技术总结
本发明公开了一种脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置。该方法和装置中，等离子体阻抗匹配过程不局限于一个脉冲周期内，不论是高射频功率阶段等离子体阻抗匹配过程还是低射频功率阶段的等离子体阻抗匹配过程均可以在不同脉冲周期内进行，因此，本发明提供的方法不受脉冲周期的限制，即使针对高脉冲频率的脉冲射频等离子体也可以分别搜寻到分别与高、低射频功率阶段的等离子体相匹配的射频频率。
技术研发人员：叶如彬
受保护的技术使用者：中微半导体设备（上海）有限公司
文档号码：201510929450
技术研发日：2015.12.14
技术公布日：2017.06.20