1.一种末端执行器装置，安装在机器人的臂，具备：手；
多个保持部，设置在所述手，以多片衬底在1个平面平行且在正交于所述1个平面的第1方向相互空出间隔配置的方式，保持所述多片衬底；
1个检测器，设置在所述末端执行器装置，构成为从所述第1方向观看配置在所述多片衬底的外侧，且能够以针对每1片衬底与所述衬底的周缘部对向的状态检测被所述多个保持部保持的所述衬底的存在；及
检测器移动机构，设置在所述末端执行器装置，以所述1个检测器与所有各衬底的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在所述第1方向与所述多片衬底相对移动；
所述各保持部包含间距变更机构，所述间距变更机构以使承接对应衬底的周缘部的多个承接部的每一个移动的方式构成；
将所述间距变更机构与所述检测器移动机构相互关联，而以共通的驱动源驱动。
2.根据权利要求1所述的末端执行器装置，其中所述多个承接部分别以所述衬底成为与所述1个平面平行的方式承接对应衬底的周缘部，且对应于所述衬底的片数配置在所述第1方向；及
所述间距变更机构，以使各承接部在所述第1方向移动而变更相邻衬底的间隔的方式构成；且
所述检测器移动机构使所述检测器在第1方向上向与所述间距变更机构变更相邻衬底的间隔的方向相反的方向移动。
3.根据权利要求1所述的末端执行器装置，其中所述间距变更机构包含：多个直线移动体，分别在所述第1方向上移动且对应于所述衬底的片数而具备所述承接部；及滑动件，与所述驱动源连结，在与1个平面平行的第2方向上直线移动，而使所述多个直线移动体在所述第1方向上移动；且
所述检测器移动机构与所述滑动件的直线移动连动驱动。
4.根据权利要求3所述的末端执行器装置，其中所述手包含：主体部，以在所述第2方向上延伸的方式形成且具有前端部与末端部；及可动部，能够在所述第2方向上前进及后退地连结在所述主体部的末端侧；且
所述主体部与可动部均在内部形成收纳空间，所述间距变更机构包含配置在所述多个直线移动体与所述滑动件之间的驱动部；
所述驱动部配置在所述主体部及可动部的收纳空间内，所述多个直线移动体设置在所述主体部及可动部的外侧。
5.根据权利要求4所述的末端执行器装置，其中所述多个保持部包含：第1保持部，设置在所述主体部的前端部；及第2保持部，设置在所述可动部；且
所述末端执行器装置以如下方式构成：在所述可动部前进时，利用所述第1保持部与所述第2保持部的所述多个承接部保持所述多片衬底的周缘部，且在所述可动部后退时，从所述第2保持部的所述承接部释放所述多片衬底的周缘部。