专利名称：一种防撞机械手的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，更具体地说，涉及一种防撞机械手。
背景技术：
太阳能电池在进行光电转换的过程中，除了吸收一部分的阳光以实现光电转换夕卜，不可避免的还会反射一部分阳光，从而造成了太阳能的浪费。因此，为了减少太阳能电池对阳光的反射，在太阳能电池的生产过程中，一般会在太阳能电池的表面设置氮化硅减反射薄膜，以减少太阳能电池对阳光的反射，使得其能够·吸收更多的阳光，提高太阳能电池的光电转换效率。在太阳能电池生产的过程中，氮化硅减反射薄膜是通过 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition 的英文缩写，等离子增强化学气相沉积，一种借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，并在基片上沉积出薄膜，是半导体工业中普遍用来沉积多种材料的技术)制备的，采用管式设备沉积氮化硅减反射薄膜的制造过程是以石英炉管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片太阳能电池片的石墨舟插进石英炉管中，使其中发生化学反应后生成的氮化硅沉积到太阳能电池片上。由于石墨舟装卸器的内部是局部净化的，所以在将石墨舟插进石英炉管的过程中需要通过硅碳桨和机械手(机械手结构如图I所示)将石墨舟运送至石英炉管的安装口处。由于整个系统的自动化程度较高，所以需要经常对设备进行维护以保证系统顺利、安全的进行工作，而机械手有一种可以忽略一切传感器、一些阻力的自动运行模式，当操作人员或维修人员在运行此模式时，经常会出现因一时疏忽，对设备进行了误操作或者因为控制程序一时紊乱而导致机械手一直向下运动，最终撞到位于机械手下方的硅碳桨，并将硅碳桨压断，造成一定的经济损失，影响了生产的正常进行。为了减少上述情况的发生几率，人们普遍采用的方式就是在机械手上安装限位传感器来避免机械手将硅碳桨压断，但是现有技术中所采用的限位传感器的灵敏度不高，在其还未来得及传送信号给控制器并通过控制器使机械手停止运动时，机械手就已经与硅碳桨接触并将其压断。综上所述，如何提供一种防撞机械手，以实现在操作人员进行误操作或控制程序紊乱时，机械手也可以及时感测到硅碳桨的存在，避免压断硅碳桨，进而节约生产成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种防撞机械手，实现了在操作人员进行误操作或控制程序紊乱时，机械手也可以及时感测到硅碳桨的存在，避免压断硅碳桨，进而节约了生产成本。为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种防撞机械手，包括机械手本体，还包括控制所述机械手本体启停的控制器；[0009]设置在所述机械手本体上，用于感测位于所述机械手本体底部的硅碳桨位置并将感测信号传输至所述控制装置的，具有高灵敏度的传感器。优选的，上述防撞机械手中，所述传感器为耐高温传感器。
优选的，上述防撞机械手中，所述传感器为触碰式限位传感器。优选的，上述防撞机械手中，所述传感器设置在所述机械手本体与其安装端对应的外侧端上。优选的，上述防撞机械手中，所述传感器通过螺钉与所述机械手本体相连。优选的，上述防撞机械手中，所述传感器通过强力胶水粘接在所述机械手本体上。优选的，上述防撞机械手中，所述传感器以铁丝捆绑的方式设置在所述机械手本体上。优选的，上述防撞机械手中，所述控制器为PECVD设备的控制器。相对于现有技术，本实用新型的有益效果是本实用新型提供的防撞机械手中，在操作人员进行了误操作或控制程序紊乱时，机械手本体会持续移动，当其靠近硅碳桨所在的位置时，由于机械手本体上安装了灵敏度较高的传感器，传感器能够感测到硅碳桨的存在，并及时发送信号给控制器，控制器立即控制机械手本体停止移动。本实用新型提供的防撞机械手，用灵敏度较高的传感器代替灵敏度较低的传感器，使得控制器在传感器的帮助下可以快速的控制机械手本体停止移动，控制速度大大提升，降低甚至避免了机械手本体与硅碳桨接触进将其压断的风险，节约了生产成本，提高了工作效率，而且易于实现。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术提供的机械手的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供防撞机械手的机械手本体与传感器配合的结构示意图。以上图I-图2中机械手本体I、传感器2 ；安装端11、外侧端12。
具体实施方式
本实用新型提供了一种防撞机械手，实现了在操作人员进行误操作或控制程序紊乱时，机械手也可以及时感测到硅碳桨的存在，避免压断硅碳桨，进而节约了生产成本，提高了工作效率。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。如图2所示，本实用新型实施例提供的防撞机械手，包括机械手本体1，还包括控制机械手本体I启停的控制器；设置在机械手本体I上，用于感测位于所述机械手本体I底部的硅碳桨位置并将感测信号传输至控制装置的，具有高灵敏度的传感器2。本实施例提供的防撞机械手的工作过程如下在操作人员进行了误操作或控制程序紊乱时，机械手本体I会持续移动，当其靠近硅碳桨所在的位置时，由于机械手本体I上安装了灵敏度较高的传感器2，传感器2能够感测到硅碳桨的存在，并及时发送信号给控制器，控制器立即控制机械手本体I停止移动。·通过上述工作过程，本实施例提供的防撞机械手中，用灵敏度较高的传感器2代替灵敏度较低的传感器2，使得控制器在传感器2的帮助下可以快速的控制机械手本体I停止移动，控制速度大大提升，降低甚至避免了机械手本体I与硅碳桨接触进将其压断的风险，节约了生产成本，提高了工作效率，而且易于实现。为了进一步优化上述技术方案，本实施例提供的防撞机械手中，传感器2为耐高温传感器2。在太阳能电池硅片完成PECVD后，石墨舟从石英炉管中取出时具有较高的温度，而传感器2设置在机械手本体I上，其周围温度较高，所以传感器2的类型选择为耐高温传感器2以延长其工作寿命。优选的，传感器2为触碰式限位传感器。触碰式的限位传感器是灵敏度较高的一种传感器，而且其是以触碰的方式实现感测，感测结果较为可靠，当然，在不影响本防撞机械手正常工作的前提下，传感器2还可以为其他类型的高灵敏传感器。如图2所示，具体的，传感器2设置在机械手本体I与其安装端11对应的外侧端12上。将传感器2安装在机械手本体I的外侧端12上可以减小在传感器2感测不及时时，其自身被机械手本体I挤压而变形损坏的几率，延长传感器2的使用时间，降低生产成本。当然，在能够满足本防撞机械手正常工作的情况下，传感器2还可以安装在机械手本体I的其他部位。具体的，传感器2通过螺钉与机械手本体I相连，还可以通过强力胶水粘接在机械手本体I上，还可以利用铁丝捆绑的方式设置在机械手本体I上。只要能够将传感器2牢固的固定在机械手本体I上，可以选择其他不同的连接方式。进一步的，控制器为PECVD设备的控制器。为了节约成本，尽量减少对现有设备的改动，与传感器2连通的控制器可以选择原PECVD设备具有的控制器，这样就使得在实现本技术方案的同时不会大幅度的提高设备改造的成本，使得本技术方案更加利于实际的生产。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种防撞机械手，包括机械手本体(I)，其特征在于，还包括 控制所述机械手本体(I)启停的控制器； 设置在所述机械手本体(I)上，用于感测位于所述机械手本体(I)底部的硅碳桨位置并将感测信号传输至所述控制装置的，具有高灵敏度的传感器(2 )。
2.根据权利要求I所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)为耐高温传感器。
3.根据权利要求2所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)为触碰式限位传感器。
4.根据权利要求I所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)设置在所述机械手本体(I)与其安装端(11)对应的外侧端(12 )上。
5.根据权利要求4所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)通过螺钉与所述机械手本体(I)相连。
6.根据权利要求4所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)通过强力胶水粘接在所述机械手本体(I)上。
7.根据权利要求4所述的防撞机械手，其特征在于，所述传感器(2)以铁丝捆绑的方式设置在所述机械手本体(I)上。
8.根据权利要求I所述的防撞机械手，其特征在于，所述控制器为PECVD设备的控制器。
专利摘要本实用新型提供了一种防撞机械手，包括机械手本体(1)，还包括控制所述机械手本体(1)启停的控制器；设置在所述机械手本体(1)上，用于感测硅碳桨位置并将感测信号传输至所述控制装置的，具有高灵敏度的传感器(2)。本实用新型提供的防撞机械手，用灵敏度较高的传感器代替灵敏度较低的传感器，使得控制器在传感器的帮助下可以快速的控制机械手本体停止移动，控制速度大大提升，降低甚至避免了机械手本体与硅碳桨接触进将其压断的风险，节约了生产成本，提高了工作效率，而且易于实现。
文档编号H01L21/67GK202749351SQ20122033543
公开日2013年2月20日 申请日期2012年7月11日 优先权日2012年7月11日
发明者王宇龙 申请人:浚鑫科技股份有限公司