硅片裂片崩边阻断方法与流程

文档序号:13676055阅读:1926来源:国知局
技术领域本发明涉及半导体器件芯片制造技术领域,具体涉及一种硅片裂片崩边阻断方法。能够有效阻断划片过程产生的崩边,避免裂片过程中的崩边剔废,提高芯片质量与合格率。

背景技术:
目前,在半导体芯片制造过程中,存在裂片的工步,结合图1,需要将晶圆按划片线切割成单个芯粒,现芯片切割普遍采用磨轮划片机进行裂片,在芯片裂片过程中,由于所处环境较差,所以由于诸多原因(划片刀损耗、芯片飞带、芯片材质工艺等),会导致划片过程中产生不可避免的崩边。

技术实现要素:
本发明为解决现有半导体芯片在制造过程中,容易出现崩边的问题,提供一种半导体划片崩边阻断方法。半导体划片崩边阻断方法由以下步骤实现:步骤一、采用光刻技术在硅片槽两侧的硅片上刻出图形;步骤二、在步骤一刻出的图形上进行蒸发铝层,并将所述铝层覆盖至划片槽两侧;所述划片槽两侧的铝层距离划片槽的宽度为22μm;步骤三、采用划片刀沿划片槽进行切割,获得切割图形;所述的铝层厚度为3.5μm至5.5μm;划片刀的刀刃宽度18μm-21μm;划片槽两侧加铝条覆盖后,切割刀痕处与芯片有效区间会存在一个台阶,来阻断崩边向管芯方向的延伸。本发明的有益效果:本发明所述的方法在加铝层后,崩边在遇到增加的铝层后将停止向芯片有效区内延伸。阻止了崩边直接延伸至芯粒内部与芯粒接触,造成的崩边废品。附图说明图1为本发明所述的硅片裂片崩边阻断方法的原理示意图;图2中图2a和图2b分别为采用现有方法和本发明方法进行切割的效果图;图3为本实施方式一中的数据统计示意图;图4为本明所述的硅片裂片崩边阻断方法的实验对比图,其中,图4a为未采用铝进行保护的崩边片,图4b为采用铝片进行保护的崩边片,图4c为去除铝层保护的硅片效果图。具体实施方式具体实施方式一、结合图1至图4说明本实施方式,硅片裂片崩边阻断方法,该方法由以下步骤实现:步骤一、采用光刻技术在硅片槽两侧的硅片上刻出图形;步骤二、在步骤一刻出的图形上进行蒸发铝层,并将所述铝层覆盖至划片槽两侧;所述划片槽两侧的铝层距离划片槽的宽度为22μm;步骤三、采用划片刀沿划片槽进行切割,获得切割图形;所述的铝层厚度为3.5μm至5.5μm;铝层的覆盖宽度根据图形上铝的宽度而定。本实施划片槽两侧加铝层覆盖后,切割刀痕处与硅片有效区间会存在一个台阶,来阻断崩边向管芯方向的延伸。本实施方式所述的方法,在芯片制作过程中,延长四次光刻板铝板长度来覆盖部分划片槽,覆盖后的划片槽宽度为单侧11μm(切割刀刃宽度18μm-21μm),光刻后蒸发铝来达到阻断崩边的目的。如图3为B132DG品种芯片历史崩边剔废统计,此型号芯片2014年10月后进行的划片线改版,更改后此品种崩边剔废率由0.6%下降至0.08%,芯片质量与合格率提升改善效果十分明显。从以上数据可以看出,本实施方式可以有效的降低崩边剔废率。结合图4说明本实施方式,图4a为更改前未加铝条崩边片,需进行剔废。图4b为增加铝条的崩边片,图4c为将铝条去除后的崩边片。由图4c可以看出铝条可有效阻止崩边延伸至芯片有效区域。
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