技术特征：
技术总结
一种基片支撑台，包括：静电夹盘、加热器和基座，静电夹盘安装到加热器上方，加热器固定到基座上表面；其中所述基座内包括冷却液流通管道；所述加热器包括加热元件用于产生热量，还包括位于加热元件上方的上绝缘材料层和位于加热元件下方的下绝缘材料层，所述下绝缘材料层底面固定到所述基座上表面，其特征在于：所述下绝缘材料层厚度大于1mm，下绝缘材料层中包括至少一金属层将下绝缘材料层分隔为多个绝缘材料子层。
技术研发人员：左涛涛;吴狄;杜志游
受保护的技术使用者：中微半导体设备（上海）有限公司
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.07.07