一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法与流程

文档序号:12180102阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:包括以下步骤:

截取内径为1-30μm的毛细管,然后将刻蚀部分表面的聚合物涂层去除,将刮去涂层的毛细管固定于毛细管固定装置,加入氢氟酸进行刻蚀。

2.按照权利要求1所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述将刻蚀部分表面的聚合物涂层去除方法包括:刀片刮、高温烧或有机溶剂浸泡中的一种或二种或三种。

3.按照权利要求1所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述刻蚀,使用质量浓度为10%~40%的氢氟酸,刻蚀至石英毛细管断裂。

4.按照权利要求1所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述毛细管固定装置,包括铁架台(4)、多孔板(1)、毛细管(2)、氢氟酸储液管(3)及硅胶塞(5);多孔板固定于铁架台上,在多孔板的孔内固定毛细管(2),毛细管下端穿过氢氟酸储液管(3)底部中央的孔,孔壁与毛细管外壁紧密相贴,毛细管再穿过打孔的硅胶塞(5),硅胶塞孔壁与毛细管外壁紧密相贴,由硅胶塞在氢氟酸储液管底部外侧固定毛细管。

5.按照权利要求1或4所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述毛细管的外径为75μm-360μm,多孔板(1)的孔径比毛细管外径小1-10μm。

6.按照权利要求1或4所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述毛细管的外径为75μm-360μm,所述氢氟酸储液管(3)孔径比毛细管外径小1-10μm;氢氟酸储液管(3)的高度为0.1-3.4mm,。

7.按照权利要求1或4所述的氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法,其特征在于:所述多孔板(1)能在铁架台(4)上任意滑动。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1