1.用于带电粒子束成像系统的相移装置，其特征在于其包括用以在具有平行于成像射束的至少一个区段的非零分量的方向上传递电流的部件。
2.根据权利要求1所述的相移装置，其特征在于电流在包围与成像射束的该区段成至多45度、优选地至多20度且最有利地至多10度的角度的方向上沿着成像射束的所述区段传递。
3.根据权利要求1至2所述的相移装置，其特征在于，所述部件包括在电流方向上的导体和设置在与成像射束成75和105度之间的角度中以供应此电流的引线。
4.根据权利要求3所述的相移装置，其特征在于所述导体围绕电流的方向而轴对称。
5.根据权利要求3至4中的任一项所述的相移装置，其特征在于所述导体和/或所述引线由非铁磁材料制成。
6.根据权利要求3至5中的任一项所述的相移装置，其特征在于所述引线被相互反平行地布置。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的相移装置，其特征在于所述部件包括第二带电粒子束。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的相移装置，其特征在于其具有用以将载送电流的导体加热到至少200℃的部件。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的相移装置，其特征在于所述相移装置具有用以调整电流的方向与成像射束之间的倾角的部件。
10.带电粒子束成像系统，其具有被相干地分离成与要研究的对象相互作用的一个第一部分和并未与该对象相互作用的一个第二参考部分的射束、用以在第一部分已接触物体之后使射束的两个部分相干涉的部件，以及射束的两个部分中的至少一个的路径中的相移装置，其特征在于所述相移装置是根据权利要求1至9中的任一项所述的相移装置。
11.根据权利要求10所述的成像系统，其特征在于其是电子显微镜。