用于清洁气体喷射器的系统和方法
【专利摘要】一种具有同心双流导引器和流分散喷射器座的喷射器清洁装置以及一种清洁喷射器的方法。所述同心双流导引器具有与气体喷射器的中央通道以及多个外围通道连通的同心清洁流体流动路径。所述同心双流导引器的输入侧喷射器接合界面和所述流分散喷射器座各自具有可压缩密封部，所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器分别与所述输入侧喷射器接合界面和输出侧喷射器接合界面的刚性护面部邻接。
【专利说明】用于清洁气体喷射器的系统和方法
相关申请的交叉引用
[0001]本申请要求于2011年12月7日提交的序列号为61/567，693的美国临时申请和于2012年10月12日提交的序列号为13/650,429的美国正式申请的权益。
【技术领域】
[0002]本发明涉及一种清洁气体喷射器的内表面的系统和方法。
【背景技术】
[0003]将气体喷射器用作等离子体处理系统的部分，该等离子体处理系统用于诸如半导体晶片之类的衬底的等离子体处理。这些应用要求气体喷射器不受到污染，因为污染物将可能产生不可接受的制造产品(work product)。通常,通过人工擦洗内表面至一定程度,用超声波进一步清洁，从而清洁喷射器。相信这样的过程不会使喷射器不受诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒污染。本发明人已经认识到需要有替代上述清洁工艺的替代方案，并且更具体地，需要用于从喷射器的受限表面(confined surface)去除诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒的更有效的替代方案。
【发明内容】
[0004]根据本发明的主题，提供喷射器清洁装置来清洁气体喷射器的内表面。喷射器清洁装置和相关联的过程用于从喷射器的受限表面去除颗粒，例如陶瓷颗粒和氧化钇颗粒。喷射器清洁装置可以用来清洁或冲洗掉常规擦洗和超声波清洁后产生的颗粒。
[0005]根据本发明的一个实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器和流分散喷射器座。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体(cleaning fluid)流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing port1n)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接(abutment)并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。[0006]根据本发明的另一实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部流量控制模块和外部流量控制模块。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing port1n)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座还包括内基环、外基环和输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。所述内部流量控制模块被配置成调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动，并且所述外部流量控制模块被配置成调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。
[0007]根据本发明的另一实施方式，公开了清洁气体喷射器的方法。该方法包括:提供喷射器清洁装置，该喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部控制模块和外部控制模块。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；以及外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通。该方法还包括将去离子水和压缩干燥空气弓I入所述内部同心清洁流体流动路径以及将去离子水和压缩干燥空气引入所述外部同心清洁流体流动路径。所述同心双流导引器还包括输入侧喷射器接合界面，该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述流分散喷射器座之间的输出侧喷射器浮动间隙。所述内部流量控制模块调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动，并且所述外部流量控制模块调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。【专利附图】
【附图说明】
[0008]当结合下文的附图阅读时，可以最好地理解本发明的【具体实施方式】的下面的详细描述，附图中类似的结构用类似的附图标记标注，且其中:
[0009]图1是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的示意图；
[0010]图2A是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的侧面剖视图(为使喷射器清洁装置清晰起见，喷射器显示为轮廓(silhouette))；
[0011]图2B是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的详细剖视图(为使喷射器清洁装置清晰起见，喷射器显示为轮廓)；
[0012]图3A是根据本发明的一个实施方式的同心双流导引器的等距视图；
[0013]图3B是图3A的剖视图；
[0014]图3C是图3A的另一种剖视图；
[0015]图4是喷射器的等距视图；
[0016]图5是喷射器的等距视图；
[0017]图6是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的等距视图；
[0018]图7是根据本发明的一个实施方式的除去了隔离环的喷射器清洁装置的等距视图；
[0019]图8是根据本发明的一个实施方式的同心双流导引器也除去了的喷射器清洁装置的等距视图；
[0020]图9是根据本发明的一个实施方式的外基环也除去了的喷射器清洁装置的等距视图；
[0021]图10是根据本发明的一个实施方式的与喷射器密封件结合使用的喷射器的侧视图；
[0022]图11是根据本发明的一个实施方式的除去了隔离环的喷射器清洁装置的上部的等距视图；
[0023]图12是根据本发明的一个实施方式的排放室的等距视图；
[0024]图13A是根据本发明的一个实施方式的同心双流导引器的等距视图；
[0025]图13B是图13A的详细视图；
[0026]图14A是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的上部的等距视图；
[0027]图14B是根据本发明的一个实施方式的外基环也除去了的喷射器清洁装置的上部的等距视图；
[0028]图14C是根据本发明的一个实施方式的内基环也除去了的喷射器清洁装置的上部的等距视图；
[0029]图14D是根据本发明的一个实施方式的隔离环也除去了的喷射器清洁装置的上部的等距视图；
[0030]图15A是根据本发明的一个实施方式的喷射器清洁装置的等距剖视图；以及
[0031]图15B是15A的详细视图。
【具体实施方式】[0032]整体参照附图，特别是参照图1，应理解的是，示图是用于说明本发明的特定实施方式的目的，而不是意图限制本发明。用于清洁喷射器的喷射器清洁装置100包括相关的外部流量控制模块102和内部流量控制模块106。外部流量控制模块102和内部流量控制模块106包括阀、压强调节器、流量调节器和/或其它已知的硬件和仪器。外部流量控制模块102和内部流量控制模块106控制流到喷射器清洁装置100的不同部分的去离子水和压缩干燥空气(CDA)的流动并清洁喷射器140的不同部分。外部流量控制模块102和内部流量控制模块106具有独立的压强控制，使得去离子水和/或CDA的压强或流率可以不同。
[0033]参考图2A和图2B，为增强喷射器清洁装置100的清晰度，将喷射器140以轮廓的方式示出。在一个实施方式中，喷射器清洁装置100具有内区110和外区112。内区110和外区112是与喷射器140的不同部分连通的不同的且独立的流体路径。内区110与喷射器140的中央通道148连通。外区112与喷射器140的外围通道146连通。该设计确保通过喷射器140的不同的外围通道146的流均匀。
[0034]进一步参见图1、图2A和图2B，在一个实施方式中，外部流量控制模块102提供输入端到喷射器清洁装置100的外区112。外部流体供应件104将去离子水引导至外区孔124，而外部空气供应件105将压缩干燥空气引导至该外区孔。由外部流量控制模块102控制的去离子水和CDA清洁喷射器140的外围通道146。外部流量控制模块102调节流到外区孔124和外围通道146中的去离子水的流动，一个选定的示例性的流率为每分钟约3.5至约4.0加仑。外部流量控制模块102调节流到外区孔124和外围通道146的压缩干燥空气的流动，一个选定的示例性的压缩干燥空气的压强介于约40至约45psi之间。另外一个选定的实施方式包括去离子水的流率为每分钟约5.5到约6.5加仑以及压缩干燥空气的压强介于约30和约40psi之间。
[0035]在一个实施方式中，所述内部流量控制模块106提供输入端到喷射器清洁装置100的内区110。内部流体供应件107将去离子水引导至内区孔122，而内部空气供应件108将压缩干空气引导至该内区孔。通过内部流量控制模块106控制的去离子水和CDA清洁喷射器140的中央通道148。内部流量控制模块106调节流入内区孔122和中央通道148的去离子水的流动，一个选定的示例性的流率为每分钟约3.5到约4.0加仑。内部流量控制模块106调节流入内区孔122和中央通道148的压缩干燥空气的流动，一个选定的示例性的压缩干燥空气的压强介于约40和约45psi之间。另外一个选定的实施方式包括去离子水的流率为每分钟约5.5到约6.5加仑以及压缩干燥空气的压强介于约30和约40psi之间。
[0036]参考图3A，喷射器清洁装置100包括同心双流导引器120。同心双流导引器120包括将流体引入内区110和外区112的孔；孔的具体实例包括内区孔122和外区孔124。
[0037]参考图3B，即图3A的剖视图，其示出了内区110和外区112的实施方式的结构。外区112包括外部通道126，而内区110包括内部通道128。参考图3C，即图3A的另一种剖视图，其进一步图解了外部通道126和内部通道128。
[0038]参考图4，其示出了喷射器140。喷射器140包括多个外围出口 142和多个中央出Π 144。
[0039]参考图5，其示出了喷射器140的另一种视图。喷射器140还包括多个外围通道146和至少一个中央通道148。外围通道146终止于外围出口 142处，而中央通道148终止于中央出口 144处。将在喷射器清洁操作中使用的流体经由外围通道146和中央通道148引入喷射器140中，然后通过外围出口 142和中央出口 144从喷射器喷射。
[0040]参考图6，其示出了组装的喷射器清洁装置100的实施方式。除了同心双流导引器120外，喷射器清洁装置100还包括隔离环150、排放室152和外基环154。
[0041]参考图7，其示出了喷射器清洁装置100的实施方式，其中除去了隔离环150以显示喷射器140。
[0042]参考如图8，其示出了喷射器清洁装置100的实施方式，其中除去了同心双流导引器120和隔离环150以露出流导引器密封件156。还示出了将外基环154和隔离环150分隔的隔离环密封件158。虽然示出的流导引器密封件156和隔离环密封件158为O形环式密封件，然而其它实施方式包括其它类型和式样的本领域公知的密封件。
[0043]参考图9，其示出了喷射器清洁装置100，其中除去了外基环154以露出内基环160。内基环160和外基环154由内基环密封件162和外基环密封件164分离。虽然示出的内基环密封件162和外基环密封件164为O形环式密封件，然而其它实施方式包括其它类型和式样的本领域公知的密封件。
[0044]在一个实施方式(未示出)中，外基环154和内基环160是单个部件。外基环154和内基环160无论是作为单个部件还是多个部件都统称为流分散喷射器座166。
[0045]参考图10，其示出了从喷射器清洁装置100拆下的喷射器140。喷射器140当安装在喷射器清洁装置100中时，其通过上部喷射器密封件170与同心双流导引器120分离，并通过下部喷射器密封件172与内基环160分离。上部喷射器密封件170和下部喷射器密封件172是可压缩的，并使得喷射器140能在喷射器清洁装置100中介于内基环160和同心双流导引器120之间浮动，同时保持与上部喷射器密封件和下部喷射器密封件啮合。喷射器140在喷射器清洁装置100中的浮动布置使得当通过喷射器清洁装置及喷射器的流体的压强或流率改变时能改善震动的吸收。虽然示出的上部喷射器密封件170和下部喷射器密封件172为O形环式密封件，然而其它实施方式包括其它类型和式样的本领域公知的密封件。
[0046]参考图11，其不出了本发明的实施方式中的喷射器140、外基环154和同心双流导引器120之间的关系。喷射器140其一端与流分散喷射器座166连接，而其另一端与同心双流导引器120连接。
[0047]再次参考图2A和2B，其示出了设置在喷射器清洁装置中的喷射器140。喷射器140显示为轮廓，为使周边的喷射器清洁装置100的结构清晰起见，该轮廓没有任何内部细节。同心双流导引器120包括输入侧的喷射器接合界面114。输入侧的喷射器接合界面114包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing port1n)。输入侧喷射器接合界面114的可压缩密封部优选具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过喷射器清洁装置100的清洁流体的流动的起始和终止。输入侧喷射器接合界面114的可压缩密封部优选地还具有足够的弹性以防止气体喷射器和输入侧喷射器接合界面的刚性护面部邻接(abutment)并保持喷射器和输入侧喷射器接合界面的刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。在一个实施方式中，上部喷射器密封件170是输入侧喷射器接合界面114的可压缩密封部。
[0048]流分散喷射器座166包括输出侧喷射器接合界面116。输出侧喷射器接合界面116包括可压缩密封部和刚性护面部。输出侧喷射器接合界面116的可压缩密封部优选具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过喷射器清洁装置100的清洁流体的流动的起始和终止。输出侧喷射器接合界面116的可压缩密封部优选地还具有足够的弹性以防止气体喷射器和输出侧喷射器接合界面的刚性护面部邻接(abutment)并保持喷射器和输出侧喷射器接合界面的刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。在一个实施方式中，下部喷射器密封件172是输出侧喷射器接合界面116的可压缩密封部。
[0049]参考图12，其示出了排放室152的端部的细节。排放室152的端部的外周包括可选的外基环密封通道180。外基环密封通道180是凹陷通道，尺寸设置成容纳外基环密封件164。排放室152还包括至少一个排放口 182以在喷射器清洁操作期间提供用于从喷射器140排放的流体的路径。
[0050]参考图13A，其示出了同心双流导引器120的端部的细节。同心双流导引器120的端部的外周包括可选的流导引器密封通道184和可选的上部喷射器密封通道186。流导引器密封通道184是凹陷通道，其尺寸设置成容纳流导引器密封件156。上部喷射器密封通道186是凹陷通道，其尺寸设置成容纳上部喷射器密封件170。另外，图13B，即图13A的详细视图，其示出了外部通道126和内部通道128。
[0051]参考图14A，其示出了内基环160。内基环160具有至少一个穿孔190，以使得来自喷射器140的外围出口 142和中央出口 144的排放物能穿过内基环。所述至少一个穿孔190对准喷射器140的外围出口 142和中央出口 144，使得喷射器的排放物能不受阻碍地通过。图14B所示为:外基环154已去除，露出了外基环密封件164的定位。图14C所示为:内基环160也已去除，露出了内基环密封件162和下部喷射器密封件172的定位。图14D所示为:隔离环150也已去除，露出了隔离环密封件158及流导引器密封件156。
[0052]参考图15A和15B，其示出了喷射器140置于原位的喷射器清洁装置100的实施方式的横截面。其示出了此前披露的结构和它们的关系。
[0053]喷射器清洁装置100与喷射器140接触的部件可以是聚丙烯或者适于与喷射器接触的其他材料。这些部件的其余部分可以由尼龙或适合这些条件的其它材料制成。所有沾湿的表面(all wetted surface)不得由不锈钢制成。
[0054]喷射器清洁装置100用于清洁喷射器140。清洁过程的目的在于从喷射器140的受限表面去除颗粒，例如陶瓷颗粒和氧化钇颗粒。相信诸如陶瓷颗粒和氧化钇颗粒之类的颗粒没有通过常规的漂洗或超声波清洁的方法除去。喷射器清洁装置100用于清洁和冲洗掉常规擦洗和超声波清洁之后留下的颗粒。
[0055]从喷射器140去除颗粒对于无缺陷性能非常重要。在诸如半导体晶片衬底的等离子体处理之类的操作过程中，喷射器140中的碎屑和颗粒会导致在最终产品中的缺陷。
[0056]喷射器清洁过程的实施方式包括将流体引入喷射清洁装置100的内区110和外区112。与内区孔122和外区孔124连接的配件可用于将外部流量控制模块102和内部流量控制模块106连接到喷射器清洁装置100。经由内区孔122引入的流体穿过内部通道128。经由外区孔124引入的流体穿过外部通道126。这些独立的路径使得对于穿过内区110和外区112的流体可以使用不同的压强和流率。另外，可以想象到的是如洗涤剂或酶等二次清洁剂(secondary cleaning agents)可以包含在一流体流中，并且不包含在另一流体流中。[0057]流体穿过内部通道128和外部通道126后，将其引入到喷射器140，以完成清洁运行。将来自内部通道128的流体引入喷射器140的中央通道148，使其穿过中央通道，并使其通过中央出口 144喷出。将来自外部通道126的流体引入到喷射器140的外围通道，使其穿过外围通道，并使其通过外围出口 142喷出。从外围出口 142和中央出口 144排放出的流体穿过内基环160的至少一个穿孔190,使得流体能进入排放室152。通过至少一个排放口 182让流体从排放室152排出喷射器清洁装置100。
[0058]所披露的附图示出了斜角、锥状、倒角、圆角、弄圆(rounding)以及其他边角处理。这些边角处理可能不是必须的，并且本发明包括那些并不存在这些边角处理的未示出的实施方式。此外，可以设想到一些实施方式，在这些实施方式中，没有显示为经边角处理的角和边是倾斜的、锥状的、倒角的、圆角的、圆形的，或经另一边角处理方式处理的。
[0059]在所公开的附图中，紧固件显示为以组装排布的方式将喷射器清洁装置100的部件保持一起。所示紧固件的种类和样式仅是说明性的，本领域公知的紧固件的进一步的类型和样式设想作为进一步的实施方式。
[0060]还应当注意，本文中“至少一个”部件、元件等这样的描述不应该被用来推断:替代使用的冠词“一”或“一个”(“a”or “an”)应限于单个部件、元件等。
[0061]值得注意的是，如“优选”、“通常”和“典型地”等术语在本文使用时并不用于限制本发明要求保护的范围或者暗示某些特征对于所要求保护的发明的结构或功能是关键的、必要的、或者甚至是重要的。相反，这些术语仅仅旨在标识出本发明的实施方式的特定方面或者强调可以或不可以在本发明的特定的实施方式中使用的替代的或额外的特征。
[0062]已经参照本发明的【具体实施方式】详细描述了本发明的主题，应当指出的是，本文所公开的各种细节不应被视为暗示这些细节与是本文所描述的各种实施方式的基本部件的元件有关，即使在特定的元件图解在伴随本说明书的每一个附图中的情况下也如此。相反，所附的权利要求应被视为本发明和本文所描述的各种发明的相应范围的广度的唯一表示。另外，显而易见的是，在不脱离本发明的所附权利要求限定的范围的情况下，一些修改方案和变化方案是可行的。更具体地，尽管本发明的一些方面在本文中确定为优选的或特别有利的，但可以预期的是，本发明不必然受限于这些方面。
[0063]值得注意的是以下的权利要求中的一项或多项使用术语“其中”作为过渡语。基于限定本发明的目的而言，应当注意，在权利要求中引入该术语作为开放式的过渡性短语，其用于引入对结构的一系列特征的叙述，并应当以解释更常用的开放式前序术语“包括”的方式类似的方式来解释。
【权利要求】
1.一种喷射器清洁装置，其包括同心双流导引器和流分散喷射器座，其中:所述同心双流导引器包括 内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通， 外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通，以及 输入侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙；并且 所述流分散喷射器座包括 输出侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。
2.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中，所述喷射器清洁装置还包括内部流量控制模块以调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动以及包括外部流量控 制模块以调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。
3.根据权利要求2所述的喷射器清洁装置，其中所述内部流量控制模块、所述外部流量控制模块、或两者都包括至少一个阀、至少一个压强调节器和至少一个流量调节器。
4.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部、所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部或所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部和所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部两者都包括O形环式密封件。
5.根据权利要求4所述的喷射器清洁装置，其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部和所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部两者都包括O形环式密封件。
6.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部设置在形成于所述同心双流导引器中的凹陷通道中，而所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部设置在形成于所述流分散喷射器座中的凹陷通道中。
7.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述喷射器清洁装置还包括排放室以收集和排出从所述流分散喷射器座排放的流体。
8.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述喷射器清洁装置还包括设置在所述流分散喷射器座和所述同心双流导引器之间的隔离环。
9.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述流分散喷射器座还包括内基环和外基环。
10.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所有沾湿的表面都不是由不锈钢组成的。
11.根据权利要求1所述的喷射器清洁装置，其中所述流分散喷射器座和所述同心双流导引器是由聚丙烯组成的。
12.—种喷射器清洁装置，其包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部流量控制模块和外部流量控制模块，其中: 所述同心双流导引器包括 内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通， 外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通，以及输入侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙； 所述流分散喷射器座包括 输出侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密 封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙，并且所述流分散喷射器座还包括内基环和外基环； 所述内部流量控制模块被配置成调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动；并且 所述外部流量控制模块被配置成调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。
13.一种清洁气体喷射器的方法，该方法包括: 提供喷射器清洁装置，该喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部控制模块和外部控制模块，其中: 所述同心双流导引器包括: 内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通， 外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通，以及输入侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙； 所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述流分散喷射器座之间的输出侧喷射器浮动间隙； 所述内部流量控制模块调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动；以及 所述外部流量控制模块调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动； 将去离子水和压缩干燥空气引入所述内部同心清洁流体流动路径；并且 将去离子水和压缩干燥空气引入所述外部同心清洁流体流动路径。
14.根据权利要求13所述的清洁气体喷射器的方法，其中所述内部流量控制模块以每分钟约3.5加仑至约4.0加仑的流率调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水的流动以及以介于约40psi和约45psi之间的压强调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的压缩干燥空气的流动。
15.根据权利要求13所述的清洁气体喷射器的方法，其中所述外部流量控制模块以每分钟约3.5加仑至约4.0加仑的流率调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水的流动以及以介于约40psi和约45psi之间的压强调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的压缩干燥空气的流动。
【文档编号】H01L21/3065GK104040689SQ201280060293
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2012年11月28日 优先权日:2011年12月7日
【发明者】阿尔曼·阿沃杨, 克利夫·拉克鲁瓦, 石洪, 艾伦·龙尼, 约翰·多尔蒂, 凯瑟琳·周 申请人:朗姆研究公司