材料在未固化前需要使用UV胶进行整版的定型、固化，而后再进行Laser固化。目前UV固化流程为，先使用带有Spot UV (点UV)的贴合机(VAS)做几个固化点，进行UV材料的预固定，然后再送至专门的UV固化机进行UV固化，UV固化后送至Laser固化机进行Laser固 化。显示面板的生产对环境洁净度，避免擦花等要求很高，生产过程中多次转移基板，无疑增加了坏板率，而且将UV固化分为两个工序制作，增加了腔室数量，增加了动能消耗，人工维护等等。如果将结构简单的UV固化机与紧接其后工艺的Laser固化机能够合为一体，可以提高生产线的集成性能，节省动能的投入和管线布置，减少人工维护等等。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术的缺陷，提供一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程，提闻生广线的集成性能，减少灰尘微粒的广生，提闻提闻良品率。为实现上述目的，本发明采用以下技术方案一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备，包括玻璃载台部分、UV固化部分和Laser固化部分，所述玻璃载台部分、UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型结构，所述玻璃载台部分位于T型结构的竖向端部，UV固化部分和Laser固化部分分别位于T型结构横向的两个端部，本设备还包括位于一侧的控制与动力部分；沿T型结构的竖部设置有第一导轨，玻璃载台部分安装在第一导轨上可以沿第一导轨滑动，沿T型结构的横部设置有第二导轨，UV固化部分和Laser固化部分安装在第二导轨上可以分别沿第二导轨滑动。所述玻璃载台部分包括带有氮气气浮的玻璃载台，由气缸驱动的对位固定装置，激光校正装置及对位CXD ;所述UV固化部分包括可移动的UV灯架，UVmask和UV mask对位装置；所述Laser固化部分包括Laser激光架台，激光发生器一,Laser Mask和Laser Mask对位装置；所述控制与动力部分包括控制机构和动力部分。所述控制机构和动力部分包括激光发生器二，为设备提供工作电压的变压器，控制设备各部分工作的控制PC。一种用于AMOLED Frit固化的工艺流程,包括以下步骤I)玻璃入料采用机器人或者手工方式将玻璃放置在玻璃载台上，然后由气缸驱动对位固定装置夹持好玻璃，进行CCD对位，调整好位置后，由真空穴吸附将玻璃与玻璃载台固定，对位固定装置松开，然后玻璃载台沿第一导轨滑动，将玻璃运送至设备内部待加工处；
2) UV固化玻璃被运送至待加工位置后，UV固化部分沿第二导轨滑动，移动到玻璃上方，首先进行UV mask对位，在对位完成之后，进行UV灯照射，在UV固化完成之后，UV固化部分动作回到原处；3) Laser固化在UV固化完成之后，Laser固化部分沿第二导轨滑动，移动至玻璃上，首先进行Laser Mask对位,之后Laser激光头和玻璃载台进行对位，然后进行Laser固化，Laser固化完成后，Laser固化部分回到原处。步骤I)中在玻璃载台上设置有静电消除装置，玻璃入料前消除静电。步骤2)中UV灯照射产生的臭氧通过排气装置排放到排气管道内。步骤I)中玻璃放置在玻璃载台上时，玻璃载台与玻璃间充有氮气，使玻璃处于悬浮状态。
本发明所述的用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程，将UV固化流程与Laser固化流程结合为一体，在一个工序完成Frit固化工艺，可减少基板的搬运次数，同时在一台设备上完成两种固化工艺，可减少灰尘微粒的产生，提高良品率，将两种固化设备集成在一起，集成度高，又可以节省空间，便于维护，便于研发时采集数据，可广泛用于研发线
与量产线。
图1为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的结构示意图；图2为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图；图3为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图；图4为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图；其中1-玻璃载台部分，2-UV固化部分，3-Laser固化部分，4_控制与动力部分。
具体实施例方式下面结合附图对本发明进行详细描述如图1所示，公开了一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备，包括玻璃载台部分1,UV固化部分2和Laser固化部分3，所述玻璃载台部分1，UV固化部分2和Laser固化部分3的位置分布呈T型结构；所述玻璃载台部分I位于T型结构的竖向端部，用于将玻璃物料送入设备内部；UV固化部分2和Laser固化部分3分别位于T型结构横向的两个端部，用于完成UV固化和Laser固化工序，该设备还包括位于一侧的控制与动力部分4，负责控制这个设备运行和为设备提供动力丨沿!1型结构的竖部设置有第一导轨，玻璃载台部分I安装在第一导轨上可以沿第一导轨滑动，沿T型结构的横部设置有第二导轨，UV固化部分2和Laser固化部分3安装在第二导轨上可以分别沿第二导轨滑动。所述玻璃载台部分I包括带有氮气气浮的玻璃载台，由气缸驱动的对位固定装置，激光校正装置及对位CXD ;UV固化部分2包括可移动的UV灯架，UVmask和UV mask对位装置；所述Laser固化部分3包括Laser激光架台，激光发生器一，Laser Mask和LaserMask对位装置；所述控制与动力部分4包括控制机构和动力部分，所述控制机构和动力部分包括激光发生器二，为设备提供工作电压的变压器，控制设备各部分工作的控制PC，其为整个设备运行提供动力，对设备进行控制和监控，UV固化部分2和Laser固化部分3分别可在第二导轨上沿T型结构的横部移动。本发明所述的一体化设备将UV固化和Laser固化合为一体，提高设备的集成度，减小生产线的布局空间，并节省了动能的投入和管线的布置，减少了人工维护，同时在一台设备上完成两种固化工艺，可减少灰尘微粒的广生，提闻良品率。在液晶行业的洁净厂房内(洁净度100级以上、华夫地板、防震等级VC-B)，可将本设备连接在贴合机之后(VAS之后最为适宜)，可与封装线无缝结合，无论是自动线、半自动线、手动线均可适用，固化环境可 为大气环境，适应环境能力强，可广泛应用于各代OLED产线中。一种用于AMOLED Frit固化的工艺流程,包括以下步骤I)玻璃入料如图2所示，采用机器人或者手工方式将玻璃放置在玻璃载台上，此时玻璃载台与玻璃间充有氮气，使玻璃处于悬浮状态，避免玻璃被刮花，然后由气缸驱动对位固定装置夹持好玻璃，进行CCD对位，调整好位置后，由真空穴进行吸附，将玻璃与玻璃载台固定，对位固定装置松开，然后玻璃载台按照箭头方向移动将玻璃运送至设备内部待加工处，在玻璃载台上设置有静电消除装置，进行玻璃入料前消除静电；2) UV 固化如图3所示，玻璃被运送至待加工位置后，UV固化部分动作沿第二导轨滑动，按箭头方向移动到玻璃上方，首先进行UV mask对位，在对位完成之后，进行UV灯照射，在UV固化完成之后，UV Mask和UV灯回到原位，UV固化部分复位，UV灯照射产生的臭氧通过排气装置排放到排气管道内排出；3) Laser 固化如图4所示，在UV固化完成之后，Laser固化部分3沿第二导轨滑动，移动至玻璃上，首先进行Laser Mask对位,之后Laser激光头和玻璃载台进行对位,然后进行Laser固化,Laser固化完成后,Laser Mask和Laser激光头部分回到原处,Laser固化部分复位,此时加工完毕，玻璃回归到载入口，待人工/机器人取出，完成加工。整个工艺流程可总结为入料、气浮、对位、吸附、UV Mask与玻璃对位、UV照射、UVMask与玻璃分离、Laser Mask与玻璃对位、激光头与玻璃对位、Laser固化、Laser Mask与玻璃分离、出料。其中用到的UV Mask和Laser Mask为一层可以遮挡部分紫外线或激光照射的遮盖工具，在进行UV固化和Laser固化时，先将Mask与玻璃对位，遮盖玻璃不需要固化的部分，避免紫外线或激光照射，更换Laser Mask和UV Mask时，将Mask放置在玻璃载台上，设备可自动完成Mask更换。将UV固化流程与Laser固化流程结合为一体在一个工序中完成，减少玻璃的搬运次数防止玻璃表面擦花，减少人力投入，降低成本，生产过程中人工不用接触玻璃，避免粉尘等杂质的引入，提闻成品率。
权利要求
1.一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备，其特征在于包括玻璃载台部分、UV固化部分和Laser固化部分，所述玻璃载台部分、UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型结构，所述玻璃载台部分位于T型结构的竖向端部,UV固化部分和Laser固化部分分别位于T型结构横向的两个端部，本设备还包括位于一侧的控制与动力部分；沿T型结构的竖部设置有第一导轨，玻璃载台部分安装在第一导轨上可以沿第一导轨滑动，沿T型结构的横部设置有第二导轨，UV固化部分和Laser固化部分安装在第二导轨上可以分别沿第二导轨滑动。
2.根据权利要求1所述的用于AMOLEDFrit固化的一体化设备，其特征在于所述玻璃载台部分包括带有氮气气浮的玻璃载台，由气缸驱动的对位固定装置，激光校正装置及对位CXD ;所述UV固化部分包括可移动的UV灯架，UV mask和UV mask对位装置；所述Laser固化部分包括Laser激光架台，激光发生器一，Laser Mask和Laser Mask对位装置；所述控制与动力部分包括控制机构和动力部分。
3.根据权利要求1所述的用于AMOLEDFrit固化的一体化设备，其特征在于所述控制机构和动力部分包括激光发生器二，为设备提供工作电压的变压器，控制设备各部分工作的控制PC。
4.一种基于权利要求1所述一体化设备的用于AMOLED Frit固化的工艺流程，其特征在于包括以下步骤 1)玻璃入料采用机器人或者手工方式将玻璃放置在玻璃载台上，然后由气缸驱动对位固定装置夹持好玻璃，进行CCD对位，调整好位置后，由真空穴吸附将玻璃与玻璃载台固定，对位固定装置松开，然后玻璃载台沿第一导轨滑动，将玻璃运送至设备内部待加工处； 2)UV固化玻璃被运送至待加工位置后，UV固化部分沿第二导轨滑动，移动到玻璃上方，首先进行UV mask对位，在对位完成之后，进行UV灯照射，在UV固化完成之后，UV固化部分动作回到原处； 3)Laser固化在UV固化完成之后，Laser固化部分沿第二导轨滑动，移动至玻璃上，首先进行Laser Mask对位,之后Laser激光头和玻璃载台进行对位,然后进行Laser固化，Laser固化完成后，Laser固化部分回到原处。
5.根据权利要求4所述的用于AMOLEDFrit固化的工艺流程，其特征在于步骤I)中在玻璃载台上设置有静电消除装置，玻璃入料前消除静电。
6.根据权利要求4所述的用于AMOLEDFrit固化的工艺流程，其特征在于步骤2)中UV灯照射产生的臭氧通过排气装置排放到排气管道内。
7.根据权利要求4所述的用于AMOLEDFrit固化的工艺流程，其特征在于步骤I)中玻璃放置在玻璃载台上时，玻璃载台与玻璃间充有氮气，使玻璃处于悬浮状态。
全文摘要
本发明提供了一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备，包括玻璃载台部分，UV固化部分和Laser固化部分，所述玻璃载台部分，UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型结构，所述玻璃载台部分位于T型结构的竖向端部，UV固化部分和Laser固化部分分别位于T型结构横向的两个端部，同时在一台设备上完成两种固化工艺，可减少灰尘微粒的产生，提高良品率，将两种固化设备集成在一起，集成度高，又可以节省空间，便于维护，便于研发时采集数据，可广泛用于研发线与量产线。
文档编号H01L51/56GK103022383SQ20121051453
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月3日 优先权日2012年12月3日
发明者魏阳 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司