一种批量硅片吸持装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种批量硅片吸持装置，包括顶板和顶板下方的多个结构、大小一致的吸爪，所述顶板的两端安装端板；所述吸爪的一个端面为竖直面，吸爪的上部为连接部而吸爪的下部为夹持部，连接部的底部与夹持部的顶部连接，连接部的厚度大于夹持部的厚度，并设有连接机构沿垂直于吸爪厚度方向将各吸爪叠加固定到两个端板之间，相邻吸爪的夹持部之间的距离大于硅片的厚度；该吸持装置还设有吸附硅片的真空吸附机构。通过本发明的批量硅片吸持装置，可以很好的实现批量吸持硅片，可以大数量同时吸持硅片，也可以小数量同时吸持甚至单个吸爪独立吸持硅片，同时结构非常紧凑，可以直接从硅片花篮盒或石英舟中批量取片，提高搬运效率。
【专利说明】一种批量娃片吸持装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种批量硅片吸持装置。
【背景技术】
[0002]国内目前已有的太阳能电池片生产线中大多数采用人工装片方式，生产效率受到一定限制，硅片自动装卸片设备代替人工操作，减少手工跟硅片的接触，同时采用批量搬运的方式，可以提高生产效率。
[0003]自动装卸片设备关键是要能够实现批量硅片搬运，因此必须设计更可靠、更有效的批量硅片吸持机构，否则无法实现有效可靠的硅片搬运。
[0004]现有硅片吸持机构主要存在两个方面的问题，或是难以实现较大数量(特别是25片以上)的同时吸附，或是可以同时吸附较大数量的硅片但必须是绝大部分吸爪都和硅片接触，比如:工作状态下可以同时吸附50片，但是不可以只吸附25片。除此之外，现有吸持机构的吸爪尺寸偏厚，吸爪之间的间距偏大，不能直接从硅片花篮盒或石英舟中取片，在使用中需要增加过渡装置，降低了搬运效率。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种批量硅片吸持装置，可实现自动装卸片过程中的批量硅片吸持，可以大数量同时吸持硅片，也可以小数量同时吸持甚至单个吸爪独立吸持硅片，可直接从硅片花篮盒或石英舟中批量取片。
[0006]本发明的技术方案为，一种批量硅片吸持装置，包括顶板和顶板下方的多个结构、大小一致的吸爪，所述顶板的两端安装端板；所述吸爪的一个端面为竖直面，吸爪的上部为连接部而吸爪的下部为夹持部，连接部的底部与夹持部的顶部连接，连接部的厚度大于夹持部的厚度，并设有连接机构沿垂直于吸爪厚度方向将各吸爪叠加固定到两个端板之间，相邻吸爪的夹持部之间的间隙大于硅片的厚度；该吸持装置还设有吸附硅片的真空吸附机构。
[0007]通过连接机构将多个吸爪串联叠加起来，两个端板将各吸爪严压紧，保证所有吸爪间隙均匀，吸爪夹持部的厚度就是吸附硅片的排列间距，可根据硅片花篮盒或石英舟中硅片的排列间距制作吸爪夹持部的厚度，即可从硅片花篮盒或石英舟中批量取片；为确保吸持效果，还在夹持部设置多个用于真空吸附的同心凹槽；本发明设置的吸爪，可确保每个吸爪都可单独取片，因此可以实现大数量同时吸持硅片，也可以小数量同时吸持甚至单个吸爪独立吸持硅片。
[0008]连接部约占吸爪长度的三分之一，而夹持部约占吸爪长度的三分之二，在保证连接稳定的同时，还能确保夹持的效果。
[0009]所述真空吸附机构包括设在吸爪夹持部表面的多个同心凹槽、同心凹槽上的凹槽通气孔、设在吸爪连接部并与每个凹槽通气孔连接的吸爪通气孔、安装在端板外侧并向吸爪通气孔通入真空负压的管接头；所述每个凹槽通气孔与吸爪通气孔通过设在吸爪内部的通气通道连接。
[0010]当所述批量硅片吸持装置工作吋，向吸爪通气孔内通入ー个真空负压(例如45千帕左右)，这样每个吸爪上的凹槽部分均得到一个相对差一点的真空负压，可以足够稳定吸附单个硅片。
[0011]所述各凹槽通气孔与吸爪通气孔在一条直线上，吸爪通气孔到各凹槽通气孔的距离最短，减少传输距离，保证吸附效果。
[0012]所述连接机构包括设在吸爪连接部的连接孔和穿过连接孔的连接杆，按照本发明的实施例，对称设有4个连接孔和4根连接杆将吸爪固定。
[0013]所述吸爪由陶瓷材料制成，不会污染硅片。
[0014]本发明中，吸爪的数量可以是25个也可以50个或其他数量，吸爪的具体数量根据
实际搬运的需要而定。
[0015]整个硅片吸持装置的真空通路要求，吸爪通气孔要足够大，同时凹槽通气孔相对比较小。当进行批量吸片时，外围的机械手臂或相似运动装置将整个硅片吸持装置沿着硅片放置的方向缓慢插入若干相邻硅片之间，然后移动硅片吸持装置使吸爪和硅片接触，开启真空吸附机构，这样，与吸爪接触的硅片全部被吸附，可以被搬运到指定位置。
[0016]与现有技术相比，本发明的有益结果是:通过本发明的批量硅片吸持机构，可以很好的实现批量吸持硅片，可以大数量同时吸持硅片，也可以小数量同时吸持甚至单个吸爪独立吸持硅片，同时结构非常紧凑，可以直接从硅片花篮盒或石英舟中批量取片，提高搬运效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为本发明一种实施例的结构示意图；
图2为吸爪的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]如图1、图2所示，一种批量硅片吸持装置，包括顶板4和顶板4下方的50个结构、大小一致的吸爪，顶板4的两端安装端板2，吸爪的ー个端面为竖直面，在图1中，吸爪的右端面为竖直面，吸爪的上部为连接部11而吸爪的下部为夹持部1，连接部11的底部与夹持部I的顶部连接，连接部11的厚度大于夹持部I的厚度，并设有连接机构沿垂直于吸爪厚度方向将各吸爪叠加固定到两个端板2之间，相邻吸爪的夹持部I之间的间隙大于硅片的厚度；该吸持装置还设有吸附硅片的真空吸附机构。
[0019]真空吸附机构包括设在吸爪夹持部I表面的多个同心凹槽6、同心凹槽6上的凹槽通气孔7、设在吸爪连接部11并与每个凹槽通气孔7连接的吸爪通气孔10、安装在端板2外侧并向吸爪通气孔10通入真空负压的管接头5 ;各凹槽通气孔7与吸爪通气孔10在一条直线上，凹槽通气孔7与吸爪通气孔10之间设有埋入吸爪内部的通气通道8。
[0020]连接机构包括对称设在吸爪连接部11的4个连接孔9和穿过连接孔9的4根连接杆3。
[0021]吸爪由陶瓷材料制成。
【权利要求】
1.一种批量硅片吸持装置，包括顶板(4)和顶板(4)下方的多个结构、大小一致的吸爪，其特征是，所述顶板(4)的两端安装端板(2);所述吸爪的ー个端面为竖直面，吸爪的上部为连接部(11)而吸爪的下部为夹持部(I )，连接部(11)的底部与夹持部(I)的顶部连接，连接部(11)的厚度大于夹持部(I)的厚度，并设有连接机构沿垂直于吸爪厚度方向将各吸爪叠加固定到两个端板(2)之间，相邻吸爪的夹持部(I)之间的间隙大于硅片的厚度；该吸持装置还设有吸附硅片的真空吸附机构。
2.根据权利要求1所述批量硅片吸持装置，其特征是，所述真空吸附机构包括设在吸爪夹持部(I)表面的多个同心凹槽(6)、同心凹槽(6)上的凹槽通气孔(7)、设在吸爪连接部(11)并与每个凹槽通气孔(7)连接的吸爪通气孔(10)、安装在端板(2)外侧并向吸爪通气孔(10)通入真空负压的管接头(5)。
3.根据权利要求2所述批量硅片吸持装置，其特征是，所述每个凹槽通气孔(7)与吸爪通气孔(10)通过设在吸爪内部的通气通道(8)连接。
4.根据权利要求2所述批量硅片吸持装置，其特征是，所述各凹槽通气孔(7)与吸爪通气孔(10)在一条直线上。
5.根据权利要求1或2所述批量硅片吸持装置，其特征是，所述连接机构包括设在吸爪连接部(11)的连接孔(9)和穿过连接孔(9)的连接杆(3)。
6.根据权利要求1或2所述批量硅片吸持装置，其特征是，所述吸爪由陶瓷材料制成。
【文档编号】H01L21/683GK103594409SQ201310500266
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】许波涛, 龙会跃, 钟新华 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所