用于光传感器的光电组件及其制作方法与流程

文档序号:13567501阅读:来源:国知局
用于光传感器的光电组件及其制作方法与流程

技术特征:
1.一种用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,包含步骤:提供一第一金属层(11);设置一半导体层(13)于所述第一金属层(11)上,所述半导体层(13)包括二极管;设置一透明导电层(15)于所述半导体层(13)上;氧化所述半导体层(13)的侧壁,反应形成一阻隔区(131)。2.如权利要求1所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在氧化的步骤中,通入氧气并使用电浆使氧气形成氧离子。3.如权利要求1所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在氧化的步骤中,调整工作压力低于50帕。4.如权利要求1所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在氧化的步骤中,施加功率至少1200瓦特。5.如权利要求1所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在氧化的步骤之前,图案化所述透明导电层(15)。6.如权利要求1所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在氧化的步骤之前,图案化所述半导体层(13)。7.如权利要求6所述的用于光传感器的光电组件的制作方法,其特征在于,在图案化所述半导体层(13)的步骤中,调整氧化速率为每分钟900-1100埃。8.一种用于光传感器的光电组件,其特征在于,其包含:第一金属层(11);半导体层(13),设置于所述第一金属层(11)上,且所述半导体层(13)的侧壁具有阻隔区(131),所述半导体层(13)包括二极管;透明导电层(15),设置于所述半导体层(13)上。9.如权利要求8所述的用于光传感器的光电组件,其特征在于,所述阻隔区(131)为氧化物。10.如权利要求8所述的用于光传感器的光电组件,其特征在于,所述透明导电层(15)设置于所述半导体层(13)及所述阻隔区(131)上。
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