专利名称：一种硅片脱胶机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种硅片脱胶机。
背景技术：
在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片传统采用手工进行脱胶，因 脱胶过程中对力度、温度掌握不均勻，且不稳定，易出现硅片崩边、毛边、氧化等现象，产生 废片。
发明内容
本发明的目的是提供能减少硅片在脱胶过程中产生崩边、毛边、氧化现象的一种 硅片脱胶机。本发明采取的技术方案是一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、上滑动轨道、下滑 动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在 于上滑动轨道、下滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提 升机通过纲绳和定滑轮与上滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定 设置在上滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在脱胶槽的下部，与下 滑动轨道连接在一起。采用本发明，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式， 控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。
图1是本发明的主视示意图。图2是本发明的侧视示意图。
具体实施例方式下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。参照图1、图2，该硅片脱胶机，它包括直立轨道3、上滑动轨道6、下滑动轨道14、 导向轮7、脱胶槽9、脱胶支架4、分隔板11、硅片盒12、提升机5、加热管13、定滑轮2、纲绳 1和偏心轮及组件8，上滑动轨道6通过导向轮7活动设在直立轨道3上；定滑轮2固定在 直立轨道3上，提升机5通过纲绳1和定滑轮2与上滑动轨道6相连接；硅片盒12位于脱 胶槽9内，硅片盒12固定设置在上滑动轨道6上；脱胶槽9内安装有加热管13 ；偏心轮及 组件8设置在脱胶槽9的下部，与下滑动轨道14连接在一起。使用时，启动提升机5，收紧纲绳1，上滑动轨道6沿直立轨道3上升，将硅片盒12 提起即停止提升机，把脱胶支架4连同带胶的硅片10 —同放入硅片盒12里，并采用分隔板 11隔开硅片10 ；然后，启动提升机，放松纲绳1，把带胶的硅片10连同硅片盒12 —起放入 脱胶槽9的水中，浸没硅片10，开始通过加热管13对脱胶槽9中的水加热至60度，然后，摆
3动偏心轮及组件8，使下滑动轨道14上下运动，从而带动上滑动轨道6上下运动，使硅片盒 12在水中同步上下摆动，但不能使硅片10露出水面，摆动时间保持十分钟左右，之后，升起 硅片盒12，取下脱胶支架4，取出硅片10即可。 按照上述，可以通过加热管13保持脱胶槽9内的水恒温，而且采用机械化操作方 式，控制稳定，减少硅片10在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。
权利要求
一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、滑动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在于滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。
全文摘要
本发明涉及一种硅片脱胶机，该硅片脱胶机的滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。采用发明，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式，控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。
文档编号B28D5/00GK101879756SQ20101013986
公开日2010年11月10日 申请日期2010年4月1日 优先权日2010年4月1日
发明者余城伟, 徐增宏, 王土军 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司