用于多个压紧接触式半导体器件的改良型盘形单元的制作方法

本发明涉及一种用于多个半导体器件(尤其是多个功率半导体器件)的盘形单元。这些盘形单元一般用于容纳和安装至少一个半导体器件，并通常与一个散热体存在导热接触。上述盘形单元的主要功能是：对半导体器件进行密封，并同时借助半导体器件的压紧接触(从外部)实现电连接和热连接。已知盘形单元主要包括一壳体和至少一个半导体器件。这种盘形单元可以从市场上买到。除此之外还存在容纳有多个半导体器件的盘形单元，这些半导体器件在几何尺寸方面具有相同类型。此种设计没有什么缺陷，因为当结构类型一致时器件的机械负荷极限相同。如果多个器件由于几何尺寸不同而存在不同的承荷能力，则这些器件的夹紧就会出现问题。尽管单纯将半导体器件安装到壳体内部时一般不存在问题，但如果最终买主为了实现电接触和热接触对盘形单元进行夹紧，机械强度最弱的器件就可能在夹紧时出现轻微损坏。到目前为止，因为负荷极限不同，类型不同的半导体器件必须事先在单独的盘形单元中夹紧，以便能够为每种器件单独调节夹紧作用，以允许器件具有不同机械负荷极限。这种设计具有以下缺点：部件数量增加、盘形单元结构体积变大、设计和/或可能需要的夹紧作用的具体调节相对复杂。

为此，一般组件包括具有夹紧装置的盘形单元，比如拉紧螺栓或者压紧螺栓机构，其作用是固定半导体器件并使本发明所述的多个半导体器件实现电和热的压力接触。鉴于功率半导体电子器件中在热交变负荷方面出现的问题，人们为了实现耐高电压和耐大电流器件的接触连接开发了这种压力接触。作为大功率变流器核心器件的高压晶闸管，就属于上述耐高电压半导体器件。尤其对于这些系统来说，器件可靠性要求很高。因为器件带有相对较脆的半导体材料层，所以始终面临着因压力接触所致机械过载而损坏的危险。

在这种情形中，电子器件接触区和导电触点之间机械接触、电接触和热接触的产生和保持，同样主要靠机械力实现。这种设计具有以下优点：通过对机械力进行相应调节(比如借助夹紧装置或者弹簧装置)，可以充分考虑与这种机械固定相关的机械公差所导致热交变负荷。

技术实现要素：

鉴于以上所述缺点，本发明的任务是：提供一种用于多个半导体器件的盘形单元和一种由盘形单元组成的组件(带有夹紧装置)，其中可在采用不同半导体器件的情况下实现高集成密度，减少部件数量并减少所需盘形单元数量，缩小结构空间，可通过简单方式调节夹紧作用和/或更充分考虑器件的不同机械负荷极限。根据本发明，上述任务通过具有根据权利要求1所述特征的盘形单元完成。从属权利要求包含本发明其它的、特别有利的实施例。需要说明的是：权利要求中列出的各个特征可以通过技术上合理的任意方式相互组合，从而产生本发明的其它实施例。说明书，尤其是结合附图对本发明进行了额外的特征描述和详细解释。

本发明涉及一种用于多个半导体器件的盘形单元。本发明所指盘形单元包含一壳体。优选地，所述壳体带有采用不导电材料(比如陶瓷)制成的侧壁。侧壁的形状(比如)为环形。优选地，所述半导体器件以密封形式容纳在壳体内部。进一步地，所述盘形单元包含至少一个容纳在壳体中的第一类型的第一半导体器件以及至少一个容纳在壳体中的第二类型的第二半导体器件。

术语“盘形单元”定义了一种由壳体和多个半导体器件(以下简称为“器件”)组成的单元。优选地，即使盘形单元没有夹紧和/或固定在散热体上，器件也能以防丢失形式容纳在壳体中。术语“不同类型”应做广义解释，可以指不同的外部尺寸和/或几何形状，也可以指外部尺寸相同时存在层结构方面的差别，还可以指压紧接触时采用不同接触力。优选地，其至少为不同类型的机械负荷极限(平行于夹紧方向)方面的差别。

根据本发明，所述壳体包括至少一块金属压板，所述金属压板覆盖第一半导体器件和第二半导体器件且与夹紧力基本垂直，用于夹紧第一和第二半导体器件。在这种情形中，所述压板配置为，夹紧力以局部限制的方式施加到压板上，以便通过压板夹紧第一半导体器件和第二半导体器件，其中所述第一半导体器件设置在夹紧力的局部作用区下方，所述第二半导体器件至少部分(即一部分至全部)(优选全部)设置在局部作用区之外。

本发明还涉及一种由上述盘形单元和夹紧装置组成的组件，夹紧装置的作用是：第一和第二半导体器件在夹紧装置所产生夹紧力的作用下被夹紧，并使第一和第二半导体器件实现电接触。夹紧力可以(比如)通过弹簧或者螺栓、优选通过拉紧螺栓或者压紧螺栓结构产生。

在一个实施例中，第一和第二类型的器件被夹紧在上述压板和承受压力的配合板之间，其中所述配合板可以(比如)全面贴靠在散热体上。根据优选实施例，第一和第二类型的器件被夹紧在根据本发明配置的两块压板之间。优选地，压板和配合板配置为，或者设置高度调整盘件，使得配合板和压板在夹紧之前的合拢期间，与第一半导体器件和第二半导体器件同时接触。

换句话说，作用区之外的压板凸起提供力作用线的分解。第一半导体器件设置在夹紧力的力作用线上，而设置在压板凸起部分下方的第二半导体器件位于通过压板分支的力作用线上。优选地，圆形金属压板起到弹性悬臂梁的作用，并缓冲施加在第二半导体器件上的作用力。相对于第一半导体器件，第二半导体器件承受的接触力和机械应力得以降低。这种设计可以(比如)用于以下目的：将接触电阻与夹紧力关联性较小的半导体器件，作为第二半导体器件设置在分支后的力作用线上。

优选地，第二半导体器件采用以下类型：它在夹紧方向上的机械负荷极限，小于第一半导体器件的相应负荷极限。根据本发明，第二半导体器件位于分支后的力作用线区域内。第一和第二器件之间的负荷极限差别，可能源于通常垂直于夹紧力的半导体层的不同厚度。根据本发明所述盘形单元设计，即使在第一器件承受最大夹紧力时，也能确保第二器件所承受负荷得到“缓冲”，从而能够在因第一器件夹紧力而产生最大应力的情况下，确保第二器件上的应力较低。这样就可以将机械承荷能力较小的器件和具有较高机械承荷能力的器件搭配在一个盘形单元中。尤其是，给定相应的设置，即如果第二器件为机械承荷能力与第一器件相同或者较小的器件，可以确保夹紧第一器件而不存在第二器件遭受机械损坏的危险。因此，可以在第一器件承受最大负荷(出于电接触和热接触原因而力求实现)的情况下，可靠防止第二半导体器件遭到损坏。

优选地，所述压板贴靠在半导体器件的相应接触面上，以便同时用于半导体器件的直接电接触和热接触。

根据本发明的另一个实施例，第一半导体器件的至少一个接触面、至少在未夹紧状态下不处于全面贴放状态。换句话说，半导体器件与贴靠它的配合件、比如根据本发明所述的压板或者承受压力的配合板形成一个空腔。通过这一措施，第一半导体器件可以在夹紧作用下产生形状改变，随着夹紧力的提高，半导体器件接触面通过器件的弹性或者塑性变形得以增大。这样半导体器件就可以“缓冲”夹紧力。因此，由于存在第一半导体器件的反作用力，可以更好调节第二半导体器件的夹紧作用。优选地，上述结构可以通过半导体器件侧面的弯曲形接触面实现。优选地，由半导体材料(比如硅)构成的第一半导体器件外层具有背向接触面弯曲的表面。

根据本发明的另一个实施例，第一半导体器件(即整个层结构)在未夹紧状态下以弯曲方式配置。

根据本发明的另一个实施例，在未夹紧状态下接触面和相关配合面之间的最大净距离位于5μm至150μm范围内，优选位于10μm至100μm范围内。术语“净距离”是指全面贴靠和无负荷贴靠状态之间的最大高度差。

根据本发明的一个优选实施例，第一半导体器件的外周位于夹紧力作用区之外或者与作用区的外周一致。结合仅在外周贴放、在接触面内部区域中(未夹紧状态下)高出的第一半导体器件，可以在盘形半导体器件中实现第一半导体器件的高柔性。

根据本发明所述盘形单元的优选实施例，设置一个第一半导体器件以及多个第二半导体器件，其中第二半导体器件以相同距离或者按照不同距离(其中包含一个不同间距)，围绕第一半导体器件进行分布设置。通过这种实施例可以提高集成密度，而不必放弃上文所述优点(比如在径向方向上进行机械负荷分级)。优选地，压板的局部作用区包含其几何中心点。

优选地，将第一半导体器件配置为圆形扁平结构，并设置多个第二半导体器件，第二半导体器件沿着一个或者多个同心圆围绕第一半导体器件的径向圆周均匀分布设置。

根据本发明的优选实施例，将流体导流通道集成进压板中，以便能够使冷却介质流过压板以实现有效冷却。

例如，第一半导体器件配置为圆形扁平结构。例如，其直径位于10至100mm的范围内，优选20至80mm，更优选50至70mm，如60mm。在一个实施例中设置的且围绕第一半导体器件设置的第二半导体器件，可以(比如)呈环形围绕第一半导体器件设置，这个环的内直径/外直径位于10/20至100/200mm的范围内，优选20/40至80/160mm，更优选50/100至70/140mm，如60/120mm。

根据本发明的另一个实施例，用于实现电接触的最大表面(又被称为有效表面)之间彼此存在一定比例。其中为了达到更高表面覆盖密度，第一器件和第二器件有效表面之比位于1:1至1:4的范围内，优选1:1.5至1:2.5，如1:2。为了使本发明所述盘形单元实现特别高的表面覆盖密度和集成密度，至少一个第二半导体器件配置为矩形(优选正方形)或者梯形扁平结构。

优选地，所述第一半导体器件为单片式半导体器件，比如二极管或者晶闸管。

优选地，所述至少一个第二半导体器件是绝缘栅双极型晶体管(IGBT)。

所述第一和第二类型的半导体器件，在垂直于夹紧力的方向上相互存在一定间隔，间距可以是2mm至10mm。

进一步地，本发明涉及一种由其中一个前述实施例中且具有上述技术优点的散热体和盘形单元组成的组件。

附图说明

下面根据附图进一步阐述本发明。附图只作为示例来理解且仅表示优选的实施例。其中：

图1：根据本发明第一实施例由盘形单元和夹紧装置组成的组件的截面图；

图2：根据本发明第二实施例由盘形单元和夹紧装置组成的组件的截面图；

图3为关于图1和图2的详细视图。

具体实施方式

图1以截面和示意的方式示出了根据本发明所述的第一组件，其由盘形单元1和夹紧装置4、13组成。盘形单元1带有密封壳体2、3、7、8。壳体2、3、7、8包括由陶瓷材料制成的电绝缘环8，电绝缘环的端面上设置有金属涂层。电绝缘环借助该涂层在两个端面与铜材料制成的环形盘7焊接在一起。环形盘7末端以密封形式与压板2或者承受压力的配合板3相连接。一个圆盘状的、属于第一类型的第一半导体器件6以及多个属于第二类型的第二半导体器件5(这里是绝缘栅双极型晶体管)，夹紧在压板2和承受压力的配合板3之间，其中第二半导体器件5绕第一半导体器件6的外圆周均匀分布。半导体器件5、6具有分别垂直于夹紧方向延伸的半导体层10、10'。此外，在半导体器件5、6与压板2和配合板3相接触的每一侧面，设置用于半导体器件5、6的电接触的金属涂层。电接触以及所需的散热通过压板2以及配合板3实现。为了散热，压板2和配合板3被一个或者多个流体导流通道11、12穿过。压板2的通道11和配合板3的通道12设置在垂直于夹紧方向的假想平面中。在图1所示的组件中，配合板3全面贴放在散热体13上。夹紧装置包含压力活塞4、18，图中未展示的(比如)压紧螺栓所产生夹紧力F通过压力活塞作用于圆形压板2。作用面9通过压板2的平台状凸起18确定。凸起18可以配置为与压板2成一体，也可以配置为压板2的单独部分。当将第一半导体器件6直接设置在作用面9下方时，则将第二半导体器件5设置在伸出作用面的压板2外部的下方。因为压板2在穿过第二半导体器件5的分支力作用线上具有弹性，所以相对于第一半导体器件6，第二半导体器件承受的机械负荷得以减小。如果(比如)第一半导体器件6和第二半导体器件5具有不同的最大机械负荷极限，则通过压板2的创造性配置，可以在第一半导体器件6达到最大负荷(出于电接触和热接触原因力求实现这一负荷)之前，防止第二半导体器件5出现机械损坏。

图2示出了根据本发明的组件的第二实施例，该实施例与图1中示出的组件的不同点在于：夹紧装置4、13的配置；以及设置不止一个压板2，而是两个压板。因此，可以在半导体器件5、6的两侧产生上述有利效果。

图3中示出了与图1和图2均有关的详细视图。图3示出了位于压板2之间或者位于压板2和配合板3之间的第一半导体器件6的层结构，其中层结构处在尚未夹紧的、仅与压板2或者配合板3存在接触的状态。第一器件6的整个层结构呈弯曲状，图中所示弯曲形状并非按比例绘出。背向半导体层10并朝向金属钼层17弯曲的层结构，用于使半导体器件6按照长度X在第一器件6两侧的接触面15和15'范围内产生“拱形/凸起”。随着夹紧力的增大，第一器件6的层结构沿着与上述预先弯曲相反的方向产生弯曲。由预先弯曲产生的弹性弯曲力矩反作用于夹紧力，并简化将夹紧力F调节和确定到第一半导体器件6最大负荷极限的操作。因此，夹紧时第二半导体器件5产生机械损坏的危险将实现最小化。