硅片片盒的制作方法

文档序号:7153600阅读:240来源:国知局
专利名称:硅片片盒的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种硅片片盒。
背景技术
半导体及太阳能光伏工业常常会用到许多硅片片盒,由于各个设备对硅片放置方式及数量的要求不尽相同,硅片片盒也没有统一标准,在不同设备之间转移硅片往往需要耗费很大的人力、物力;例如对于普通硅片片盒,硅片是水平放置的;而对于扩散炉的石英舟,Si是斜45度角放置的;在目前这种标准下,不同设备间转移硅片并上片、下片显得十分不方便。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片片盒,方便硅片在不同设备、不同片盒之间转移硅片。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种硅片片盒,包括盒体,在盒体内具有放置硅片的V形硅片槽,支撑硅片边缘的V形硅片槽的侧壁的夹角为直角。在盒体上V形硅片槽的左侧上具有与常规的硅片水平放置的片盒配合卡接的卡扣结构,在盒体上V形硅片槽的右侧上具有限制硅片在片盒顺时针旋转时滑出片盒的挡边。在盒体上具有配重腔。本实用新型的有益效果是1.可以迅速将普通片盒中水平放置的硅片转为斜45度放置,节约了不同工艺设备之间转移硅片的时间,提高了生产效率;2.减少了工艺加工时硅片接触手的时间,避免了工艺污染。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明;图I是本实用新型的正视结构示意图;图2是本实用新型的侧视结构示意图;图3是本实用新型的俯视结构示意图;图4是本实用新型的上片、下片过程示意图;图中,I.盒体,2. V形硅片槽,3.卡扣结构,4.挡边,5.配重腔,6.硅片,7.普通片
盒,8.石英管。
具体实施方式


图1、2和3所示一种硅片片盒,包括盒体1,在所述的盒体I内具有放置硅片6的V形硅片槽2,支撑硅片6边缘的V形硅片槽2的侧壁的夹角为直角。片盒内的硅片6成斜45度角放置。在所述的盒体I上V形硅片槽2的左侧上具有与常规的硅片6水平放置的片盒配合卡接的卡扣结构3,可以将普通片盒7里的硅片6沿着斜面导入至本片盒内。在所述的盒体I上V形硅片槽2的右侧上具有限制硅片6在片盒顺时针旋转时滑出片盒的挡边4。根据需要在所述的盒体I上具有配重腔5。配重腔5内可装入重物如图4所示,片盒使用方法上片1.将普通片盒7套在本片盒上,卡扣结构3扣齐,可以将普通片盒7中的硅片6转移到本片盒中;2.将本片盒顺时针 旋转45度,使硅片6呈水平放置;3.用手扶住硅片6,使片盒再顺时针旋转45度,此时片盒右边的挡边4将防止硅片6从片盒内滑出;4.用手扶住硅片6,将右边的挡边4搭在石英管8边缘,顺势可以将硅片6插入石英管8的硅片槽内。下片1.将本片盒套在石英管8上,将挡边4插在硅片6下部;2.用手托起石英管8,娃片6在重力作用下插入本片盒内;3.翻转片盒,将娃片6完全放在本片盒内;4.将普通片盒7套在本片盒上,翻转可以将硅片6转移入普通片盒7内。本片盒参数采用耐酸耐碱的聚乙烯塑料制造,长230mm,宽120mm,高110mm,齿间距5mm,一次可以放25片硅片6,使用约125*125普通单晶硅片,与目前产线常用普通硅片盒兼容。长290_,宽120_,高140_,适用于156*156普通多晶硅片。
权利要求1.一种硅片片盒,包括盒体(1),其特征是在所述的盒体(I)内具有放置硅片(6)的V形硅片槽(2),支撑硅片(6)边缘的V形硅片槽(2)的侧壁的夹角为直角。
2.根据权利要求I所述的硅片片盒,其特征是在所述的盒体(I)上V形硅片槽(2)的左侧上具有与常规的硅片(6)水平放置的片盒配合卡接的卡扣结构(3),在所述的盒体(I)上V形硅片槽(2)的右侧上具有限制硅片(6)在片盒顺时针旋转时滑出片盒的挡边(4)。
3.根据权利要求I或2所述的硅片片盒,其特征是在所述的盒体(I)上具有配重腔(5)。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片片盒,包括盒体,在盒体内具有放置硅片的V形硅片槽,支撑硅片边缘的V形硅片槽的侧壁的夹角为直角。在盒体上V形硅片槽的左侧上具有与常规的硅片水平放置的片盒配合卡接的卡扣结构,在盒体上V形硅片槽的右侧上具有限制硅片在片盒顺时针旋转时滑出片盒的挡边。在盒体上具有配重腔。本实用新型的有益效果是1.可以迅速将普通片盒中水平放置的硅片转为斜45度放置,节约了不同工艺设备之间转移硅片的时间,提高了生产效率;2.减少了工艺加工时硅片接触手的时间,避免了工艺污染。
文档编号H01L21/673GK202585365SQ20122006745
公开日2012年12月5日 申请日期2012年2月28日 优先权日2012年2月28日
发明者叶枫, 许庭静 申请人:常州天合光能有限公司
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