一种基板处理装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及平板显示【技术领域】，尤其涉及一种基板处理装置。其至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。
【专利说明】一种基板处理装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及平板显示【技术领域】，尤其涉及一种基板处理装置。
【背景技术】
[0002]化学钢化玻璃的原理是，使玻璃表层中半径较小的离子与溶液中半径较大的离子交换，例如将玻璃中的Na+与KN03熔盐溶液中的K+进行离子交换，利用碱离子体积上的差别在玻璃表层形成表面压应力，从而增强玻璃的硬度。
[0003]化学钢化玻璃在生产过程中，需要先将钢化玻璃在预热箱中大致预热到350°C或以上，再将钢化玻璃浸入化学池内的KN03熔盐中进行离子交换，离子交换过程中属于保温过程，离子交换完成后，在预热箱中冷却到一定的温度。此预热及冷却过程都需分别经循环热风和冷却风来实现。
[0004]现有的预热箱内壁设有一循环系统和放置于预热箱内部中央的吊笼，所述循环系统包括设置于内壁的夹层风道、风机和加热器，所述夹层风道上还设置有通孔。所述吊笼内平行竖直放置有玻璃，其顶部盖有一盖板，所述吊笼位于所述夹层外。工作时，所述风机输出循环风，循环风经过风道，被加热器加热或冷却，并从所述通孔吹出，流经至吊笼内的玻璃的表面，并加热或者冷却所述玻璃。所述盖板的作用是，保证熔盐炉在离子交换过程中的保温。
[0005]然而循环风在流经玻璃的表面后，不可避免的会撞击到吊笼顶部的盖板，使循环风骤然变小，造成玻璃从下到上受热或受冷不均匀，影响了循环风的加热及冷却效果，而玻璃预热及冷却过程中温度的均匀性直接影响到玻璃的良品率。
实用新型内容
·[0006]有鉴于此，有必要提供一种能提高基板处理良品率的基板处理装置。
[0007]根据本实用新型的方面，提出了一种基板处理装置，其至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。
[0008]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述本体还包括第一顶部及第一侧壁，所述风循环系统至少包括鼓风模块、加热模块及风道，所述第一顶部及第一侧壁均呈内部中空状，且所述第一顶部及第一侧壁的内部中空部分相连通形成所述风道，所述鼓风模块设置于所述第一顶部上且收容于所述第一顶部的中空部分；所述加热模块设置于所述第一侧壁上且收容于所述第一侧壁的中空部分。
[0009]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述本体还包括第一底部，所述第一底部与所述第一顶部平行相间设置并通过所述第一侧壁相连接，形成所述第一收容空间；所述第一侧壁靠近所述第一底部的一端内侧设有一第一开口。
[0010]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述固定模块还包括具有多个第二收容空间的支撑件及第二底部，所述第二顶部与所述第二底部相互平行相间设置且通过所述支撑件相连接，所述第一通孔位于所述第一第二顶部上与所述多个第二收容空间相对的位置处，所述第二底部上与所述多个第二收容空间相对的位置处设有多个第二开口，多个所述第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影被所述多个第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影所覆盖。
[0011]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述固定模块收容于所述第一收容空间后，所述第一顶部与所述第二顶部之间相互平行相间，所述第二底部与所述第一底部之间相互平行相间，所述支撑件与所述第一侧壁上各处之间具有相同的间距，所述第二底部上任意一处与所述第一底部之间的间距大于或等于所述第一开口的任意一处与所述第一底部之间间距。
[0012]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述加热模块设置于所述第一侧壁靠近所述第一顶部的一端，其在所述第一顶部上的投影呈一矩形环状，所述第一侧壁由四个整体呈长方体形的矩形块首尾相接形成，所述本体和固定模块均呈长方体形，所述第一收容空间亦成长方体形。
[0013]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述第一开口在所述第一底部上的投影呈矩形环状。
[0014]本实用新型提出的一种基板处理装置中，所述第一顶部和第一底部具有相同的大小和形状，第二顶部和第二底部具有相同的大小和形状。
[0015]本实用新型提供的基板处理装置通过在固定模块上的第二顶部设置多个第一通孔，使循环风能够均匀的、畅通无阻流过整个基板表面，从而保持基板在预热和冷却过程中温度的均匀性，提高了钢化基板的良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]下面将结合附图及实施方式对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0017]图1为本实用新型提供的一较佳实施方式的基板处理装置100的主视图；
[0018]图2为图1中所述基板处理装置101的俯视图。
【具体实施方式】
[0019]为说明本实用新型提供的基板处理装置，以下结合说明书附图及文字说明进行详细阐述。
[0020]请同时参阅图1和图2，其为本实用新型提供的一较佳实施方式的基板处理装置100的主视图以及俯视图。
[0021]所述基板处理装置100中的基板可用作触摸屏基板、显示面板基板、彩色滤光片基板等等，所述基板的材料可以为玻璃。
[0022]所述基板处理装置100包括具有一第一收容空间IOla的本体101、设置于本体101内的风循环系统和设置于所述第一收容空间IOla内的用于放置基板110的固定模块105。所述本体101整体呈长方体形，其包括第一顶部101b、第一底部101c、第一侧壁101d，所述第一顶部IOlb和第一底部IOld均呈长方体形，两者平行相对设置并通过所述第一侧壁IOld相连，所述第一侧壁IOld由四个整体呈长方体形的矩形块首尾相接的形成，且所述第一顶部101b、第一底部IOlc及第一侧壁IOld共同形成所述第一收容空间101a，所述第一收容空间IOla呈长方体形。在其他实施方式中，所述本体101还可以是整体呈圆柱体型，所述第一收容空间IOla亦可为圆柱体型，所述第一顶部IOlb和第一底部IOlc为圆柱体型，且两者大小相同，平行且相对设置。所述第一侧壁IOld呈圆柱形，其展开后的图形为一长方体形。或者在其他实施方式中，所述本体101还可以是其他形状所述第一收容空间IOla亦可为与所述本体101不同的形状。
[0023]所述风循环系统设置于所述本体101上，其包括鼓风模块102及加热模块103以及风道104。所述第一顶部IOlb及第一侧壁IOld的内部均呈中空状，并所述第一顶部IOlb与第一侧壁IOld的中空部分相连形成所述风道104。所述鼓风模块102设置于所述第一顶部IOlb上且收容于所述第一顶部IOlb的中空部分，用于对风的流动提供动力。所述加热模块103设置于所述第一侧壁IOld上且收容于所述第一侧壁IOld内的中空部分，用于对流经其上的风进行加热。在本实施方式中，所述加热模块103设置于所述第一侧壁IOld靠近所述第一顶部IOIb的一端，且其在所述第一顶部IOlb上的投影为一矩形环。所述第一侧壁IOld靠近所述第一底部IOlc的一端面向所述第一收容空间IOla的一面上设置有第一开口 101e，其在所述第一底部IOlc上的投影为一矩形环。
[0024]所述固定模块105整体呈长方体形，其可与所述本体101分离地收容于所述第一收容空间IOla内且位于所述夹层风道104之外。所述固定模块105包括形成多个第二收容空间105b的支撑件105a、第二顶部105c、第二底部105d。所述第二顶部105c和第二底部105d均整体呈长方体形，且平行相间隔设置并通过所述支撑件105a相连接。所述多个第二收容空间105b用于收容基板110，所述第一顶部105a上与所述多个第二收容空间105b相对的位置上设置有多个第一通孔105e，所述第一通孔105e在本实施方式中呈圆形，在其他实施方式中还可以呈矩形、三角形等其他形状。所述第一通孔105e位于所述第二顶部105c上与所述多个第二收容空间105b相对的位置处。所述第二底部105d上与所述多个第二收容空间105b相对的位置上设有多个第二开口 105f，所述第二开口 105f在本实施方式中呈矩形条状，在其他实施方式中，所述第二开口 105f还可以是圆形、三角形或其他不规则形状，或者是各种形状的组合等。所述第一通孔105e在所述第二顶部105c或第二底部105d上的投影被所述第二开口 105f在所述第二顶部105c或第二底部105d上的投影所覆盖。所述第一通孔105e在所述第一顶部105c上呈矩阵排列，所述第二开口 105f在所述第二底部105d上亦成矩阵排列。在本实施方式中，所述第二顶部105c和第二底部105d之间具有相同的大小和相同的形状。
[0025]所述固定模块105收容于所述第一收容空间IOla后，其第二顶部105c与所述本体101的第一顶部IOlb平行且相间，所述第二底部105d与所述第一底部IOlc平行且相间，所述固定模块105与所述第一侧壁IOld各个位置之间具有相同的间距；所述第二底部105d与所述第一底部IOlc之间的间距大于等于所述第一开口 IOle任何一处与所述第一底部IOlc之间的间距。
[0026]所述基板处理装置100在工作时，所述固定模块105收容于所述第一收容空间101a，风经所述鼓风模块102经风道104流过所述加热模块103 ;经所述加热模块103加热后，经所述第一开口 IOle流入所述第一收容空间IOla;并经所述第二开口 105f流入所述多个第二收容空间105b，经所述多个第一通孔105e流出所述固定模块105，回到鼓风模块102，完成一次循环；所述基板110通过加热后的风进行加热或冷却，使温度达到使用要求。
[0027]本实施方式提供的基板处理装置通过在可固定模块的第二顶部上设置多个第一通孔，为循环风提供出口，使循环风能够均匀地流过整个基板表面，从而保持基板在预热和冷却过程中温度的均匀性，提高了基板处理的良品率。
[0028]以上为本实用新型提供的一种基板处理装置的较佳实施方式，并不能理解为对本实用新型权利保护范围的限制，本领域的技术人员应该知晓，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可做多种改进或替换，所有的该等改进或替换都应该在本实用新型的权利保护范围内，即本实用新型的权利保护范围应以权利要求为准。
【权利要求】
1.一种基板处理装置，至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于:所述本体还包括第一顶部及第一侧壁，所述风循环系统至少包括鼓风模块、加热模块及风道，所述第一顶部及第一侧壁均呈内部中空状，且所述第一顶部及第一侧壁的内部中空部分相连通形成所述风道，所述鼓风模块设置于所述第一顶部上且收容于所述第一顶部的中空部分；所述加热模块设置于所述第一侧壁上且收容于所述第一侧壁的中空部分。
3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于:所述本体还包括第一底部，所述第一底部与所述第一顶部平行相间设置并通过所述第一侧壁相连接，形成所述第一收容空间；所述第一侧壁靠近所述第一底部的一端内侧设有一第一开口。
4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于:所述固定模块还包括具有多个第二收容空间的支撑件及第二底部，所述第二顶部与所述第二底部相互平行相间设置且通过所述支撑件相连接，所述第一通孔位于所述第二顶部上与所述多个第二收容空间相对的位置处，所述第二底部上与所述多个第二收容空间相对的位置处设有多个第二开口，多个所述第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影被所述多个第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影所覆盖。
5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于:所述固定模块收容于所述第一收容空间后，所述第一顶部与所述第二顶部之间相互平行相间，所述第二底部与所述第一底部之间相互平行相间，所述支撑件与所述第一侧壁上各处之间具有相同的间距，所述第二底部上任意一处与所述第一底部之间的间距大于或等于所述第一开口的任意一处与所述第一底部之间间距。
6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于:所述加热模块设置于所述第一侧壁靠近所述第一顶部的一端，其在所述第一顶部上的投影呈一矩形环状，所述第一侧壁由四个整体呈长方体形的矩形块首尾相接形成，所述本体和固定模块均呈长方体形，所述第一收容空间亦成长方体形。
7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于:所述第一开口在所述第一底部上的投影呈矩形环状。
8.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于:所述第一顶部和第一底部具有相同的大小和形状，第二顶部和第二底部具有相同的大小和形状。
【文档编号】H01L21/67GK203562407SQ201320560643
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年9月9日 优先权日:2013年9月9日
【发明者】申屠江民, 张平, 胡雪龙, 黄旭辉, 卢凤卫, 王磊 申请人:浙江金徕镀膜有限公司