专利名称：一种有机薄膜晶体管的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种有机薄膜晶体管。
背景技术：
随着近年来新型显示技术的发展，各种用途的显示器件逐渐涌现，例如柔性显示器件，为满足这个显示器件的需要，柔性薄膜晶体管是其中的关键，其中使用有机物材料制造薄膜晶体管是解决这ー关键问题的有效途径
发明内容
本发明提供一种有机薄膜晶体管，其包括柔性基板，形成在柔性基板上的薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中有源层由有机材料构成。
具体实施例方式下面结合具体实施例，进ー步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。实施例1该有机薄膜晶体管包括塑料基板，在塑料基板上形成有机薄膜晶体管，其中依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中各层材料均为柔性材料，有源层为多聚芴为基础的均聚物，最后形成保护层。实施例2该有机薄膜晶体管包括树脂基板，在树脂基板上形成有机薄膜晶体管，其中依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中各层材料均为柔性材料，有源层为多聚芴为基础的嵌段共聚物，最后形成保护层。实施例3有机薄膜晶体管包括金属薄膜基板，在金属薄膜基板上形成有机薄膜晶体管，其中依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中各层材料均为柔性材料，有源层为聚-3-己基噻吩聚合物，最后形成保护层。
权利要求
1.一种有机薄膜晶体管，其包括柔性基板，形成在柔性基板上的薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中有源层由有机材料构成。
2.如权利要求1所述的有机薄膜晶体管，其中有机材料为多聚芴为基础的均聚物、多聚芴为基础的嵌段共聚物或聚-3-己基噻吩聚合物。
3.如权利要求1所述的有机薄膜晶体管，其中柔性基板为塑料、树脂或金属薄膜。
全文摘要
本发明提供一种有机薄膜晶体管，其包括柔性基板，形成在柔性基板上的薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，其中有源层由有机材料构成。
文档编号H01L51/05GK103022356SQ201210580729
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月27日 优先权日2012年12月27日
发明者李岗, 国欣鑫, 张晓辉 申请人:青岛艾德森能源科技有限公司