专利名称：太阳能电池扩散用石英舟装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能装置，尤其是涉及一种太阳能电池扩散用石英舟装置。
背景技术：
现有的太阳能电池扩散用石英舟有102个垂直槽，每个垂直槽放置2片硅片，工业生产采用2舟/次的方式使用，即其装载量为102X2X2=408片/次，硅片装载量偏低，使单位硅片的制造成本偏高；而且由于现有扩散石英舟的硅片装载量与PECVD石墨舟的装载量不匹配，造成工业化生产中硅片流程混乱，往往在出现异常时不能快速有效地追踪产品的处理设备，使得产品的优劣不能正确地反馈设备的运行状况，加大了异常发生和处理时间，给公司造成较大的利润损失。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种结构简单、成本低、并能快速推广应用的太阳能电池扩散用石英舟装置。为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的一种太阳能电池扩散用石英舟装置，包括由石英材料制成的载片体、顶杆、底杆以及脚杆，所述载片体有四根，与所述顶杆、底杆和脚杆合围成矩形结构。为了能够固定硅片，进一步地，所述四根载片杆的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽。为了能够提升扩散方块电阻均匀性，进一步地，所述垂直槽由采用5°设计的上槽和下槽组成。为了能够提高石英舟的装载量，进一步地，所述垂直槽的槽间距为4. 41mm。为了能够提高石英舟的装载量，再进一步地，所述垂直槽数量为110个。为了便于石英舟装卸料，更进一步地，所述顶杆为中空式的。与现有技术相比，本实用新型的有益之处是这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配，彻底杜绝了硅片混乱，缩短了异常发生和处理时间，为公司减少了不必要利润损失，并且降低了单位硅片的制造成本。
以下结合附图对本实用新型进一步说明。图I是本实用新型太阳能电池扩散用石英舟装置截面示意图；图2是图I中A-A剖视图。图中1、载片杆；2、顶杆；3、底杆；4、脚杆；5、垂直槽；51、上槽；52、下槽。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型进行详细描述图I所示一种太阳能电池扩散用石英舟装置，包括由石英材料制成的载片体I、顶杆2、底杆3以及脚杆4，所述载片体I有四根，与所述顶杆2、底杆3和脚杆4合围成矩形结构；为了能够固定硅片，所述四根载片杆I的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽5，所述垂直槽5由上槽51和下槽52组成，采用5°设计；并且该垂直槽5可以防止在运动中因硅片移位而造成碎片，也防止了因移位而造成扩散方块电阻的不均匀性，使操作更为简单、便捷；所述顶杆2采用中空设计，便于石英舟装卸料操作；脚杆4使石英舟在送入石英管后处于支撑状态，可起到防止污染的作用，同时有助于脚杆4下部气体的循环，可进一步提高方块电阻的均匀性。在基本不影响扩散方块电阻的基础上，将现有4. 76mm的石英垂直槽间距优化到4. 41mm ;优化后石英舟有110个垂直槽5，其装载量为110X 2X2=440片/次，但因热场和气流的影响，每个舟的头尾位置方块电阻波动较大，为此，通常在这四个位置放置假片来代替硅片，防止了对方块电阻的影响(假片可重复利用)，所以其装载量为440-4X2=432片/次，与PECVD石墨舟的装载量(216 X 2=432片)一致。这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配，彻底杜绝了硅片混乱，缩短了异常发生和处理时间，为公司减少了不必要利润损失；在基本不影响扩散方块电阻的基础上，将石英垂直槽间距优化，石英舟的装载量增大，降低了单位娃片的制造成本。需要强调的是以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于包括由石英材料制成的载片体(I)、顶杆(2)、底杆(3)以及脚杆(4)，所述载片体(I)有四根，与所述顶杆(2)、底杆(3)和脚杆(4)合围成矩形结构。
2.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于所述四根载片杆(I)的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽(5)。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于所述垂直槽(5)由采用5°设计的上槽(51)和下槽(52)组成。
4.根据权利要求2所述的太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于所述垂直槽(5)的槽间距为4. 41mm。
5.根据权利要求2所述的太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于所述垂直槽(5)数量为110个。
6.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用石英舟装置，其特征在于所述顶杆(2)为中空式的。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英舟装置，包括由石英材料制成的载片体、顶杆、底杆以及脚杆，所述载片体有四根，与所述顶杆、底杆和脚杆合围成矩形结构；所述四根载片杆的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽；所述垂直槽由采用5°设计的上槽和下槽组成；所述垂直槽的槽间距为4.41mm；所述垂直槽数量为110个；所述顶杆为中空式的。本实用新型的优点是，这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配，彻底杜绝了硅片混乱，缩短了异常发生和处理时间，为公司减少了不必要利润损失，并且降低了单位硅片的制造成本。
文档编号H01L21/673GK202633360SQ201220135068
公开日2012年12月26日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者刘志敏, 王龙飞, 钱小锋 申请人:南京远景新能源有限公司